KR102102799B1 - 어레이 테스터용 댐핑유닛 및 이를 포함하는 어레이 테스터 장치 - Google Patents

어레이 테스터용 댐핑유닛 및 이를 포함하는 어레이 테스터 장치 Download PDF

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민경준
강규태
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Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터용 댐핑유닛은 픽스바디 유닛에 결합되는 제1 댐핑 바디와, 프리바디 유닛에 결합되는 제2 댐핑 바디와, 일단부가 상기 제1 댐핑 바디의 일측부에 결합되는 제1 탄성부재와, 일단부가 상기 제1 댐핑 바디의 타측부에 결합되는 제2 탄성부재를 포함하고, 상기 제1 탄성부재의 타단부가 상기 제1 댐핑 바디의 타측부와 대향되는 상기 제2 댐핑 바디의 일측부와 결합되고, 상기 제2 탄성부재의 타단부가 상기 제1 댐핑 바디의 일측부와 대향되는 상기 제2 댐핑 바디의 타측부에 결합된다.

Description

어레이 테스터용 댐핑유닛 및 이를 포함하는 어레이 테스터 장치{Damping unit and Array Tester having the same}
본 발명은 어레이 테스터용 댐핑유닛 및 이를 포함하는 어레이 테스터 장치에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구 및 개발되어 왔다.
그 중에서 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술에 의하여 성능이 더욱 향상된 액정표시장치는, 현재 화질이 우수하고, 소형화, 경량화 및 저전력화 등의 장점으로 인하여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube, CRT)을 대체하면서 많이 사용되고 있다.
평판표시장치의 하나인 액정표시장치는 휴대 가능한 핸드폰, PDA(Personal Digital Assistant) 및 PMP(Portable Multimedia Player) 등과 같은 소형 제품뿐만 아니라 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 TV 및 컴퓨터의 모니터 등의 중대형 제품에 이르기까지 다양하게 사용되고 있다.
액정표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.
이러한 액정표시장치는 복수의 픽셀 패턴을 형성한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, 이하TFT라 함) 기판과 컬러 필터층을 형성한 컬러필터 기판 사이에, 전기적인 신호가 인가됨에 따라 광의 투과 여부를 결정하는 액정층을 구비한다.
이와 같은 액정표시장치는 제조공정중에 TFT 기판에 형성된 게이트라인 또는 데이터라인의 단선 또는 오픈 기타 TFT 기판 상의 회로불량 등의 결함을 테스트하는 공정을 수행하게 된다.
또한, 기판 위에 형성된 전극의 결함은 어레이 테스트 장치(array tester)에 의하여 검사된다. 그리고 어레이 테스트 장치는 픽스바디 유닛과 모듈레이터가 결합된 프리바디 유닛을 포함한다. 모듈레이터는 기판 전극과의 사이에 전기장을 형성시키기 위한 모듈레이터 전극과, 상기 전기장의 크기에 따라서 물성이 변하는 물성변화부를 구비한다.
모듈레이터는 기판 일부분에 대하여 어레이 테스트를 실시 후에, 인접하는 다음 테스트 위치로 이동하여서 어레이 테스트를 반복하게 된다.
한편, 모듈레이터는 프리바디 유닛에 결합되고, 프리바디 유닛은 픽스바디 유닛에 승강 가능하게 결합된다. 이에 따라 모듈레이터는 프리바디 유닛과 함께 승강된다. 또한, 모듈레이터는 기판과의 전기장 형성을 위하여 어레이 테스트 중에는 최대한 기판과 인접하도록 배치되어야 하며, 이동 중에는 스크래치 등을 방지하기 위하여 기판으로부터 일정 간격 이상으로 떨어져 있어야 한다.
이러한 점을 고려하여, 모듈레이터는 통상적으로 글러스 패널인 기판과 약 30~50㎛ 정도의 간격을 유지하도록 배치되는 것이 바람직하다.
한편, 글라스 패널은 매끈한 평면으로 제공되지 않음에 따라 글라스 패널의 변형부에 부분에 대하여 모듈레이터를 승강시키고, 모듈레이터와 글라스 패널 사이의 갭을 일정하게 유지시켜야 한다.
또한, 종래기술에 따른 어레이 테스터는 기판의 연장방향 즉, 어레이 테스터의 이동방향에 대한 댐핑구조를 포함한다.
이에 대한 일례로서, 에어 베어링은 어레이 테스터의 이동방향에 대하여만 진동을 억제함에 따라 모듈레이터가 이동될 경우 모듈레이터의 안정화 시간이 증가되는 문제점이 발생한다.
또한, 댐핑구조로서 어레이 테스터의 진동을 감쇄시키기 위해 픽스바디 유닛과 프리바디 유닛 사이에 진동겔이 장착될 수 있다. 그러나 진동겔은 어레이 테스터의 구동시 진동겔의 마모에 따른 이물질이 발생되고, 이물질 제거를 위해 석션부가 요구되는 문제점이 발생한다.
