CN111948838A - 调制器校准单元、包括其的校准系统及调制器的校准方法 - Google Patents

调制器校准单元、包括其的校准系统及调制器的校准方法 Download PDF

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Abstract

公开一种调制器校准单元、包括其的校准系统及调制器的校准方法。本发明的一实施例的调制器校准单元包括：传感器部，测量所述传感器部与调制器的隔开距离；以及发信模组，将在所述传感器部中检测到的信息向与所述调制器连接的间隙校正单元传递。

Description

调制器校准单元、包括其的校准系统及调制器的校准方法
技术领域
本发明涉及一种调制器校准单元、包括其的校准系统及调制器的校准方法。
背景技术
随着信息化社会的发展，对显示装置的要求也在以多种形态逐渐增多，顺应其，最近液晶显示装置(Liquid Crystal Display；LCD)、等离子显示器(Plasma Display Panel；PDP)、电致发光显示器(Electro Luminescent Display；ELD)、真空荧光显示器(VacuumFluorescent Display；VFD)等各种平板显示装置得到研究和开发。
其中，通过正在急速发展的半导体技术而性能进一步提高的液晶显示装置目前因画质优异、小型化、轻量化及低功率化等优势，替代现有的阴极射线管(Cathode Ray Tube；CRT)并大量使用。
作为平板显示装置之一的液晶显示装置，不仅是可携带的手机、个人数字助理(Personal Digital Assistant；PDA)及便携式多媒体播放器(Portable MultimediaPlayer；PMP)等之类的小型产品，以至到接收广播信号进行的显示的TV及计算机的显示器等中大型产品，以多种多样得到使用。
液晶显示装置是如下的显示装置：通过向以矩阵形式排列的液晶单元单独供应基于图像信息的数据信号，调节液晶单元的光透过率，从而使得能够显示所希望的图像。
这种液晶显示装置具备液晶层，该液晶层根据向形成多个像素图案的薄膜晶体管(Thin Film Transistor，以下称为TFT)基板与形成滤色层的滤色基板之间施加电信号来决定有无光的透过。
此类液晶显示装置会执行对在制造工艺中在TFT基板形成的栅极线或数据线的断线或断开、其它TFT基板上的电路不良等缺陷进行测试的工艺。
另外，在基板上形成的电极的缺陷通过阵列测试装置(array tester)来检查。而且，阵列测试装置包括固定体单元和结合调制器单元的自由体单元。调制器单元具备：用于在与基板电极之间形成电场的调制器电极；以及物性根据所述电场的大小而变化的物性变化部。
另一方面，这种阵列测试器在执行测试之前，执行将从基板到调制器的距离保持一定的设定。
在现有技术中，使用了通过这种设定将调制器接触于基板而将从基板到调制器的平坦度保持一定的调制器校准方法。
但是，现有技术的调制器校准方法由于调制器物理接触于基板，发生调制器或基板的破损，存在这种破损引起产生异物的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种当进行将从基板到调制器的距离保持一定的设定时防止调制器或基板的破损并最小化这种破损引起产生异物的调制器校准单元及利用该调制器校准单元的校准方法。
本发明的另一目的在于提供一种校准系统，该校准系统包括当进行将从基板到调制器的距离保持一定的设定时防止调制器或基板的破损并最小化这种破损引起产生异物的调制器校准单元。
本发明的一实施例的调制器校准单元包括：传感器部，测量所述传感器与调制器的隔开距离；以及发信模组，将在所述传感器部中检测到的信息向与所述调制器连接的间隙校正单元传递。
另外，在调制器校准单元中，可以是，所述调制器校准单元包括多个所述传感器部，多个所述传感器部与所述调制器相对，并位于与所述调制器的配置区域对应的区域内。
另外，在调制器校准单元中，可以是，多个所述传感器部配置成三角形状。
