KR101002429B1 - 어레이 테스트 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 어레이 테스트 장치를 개시한다. 본 발명에 따르면, 적어도 일 방향으로 수평 이동하게 된 고정 블록; 고정 블록의 하측에 승강 가능하도록 결합된 것으로, 기판에 형성된 전극과의 사이에 전기장을 형성하여 전기장의 세기에 따라서 기판의 전기적 결함 여부를 검사하는 모듈레이터 블록; 및 고정 블록과 모듈레이터 블록 사이에 개재되어 모듈레이터 블록의 이동시 흔들림을 방지하는 에어 베어링;을 구비하고, 모듈레이터 블록이 고정 블록에 결합될 때, 에어 베어링은 그 분사 중심이 모듈레이터 블록의 무게 중심이 있는 높이에 위치하도록 설치되는 것을 특징으로 한다.

Description

어레이 테스트 장치{Array tester}
본 발명은 기판에 형성된 전극들의 전기적 결함 여부를 검사하는 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
전광 기기란 전기에너지를 공급받아서 빛을 발하는 장치로서, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 등의 평판 디스플레이 장치들을 포함하는 개념이다.
통상적으로, 전광 기기는 전극들이 형성된 기판을 구비한다. 예를 들어 TFT(Thin Film Transister) LCD 기판은, TFT 기판과, 컬러 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 기판과 대향 배치된 컬러 기판과, 상기 TFT 기판과 컬러 기판 사이에 주입된 액정 및 백라이트를 구비한다.
상기 기판 위에 형성된 전극의 결함은 어레이 테스트 장치(array tester)에 의하여 검사된다. 상기 어레이 테스트 장치는 모듈레이터 블록을 구비한다. 상기 모듈레이터 블록은, 상기 기판 전극과의 사이에 전기장을 형성시키기 위한 모듈레이터 전극과, 상기 전기장의 크기에 따라서 물성이 변하는 물성변화부를 구비한다.
상기 모듈레이터 블록은 기판 일부분에 대하여 어레이 테스트를 실시 후에, 인접하는 다음 테스트 위치로 이동하여서 상기 어레이 테스트를 반복하게 된다.
상기 모듈레이터 블록은, 상기 기판과의 전기장 형성을 위하여 어레이 테스트 중에는 최대한 기판과 인접하도록 배치되어야 하며, 이동 중에는 스크래치 등을 방지하기 위하여 기판으로부터 일정 간격 이상으로 떨어져 있어야 한다. 따라서, 상기 모듈레이터 블록은 고정 블록에 승강 가능하게 결합된다.
그런데, 상기 모듈레이터 블록을 이동시키는 경우, 상기 모듈레이터 블록은 상기 고정 블록과 결합된 부분을 중심으로 회전 모멘트를 받게 되어 좌우로 흔들리게 된다.
이에 따라서, 상기 모듈레이터 블록을 상기 테스트를 위한 기판 상측에 도착하면, 상기 모듈레이터 블록이 완전히 정지될 때까지의 안정화 시간(settling time)이 증가한다는 문제점이 있으며, 이는 결과적으로 어레이 테스트 시간이 지연되게 한다.
상기 기판이 대형화됨에 따라서 상기 기판의 어레이 테스트를 위한 모듈레이터 블록의 이동 횟수가 증가하게 되며, 이로 인하여 상기 안정화 시간으로 인한 테스트 지연의 문제점은 보다 심각해진다.