본 발명의 목적은 어레이 테스터의 구동시 진동겔의 마모에 따른 이물질 발생이 방지하는 어레이 테스터용 댐핑유닛 및 이를 포함하는 어레이 테스터 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터용 댐핑유닛은 픽스바디 유닛에 결합되는 제1 댐핑 바디와, 프리바디에 결합되는 제2 댐핑 바디와, 일단부가 상기 제1 댐핑 바디의 일측부에 결합되는 제1 탄성부재와, 일단부가 상기 제1 댐핑 바디의 타측부에 결합되는 제2 탄성부재를 포함하고, 상기 제1 탄성부재의 타단부가 상기 제1 댐핑 바디의 타측부와 대향되는 상기 제2 댐핑 바디의 일측부와 결합되고, 상기 제2 탄성부재의 타단부가 상기 제1 댐핑 바디의 일측부와 대향되는 상기 제2 댐핑 바디의 타측부에 결합된다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제1 댐핑 바디는 일측부에 제1 탄성부재 결합부가 형성되고, 타측부에 제2 탄성부재 결합부가 형성되고, 상기 제2 댐핑 바디는 타측부에 제1 탄성부재 결합부가 형성되고, 일측부에 제2 탄성부재 결합부가 형성될 수 있다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제1 탄성부재의 일단부에는 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부에 대응되는 제1 댐핑 바디 결합부가 형성되고, 상기 제1 탄성부재의 타단부에는 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부에 대응되는 제2 댐핑 바디 결합부가 형성되고, 상기 제2 탄성부재의 일단부에는 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부에 대응되는 제1 댐핑 바디 결합부가 형성되고, 상기 제2 탄성부재의 타단부에는 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부에 대응되는 제2 댐핑 바디 결합부가 형성될 수 있다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부와 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부는 경사진 일면에 평행하도록 형성되고, 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부와 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부는 경사진 일면에 평행하도록 형성될 수 있다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제1 댐핑 바디와 상기 제2 댐핑 바디는 서로 대칭되도록 형성될 수 있다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부와 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부에는 각각 제1 탄성부재 고정홀이 형성되고, 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부와 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부에는 각각 제2 탄성부재 고정홀이 형성될 수 있다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제1 탄성부재의 상기 제1 댐핑 바디 결합부를 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 고정홀에 결합시키고, 상기 제1 탄성부재의 상기 제2 댐핑 바디 결합부를 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 고정홀에 결합시키고, 상기 제2 탄성부재의 상기 제1 댐핑 바디 결합부를 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 고정홀에 결합시키고, 상기 제2 탄성부재의 상기 제2 댐핑 바디 결합부를 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 고정홀에 결합시키는 고정부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제1 탄성부재와 상기 제2 탄성부재는 상기 제1 댐핑 바디와 상기 제2 댐핑 바디에 “X”자로 결합될 수 있다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제1 탄성부재에는 연장방향으로 적어도 하나의 제1 슬릿부가 형성되고, 상기 제2 탄성부재에는 연장방향으로 적어도 하나의 제2 슬릿부가 형성될 수 있다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제1 탄성부재는 상기 제1 댐핑 바디와 제2 댐핑 바디의 중앙부에 각각 결합되고, 상기 제2 탄성부재는 상기 제1 댐핑 바디와 상기 제2 댐핑 바디의 가장자리부에 각각 결합될 수 있다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제1 댐핑 바디의 일측부 중앙에는 상기 제1 탄성부재 결합부가 형성되고, 타측부에 가장자리부에는 상기 제2 탄성부재 결합부가 형성되고, 상기 제2 댐핑 바디의 타측부 중앙에는 상기 제1 탄성부재 결합부가 형성되고, 일측부에 가장자리부에는 상기 제2 탄성부재 결합부가 형성될 수 있다.
또한, 어레이 테스터용 댐핑유닛에 있어서, 상기 제2 탄성부재는 상기 제1 댐핑 바디와 상기 제2 댐핑 바디의 일측 가장자리부에 위치되는 제2 일측 탄성부재와, 상기 제1 댐핑 바디와 상기 제2 댐핑 바디의 타측 가장자리부에 위치되는 제2 타측 탄성부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 어레이 테스터 장치는 상기 어레이 테스터용 댐핑유닛과, 상기 댐핑유닛의 일측에 결합된 픽스바디 유닛과, 상기 댐핑유닛의 타측에 결합된 프리바디 유닛과, 일측이 상기 픽스바디 유닛에 결합되고, 타측이 상기 프리바디 유닛에 결합된 갭보정 유닛과 상기 프리바디 유닛에 결합된 모듈레이터 유닛을 포함한다.
또한, 어레이 테스터 장치에 있어서, 상기 갭보정 유닛은 일측과 타측 사이의 변위가 조정가능하도록 이루어진 피에조 갭보정 유닛으로 이루어지고, 상기 피에조 갭보정 유닛은 상기 픽스바디 유닛에 결합되는 제1 결합바디와, 상기 프리바디 유닛에 결합되는 제2 결합바디와, 상기 제1 결합바디에 일측이 결합되고 상기 제2 결합바디에 타측이 결합된 피에조 엑추에이터와, 상기 모듈레이터와 글라스 패널 사이의 갭을 검출하는 센서를 포함하고, 상기 피에조 엑추에이터는 상기 센서로부터 검출된 상기 갭에 관한 정보를 이용하여 상기 픽스바디 유닛과 상기 프리바디 유닛 사이의 거리를 조정한다.
