KR102068033B1 - 어레이 테스터 및 이의 제어방법 - Google Patents

어레이 테스터 및 이의 제어방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 어레이 테스터 및 이의 제어방법에 관한 것으로 픽스바디 유닛과 상기 픽스바디 유닛에 이동 가능하도록 결합된 제 1프리바디 유닛과 상기 픽스바디 유닛과 상기 제 1프리바디 유닛의 거리를 조정하는 구동수단과 상기 제 1프리바디 유닛에 이동 가능하도록 결합된 제 2프리바디 유닛과 상기 제 1프리바디 유닛에 일측이 결합되고, 상기 제 2프리바디 유닛에 타측이 결합되고, 상기 제 1프리바디 유닛과 상기 제 2프리바디 유닛 사이의 거리조정이 가능한 피에조 갭보정 유닛 및 상기 제 2프리바디 유닛에 결합되는 모듈레이터 유닛을 포함한다.

Description

어레이 테스터 및 이의 제어방법{Array Tester And Control Method Thereof}
본 발명은 어레이 테스터 및 이의 제어방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구 및 개발되어 왔다.
그 중에서 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술에 의하여 성능이 더욱 향상된 액정표시장치는, 현재 화질이 우수하고, 소형화, 경량화 및 저전력화 등의 장점으로 인하여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube, CRT)을 대체하면서 많이 사용되고 있다.
평판표시장치의 하나인 액정표시장치는 휴대 가능한 핸드폰, PDA(Personal Digital Assistant) 및 PMP(Portable Multimedia Player) 등과 같은 소형 제품뿐만 아니라 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 TV 및 컴퓨터의 모니터 등의 중대형 제품에 이르기까지 다양하게 사용되고 있다.
액정표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.
이러한 액정표시장치는 복수의 픽셀 패턴을 형성한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, 이하TFT라 함) 기판과 컬러 필터층을 형성한 컬러필터 기판 사이에, 전기적인 신호가 인가됨에 따라 광의 투과 여부를 결정하는 액정층을 구비한다.
이와 같은 액정표시장치는 제조공정중에 TFT 기판에 형성된 게이트라인 또는 데이터라인의 단선 또는 오픈 기타 TFT 기판 상의 회로불량 등의 결함을 테스트하는 공정을 수행하게 된다.
또한, 기판 위에 형성된 전극의 결함은 어레이 테스트 장치(array tester)에 의하여 검사된다. 그리고 어레이 테스트 장치는 픽스바디 유닛과 모듈레이터가 결합된 프리바디 유닛을 포함한다. 모듈레이터는 기판 전극과의 사이에 전기장을 형성시키기 위한 모듈레이터 전극과, 상기 전기장의 크기에 따라서 물성이 변하는 물성변화부를 구비한다.
모듈레이터는 기판 일부분에 대하여 어레이 테스트를 실시 후에, 인접하는 다음 테스트 위치로 이동하여서 어레이 테스트를 반복하게 된다.
한편, 모듈레이터는 프리바디 유닛에 결합되고, 프리바디 유닛은 픽스바디 유닛에 승강 가능하게 결합된다. 이에 따라 모듈레이터는 프리바디 유닛과 함께 승강된다. 또한, 모듈레이터는 기판과의 전기장 형성을 위하여 어레이 테스트 중에는 최대한 기판과 인접하도록 배치되어야 하며, 이동 중에는 스크래치 등을 방지하기 위하여 기판으로부터 일정 간격 이상으로 떨어져 있어야 한다.
이러한 점을 고려하여, 모듈레이터는 통상적으로 글라스 패널인 기판과 약 30~50㎛ 정도의 간격을 유지하도록 배치되는 것이 바람직하다.
한편, 글라스 패널은 매끈한 평면으로 제공되지 않음에 따라 글라스 패널의 변형부에 부분에 대하여 모듈레이터를 승강시키고, 모듈레이터와 글라스 패널 사이의 갭을 일정하게 유시시켜야 한다.