本发明的一实施例的调制器的校准方法包括：调制器的校准单元相对步骤，使调制器占位成与校准单元的多个传感器部相对；校准单元的隔开距离感测步骤，通过所述多个传感器部对与调制器的隔开距离进行检测；调制器位移调整步骤，通过所述检测到的隔开距离信息，调整固定体单元与自由体单元之间的间隙；隔开距离确认步骤，在调制器位移调整之后，通过所述多个传感器部确认与所述调制器的隔开距离；以及校准结束步骤，当在所述多个传感器部中检测到的多个隔开距离彼此相同时，将所述调制器的校准确认为完结并结束。
另外，在调制器的校准方法中，在所述隔开距离确认步骤中，当在所述多个传感器部中检测到的隔开距离彼此不相同时，执行所述调制器位移调整步骤，通过隔开距离确认步骤确认所述多个传感器部至调制器的隔开距离是否彼此相同。
本发明的一实施例的一种校准系统包括：阵列测试器，包括固定体单元、自由体单元、压电间隙校正单元、调制器单元和收信模组，所述自由体单元以能够移动的方式结合于所述固定体单元，所述压电间隙校正单元的一侧结合于所述固定体单元并另一侧结合于所述自由体单元，所述压电间隙校正单元能够调整所述固定体单元与所述自由体单元之间的距离，所述调制器单元调制器，所述调制器结合于所述自由体单元；以及调制器校准单元，包括传感器部和发信模组，所述传感器部测量与所述调制器的隔开距离，所述发信模组将在所述传感器部中检测到的信息向所述收信模组传递。
另外，在校准系统中，可以是，所述调制器校准单元包括多个所述传感器部，多个所述传感器部与所述调制器相对，并位于与所述调制器的配置区域对应的区域内。
另外，在校准系统中，所述压电间隙校正单元包括：第一结合体，结合于所述固定体单元；第二结合体，结合于所述自由体单元；压电致动器，一侧结合于所述第一结合体，另一侧结合于所述第二结合体；以及传感器，检测所述调制器与玻璃面板之间的间隙，所述压电致动器利用与从所述传感器检测到的所述间隙相关的信息，调整所述固定体单元与所述自由体单元之间的距离。
另外，在校准系统中，所述调制器单元还包括结合有所述调制器的体框架，以与玻璃面板相对的方式，所述体框架安装于所述自由体单元。
另外，在校准系统中，可以是，所述调制器和所述传感器位于与所述玻璃面板相对并具有相同的隔开距离的相同面。
另外，在校准系统中，可以是，所述压电间隙校正单元在所述自由体单元和所述固定体单元安装有多个。
其它实施例的具体内容包含在详细的说明及附图中。
根据本发明，提供一种当进行将从基板到调制器的距离保持一定的设定时防止调制器或基板的破损并最小化这种破损引起产生异物的调制器校准单元及利用该调制器校准单元的校准方法，从而调制器的寿命提高。
根据本发明，提供一种校准系统，该校准系统包括当进行将从基板到调制器的距离保持一定的设定时防止调制器或基板的破损并最小化这种破损引起产生异物的调制器校准单元，从而实现准确的校准工艺。
可以充分理解本发明的技术构思的实施例能够提供未具体提及的各种效果。
附图说明
图1是简要示出本发明的一实施例的阵列测试器的校准单元的技术构思的结构图。
图2是简要示出本发明的一实施例的校准单元的结构图。
图3是简要示出本发明的一实施例的校准单元的校准方法的顺序图。
图4是简要示出包括本发明的一实施例的调制器校准单元的校准系统的结构图。
图5是图4中示出的阵列测试器中固定体单元的简要的仰视图。
图6是图4中示出的阵列测试器的简要的分解立体图。
图7是图4中示出的阵列测试器中压电间隙校正单元的简要的结构图。
图8是图7中示出的压电间隙校正单元的简要的使用状态图。
附图标记说明
100：阵列测试器；110：固定体单元；120：自由体单元；130：调制器；140：间隙校正单元；141：第一间隙校正单元；142：第二间隙校正单元；143：第三间隙校正单元；150：收信模组；200：校准单元；210：传感器部；211：第一传感器部；212：第二传感器部；213：第三传感器部；220：发信模组；1000：阵列测试器；1100：固定体单元；1200：自由体单元；1300：压电间隙校正单元；1310：第一结合体；1320：第二结合体；1330：压电致动器；1340：传感器；1400：调制器单元；1410：调制器；1420：体框架；2000：校准单元；2100：传感器部；2110：第一传感器部；2120：第二传感器部；2130：第三传感器部；2200：发信模组。
具体实施方式
本发明的优点及特征，而且实现其的方法参照与所附的附图一起详细后述的实施例会得到明确。但是，本发明并不限于在此说明的实施例，也可以以其它方式具体化。反而，在此介绍的实施例是为了使得所公开的内容能够彻底且完整而且能够向本领域人员充分传递本发明的构思而提供的。