또한, 어레이 테스터 장치에 있어서, 상기 모듈레이터 유닛은 모듈레이터와, 상기 모듈레이터가 결합되는 바디 프레임을 포함하고, 글라스 패널에 대향되도록 상기 바디 프레임은 상기 프리바디 유닛에 장착된다.
또한, 어레이 테스터 장치에 있어서, 상기 댐핑유닛은 제1 및 제2 탄성부재가 전체적으로 사각형상을 갖는 상기 픽스바디 유닛 및 상기 프리바디 유닛의 일면에 대하여 “X”로 배치된 제1 댐핑유닛과, 제1 및 제2 탄성부재가 전체적으로 사각형상을 갖는 상기 픽스바디 유닛 및 상기 프리바디 유닛의 타면에 대하여 “X”로 배치된 제2 댐핑유닛을 포함한다.
또한, 어레이 테스터 장치에 있어서, 상기 제1 댐핑유닛는 전체적으로 사각형상을 갖는 상기 픽스바디 유닛 및 상기 프리바디 유닛의 서로 대향되는 제1 면과 제3 면에 결합되고, 상기 제2 댐핑유닛는 상기 픽스바디 유닛 및 상기 프리바디 유닛의 서로 대향되는 제2 면과 제 4면에 장착될 수 있다.
또한, 어레이 테스터 장치에 있어서, 상기 제1 댐핑유닛는 상기 제1 면과 상기 제3 면에 각각 2개식 결합되고, 상기 제2 댐핑유닛은 상기 제2 면과 상기 제 4면에 각각 2개씩 결합될 수 있다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 의하면 어레이 테스터의 구동시 진동겔의 마모에 따른 이물질 발생이 방지는 어레이 테스터용 댐핑유닛을 제공함으로써 신뢰성이 향상되고, 간단한 구조로 구현가능한 테스터가 가능하게 된다.
본 발명의 기술적 사상의 실시예는, 구체적으로 언급되지 않은 다양한 효과를 제공할 수 있다는 것이 충분히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 댐핑유닛을 포함하는 어레이 테스터를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 분해 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 댐핑유닛이 프리바디에 장착된 상태를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 구성도이다.
도 5는 도 4에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 정면도이다.
도 6은 도 4에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 분해사시도이다.
도 7은 도 4에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 사용상태도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 댐핑유닛을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 9는 도 8에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 분해 구성도이다.
도 10은 도 8에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 측면도이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 댐핑유닛을 개략적으로 도시한 구성도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 댐핑유닛을 포함하는 어레이 테스터를 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시한 어레이 테스터의 개략적인 분해 구성도이고, 도 3은 도 2에 도시한 어레이 테스터에 있어서, 댐핑유닛이 프리바디에 장착된 상태를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도시한 바와 같이, 어레이 테스터(1000)는 댐핑유닛(1100), 픽스바디 유닛(1200), 프리바디 유닛(1300), 갭보정 유닛(1400) 및 모듈레이터 유닛(1500)을 포함한다.
보다 구체적으로, 픽스바디 유닛(1200)과 프리바디 유닛(1300) 사이에는 댐핑유닛(1100)이 결합되고, 어레이 테스터(1000)의 이동에 따른 진동을 감쇄시킨다. 즉, 댐핑유닛(1100)의 일측에는 픽스바디 유닛(1200)이 결합되고, 댐핑유닛(1100)의 타측에는 프리바디 유닛(1300)이 결합된다.
또한, 픽스바디 유닛(1200)에는 프리바디 유닛(1300)이 갭보정 유닛(1400)에 의해 이동가능하도록 결합된다.
이를 위해 갭보정 유닛(1400)은 피에조 갭보정 유닛으로 이루어지고, 피에조 갭보정 유닛의 일측은 픽스바디 유닛(1200)에 결합되고, 피에조 갭보정 유닛의 타측은 프리바디 유닛(1300)에 결합된다.
그리고 피에조 갭보정 유닛(1400)은 일측과 타측 사이의 변위가 조정가능하도록 이루어진다.
이를 위해 피에조 갭보정 유닛(1400)은 제1 결합바디(1410), 제2 결합바디(1420), 피에조 엑추에이터(1430) 및 센서(1440)를 포함한다.
제1 결합바디(1410)는 픽스바디 유닛(1200)에 결합되고, 제2 결합바디(1420)는 프리바디 유닛(1300)에 결합된다.
제1 결합바디(1410)는 피에조 엑추에이터(1430)의 일측부에 결합되고, 제2 결합바디(1420)는 피에조 엑추에이터(1430)의 타측부에 결합된다.