이에 따라서, 본 발명은 모듈레이터 블록의 이동시에 흔들림의 발생이 작고, 흔들림이 발생하더라도 안정화 시간을 단축할 수 있는 구조를 갖는 어레이 테스트 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치는, 적어도 일 방향으로 수평 이동하게 된 고정 블록; 상기 고정 블록의 하측에 승강 가능하도록 결합된 것으로, 기판에 형성된 전극과의 사이에 전기장을 형성하여 전기장의 세기에 따라서 기판의 전기적 결함 여부를 검사하는 모듈레이터 블록; 및 상기 고정 블록과 상기 모듈레이터 블록 사이에 개재되어 상기 모듈레이터 블록의 이동시 흔들림을 방지하는 에어 베어링;을 구비하고, 상기 모듈레이터 블록이 상기 고정 블록에 결합될 때, 상기 에어 베어링은 그 분사 중심이 상기 모듈레이터 블록의 무게 중심이 있는 높이에 위치하도록 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 에어 베어링을 구비하는 한편 에어 베어링이 모듈레이터 블록의 무게 중심이 있는 높이에 위치함으로써, 모듈레이터 블록의 이동시 상기 모듈레이터 블록의 흔들림을 줄일 수 있다. 뿐만 아니라, 흔들림 발생시에도 안정화 시간을 단축할 수 있게 되어, 어레이 테스트하는 속도가 빨라질 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 일례를 개략적으로 도시한 사시도이다. 이 경우, 어레이 테스트 장치(100)란 기판(10)에 형성된 기판 전극들의 전기적 결함을 테스트하는 장비이다.
상기 기판(10)은 평판 디스플레이 패널에 구비된 하나의 패널일 수 있으며, 예를 들어 TFT LCD 기판에서 TFT가 형성된 TFT 패널일 수 있다.
어레이 테스트 장치(100)는 로딩부(110)와, 테스트부(120)와, 언로딩부(130)와, 테스트 모듈(140)을 구비할 수 있다.
로딩부(110)는 적어도 두 개 이상의 로딩 플레이트(111)를 구비할 수 있다. 상기 로딩 플레이트(111)들은 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어, 테스트받을 기판이 이에 지지되어 테스트부(120)로 이동되도록 한다.
테스트부(120)는 상기 로딩부(110)의 일측에 배치되며, 여기에서 상기 로딩 플레이트(111)를 따라 이송된 패널의 전기적 결함이 테스트된다.
언로딩부(130)는 상기 테스트부(120) 일측에 배치되며 상기 테스트 완료된 기판이 상기 테스트부(120)로부터 여기로 이송되어 외부로 이동된다. 이 경우, 언로딩부(130)는, 상기 테스트 완료된 기판이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 부양해서 이동되도록 하는 언로딩 플레이트(131)를 구비할 수 있다.
이 경우, 상기 로딩부(110)의 로딩 플레이트(111)와, 언로딩부(130)의 언로딩 플레이트(131)에는 압력을 기판 방향으로 공급하여 상기 기판을 이동시키는 공기 홀(112, 132)들이 있을 수 있고, 이와 더불어 로딩부(110) 및 언로딩부(130)에는 상기 기판들을 흡착하는 흡착판(101)이 있을 수 있다.
테스트 모듈(140)은 상기 테스트부(120) 상측 또는 하측 또는 상, 하측에 배치되어서 테스트 플레이트 상에 배치된 기판 전극의 오류 여부를 검출한다.
상기 테스트 모듈(140)은 X축 레일(102)을 따라서 X축으로 평행 이동할 수 있다. 또한, 기판은 로딩부(110), 테스트부(120), 언로딩부(130)를 거치면서 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 따라서, 기판과 테스트 모듈(140)을 상대 운동시키면서 기판의 전극들을 테스트할 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 기판은 고정 지지판에 고정되고, 테스트 모듈(140)이 X, Y축으로 이동되면서 기판 전극의 오류 여부를 테스트할 수도 있다.
상기 테스트 모듈(140)에 대해 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 2에 도시된 바와 같이, 테스트 모듈(140)은 고정 블록(141)과, 모듈레이터 블록(146)을 구비할 수 있다. 고정 블록(141)은 모듈레이터 블록(146)이 외부 촬영 장치에 노출될 수 있도록 빈 관 형상을 할 수 있고, 상기 고정 블록(141) 위에는 촬영 장치(149, 도 1 참조)가 배치될 수 있다.
모듈레이터 블록(146)은 상기 고정 블록(141)에 승강 가능하도록 결합된 것으로, 기판 전극과의 사이에 전기장을 형성하여 상기 전기장의 세기에 따라서 기판에 형성된 전기적 결함 여부를 검사한다.