이를 위해, 종래기술에 따른 어레이 테스터는 글라스 패널과 모듈레이터의 갭을 조정하기 위해 에어 부상장치를 포함하고, 글라스 패널에 에어를 직접 분사하여 모듈레이터와 글라스 패널 사이의 갭을 조정한다.
그러나, 상기한 바와 같이 글라스 패널에 에어를 분사할 경우 고압 에어 분사에 의해 글라스 패널의 손상과 이물질이 발생하는 문제점이 발생할 수 있다.
또한, 에어 부상장치는 에어 분사에 따른 반작용으로 물리적으로 이동됨에 따라 모듈레이터 이동을 위한 정확성과 시간적 한계가 발생한다.
이에 따라, 피에조 엑추에이터를 이용하여 모듈레이터의 승강시키는 어레이 테스터가 개발되었다.
그러나, 글라스 패널의 변형부가 과도하여 비교적 작은 피에조 엑추에이터의 보정범위를 초과하는 경우 모듈레이터와 글라스 패널 사이의 갭 보정이 불가한 문제점이 발생한다.
대한민국 공개특허공보 제10-2006-0028020호(2006.03.29.)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 피에조 엑추에이터의 보정범위에 국한되는 모듈레이터 유닛의 검사범위를 확장시키는 어레이 테스터 및 이의 제어방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 어레이 테스터는 픽스바디 유닛과 상기 픽스바디 유닛에 이동 가능하도록 결합된 제 1프리바디 유닛과 상기 픽스바디 유닛과 상기 제 1프리바디 유닛의 거리를 조정하는 구동수단과 상기 제 1프리바디 유닛에 이동 가능하도록 결합된 제 2프리바디 유닛과 상기 제 1프리바디 유닛에 일측이 결합되고, 상기 제 2프리바디 유닛에 타측이 결합되고, 상기 제 1프리바디 유닛과 상기 제 2프리바디 유닛 사이의 거리조정이 가능한 피에조 갭보정 유닛 및 상기 제 2프리바디 유닛에 결합되는 모듈레이터 유닛을 포함한다.
또한, 상기 피에조 갭보정 유닛은 상기 제 1프리바디 유닛에 결합되는 제 1결합바디와 상기 제 2프리바디 유닛에 결합되는 제 2결합바디와 일측이 상기 제 1결합바디와 결합되고 타측이 상기 제 2결합바디에 결합하는 피에조 엑추에이터 및 상기 모듈레이터 유닛과 글라스 패널 사이의 갭을 검출하는 센서를 포함하고, 상기 피에조 엑추에이터는 상기 센서로부터 검출된 갭 정보를 통하여 상기 제 1프리바디 유닛과 제 2프리바디 유닛 사이의 거리를 조정한다.
또한, 상기 구동수단은 상기 센서로부터 검출된 갭 정보를 통하여 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리를 조정한다.
또한, 상기 피에조 갭보정 유닛은 상기 제 1프리바디 유닛과 제 2프리바디 유닛에 복수개가 장착될 수 있다.
또한, 상기 픽스바디 유닛은 상기 제 1프리바디 유닛이 상, 하측으로 유동되는 것을 방지하기 위한 클램핑 수단을 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 어레이 테스터의 제어방법은 모듈레이터 유닛과 글라스 패널 사이의 거리를 검출하는 거리검출단계와 상기 모듈레이터 유닛과 글라스 패널 사이의 거리를 통하여 제 1프리바디 유닛과 제 2프리바디 유닛 사이의 거리와 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리를 각각 결정하는 거리결정단계와 구동수단에 의하여 기 결정된 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리로 제 1프리바디 유닛을 이동시키는 제 1프리바디 유닛 이동단계 및 피에조 갭보정 유닛에 의하여 기 결정된 제 1프리바디 유닛과 제 2프리바디 유닛 사이의 거리로 제 2프리바디 유닛을 이동시키는 제 2프리바디 유닛 이동단계를 포함한다.
또한, 상기 거리결정단계는 기 검출된 모듈레이터 유닛과 글라스 패널 사이의 거리를 통하여 제 2프리바디 유닛의 이동거리를 결정하는 이동거리 결정단계 및 상기 결정된 제 2프리바디 유닛의 이동거리와 피에조 갭보정 유닛에 의하여 제 2프리바디 유닛이 이동 가능한 최대거리를 대비하는 이동거리 대비단계를 포함할 수 있다.