이에 따라 피에조 엑추에이터(1430)의 변위에 의해 제1 결합바디(1410)와 제2 결합바디(1420)는 상대적 변위가 발생된다. 그리고 제1 결합바디(1410)와 제2 결합바디(1420)의 상대적 변위에 의해 픽스바디 유닛(1200)과 프리바디 유닛(1300)은 상대적 위치변위가 발생된다.
또한, 피에조 엑추에이터(1430)의 변위는 0~40㎛이고, 이에 따라 픽스바디 유닛(1200)에 대한 프리바디 유닛(1300)의 가동변위는 0~40㎛이 될 수 있다.
센서(1440)는 글라스 패널과 모듈레이터(1510) 사이의 갭을 측정하기 위한 것으로, 제2 결합바디(1420)에 장착된다.
모듈레이터 유닛(1500)은 모듈레이터(1510)와 바디프레임(1520)을 포함한다. 모듈레이터(1510)는 바디프레임(1520)에 결합되고, 바디프레임(1520)은 모듈레이터(1510)의 외주를 커버한다. 또한, 글라스 패널에 모듈레이터(1510)가 대향되도록 바디프레임(1520)은 프리바디 유닛(1300)에 장착된다.
모듈레이터(1510)에는 글라스 패널 사이에서 발생되는 전기장의 크기에 따라 반사되는 광의 광량(반사방식의 경우) 또는 투과되는 광의 광량(투과방식의 경우)을 변경하는 전광물질층(Electro-optical material layer) 및 전극이 구비될 수 있다. 그리고 전광물질층은 글라스 패널과 모듈레이터에 전압이 인가될 때 발생되는 전기장에 의하여 특정의 물성이 변경되는 물질로 이루어져 전광물질층으로 입사되는 광의 광량을 변경한다. 이러한 전광물질층은 전기장의 크기에 따라 일정한 방향으로 배열되는 특성을 가지는 액정(Liquid Crystal)으로 이루어질 수 있다.
댐핑유닛(1100)은 탄성부재의 형상 및 결합구조에 따라 서로 다른 댐핑력 제공을 위해 제1 댐핑유닛(1100a)과 제2 댐핑유닛(1100b)을 포함한다.
그리고, 제1 댐핑유닛(1100a)은 제1 축방향 외력에 대하여 댐핑하고, 제2 댐핑유닛(1100b)은 제2 축 방향 외력에 대하여 댐핑한다.
이를 위해 제1 댐핑유닛(1100a)은 제1 및 제2 탄성부재가 전체적으로 사각형상을 갖는 픽스바디 유닛 및 프리바디 유닛의 일면에 대하여 “X”로 배치되고, 제2 댐핑유닛(1100b)은 제1 및 제2 탄성부재가 전체적으로 사각형상을 갖는 픽스바디 유닛 및 프리바디 유닛의 타면에 대하여 “X”로 배치된다.
이에 대한 일례로서, 제1 댐핑유닛(1100a)은 전체적으로 사각형상을 갖는 픽스바디 유닛 및 프리바디 유닛의 서로 대향되는 제1 면과 제3 면에 결합되고, 제2 댐핑유닛(1100b)은 픽스바디 유닛 및 프리바디 유닛의 서로 대향되는 제2 면과 제 4면에 장착될 수 있다.
또한, 제1 댐핑유닛(1100a)은 제1 면과 제3 면에 각각 2개식 결합되고, 제2 댐핑유닛(1100b)은 제2 면과 제 4면에 각각 2개씩 결합될 수 있다.
이에 따라, 댐핑유닛(1100)은 4개의 제1 댐핑유닛(1100a)과 4개의 제2 댐핑유닛(1100b)을 포함하고, 이웃하는 면에 서로 다른 방향의 진동을 댐핑하는 댐핑유닛이 배치된다.
또한, 픽스바디 유닛 및 프리바디 유닛에는 댐핑유닛 결합을 위한 안착부가 형성될 수 있다.
도 4는 도 2에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 구성도이고, 도 5는 도 4에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 정면도이고, 도 6은 도 4에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 분해사시도이다.
도시한 바와 같이, 댐핑유닛(1100)은 제1 댐핑 바디(1110), 제2 댐핑 바디(1120), 제1 탄성부재(1130) 및 제2 탄성부재(1140)를 포함한다.
보다 구체적으로, 제1 댐핑 바디(1110)는 픽스바디 유닛(1200)에 결합되고, 제2 댐핑 바디(1120)는 프리바디 유닛(1300)에 결합된다.
제1 댐핑 바디(1110), 제2 댐핑 바디(1120)는 서로 대향되도록 위치되고, 대칭되도록 형성될 수 있다.
제1 탄성부재(1130)의 일단부는 제1 댐핑 바디(1110)의 일측부에 결합되고, 제2 탄성부재(1140)의 일단부는 제1 댐핑 바디(1110)의 타측부에 결합된다. 또한, 제1 탄성부재(1130)의 타단부는 제1 댐핑 바디(1110)의 타측부와 대향되는 제2 댐핑 바디(1120)의 일측부와 결합되고, 제2 탄성부재(1140)의 타단부는 제1 댐핑 바디의 일측부와 대향되는 제2 댐핑 바디(1120)의 타측부에 결합된다.