本申请中使用的用语是仅为了说明特定的实施例而使用的，并不是要限定本发明。单数的表达只要没有在文脉上明确表示为不同，包含复数的表达。在本申请中，“包括”或“具有”等用语应理解为是要指定存在说明书中记载的特征、数字、步骤、动作、构成要件、零部件或这些组合，并不预先排除一个或其以上其它特征、数字、步骤、动作、构成要件、零部件或这些组合的存在或附加可能性。
只要没有不同地定义，将技术性或科学性用语包括在内在此使用地所有用语具有与本发明所属技术领域中具有通常知识的人员一般所理解的含义相同的含义。一般使用的字典中有定义之类的用语应解释为具有与相关技术的文脉上所具有的含义一致的含义，只要在本申请中没有明确定义，不会理想地或过度地解释为形式性含义。
以下，参照所附的附图，详细说明本发明的优选实施例。
图1是简要示出本发明的一实施例的阵列测试器的校准单元的技术构思的结构图。
如图所示，阵列测试器100占位成与校准单元200相对，安装于阵列测试器100的调制器130被校准单元200校正位置。
更具体地，阵列测试器100包括固定体单元110、自由体单元120、调制器130、间隙校正单元140及收信模组150。
自由体单元120通过间隙校正单元140以能够移动的方式结合于固定体单元110，间隙校正单元140调整固定体单元110与自由体单元120之间的间隙D2a、D2b、D2c。
间隙校正单元140为了进行调制器130的校准而在自由体单元120安装有多个。图1是示出间隙校正单元140包括第一间隙校正单元141、第二间隙校正单元142及第三间隙校正单元143的一实施例。
第一间隙校正单元141、第二间隙校正单元142及第三间隙校正单元143为了进行调制器的校准，可以配置成以等间隔隔开。
通过第一间隙校正单元141、第二间隙校正单元142及第三间隙校正单元143分别调整第一间隙D2a、第二间隙D2b及第三间隙D2c。
间隙校正单元140可以通过包括压电致动器的压电间隙校正单元来实现。
另外，校准单元200包括传感器部210和发信模组220。传感器部210测量与调制器130之间的隔开距离D1a、D1b、D1c。传感器部210为了对调制器130的校准而包括多个，图1示出包括第一传感器部211、第二传感器部212及第三传感器部213的一实施例。
这是因为，当在三点测量出相同的隔开距离时，能够判断为调制器为平平的状态。
由此，第一传感器部211、第二传感器部212及第三传感器部213分别对调制器130的三点测量隔开距离D1a、D1b、D1c，发信模组220将通过第一传感器部211、第二传感器部212及第三传感器部213分别测量出的第一隔开距离D1a、第二隔开距离D1b及第三隔开距离D1c向阵列测试器100的收信模组150传递。
即，阵列测试器100的第一间隙校正单元141、第二间隙校正单元142及第三间隙校正单元143利用测量出的第一隔开距离D1a、第二隔开距离D1b及第三隔开距离D1c，调整固定体单元110与自由体单元120之间的第一间隙D2a、第二间隙D2b及第三间隙D2c，通过对第一间隙D2a、第二间隙D2b及第三间隙D2c的调整，调制器130被调整测试前初始位置。
图2是简要示出本发明的一实施例的校准单元的结构图。
如图所示，校准单元2000包括传感器部2100和发信模组2200。
更具体地，传感器部2100用于测量与调制器之间的隔开距离，包括第一传感器部2110、第二传感器部2120及第三传感器部2130。
另外，第一传感器部2110、第二传感器部2120及第三传感器部2130与调制器相对，并位于与调制器的配置区域对应的区域内。
第一传感器部2110、第二传感器部2120及第三传感器部2130为了进行调制器的校准，可以配置成三角形状。
而且，第一传感器部2110、第二传感器部2120及第三传感器部2130分别测量对调制器的三点的隔开距离，发信模组2200将在第一传感器部2110、第二传感器部2120及第三传感器部213检测到的隔开距离向阵列测试器传送。
图3是简要示出本发明的一实施例的校准单元的校准方法的顺序图。
如图所示，校准方法(S1000)包括调制器的校准单元相对步骤(S1100)、校准单元的隔开距离感测步骤(S1200)、调制器位移调整步骤(S1300)、隔开距离确认步骤(S1400)及校准结束步骤(S1500)。