상기 거리결정단계는 기 결정된 제 2프리바디 유닛의 이동거리가 피에조 갭보정 유닛에 의하여 제 2프리바디 유닛이 이동 가능한 최대거리보다 작은 경우 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리를 0으로 결정한다.
또한, 상기 거리결정단계는 기 결정된 제 2프리바디 유닛의 이동거리가 피에조 갭보정 유닛에 의하여 제 2프리바디 유닛이 이동 가능한 최대거리보다 큰 경우 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리를 기 결정된 제 2프리바디 유닛의 이동거리에서 피에조 갭보정 유닛에 의하여 이동 가능한 최대거리를 제외한 거리로 결정한다.
또한, 상기 픽스바디 유닛은 상기 제 1프리바디 유닛이 상, 하측으로 유동되는 것을 방지하기 위한 클램핑 수단을 포함하여, 기 거리결정단계에서 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리가 0인 경우 상기 클램핑 수단에 의하여 제 1프리바디 유닛은 상, 하측 유동이 방지되며, 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리가 0이 아닌 경우 상기 클램핑 수단이 해제되는 클램핑 해제단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 어레이 테스터 및 이의 제어방법은 모듈레이터 유닛의 검사 범위를 확장시킴으로써 검사 결과의 정확성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 어레이 테스터의 기술 사상을 개략적으로 나태낸 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터의 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터의 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터의 피에조 갭보정 유닛의 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터의 피에조 갭보정 유닛의 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터 제어방법을 나타낸 도면.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터 제어방법을 나타낸 도면.
이하, 본 발명의 일부 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 어레이 테스터의 기술 사상을 개략적으로 나태낸 구성도이다.
이를 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 테스터(100)는 픽스바디 유닛(110), 제 1프리바디 유닛(120), 구동수단(130), 제 2프리바디 유닛(140), 피에조 갭보정 유닛(150), 모듈레이터 유닛(160) 및 제어부(170)를 포함한다.
보다 구체적으로, 제 1프리바디 유닛(120)은 픽스바디 유닛(110)에 이동 가능하도록 결합되며, 상기 픽스바디 유닛(110)과 제 1프리바디 유닛(120) 사이의 거리(D3)는 구동수단(130)에 의하여 조정된다.
또한, 제 2프리바디 유닛(140)은 제 1프리바디 유닛(120)에 이동 가능하도록 결합되며, 상기 제 1프리바디 유닛(120)과 제 2프리바디 유닛(140) 사이의 거리(D2)는 피에조 갭보정 유닛(150)에 의하여 조정된다.
또한, 제 2프리바디 유닛(140)은 글라스 패널(200)의 테스트를 위한 모듈레이터 유닛(160)이 장착된다.
상기 피에조 갭보정 유닛(150)은 모듈레이터 유닛(160)과 글라스 패널(200) 사이의 거리(D1)를 검출하는 센서(154)를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 어레이 테스터는 상기 센서(154)에서 검출된 모듈레이터 유닛(160)과 글라스 패널(200) 사이의 거리(D1)를 통하여 상기 구동수단(130) 및 피에조 갭보정 유닛(150)을 제어하는 제어부(170)를 더 포함할 수 있다.
도 2와 3은 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터의 사시도이다.
도 4와 5는 각각 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터의 피에조 갭보정 유닛의 사시도이다.
도 2 내지 5를 참조하여 본 발명에 따른 어레이 테스터의 상세 구조는 하기와 같다.
본 발명에 따른 어레이 테스터는 픽스바디 유닛(110), 제 1프리바디 유닛(120), 구동수단(130), 제 2프리바디 유닛(140), 피에조 갭보정 유닛(150), 모듈레이터 유닛(160)을 포함한다.
상기 픽스바디 유닛(110)과 상기 제 1프리바디 유닛(120)은 구동수단(130)에 의하여 이동 가능하도록 결합된다.