이를 위해, 제1 댐핑 바디(1110)는 일측부에 제1 탄성부재 결합부(1111)가 형성되고, 타측부에 제2 탄성부재 결합부(1112)가 형성된다.
제2 댐핑 바디(1120)는 타측부에 제1 탄성부재가 결합되는 제1 탄성부재 결합부(1121)가 형성되고, 일측부에 제2 탄성부재가 결합되는 제2 탄성부재 결합부(1122)가 형성된다.
또한, 제1 댐핑 바디(1110)의 제1 탄성부재 결합부(1111)와 제2 댐핑 바디(1120)의 제1 탄성부재 결합부(1121)는 경사진 일면에 형성될 수 있다.
제1 댐핑 바디(1110)의 제1 탄성부재 결합부(1111)와 제2 댐핑 바디(1120)의 제1 탄성부재 결합부(1121)에는 각각 제1 탄성부재 고정홀(1111a, 1121a)이 형성된다.
또한, 제1 탄성부재(1130)의 일단부에는 제1 댐핑 바디의 제1 탄성부재 결합부(1111)에 대응되는 제1 댐핑 바디 결합부(1131)가 형성되고, 제1 탄성부재(1130)의 타단부에는 제2 댐핑 바디의 제1 탄성부재 결합부(1121)에 대응되는 제2 댐핑 바디 결합부(1132)가 형성된다. 제1 댐핑 바디 결합부(1131)와 제2 댐핑 바디 결합부(1132)는 제1 탄성부재 고정홀(1111a, 1121a)에 대응되도록 형성된다.
댐핑유닛(1100)은 제1 탄성부재(1130)와 제2 탄성부재(1140)를 제1 댐핑 바디(1110)와 제2 댐핑 바디(1120)에 고정시키기 위한 고정부재(1150)를 더 포함한다.
또한, 고정부재(1150)를 제1 댐핑 바디 결합부(1131)와 제1 탄성부재 고정홀(1111a)에 결합시키고, 고정부재(1150)를 제2 댐핑 바디 결합부(1132)와 제1 탄성부재 고정홀(1121a)에 결합시킨다.
이에 따라 제1 탄성부재(1130)는 제1 댐핑 바디(1110)와 제2 댐핑 바디(1120)에 결합되고, 제1 탄성부재(1130)의 일단부는 제1 댐핑 바디(1110)의 일측부에 결합되고, 제1 탄성부재(1130)의 타단부는 제1 댐핑 바디(1110)의 타측부와 대향되는 제2 댐핑 바디(1120)의 일측부와 결합된다.
또한, 제1 댐핑 바디(1110)의 제2 탄성부재 결합부(1112)와 제2 댐핑 바디(1120)의 제2 탄성부재 결합부(1122)는 경사진 일면에 형성될 수 있다.
제1 댐핑 바디(1110)의 제2 탄성부재 결합부(1112)와 제2 댐핑 바디(1120)의 제2 탄성부재 결합부(1122)에는 각각 제2 탄성부재 고정홀(1112a, 1122a)가 형성된다.
또한, 제2 탄성부재(1140)의 일단부에는 제1 댐핑 바디 결합부(1141)가 형성되고, 제2 탄성부재(1140)의 타단부에는 제2 댐핑 바디 결합부(1142)가 형성된다. 제1 댐핑 바디 결합부(1141)와 제2 댐핑 바디 결합부(1142)에는 제1 탄성부재 고정홀(1112a, 1122a)에 대응되도록 형성된다.
또한, 고정부재(1150)를 제1 댐핑 바디 결합부(1141)와 제1 탄성부재 고정홀(1112a)결합시키고, 고정부재(1150)를 제2 댐핑 바디 결합부(1142)와 제1 탄성부재 고정홀(1122a)에 결합시킨다.
이에 따라 제2 탄성부재(1140)는 제1 댐핑 바디(1110)와 제2 댐핑 바디(1120)에 결합되고, 제2 탄성부재(1140)의 일단부는 제1 댐핑 바디(1110)의 타측부에 결합되고, 제2 탄성부재(1140)의 타단부는 제1 댐핑 바디의 일측부와 대향되는 제2 댐핑 바디(1120)의 타측부에 결합된다.
또한, 제1 탄성부재(1130) 및 제2 탄성부재(1140)는 제1 댐핑 바디(1110)와 제2 댐핑 바디(1120)에 상기한 바와 같이 결합되어 “X”로 배치된다.
도 7은 도 4에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 사용상태도이다.
도시한 바와 같이, 댐핑유닛(1100)은 제1 댐핑 바디(1110)와 제2 댐핑 바디(1120) 사이에 제1 탄성부재(1130)와 제2 탄성부재(1140)가 결합되고 “X”자로 배치된다.