更具体地，调制器的校准单元相对步骤(S1100)是使调制器占位成与校准单元相对的步骤。此时，校准单元的传感器部占位成与调制器相对，配置成多个隔开的状态。
之后，校准单元的隔开距离感测步骤(S1200)是通过多个传感器部对与调制器的隔开距离进行检测的步骤。
调制器位移调整步骤(S1300)根据通过多个传感器部分别检测到的隔开距离信息，利用间隙校正单元调整固定体单元与自由体单元之间的间隙。即，根据调制器结合于自由体单元，调制器跟随自由体单元的移动而移动。
此时，间隙校正单元可以通过包括压电致动器的压电间隙校正单元来实现。
之后，隔开距离确认步骤(S1400)是通过多个传感器部确认与调制器的隔开距离的步骤。即，是确认多个传感器部至调制器的隔开距离是否相同的步骤。
当在多个传感器部检测到的隔开距离相同时，校准结束步骤(S1500)确认为调制器的校准完结，结束调制器的校准。
只是，实时确认结果，当在多个传感器部之间隔开距离不相同时，重新执行调制器位移调整步骤(S1300)，通过隔开距离确认步骤(S1400)确认多个传感器部至调制器的隔开距离是否相同，当相同时，确认为调制器的校准完结，结束调制器的校准。
图4是简要示出具备本发明的一实施例的调制器校准单元的校准系统的结构图，图5是图4中示出的阵列测试器中固定体单元的简要的仰视图，图6是图4中示出的阵列测试器的简要的分解立体图。
如图所示，校准系统包括校准单元2000和阵列测试器1000。校准单元2000包括第一传感器部2110、第二传感器部2120及第三传感器部2130。
另外，第一传感器部2110、第二传感器部2120及第三传感器部2130与调制器相对，并位于与调制器的配置区域对应的区域(图4中用双点划线及图5中p1、p2及p3表示)内。
另外，阵列测试器1000根据通过校准单元2000传送的隔开距离信息来调整调制器。
阵列测试器1000包括固定体单元1100、自由体单元1200、压电间隙校正单元1300及调制器单元1400。
更具体地，自由体单元1200通过压电间隙校正单元1300以能够移动的方式结合于固定体单元1100。
为此，压电间隙校正单元1300的一侧结合于固定体单元1100，压电间隙校正单元1300的另一侧结合于自由体单元1200。而且，压电间隙校正单元1300构成为能够调整一侧与另一侧之间的位移。
调制器单元1400包括调制器1410和体框架1420。调制器1410结合于体框架1420，体框架覆盖调制器的外周。另外，以使调制器1410与玻璃面板相对的方式，体框架1420安装于自由体单元1200。
另外，如通过对图1的说明前述那样，阵列测试器1000包括收信模组，该收信模组接收通过校准单元的发信模组传送的隔开距离信息。压电间隙校正单元1300通过收信模组的信息，调整固定体单元1100与自由体单元1200的间隙。
另外，为了稳定且准确的位置调整，压电间隙校正单元1300可以在自由体单元1200安装有多个。另外，图5是三个压电间隙校正单元1300以隔开状态安装于自由体单元1200的一实施例。
图7是图4中示出的阵列测试器中压电间隙校正单元的简要的结构图，图8是图7中示出的压电间隙校正单元的简要的使用状态图。
压电间隙校正单元1300包括第一结合体1310、第二结合体1320、压电致动器1330及传感器1340。
第一结合体1310结合于固定体单元1100(在图4中示出)，第二结合体1320结合于自由体单元1200。
第一结合体1310结合于压电致动器1330的一侧部，第二结合体1320结合于压电致动器1330的另一侧部。
由此，通过压电致动器1330的位移，第一结合体1310和第二结合体1320产生相对位移。而且，通过第一结合体1310和第二结合体1320的相对位移，固定体单元1100和自由体单元1200产生相对位移。
另外，压电致动器1330的位移是0～40μm，由此自由体单元1200相对于固定体单元1100的运转位移可以成为0～40μm。
传感器1340用于测量玻璃面板与调制器1410之间的间隙，安装于第二结合体1320。
传感器1340可以通过第二结合体1320安装于自由体单元1200，以使得与玻璃面板相对的调制器1410相同地占位。