즉, 상기 모듈레이터 블록(146)이 기판에 접근된 상태에서 상기 모듈레이터 블록(146)에 구비된 모듈레이터 전극과, 기판상에 형성된 기판 전극에 각각 일정한 전압을 인가하게 되면, 이들 사이의 전기장 형성부에 전기장이 발생한다. 이때에, 기판에 형성된 전극에 결함이 있는 경우가 결함이 없는 경우보다 상기 전기장의 크기가 작아지게 되며, 상기 검출된 전기장의 크기에 따라서 기판의 결함 여부를 검출하게 된다.
기판 전극의 결함 여부를 테스트하는 동안에는, 모듈레이터 전극과 기판 전극 사이에 충분한 전기장을 형성되면서도 기판 또는 모듈레이터 블록(146)의 충돌 또는 접함으로써 발생하는 스크래치나 파손 등을 방지하기 위해서는, 기판과 모듈레이터 블록(146) 사이가 수 ㎛ 내지 수십 ㎛로 최대한 인접한 상태에서 이격 배치되어야 한다.
또한, 상기 기판의 다른 전극들을 테스트하기 위하여 상기 기판 및 모듈레이터 블록(146) 사이가 상대운동하는 경우에는, 기판과 모듈레이터 블록(146) 사이가 테스트하는 동안보다는 더 이격되어야 한다.
기판과 모듈레이터 블록(146) 사이의 간격을 조절하기 위해서, 모듈레이터 블록(146)에는 일정 압력의 공기를 상기 기판 방향으로 분출하는 분출 유닛(미도시)이 구비된다. 분출 유닛은 상대적으로 저압의 공기를 분출하는 저압용 분출 유닛과, 상대적으로 고압의 공기를 분출하는 고압용 분출 유닛이 교번하여 배치될 수 있다.
이 경우, 기판과 모듈레이터 블록(146)이 상대운동을 하는 경우에는 저압용 분출 유닛과 고압용 분출 유닛이 동시에 작동하여 상기 기판과 모듈레이터 블록(146) 사이의 간격을 크게 하고, 기판 전극의 결함을 테스트하는 경우에는 저압용 분출 유닛만 작동하여서 상기 기판과 모듈레이터 블록(146) 사이의 간격을 최소화할 수 있다. 상기 분출 유닛의 작동 예는 전술한 바에 한정되지는 않는다.
상기 모듈레이터 블록(146)은 상기 고정 블록(141)에 자유롭게 승강 가능하 게 결합되는데, 그 결합되는 구조는 다양하다. 그 하나의 예로서, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 가이드 부재(151)가 모듈레이터 블록(146)에 고정되고, 상기 가이드 부재(151)의 일부가 고정 블록(141)에 형성된 가이드 홈(142)에 삽입된다. 즉, 가이드 부재(151)는 하측부가 모듈레이터 블록(146)에 나사에 의해 고정되고, 상측부가 가이드 홈(142) 내에서 자유롭게 승강 가능하게 삽입된다.
상기 고정 블록(141)으로부터 모듈레이터 블록(146)이 이탈되지 않도록, 가이드 홈(142) 내에 걸림턱부(143)가 형성되고, 가이드 부재(151)의 상측부가 상기 걸림턱부(143)에 걸쳐질 수 있게 절곡 형성된다. 따라서 모듈레이터 블록(146)이 고정 블록(141)으로부터 이탈되지 않은 상태에서, 가이드 부재(151)의 상측부가 가이드 홈(142)을 따라서 일정 구간을 자유롭게 승강함에 따라 고정 블록(141)과 모듈레이터 블록(146) 사이의 간격(K1, K2)이 조절될 수 있다.
상기 모듈레이터 블록(146)이 고정 블록(141)에 안정되게 결합될 수 있게 가이드 홈(142)은 고정 블록(141)의 4개의 측면 중 적어도 3개의 측면에 형성되고, 형성된 가이드 홈(142)들에 대응되게 가이드 부재(151)가 각각 설치될 수 있다.