보다 구체적으로, 제1 댐핑 바디(1110)는 제2 댐핑 바디(1120)에 대하여 제1 탄성부재(1130)와 제2 탄성부재(1140)의 중심축(C)를 기준으로 Z축 방향 (화살표 방향)으로 회동된다.
즉, 댐핑유닛(1100)은 일축방향으로 밴딩되면서 댐핑한다.
또한, 제1 댐핑 바디(1110)는 상하방향인 X축 방향으로 변위가능하게 된다.
따라서, 제1 댐핑유닛(1000a)과 제2 댐핑유닛(1000b)은 피스바디와 프리바디의 결합방향으로 댐핑이 가능하고, 제1 댐핑유닛(1000a)과 제2 댐핑유닛(1000b)은 교차 배치를 통해 2축 방향 즉, 평면방향에 대하여 어레이 테스터의 댐핑이 가능하게 된다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 댐핑유닛을 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 9는 도 8에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 분해 구성도이다. 도 10은 도 8에 도시한 댐핑유닛의 개략적인 측면도이다.
도시한 바와 같이, 댐핑유닛(2100)은 도 4 내지 도 7에 도시한 댐핑유닛(1100)과 비교해서 제1 탄성부재와 제2 탄성부재의 형상 및 유기적 결합구조만이 상이하다.
댐핑유닛(2100)은 제1 댐핑 바디(2110), 제2 댐핑 바디(2120), 제1 탄성부재(2130) 및 제2 탄성부재(2140)를 포함한다.
보다 구체적으로, 제1 댐핑 바디(2110) 및 제2 댐핑 바디(2120)는 제1 댐핑 바디(1110) 및 제2 댐핑 바디(1120)와 동일하고, 각각 픽스바디 유닛과 프리바디 유닛에 결합된다.
제1 탄성부재(2130)의 일단부는 제1 댐핑 바디(2110)의 일측부에 결합되고, 제2 탄성부재(2140)의 일단부는 제1 댐핑 바디(2110)의 타측부에 결합된다. 또한, 제1 탄성부재(2130)의 타단부는 제1 댐핑 바디(2110)의 타측부와 대향되는 제2 댐핑 바디(2120)의 일측부와 결합되고, 제2 탄성부재(2140)의 타단부는 제1 댐핑 바디의 일측부와 대향되는 제2 댐핑 바디(2120)의 타측부에 결합된다.
이를 위해, 제1 댐핑 바디(2110)는 일측부에 제1 탄성부재 결합부(2111)가 형성되고, 타측부에 제2 탄성부재 결합부(2112)가 형성된다.
제2 댐핑 바디(2120)는 타측부에 제1 탄성부재 결합부(2121)가 형성되고, 일측부에 제2 탄성부재 결합부(2122)가 형성된다.
한편, 제1 탄성부재(2130)는 제1 댐핑 바디(2110)와 제2 댐핑 바디(2120)의 중앙부에 각각 결합되고, 제2 탄성부재(2140)는 제1 댐핑 바디(2110)와 제2 댐핑 바디(2120)의 가장자리부에 결합된다.
이를 위해, 제1 댐핑 바디(2110)는 일측부 중앙에는 제1 탄성부재 결합부(2111)가 형성되고, 타측부에 가장자리부에는 제2 탄성부재 결합부(2112)가 형성된다.
제2 댐핑 바디(2120)는 타측부 중앙에는 제1 탄성부재 결합부(2121)가 형성되고, 일측부에 가장자리부에는 제2 탄성부재 결합부(2122)가 형성된다.
또한, 제2 탄성부재(2140)는 제1 댐핑 바디(2110)와 제2 댐핑 바디(2120)의 일측 가장자리부에 위치되는 제2 일측 탄성부재(2140a)와, 제1 댐핑 바디(2110)와 제2 댐핑 바디(2120)의 타측 가장자리부에 위치되는 제2 타측 탄성부재(2140b)를 포함한다.
댐핑유닛(2100)이 균일한 댐핑력을 제공하기 위해 제1 탄성부재(2130)의 면적과 제2 탄성부재(2140)의 면적은 동일하다.
댐핑유닛(2100)은 제1 탄성부재(2130)와 제2 탄성부재(2140)를 제1 댐핑 바디(2110)와 제2 댐핑 바디(2120)에 고정시키기 위한 고정부재(2150)를 더 포함한다.
또한, 댐핑 바디 결합부 및 탄성부재 고정홀 등의 세부기술구성은 도 5 및 도 6을 통해 전술한바 생략한다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 댐핑유닛을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도시한 바와 같이, 댐핑유닛(3100)은 댐핑유닛(2100)은 도 4 내지 도 7에 도시한 댐핑유닛(1100)과 비교해서 제1 탄성부재와 제2 탄성부재의 형상만이 상이하다.
보다 구체적으로, 댐핑유닛(3100)은 제1 댐핑 바디(3110), 제2 댐핑 바디(3120), 제1 탄성부재(3130) 및 제2 탄성부재(3140)를 포함한다.
