KR20100033308A

KR20100033308A - 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법

Info

Publication number: KR20100033308A
Application number: KR1020080092424A
Authority: KR
Inventors: 조용주
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2008-09-19
Filing date: 2008-09-19
Publication date: 2010-03-29
Also published as: CN101676774B; CN102166560A; CN101676774A; KR101498607B1; TW201013177A

Abstract

본 발명은 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법을 개시한다. 본 발명은 기준 패턴 데이터를 입력하는 단계와, 상기 기준 패턴 데이터에 따라 헤드 유닛이 움직이는 동안 그 헤드 유닛에 구비된 측정 유닛이 상기 기준 패턴 데이터에 따라 페이스트가 도포되는 기판의 도포면과 상기 헤드 유닛에 구비된 노즐 사이의 갭을 연속적으로 측정한 갭 데이터를 저장하는 단계와, 상기 갭 데이터에 따라 상기 노즐이 상 또는 하로 움직여 도포면과 일정 갭을 유지하면서 페이스트를 토출하여 페이스트 패턴을 기판에 형성하는 단계와, 상기 기준 패턴 데이터에 기반한 기준 패턴 이미지와 상기 캡 데이타에 기반한 갭 패턴 이미지를 중첩시켜 디스플레이하는 단계를 포함한다. 본 발명은 기판에 형성된 페이스트 패턴의 도포 상태를 쉽고 빠르게 파악하여 페이스트 패턴 전체를 검사하지 않고 설정된 부분만 검사할 수 있게 되어 페이스트 패턴 검사 시간을 단축시킨다.

Description

페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법{METHOD FOR SELECTING A REGION OF A PASTE PATTERN FOR INSPECTION}

본 발명은 기판에 페이스트 패턴을 형성한 후 그 페이스트 패턴의 검사 대상부분을 선정하는 방법에 관한 것이다.

액정 표시장치는 컬러 필터층이 구비된 제1 기판과, 구동소자들이 배열된 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판을 부착시키는 페이스트(일명, 실런트라고도 함) 패턴과, 상기 제1,2 기판들 사이에 위치하는 액정층을 포함한다.

상기 액정 표시장치를 제작시 제1 기판 또는 제2 기판에 상기 페이스트 패턴을 형성하게 된다. 이하에서, 페이스트 패턴이 형성되는 제1 기판 또는 제2 기판을 통칭하여 기판이라 한다.

도 1은 기판에 페이스트 패턴을 형성하는 실 디스펜서(seal dispenser)의 일예를 도시한 사시도이다.

상기 실 디스펜서는 베이스 프레임(100)과, 상기 베이스 프레임(100)에 움직임 가능하게 설치되며 기판이 놓여지는 스테이지(200)와, 상기 스테이지(200)를 구동시키는 제1 구동 유닛(300)과, 상기 베이스 프레임(100)에 움직임 가능하게 설치 되는 헤드 프레임(400)과, 상기 헤드 프레임(400)을 구동시키는 제2 구동 유닛(500)과, 상기 헤드 프레임(400)에 움직임 가능하게 장착되며, 페이스트가 토출되는 복수 개의 헤드 유닛(600)들과, 상기 헤드 유닛(600)들을 구동시키는 제3 구동 유닛(700)과, 상기 구성 요소들의 작동을 제어하는 제어 유닛(미도시)을 포함한다.

상기 헤드 프레임(400)은 일정 길이를 갖는 수평부(410)와 상기 수평부(410)의 양단에 각각 연장 절곡되는 수직부(420)들을 포함한다. 상기 수직부(420)들은 각각 상기 베이스 프레임(100)에 움직임 가능하게 결합된다. 상기 수평부(410)는 상기 스테이지(200)를 가로지르도록 그 스테이지(200)의 상측에 위치한다.

상기 헤드 유닛(600)은 상기 수평부(410)에 X 방향으로 움직임 가능하게 장착된다.