상기 고정 블록(141)과 모듈레이터 블록(146) 사이에 에어 베어링(156)이 개재된다. 이에 대해 도 4 및 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다. 에어 베어링(156)은 상기 모듈레이터 블록(146)의 이동시 흔들림을 방지하기 위한 것이다.
즉, 모듈레이터 블록(146)은 기판 일부분에 대하여 어레이 테스트를 실시 후에, 인접하는 다음 테스트 위치로 이동할 때, 상기 고정 블록(141)과 결합된 부분 을 중심으로 Z축 방향의 회전 모멘트를 받게 될 수 있다. 이에 따라, 모듈레이터 블록(146)은 좌우로 흔들릴 수 있는데, 에어 베어링(156)은 상기 흔들림을 최소화하고, 흔들림이 발생하더라도 안정화 시간을 단축할 수 있게 한다.
이를 위해, 에어 베어링(156)은 4개로 구비되고, 외부로부터 공급받은 공기를 각각 분사하여서, 상기 모듈레이터 블록(146)을 바깥쪽 네 측방으로 각각 밀어내도록 상기 모듈레이터 블록(146) 내에 설치될 수 있다.
상술하면, 에어 베어링(156)들로 공기를 공급하는 배관(157)들이 상기 고정 블록(141)에 고정되어 에어 베어링(156)들을 지지하고, 에어 베어링(156)들은 모듈레이터 블록(146)에 형성된 수용 홈(147)들에 각각 수용될 수 있다. 여기서, 상기 수용 홈(147)들은 모듈레이터 블록(146)의 네 가장자리 상면에 하나씩 형성될 수 있다. 그리고, 상기 에어 베어링(156)들은 상기 수용 홈(147)들에 각각 수용된 상태에서, 분사 방향이 상기 모듈레이터 블록(146)의 바깥쪽 네 측방을 향하도록 설치될 수 있다.
이에 따라, 모듈레이터 블록(146)이 Z축 방향의 회전 모멘트를 받게 되어 흔들리려 할 때, 에어 베어링(156)들로부터 분사되는 공기에 의해 모듈레이터 블록(146)의 흔들림이 최소화되고, 안정화 시간도 단축될 수 있는 것이다.
또한, 에어 베어링(156)들이 모듈레이터 블록(146)의 수용 홈(147)들에 각각 수용되어서, 모듈레이터 블록(146)의 바깥쪽으로 분사하도록 설치되면, 고정 블록(141)의 크기와 중량을 줄이는데 유리할 수 있다.
비교 예로서, 고정 블록이 모듈레이터 블록의 4측면을 감싸는 구조로 이루어 지고, 고정 블록의 내벽에 에어 베어링들이 고정되어 모듈레이터 블록으로 공기를 분사하도록 설치되면, 고정 블록의 크기와 중량이 커지는 문제가 있을 수 있다. 하지만, 본 발명의 실시예에 따르면, 비교예의 고정 블록보다 크기와 중량을 줄일 수 있는 것이다.
게다가, 본 발명의 실시예에서와 같이, 에어 베어링(156)들로부터 분사되는 방향이 바깥쪽을 향하게 되면, 분사 방향이 안쪽을 향하는 것보다, 에어 베어링들로부터 분사되는 공기로 인해 기판과 모듈레이터 블록 사이로 이물질이 유입될 가능성을 낮출 수 있다. 이에 따라, 기판 전극에 대한 결함 테스트가 더욱 안정적으로 이루어질 수 있게 된다.
한편, 상기 수용 홈(147)들은 대각 방향에 위치한 모듈레이터 블록(146)의 두 개의 코너에 2개씩 서로 인접하게 위치할 수 있다. 그리고, 상기 에어 베어링(156)과 수용 홈(147)의 내벽 사이에는 에어 베어링(156)을 안정되게 지지하기 위한 지지 부재(158)가 개재될 수 있다.