제1 댐핑 바디(3110)와 제2 댐핑 바디(3120)는 제1 실시예에 따른 댐핑유닛의 제1 댐핑 바디(1110) 및 제2 댐핑 바디(1120)와 세부형상 및 유기적 결합구조가 동일한 바 세부설명은 전술한 바 생략한다.
댐핑유닛(3100)은 제1 탄성부재(3130)와 제2 탄성부재(3140)를 제1 댐핑 바디(3110)와 제2 댐핑 바디(3120)에 고정시키기 위한 고정부재(3150)를 더 포함한다.
제1 탄성부재(3130)와 제2 탄성부재(3140)는 각각 연장방향으로 적어도 하나의 제1 슬릿부(3131)와 제2 슬릿부(3141)가 형성된다. 또한 제1 탄성부재(3130)와 제2 탄성부재(3140)는 각각 제1 슬릿부(3131)와 제2 슬릿부(3141)에 의해 탄성력을 조정할 수 있고, 이에 따라 댐핑유닛(3100)의 댐핑강도는 조절된다.
1000: 어레이 테스터 1000a: 제1 댐핑유닛
1000b: 제2 댐핑유닛 1100: 댐핑유닛
1100a: 제1 댐핑유닛 1100b: 제2 댐핑유닛
1110: 제1 댐핑 바디 1111: 제1 탄성부재 결합부
1111a: 제1 탄성부재 고정홀 1112a: 제1 탄성부재 고정홀
1112: 제2 탄성부재 결합부 1120: 제2 댐핑 바디
1121: 제1 탄성부재 결합부 1121a: 제1 탄성부재 고정홀
1122a: 제1 탄성부재 고정홀 1122: 제2 탄성부재 결합부
1130: 제1 탄성부재 1131: 제1 댐핑 바디 결합부
1132: 제2 댐핑 바디 결합부 1140: 제2 탄성부재
1141: 제1 댐핑 바디 결합부 1142: 제2 댐핑 바디 결합부
1150: 고정부재 1200: 픽스바디 유닛
1300: 프리바디 유닛 1400: 갭보정 유닛
1410: 제1 결합바디 1420: 제2 결합바디
1430: 피에조 엑추에이터 1440: 센서
1500: 모듈레이터 유닛 1510: 모듈레이터
1520: 바디프레임 2100: 댐핑유닛
2110: 제1 댐핑 바디 2111: 제1 탄성부재 결합부
2112: 제2 탄성부재 결합부 2120: 제2 댐핑 바디
2121: 제1 탄성부재 결합부 2122: 제2 탄성부재 결합부
2130: 제1 탄성부재 2140a: 제2 일측 탄성부재
2140: 제2 탄성부재 2140b: 제2 타측 탄성부재
1111a, 1121a: 제1 탄성부재 고정홀
1112a, 1122a: 탄성부재 고정홀
3100: 댐핑유닛
3110: 제1 댐핑 바디 3120: 제2 댐핑 바디
3130: 제1 탄성부재 3131: 제1 슬릿부
3140: 제2 탄성부재 3141: 제2 슬릿부

Claims (18)

  1. 픽스바디 유닛에 결합되는 제1 댐핑 바디;
    프리바디 유닛에 결합되는 제2 댐핑 바디;
    일단부가 상기 제1 댐핑 바디의 일측부에 결합되는 제1 탄성부재; 및
    일단부가 상기 제1 댐핑 바디의 타측부에 결합되는 제2 탄성부재를 포함하고,
    상기 제1 탄성부재의 타단부가 상기 제1 댐핑 바디의 타측부와 대향되는 상기 제2 댐핑 바디의 일측부와 결합되고,
    상기 제2 탄성부재의 타단부가 상기 제1 댐핑 바디의 일측부와 대향되는 상기 제2 댐핑 바디의 타측부에 결합된
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 댐핑 바디는 일측부에 제1 탄성부재 결합부가 형성되고, 타측부에 제2 탄성부재 결합부가 형성되고,
    상기 제2 댐핑 바디는 타측부에 제1 탄성부재 결합부가 형성되고, 일측부에 제2 탄성부재 결합부가 형성된
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 탄성부재의 일단부에는 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부에 대응되는 제1 댐핑 바디 결합부가 형성되고, 상기 제1 탄성부재의 타단부에는 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부에 대응되는 제2 댐핑 바디 결합부가 형성되고,
    상기 제2 탄성부재의 일단부에는 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부에 대응되는 제1 댐핑 바디 결합부가 형성되고,
    상기 제2 탄성부재의 타단부에는 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부에 대응되는 제2 댐핑 바디 결합부가 형성된
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부와 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부는 경사진 일면에 평행하도록 형성되고,
    상기 제1 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부와 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부는 경사진 일면에 평행하도록 형성된
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 댐핑 바디와 상기 제2 댐핑 바디는 서로 대칭되도록 형성된
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부와 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 결합부에는 각각 제1 탄성부재 고정홀이 형성되고,
    상기 제1 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부와 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 결합부에는 각각 제2 탄성부재 고정홀이 형성된