상기 제2 구동 유닛(500)이 작동하여 상기 헤드 프레임(400)이 Y축 방향으로 직선으로 움직이고, 상기 제3 구동 유닛(700)이 작동하여 상기 헤드 유닛(600)이 헤드 프레임(400)의 수평부(410)를 따라 X축 방향으로 직선으로 움직인다.

상기 헤드 유닛(600)은, 도 2, 3에 도시한 바와 같이, 상기 수평부(410)에 움직임 가능하게 결합되는 베이스 부재(610)와, 상기 베이스 부재(610)에 결합되는 헤드 블록(620)과, 상기 헤드 블록(620)에 착탈 가능하게 결합되며, 내부에 페이스트가 채워진 시린지(syringe)(630)와, 상기 시린지(630)의 단부에 구비되며 시린지(630) 내부에 채워진 페이스트가 외부로 빠져나오는 노즐(640)과, 상기 헤드 블록(620)에 고정되게 장착되며, 상기 노즐(640)을 통해 빠져나온 페이스트가 도포 될 기판(10)의 면(이하, 도포면이라 함)(11)과 상기 노즐 사이의 갭(gap; 간격)을 측정하는 제1 측정 유닛(650)과, 상기 헤드 블록(620)에 장착되며, 상기 제1 측정 유닛(650)에서 측정된 값을 기준으로 상기 노즐(640)의 끝과 도포면 사이의 간격이 일정하게 유지되도록 노즐(640)을 Z축 방향(상,하방향)으로 움직이는 간격 조절유닛(660)을 포함한다.

상기 제1 측정 유닛(650)은 헤드 유닛(600)을 구성하는 헤드 블록(620)에 고정되므로 상기 헤드 유닛(600)이 입력된 기준 패턴 데이터에 따라 움직이게 되면 그 제1 측정 유닛(650)도 입력된 기준 패턴 데이터에 따라 움직이게 된다. 그 제1 측정 유닛(650)은 입력된 기준 패턴 데이터에 따라 움직이면서 그 상기 노즐(640)과 기판 도포면 사이의 갭을 연속적으로 측정한다.

상기한 바와 같은 실 디스펜서의 작동을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상기 스테이지(200)의 상면에 기판(10)이 놓여지게 된다. 상기 헤드 유닛(600)의 노즐(640)이 기판(10) 위에서 입력된 기준 패턴 데이터에 따라 움직이도록 상기 제2 구동 유닛(500)과 제3 구동 유닛(700)이 작동한다. 상기 헤드 유닛(600)의 노즐(640)이 입력된 기준 패턴 데이터에 따라 움직이면서 페이스트를 토출시키게 된다. 상기 노즐(640)에서 토출된 페이스트는 기준 패턴으로 기판(10) 위에 도포된다. 기준 패턴 데이터를 따라 그 기판(10)위에 도포된 페이스트를 페이스트 패턴으로 정의한다. 페이스트 패턴은, 기준 패턴 데이터에 따라 다르지만, 보통 네 개의 직선 라인으로 이루어진 사각형이다.

상기 노즐(640)이 기준 패턴 데이터를 따라 움직일 때 상기 헤드 유닛(600) 에 구비된 제1 측정 유닛(650)이 기판(10)의 도포면(11)과 그 노즐(640) 사이의 간격을 측정하게 되며, 그 측정된 값을 기준으로 간격 조절유닛(660)이 노즐(640)의 끝과 도포면(11)의 수직 거리를 일정하게 유지시키게 된다.

상기 기판(10) 위에 페이스트 패턴이 형성되면 그 페이스트 패턴의 불량 여부를 검사하게 된다.

상기 페이스트 패턴을 검사하는 방법 중의 하나로, 상기 헤드 블록(620)에 카메라(미도시)가 구비되며, 작업자가 카메라를 이용하여 불량 부분 존재 유무를 확인하기 위하여 페이스트 패턴의 전체를 육안 검사를 한다. 불량 부분이 발견된 경우에는 보정작업을 한다.