보다 구체적으로 상기 픽스바디 유닛(110)에는 리니어 가이드(131)를 포함한 리니어 모터(미도시), 실린더(132) 등의 구동수단(130)이 설치되어 상기 제 1프리바디 유닛(120)은 상기 리니어 가이드(131)를 따라 상, 하측으로 이동할 수 있다.
이에 따라, 상기 픽스바디 유닛(110)에 대한 제 1프리바디 유닛(120)의 가동변위는 리니어 가이드(131)의 길이 조정을 통하여 크게는 100mm 이상이 될 수도 있다.
또한, 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 상기 픽스바디 유닛(110)과 제 1프리바디 유닛(120) 사이에는 클램핑 수단(121)을 더 포함할 수 있다.
보다 구체적으로 상기 클램핑 수단(121)은 실린더 등에 의하여 직선 운동하며 상기 픽스바디 유닛(110)의 리니어 가이드(131) 일측에 일정 간격으로 형성된 복수 개의 클팸핑 홀(111)에 삽입되어 상기 제 1프리바디 유닛(120)의 움직임을 제한할 수 있다.
한편, 상기 제 1프리바디 유닛(120)과 상기 제 2프리바디 유닛(140)은 피에조 갭보정 유닛(150)에 의하여 이동 가능하도록 결합된다.
이를 위하여, 피에조 갭보정 유닛(150)은 제 1결합바디(151)와 제 2결합바디(152)와 피에조 엑추에이터(153)를 포함한다.
보다 구체적으로 도 4에 도시되어 있는 바와 같이 상기 피에조 갭보정 유닛(150)은 상기 제 1프리바디 유닛(120)에 결합되는 제 1결합바디(151)와 일측이 결합되고, 상기 제 2프리바디 유닛(140)에 결합되는 제 2결합바디(152)와 타측이 결합하는 피에조 엑추에이터(153)를 포함한다.
이때, 상기 피에조 엑추에이터(153)의 변위는 0~40㎛이고, 이에 따라 제 1프리바디 유닛(120)에 대한 제 2프리바디 유닛(140)의 가동변위는 0~40㎛이 될 수 있다.
또한, 상기 모듈레이터 유닛(160)과 글라스 패널(200) 사이의 거리를 검출하는 센서(154)는 제 1프리바디 유닛(120), 제 2프리바디 유닛(140), 모듈레이터 유닛(160) 중 어느 일측에 구비될 수도 있다.
보다 바람직하게는, 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 상기 피에조 갭보정 유닛(150)은 상기 제 1프리바디 유닛(120)에 결합되는 제 1결합바디(151)와 일측이 결합되고, 상기 제 2프리바디 유닛(140)에 결합되는 제 2결합바디(152)와 타측이 결합하는 피에조 엑추에이터(153)를 포함하는 동시에 상기 모듈레이터 유닛(160)과 글라스 패널(200) 사이의 거리를 검출하는 센서(154)를 더 포함할 수 있다.
따라서, 상기 피에조 엑추에이터(153)는 상기 센서(154)로부터 검출된 정보를 통하여 제 1프리바디 유닛(120)과 제 2프리바디 유닛(140) 사이의 거리(D2)를 조정한다.
즉, 제 2프리바디 유닛(140)은 피에조 엑추에이터(153)에 의하여 제 1프리바디 유닛(120)을 기준으로 상, 하측으로 이동된다.
또한, 상기 피에조 갭보정 유닛(150)은 복수개가 장착되어 상기 제 2프리바디 유닛(140)의 안정적이고 정확한 위치 조정을 수행할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 어레이 테스터는 글라스 패널(200)에 물리적인 힘을 가하지 않고 모듈레이터 유닛(160)과 글라스 패널(200) 사이의 거리를 조정함에 따라, 테스트 중 글라스 패널(200)의 손상을 방지할 수 있으므로 글라스 패널(200)의 수명이 향상되고, 불량률이 저하될 수 있다.
또한, 제 2프리바디 유닛(140)이 피에조 엑추에이터(153)에 의하여 상, 하측으로 이동하는 경우 상기 제 1프리바디 유닛(120)은 일정한 높이를 유지하는 것이 바람직하다.