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 탄성부재의 상기 제1 댐핑 바디 결합부를 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 고정홀에 결합시키고, 상기 제1 탄성부재의 상기 제2 댐핑 바디 결합부를 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제1 탄성부재 고정홀에 결합시키고,
    상기 제2 탄성부재의 상기 제1 댐핑 바디 결합부를 상기 제1 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 고정홀에 결합시키고, 상기 제2 탄성부재의 상기 제2 댐핑 바디 결합부를 상기 제2 댐핑 바디의 상기 제2 탄성부재 고정홀에 결합시키는 고정부재를 더 포함하는
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 탄성부재와 상기 제2 탄성부재는 상기 제1 댐핑 바디와 상기 제2 댐핑 바디에 “X”자로 결합된
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 탄성부재에는 연장방향으로 적어도 하나의 제1 슬릿부가 형성되고,
    상기 제2 탄성부재에는 연장방향으로 적어도 하나의 제2 슬릿부가 형성된
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 탄성부재는 상기 제1 댐핑 바디와 제2 댐핑 바디의 중앙부에 각각 결합되고, 상기 제2 탄성부재는 상기 제1 댐핑 바디와 상기 제2 댐핑 바디의 가장자리부에 각각 결합된
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1 댐핑 바디의 일측부 중앙에는 상기 제1 탄성부재 결합부가 형성되고, 타측부에 가장자리부에는 상기 제2 탄성부재 결합부가 형성되고,
    상기 제2 댐핑 바디의 타측부 중앙에는 상기 제1 탄성부재 결합부가 형성되고, 일측부에 가장자리부에는 상기 제2 탄성부재 결합부가 형성된
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제2 탄성부재는
    상기 제1 댐핑 바디와 상기 제2 댐핑 바디의 일측 가장자리부에 위치되는 제2 일측 탄성부재와,
    상기 제1 댐핑 바디와 상기 제2 댐핑 바디의 타측 가장자리부에 위치되는 제2 타측 탄성부재를 포함하는
    어레이 테스터용 댐핑유닛.
  13. 제1 항 내지 제12 항 중 어느 한 항으로 이루어진 어레이 테스터용 댐핑유닛;
    상기 댐핑유닛의 일측에 결합된 픽스바디 유닛;
    상기 댐핑유닛의 타측에 결합된 프리바디 유닛;
    일측이 상기 픽스바디 유닛에 결합되고, 타측이 상기 프리바디 유닛에 결합된 갭보정 유닛; 및
    상기 프리바디 유닛에 결합된 모듈레이터 유닛을 포함하는
    어레이 테스터 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 갭보정 유닛은 일측과 타측 사이의 변위가 조정가능하도록 이루어진 피에조 갭보정 유닛으로 이루어지고,
    상기 피에조 갭보정 유닛은
    상기 픽스바디 유닛에 결합되는 제1 결합바디와,
    상기 프리바디 유닛에 결합되는 제2 결합바디와,
    상기 제1 결합바디에 일측이 결합되고 상기 제2 결합바디에 타측이 결합된 피에조 엑추에이터와,
    상기 모듈레이터와 글라스 패널 사이의 갭을 검출하는 센서를 포함하고,
    상기 피에조 엑추에이터는 상기 센서로부터 검출된 상기 갭에 관한 정보를 이용하여 상기 픽스바디 유닛과 상기 프리바디 유닛 사이의 거리를 조정하는
    어레이 테스터 장치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 모듈레이터 유닛은
    모듈레이터와, 상기 모듈레이터가 결합되는 바디 프레임을 포함하고,
    글라스 패널에 대향되도록 상기 바디 프레임은 상기 프리바디 유닛에 장착된
    어레이 테스터 장치.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 댐핑유닛은
    제1 및 제2 탄성부재가 전체적으로 사각형상을 갖는 상기 픽스바디 유닛 및 상기 프리바디 유닛의 일면에 대하여 “X”로 배치된 제1 댐핑유닛과,
    제1 및 제2 탄성부재가 전체적으로 사각형상을 갖는 상기 픽스바디 유닛 및 상기 프리바디 유닛의 타면에 대하여 “X”로 배치된 제2 댐핑유닛을 포함하는
    어레이 테스터 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제1 댐핑유닛는 전체적으로 사각형상을 갖는 상기 픽스바디 유닛 및 상기 프리바디 유닛의 서로 대향되는 제1 면과 제3 면에 결합되고, 상기 제2 댐핑유닛는 상기 픽스바디 유닛 및 상기 프리바디 유닛의 서로 대향되는 제2 면과 제 4면에 장착되는
    어레이 테스터 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 제1 댐핑유닛는 상기 제1 면과 상기 제3 면에 각각 2개식 결합되고, 상기 제2 댐핑유닛은 상기 제2 면과 상기 제 4면에 각각 2개씩 결합된
    어레이 테스터 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006284545A (ja) * 2005-04-04 2006-10-19 Quanta Display Inc 回路欠陥検査補修装置及び方法
KR101288457B1 (ko) * 2011-11-08 2013-07-26 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
KR101763619B1 (ko) * 2010-07-09 2017-08-03 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치

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