상기 에어 베어링(156)은 상기 모듈레이터 블록(146)이 상기 고정 블록(141)에 결합될 때, 상기 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이에 위치하도록 설치된다. 여기서, 에어 베어링(156)의 분사 중심(C2)이 상기 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이에 위치하게 된다. 이에 따라, 상기 모듈레이터 블록(146)이 X축 회전 모멘트 및/또는 Y축 회전 모멘트를 받게 되어 상하 흔들림이 발생하는 경우, 상기 흔들림이 줄어들 뿐 아니라, 흔들림 발생시 안정화 시 간이 단축될 수 있다.
이러한 효과는 상기 에어 베어링(156)의 분사 중심(C2)이 상기 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이보다 낮거나 높은 위치에 있는 경우와 같은 비교 예와 비교한다면, 명확하게 이해될 수 있다. 비교 예의 경우, 에어 베어링(156)으로부터 분사되는 공기압에 의해 상기 모듈레이터 블록(146)은 X축 및/또는 Y축 방향의 회전 모멘트를 받게 될 수 있다. 이러한 회전 모멘트는 상기 모듈레이터 블록(146)의 이동시 받게 되는 회전 모멘트에 더해져 상기 모듈레이터 모듈(146)의 흔들림을 가중시킬 수 있을 뿐 아니라, 안정화 시간을 지연시킬 수 있다.
반면, 본 발명의 예에서와 같이, 상기 에어 베어링(156)의 분사 중심(C2)이 상기 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이에 위치하게 되면, 에어 베어링(156)으로부터 분사되는 공기압에 의한 회전 모멘트의 영향이 최소화될 수 있다. 따라서, 상기 모듈레이터 블록(146)의 흔들림이 줄어들 수 있고, 흔들림 발생시에도 안정화 시간이 단축될 수 있는 것이다.
한편, 상기 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심 높이를 변경시키는 무게 중심 조절부(160)를 더 구비할 수 있다. 무게 중심 조절부(160)는 에어 베어링(156)을 조립한 후, 에어 베어링(156)의 분사 중심(C2)이 상기 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이보다 낮거나 높은 경우, 상기 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이를 변경시켜 상기 에어 베어링(156)의 분사 중심(C2)에 일 치시킬 수 있게 한다.
상기 무게 중심 조절부(160)는 도 4에 도시된 바와 같이, 로드 결합부(161)와, 무게 중심 조절용 로드(162)를 구비할 수 있다. 로드 결합부(161)는 상기 모듈레이터 블록(146)에 형성될 수 있다. 무게 중심 조절용 로드(162)는 로드 결합부(161)에 분리 가능하도록 결합되는 구조일 수 있다. 상기 무게 중심 조절부(160)에 의해 상기 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이를 변경하는 과정은 다음과 같이 이루어질 수 있다.
먼저, 무게 중심 조절용 로드(162)가 로드 결합부(161)에 결합된 상태에서, 상기 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이를 설정한 후, 설정된 높이에 맞게 에어 베어링(156)을 조립한다. 만일, 에어 베어링(156)을 조립한 상태에서, 에어 베어링(156)의 분사 중심(C2)이 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이보다 낮거나 높게 되면, 최초 결합된 무게 중심 조절용 로드(162)를 로드 결합부(161)로부터 분리한다.
그 다음, 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이가 에어 베어링(156)의 분사 중심(C2)에 일치할 수 있게, 분리된 무게 중심 조절용 로드보다 가볍거나 무거운 것을 결합시켜 상기 모듈레이터 블록(146)의 무게 중심(C1)이 있는 높이를 변경시킨다. 한편, 상기 무게 중심 조절부(160)는 전술한 예에 한정되지 않는다. 그리고, 무게 중심 조절부(160)는 도시하고 있지는 않지만, 모듈레이터 블록(146)의 균형을 맞추기 위해 모듈레이터 블록(146)의 양쪽에 하나씩 구비되는 것이 바람직할 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 있어서, 테스트 모듈을 도시한 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 2에 있어서, 모듈레이터 블록이 고정 블록에 대해 승강 가능하게 된 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 2에 대한 분해 사시도이다.
도 5는 도 2의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 취한 단면도이다.