한편, 제 1프리바디 유닛(120)은 픽스바디 유닛(110)에 이동 가능하도록 결합되며 이들의 결합구조는 제 1프리바디 유닛(120)과 제 2프리바디 유닛(140)의 결합구조에서 피에조 엑추에이터(153)를 리니어 모터, 실린더 등의 구동수단(130)로 교체하여 적용할 수 있다.
보다 구체적으로 상기 구동수단(130)은 픽스바디 유닛(110)에 설치되는 리니어 가이드(131)와 리니어 모터 등을 통하여 상기 제 1프리바디 유닛(120)을 상, 하측으로 이동시킬 수 있으며, 실린더(132)를 더 포함할 수도 있다. 이에 따라, 비교적 중량이 큰 제 1프리바디 유닛(120)의 상하 이동을 더욱 원활하게 수행할 수도 있다.
상기 구동수단(130)은 상기 센서(154)로부터 검출된 정보를 통하여 픽스바디 유닛(110)과 제 1프리바디 유닛(120) 사이의 거리(D3)를 조정한다.
상기 제 2프리바디 유닛(140)이 피에조 갭보정 유닛(150)에 의하여 이동되는 경우 상기 클램핑 수단은 제 1프리바디 유닛(120)을 픽스바디 유닛(110)과 견고하게 고정함으로써 모듈레이터 유닛(160)과 글라스 패널(200) 사이의 거리(D1)를 일정하게 유지할 수 있도록 한다.
도 6과 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터 제어방법을 나타낸 도면이다.
도 6과 7을 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 테스터 제어방법은 거리검출단계(S100), 거리결정단계(S200), 제 1프리바디 유닛 이동단계(S300) 및 제 2프리바디 유닛 이동단계(S400)를 포함한다.
또한, 이들 각각의 단계는 구동수단(130)과 피에조 갭보정 유닛(150) 및 제어부(170)를 통하여 수행될 수 있다.
상기 거리검출단계(S100)는 어레이 테스터(100) 일측에 설치되는 센서(154)에 의하여 모듈레이터 유닛(160)과 글라스 패널(200) 사이의 거리(D1)를 검출하는 것이다.
상기 거리결정단계(S200)는 기 검출된 모듈레이터 유닛(160)과 글라스 패널(200) 사이의 거리(D1)를 통하여 제 1프리바디 유닛(120)과 제 2프리바디 유닛(140) 사이의 거리(D2)와 픽스바디 유닛(110)과 제 1프리바디 유닛(120) 사이의 거리(D3)를 각각 결정하는 것이다.
보다 구체적으로 상기 거리결정단계(S200)는 기 검출된 모듈레이터 유닛(160)과 글라스 패널(200) 사이의 거리(D1)를 통하여 제 2프리바디 유닛(140)의 이동거리를 결정하는 이동거리 결정단계(S210)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 거리결정단계(S200)는 기 결정된 제 2프리바디 유닛(140)의 이동거리와 피에조 갭보정 유닛(150)에 의하여 제 2프리바디 유닛(140)이 이동 가능한 최대거리를 대비하는 이동거리 대비단계(S220)를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 거리결정단계(S200)는 기 결정된 제 2프리바디 유닛(140)의 이동거리가 피에조 갭보정 유닛(150)에 의하여 제 2프리바디 유닛(140)이 이동 가능한 최대거리보다 작은 경우 픽스바디 유닛(110)과 제 1프리바디 유닛(120) 사이의 거리(D3)를 0으로 결정한다.
또한, 상기 거리결정단계(S200)는 기 결정된 제 2프리바디 유닛(140)의 이동거리가 피에조 갭보정 유닛(150)에 의하여 제 2프리바디 유닛(140)이 이동 가능한 최대거리보다 큰 경우 픽스바디 유닛(110)과 제 1프리바디 유닛(120) 사이의 거리(D3)를 기 결정된 제 2프리바디 유닛(140)의 이동거리에서 피에조 갭보정 유닛(150)에 의하여 이동 가능한 최대거리를 제외한 거리로 결정한다.