만약, 불량 부분 보정작업이 불가능할 경우 그 사각형의 불량 페이스트 패턴 내부 영역에 액정토출 작업을 진행하지 않는다.

그러나 상기한 바와 같이 기판에 도포된 페이스트 패턴을 검사하는 방법은 작업자가 페이스트 패턴의 전체를 검사하게 되므로 페이스트 패턴을 검사하는 시간이 많이 소요된다.

본 발명의 목적은 기판에 형성된 페이스트 패턴을 쉽고 빠르게 검사하는 것이다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은

기준 패턴 데이터를 입력하는 단계와, 상기 기준 패턴 데이터에 따라 헤드 유닛이 움직이는 동안 그 헤드 유닛에 구비된 측정 유닛이 상기 기준 패턴 데이터에 따라 페이스트가 도포되는 기판의 도포면과 상기 헤드 유닛에 구비된 노즐 사이의 갭을 연속적으로 측정한 갭 데이터를 저장하는 단계와, 상기 갭 데이터에 따라 상기 노즐이 상 또는 하로 움직여 도포면과 일정 갭을 유지하면서 페이스트를 토출하여 페이스트 패턴을 기판에 형성하는 단계와, 상기 기준 패턴 데이터에 기반한 기준 패턴 이미지와 상기 캡 데이타에 기반한 갭 패턴 이미지를 중첩시켜 디스플레이하는 단계를 포함하는 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법이 제공된다.

상기 갭 데이터는 설정된 갭을 기준으로 음의 수치와 양의 수치로 표시될 수 있다.

상기 기준 패턴 이미지를 배경으로 상기 갭 패턴 이미지을 디스플레이할 때 그 갭 패턴 이미지는 설정된 갭과 일치하는 지점과 그 설정된 갭보다 작은 지점과 그 설정된 갭보다 큰 지점으로 구분되어 표시될 수 있다.

상기 기준 패턴 이미지를 배경으로 갭 패턴 이미지을 디스플레이할 때 상기 기판 도포면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭과 일치하는 경우 기준 패턴 이미지를 이루는 라인과 일치하게 표시되고, 상기 기판 도표면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭보다 작은 경우 그 기준 패턴 이미지를 이루는 라인과 떨어지게 그 라인의 한쪽에 표시되며, 상기 기판 도표면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭보다 큰 경우 그 기준 패턴 이미지를 이루는 라인과 떨어지게 다른 한쪽에 표시될 수 있다.

상기 갭 패턴 이미지는 설정된 갭보다 작은 부분과 큰 부분이 각각 색으로 표시되는 것이 바람직하다.

상기 갭 패턴 이미지는 설정된 갭보다 작은 부분과 큰 부분이 각각 색으로 표시되며, 그 색은 서로 다른 것이 바람직하다.

상기 갭 패턴 이미지는 설정된 갭보다 작은 부분과 큰 부분이 각각 색으로 표시되며, 그 설정된 갭으로부터 점점 차이가 클수록 그 색이 점점 진하게 표시되는 것이 바람직하다.

본 발명은 기준 패턴 데이터에 따라 노즐이 움직이면서 페이스트를 토출시켜 기판에 페이스트 패턴을 형성하고 그 페이스트 패턴이 형성된 기판 도포면과 노즐 사이의 갭을 나타내는 갭 데이터와 기준 패턴 데이터를 중첩시켜 모니터에 기준 패턴 이미지를 배경으로 갭 패턴 이미지를 디스플레이하여 육안으로 페이스트 패턴의 도포 상태를 파악(예측)할 수 있다. 이와 같이, 기준 패턴 이미지를 배경으로 갭 패턴 이미지가 디스플레이된 모니터 화면으로 페이스트 패턴의 도포 상태를 파악하게 되어 검사 영역을 쉽고 빠르게 설정(결정)할 수 있다.

상기 모니터에 기준 패턴 이미지를 배경으로 갭 패턴 이미지를 디스플레이할 때 그 갭 패턴 이미지가 색으로 표시되거나 그 설정된 갭과의 차에 따라 색의 짙음과 엷음을 주게 되면 그 검사 영역을 설정하는데 보다 쉽게 된다.