〈도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명〉
140..테스트 모듈 141..고정 블록
142..가이드 홈 146..모듈레이터 블록
151..가이드 부재 156..에어 베어링

Claims (5)

  1. 적어도 일 방향으로 수평 이동하게 된 고정 블록;
    상기 고정 블록의 하측에 승강 가능하도록 결합된 것으로, 기판에 형성된 전극과의 사이에 전기장을 형성하여 전기장의 세기에 따라서 기판의 전기적 결함 여부를 검사하는 모듈레이터 블록; 및
    상기 고정 블록과 상기 모듈레이터 블록 사이에 개재되어 상기 모듈레이터 블록의 이동시 흔들림을 방지하는 에어 베어링;을 구비하고,
    상기 모듈레이터 블록이 상기 고정 블록에 결합될 때, 상기 에어 베어링의 분사 중심이 상기 모듈레이터 블록의 무게 중심이 있는 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 모듈레이터 블록의 무게 중심 높이를 변경시키는 무게 중심 조절부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 무게 중심 조절부는:
    상기 모듈레이터 블록에 형성된 로드 결합부; 및
    상기 로드 결합부에 분리 가능하도록 결합되는 무게 중심 조절용 로드;를 구 비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 에어 베어링은 4개로 구비되고, 외부로부터 공급받은 공기를 각각 분사하여서, 상기 모듈레이터 블록을 바깥쪽 네 측방으로 각각 밀어내도록 상기 모듈레이터 블록 내에 설치된 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 고정 블록에 걸림턱부를 갖는 가이드 홈이 형성되고;
    하측부가 상기 모듈레이터 블록에 고정되고, 상측부가 상기 가이드 홈 내에 자유롭게 승강 가능하게 삽입됨과 아울러 상기 걸림턱부에 걸쳐질 수 있게 절곡 형성된 가이드 부재를 구비하여서, 상기 고정 블록에 상기 모듈레이터 블록이 승강 가능하게 결합될 수 있는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101288457B1 (ko) 2011-11-08 2013-07-26 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
KR20200131955A (ko) * 2019-05-14 2020-11-25 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스터
KR20200131958A (ko) * 2019-05-14 2020-11-25 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스터
KR20200131956A (ko) * 2019-05-14 2020-11-25 주식회사 탑 엔지니어링 캘리브레이션 시스템 및 모듈레이터의 캘리브레이션 방법

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102314004A (zh) * 2010-07-09 2012-01-11 塔工程有限公司 阵列测试装置
KR101232774B1 (ko) * 2010-09-15 2013-02-13 한국산업기술시험원 구동어레이 시험장치
KR101140257B1 (ko) * 2010-12-21 2012-04-26 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
KR101207029B1 (ko) * 2010-12-30 2012-11-30 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
KR102190482B1 (ko) * 2019-05-14 2020-12-15 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스터

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100890282B1 (ko) 2007-02-09 2009-03-24 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장비

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004264035A (ja) * 2003-01-27 2004-09-24 Agilent Technol Inc プローブ装置及びそれを用いたディスプレイ基板の試験装置
KR100756229B1 (ko) * 2006-10-26 2007-09-07 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장비

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100890282B1 (ko) 2007-02-09 2009-03-24 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장비

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101288457B1 (ko) 2011-11-08 2013-07-26 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
KR20200131955A (ko) * 2019-05-14 2020-11-25 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스터
KR20200131958A (ko) * 2019-05-14 2020-11-25 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스터
KR20200131956A (ko) * 2019-05-14 2020-11-25 주식회사 탑 엔지니어링 캘리브레이션 시스템 및 모듈레이터의 캘리브레이션 방법
KR102190485B1 (ko) 2019-05-14 2020-12-15 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스터
KR102218403B1 (ko) 2019-05-14 2021-02-23 주식회사 탑 엔지니어링 캘리브레이션 시스템 및 모듈레이터의 캘리브레이션 방법
KR102235475B1 (ko) 2019-05-14 2021-04-05 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스터

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