即，在与所述玻璃面板相对的方向上，调制器1410和传感器1340可以位于具有相同的隔开距离的相同面。
压电间隙校正单元1300如上所述构成，根据与通过传感器1340检测到的间隙相关的信息，压电致动器1330位移，第一结合体1310和第二结合体1320产生相对位移。
以上，参照所附的附图说明了本发明的优选的一实施例，但是本发明所属技术领域中具有通常知识的人员来说能够理解本发明可以在不改变其技术构思或必须的特征的情况下以其它具体方式实施。因此，应理解为以上叙述的一实施例在所有方面是例示性的而不是限定性的。

Claims (11)

1.一种调制器校准单元，用于校正安装于阵列测试器的调制器的位置，其特征在于，包括：
传感器部，测量所述传感器部与所述调制器的隔开距离；以及
发信模组，将在所述传感器部中检测到的信息向与所述调制器连接的间隙校正单元传递。
2.根据权利要求1所述的调制器校准单元，其特征在于，
所述调制器校准单元包括多个所述传感器部，多个所述传感器部与所述调制器相对，并位于与所述调制器的配置区域对应的区域内。
3.根据权利要求2所述的调制器校准单元，其特征在于，
多个所述传感器部配置成三角形状。
4.一种调制器的校准方法，其特征在于，包括：
调制器的校准单元相对步骤，使调制器占位成与校准单元的多个传感器部相对；
校准单元的隔开距离感测步骤，通过所述多个传感器部对与调制器的隔开距离进行检测；
调制器位移调整步骤，通过所述检测到的隔开距离信息，调整固定体单元与自由体单元之间的间隙；
隔开距离确认步骤，在调制器位移调整之后，通过所述多个传感器部确认与所述调制器的隔开距离；以及
校准结束步骤，当在所述多个传感器部中检测到的隔开距离彼此相同时，将所述调制器的校准确认为完结并结束。
5.根据权利要求4所述的调制器的校准方法，其特征在于，
在所述隔开距离确认步骤中，当在所述多个传感器部中检测到的隔开距离彼此不相同时，执行所述调制器位移调整步骤，通过隔开距离确认步骤确认所述多个传感器部至调制器的隔开距离是否彼此相同。
6.一种校准系统，其特征在于，包括：
阵列测试器，用于检测形成在基板上的缺陷，包括固定体单元、自由体单元、压电间隙校正单元、调制器单元和收信模组，所述自由体单元以能够移动的方式结合于所述固定体单元，所述压电间隙校正单元的一侧结合于所述固定体单元并另一侧结合于所述自由体单元，所述压电间隙校正单元能够调整所述固定体单元与所述自由体单元之间的距离，所述调制器单元与一个玻璃面板相对，并且所述调制器单元包括调制器，所述调制器结合于所述自由体单元；以及
调制器校准单元，包括传感器部和发信模组，所述传感器部测量与所述调制器的隔开距离，所述发信模组将在所述传感器部中检测到的信息向所述收信模组传递。
7.根据权利要求6所述的校准系统，其特征在于，
所述调制器校准单元包括多个所述传感器部，多个所述传感器部与所述调制器相对，并位于与所述调制器的配置区域对应的区域内。
8.根据权利要求6所述的校准系统，其特征在于，
所述压电间隙校正单元包括：
第一结合体，结合于所述固定体单元；
第二结合体，结合于所述自由体单元；
压电致动器，一侧结合于所述第一结合体，另一侧结合于所述第二结合体；以及
传感器，检测所述调制器与所述玻璃面板之间的间隙，
所述压电致动器利用与从所述传感器检测到的所述间隙相关的信息，调整所述固定体单元与所述自由体单元之间的距离。
9.根据权利要求8所述的校准系统，其特征在于，
所述调制器单元还包括结合有所述调制器的体框架，
以与玻璃面板相对的方式，所述体框架安装于所述自由体单元。
10.根据权利要求9所述的校准系统，其特征在于，
所述调制器和所述传感器位于与所述玻璃面板相对并具有相同的隔开距离的相同面。
11.根据权利要求9所述的校准系统，其特征在于，
所述压电间隙校正单元在所述自由体单元和所述固定体单元安装有多个。
CN202010407417.5A 2019-05-14 2020-05-14 调制器校准单元、包括其的校准系统及调制器的校准方法 Pending CN111948838A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

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