일례로, 글라스 패널(200)의 변형부가 과도하여 상기 거리결정단계(S200)에서 제 2프리바디 유닛(140)의 이동거리가 픽스바디 유닛(110) 측으로 60㎛로 결정되고, 피에보 갭보정 유닛(150)에 의한 제 2프리바디 유닛(140)의 최대 변위가 40㎛인 경우에는 구동수단(130)에 의하여 상기 제 1프리바디 유닛(120)이 픽스바디 유닛(110) 측으로 20㎛이동하게 된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 어레이 테스터의 제어방법은 피에조 엑추에이터(153)에 최대변위로 인하여 제한되는 모듈레이터 유닛(160)의 검사 범위를 확장시킴으로써 검사 결과의 정확성을 향상시킬 수 있으며, 글라스 패널(200)의 손상을 더욱 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 어레이 테스터의 제어방법에서 상기 제 1프리바디 유닛 이동단계(S300)와 제 2프리바디 유닛 이동단계(S400)의 순서는 변경이 가능하다.
그러나, 피에조 갭조정 유닛(150)에 의한 이동 정밀도가 상기 구동수단(130)에 의한 이동 정밀도보다 비교적 정확하므로 상기 제 1프리바디 유닛 이동단계(S300)가 제 2프리바디 유닛 이동단계(S400)보다 선행되는 것이 보다 바람직하다.
한편, 상기한 바와 같이 픽스바디 유닛(110)은 상기 제 1프리바디 유닛(120)이 상, 하측으로 유동되는 것을 방지하기 위한 클램핑 수단(121)을 포함할 수 있다.
이에 따라, 상기 거리결정단계(S200)에서 픽스바디 유닛(110)과 제 1프리바디 유닛(120) 사이의 거리(D3)가 0인 경우 상기 클램핑 수단(121)에 의하여 제 1프리바디 유닛은 상, 하측 유동이 방지되고, 픽스바디 유닛(110)과 제 1프리바디 유닛(120) 사이의 거리(D3)가 0이 아닌 경우 상기 클램핑 수단(121)이 해제되는 클램핑 해제단계(S230)를 포함할 수 있다.
즉, 상기 클램핑 수단(121)은 제 1프리바디 유닛(120)이 픽스바디 유닛(110) 측으로 이동할 필요가 없는 중립 상태에서 제 1프리바디 유닛(120)을 픽스바디 유닛(110)에 견고하게 고정시켜 제 2프리바디 유닛(140) 이동 시 제 1프리바디 유닛(120)의 유동을 방지할 수 있다.
상기한 본 발명의 바람직한 실시 예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대해 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
D1. 모듈레이터 유닛과 글라스 패널 사이의 거리
D2. 제 1프리바디 유닛과 제 2프리바디 유닛 사이의 거리
D3. 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리
100. 어레이 테스터
110. 픽스바디 유닛
111. 클램핑 홀
120. 제 1프리바디 유닛
121. 클램핑 수단
130. 구동수단
131. 리니어 가이드
132. 실린더
140. 제 2프리바디 유닛
150. 피에조 갭보정 유닛
151. 제 1결합바디
152. 제 2결합바디
153. 피에조 엑추에이터
154. 센서
160. 모듈레이터 유닛
170. 제어부
200. 글라스 패널
S100. 거리검출단계
S200. 거리결정단계
S210. 이동거리 결정단계
S220. 이동거리 대비단계
S230. 클램핑 해제단계
S300. 제 1프리바디 유닛 이동단계
S400. 제 2프리바디 유닛 이동단계

Claims (10)

  1. 픽스바디 유닛;
    상기 픽스바디 유닛에 이동 가능하도록 결합된 제 1프리바디 유닛;
    상기 픽스바디 유닛과 상기 제 1프리바디 유닛의 거리를 조정하는 구동수단;
    상기 제 1프리바디 유닛에 이동 가능하도록 결합된 제 2프리바디 유닛;
    상기 제 1프리바디 유닛에 일측이 결합되고, 상기 제 2프리바디 유닛에 타측이 결합되고, 상기 제 1프리바디 유닛과 상기 제 2프리바디 유닛 사이의 거리조정이 가능한 피에조 갭보정 유닛; 및
    상기 제 2프리바디 유닛에 결합되는 모듈레이터 유닛;을 포함하는 어레이 테스터.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 피에조 갭보정 유닛은
    상기 제 1프리바디 유닛에 결합되는 제 1결합바디;
    상기 제 2프리바디 유닛에 결합되는 제 2결합바디;
    일측이 상기 제 1결합바디와 결합되고 타측이 상기 제 2결합바디에 결합하는 피에조 엑추에이터; 및
    상기 모듈레이터 유닛과 글라스 패널 사이의 거리를 검출하는 센서를 포함하고,
    상기 피에조 엑추에이터는 상기 센서로부터 검출된 정보를 통하여 상기 제 1프리바디 유닛과 제 2프리바디 유닛 사이의 거리를 조정하는 어레이 테스터.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 구동수단은 상기 센서로부터 검출된 정보를 통하여 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리를 조정하는 어레이 테스터.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 피에조 갭보정 유닛은 상기 제 1프리바디 유닛과 제 2프리바디 유닛에 복수개가 장착되는 어레이 테스터.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 픽스바디 유닛은 상기 제 1프리바디 유닛이 상, 하측으로 유동되는 것을 방지하기 위한 클램핑 수단을 포함하는 어레이 테스터.
  6. 모듈레이터 유닛과 글라스 패널 사이의 거리를 검출하는 거리검출단계;
    상기 모듈레이터 유닛과 글라스 패널 사이의 거리를 통하여 제 1프리바디 유닛과 제 2프리바디 유닛 사이의 거리와 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리를 각각 결정하는 거리결정단계;
    구동수단에 의하여 기 결정된 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리로 제 1프리바디 유닛을 이동시키는 제 1프리바디 유닛 이동단계; 및
    피에조 갭보정 유닛에 의하여 기 결정된 제 1프리바디 유닛과 제 2프리바디 유닛 사이의 거리로 제 2프리바디 유닛을 이동시키는 제 2프리바디 유닛 이동단계;를 포함하는 어레이 테스터의 제어방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 거리결정단계는
    기 검출된 모듈레이터 유닛과 글라스 패널 사이의 거리를 통하여 제 2프리바디 유닛의 이동거리를 결정하는 이동거리 결정단계; 및
    상기 결정된 제 2프리바디 유닛의 이동거리와 피에조 갭보정 유닛에 의하여 제 2프리바디 유닛이 이동 가능한 최대거리를 대비하는 이동거리 대비단계;를 포함하는 어레이 테스터의 제어방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 거리결정단계는
    기 결정된 제 2프리바디 유닛의 이동거리가 피에조 갭보정 유닛에 의하여 제 2프리바디 유닛이 이동 가능한 최대거리보다 작은 경우 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리를 0으로 결정하는 어레이 테스터의 제어방법.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 거리결정단계는
    기 결정된 제 2프리바디 유닛의 이동거리가 피에조 갭보정 유닛에 의하여 제 2프리바디 유닛이 이동 가능한 최대거리보다 큰 경우 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리를 기 결정된 제 2프리바디 유닛의 이동거리에서 피에조 갭보정 유닛에 의하여 이동 가능한 최대거리를 제외한 거리로 결정하는 어레이 테스터의 제어방법.
  10. 제 6항에 있어서,
    상기 픽스바디 유닛은 상기 제 1프리바디 유닛이 상, 하측으로 유동되는 것을 방지하기 위한 클램핑 수단을 포함하여,
    상기 거리결정단계에서 픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리가 0인 경우 상기 클램핑 수단에 의하여 제 1프리바디 유닛은 상, 하측 유동이 방지되며,
    픽스바디 유닛과 제 1프리바디 유닛 사이의 거리가 0이 아닌 경우 상기 클램핑 수단이 해제되는 클램핑 해제단계;를 포함하는 어레이 테스터의 제어방법.


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