또한, 본 발명은 페이스트 패턴의 전체 영역을 검사하지 않고 설정된 검사 영역(들)만을 검사할 수 있게 되므로 페이스트 패턴을 검사하는 시간이 단축된다.

이하, 본 발명의 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명의 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법의 일실시예를 도시한 순서도이다.

본 발명의 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법의 일실시예는 실(페이스트) 디스펜서에 적용될 수 있다. 상기 실 디스펜서의 일예로, 위에서 설명한 실 디스펜서이며, 이하에서 위에서 설명한 실 디스펜서에 적용된 경우에 대하여 설명한다. 상기 실 디스펜서에 대한 구체적인 설명은 위에서 언급하였으므로 생략한다.

도 4에 도시한 바와 같이, 상기 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법의 일실시예는 먼저, 스테이지(200)에 기판(10)이 놓여진다.

상기 제어 유닛에 기준 패턴 데이터가 입력된다. 상기 기준 패턴 데이터에 따라 노즐(640)이 움직이면서 노즐(640)을 통해 페이스트가 토출되어 기판(10)에 페이스트 패턴을 형성하게 된다.

상기 기준 패턴 이미지의 일예로, 그 기준 패턴 이미지는 네 개의 직선 라인들이 하나로 연결된 사각형이다. 상기 기준 패턴 이미지는 다양한 형태로 설정될 수 있다. 이하에서, 기준 패턴 이미지가 사각형인 경우에 대하여 설명한다.

상기 헤드 유닛(600)에 구비된 노즐(640)이 입력된 기준 패턴 데이터를 따라 움직이도록 상기 제2 구동 유닛(500)과 제3 구동 유닛(700)이 작동하여 상기 헤드 유닛(600)을 움직이게 된다. 상기 헤드 유닛(600)의 노즐(640)이 기준 패턴 데이터를 따라 움직이면서 그 노즐(640)에서 페이스트가 토출되어 기판(10)에 기준 패턴 이미지으로 페이스트가 도포된다. 이와 같은 과정을 상세하게 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상기 노즐(640)이 기준 패턴 데이터를 따라 움직이도록 상기 헤드 유닛(600)이 움직이면서 그 헤드 유닛(600)에 구비된 제1 측정 유닛(650)이 기준 패턴 데이터에 따라 페이스트가 도포될 기판(10)의 도포면(도포 라인)과 상기 노즐(640) 사이의 갭을 연속적으로 측정하게 된다.

상기 제1 측정 유닛(650)의 일예로, 그 제1 측정 유닛은 레이저 센서(레이저 변위센서)인 것이 바람직하다. 상기 레이저 센서는 상기 노즐과 인접하도록 헤드 블록(620)에 고정 결합된다.

상기 레이저 센서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 기판(10)에 대하여 경사지게 헤드 블록(620)에 위치하여 그 기판(10)에 레이저 빔을 발광하는 발광부(651)와, 그 기판(10)에 대하여 경사지게 헤드 블록(620)에 위치하여 기판(10)에 반사되는 레이저 빔을 수광하는 수광부(652)와,상기 수광부(652)에 수광되는 레이저 빔의 수광 지점을 전기 신호로 변환하여 레이저 센서와 기판(10)의 도포면 사이의 갭을 출력하는 출력부(미도시)를 포함한다.

상기 레이저 센서가 상기 헤드 유닛(600)의 움직임에 따라 함께 움직이면서 발광부(651)에서 레이저 빔을 지속적으로 기판(10)의 도포면(11)에 발광하고 그 도포면(11)에서 반사되는 레이저 빔을 수광부(652)가 수광하면서 도포면(11)과 노즐 사이의 거리, 즉 갭을 연속적으로 센싱하게 된다. 그 연속적으로 센싱된 갭 데이터는 제어 유닛의 저장부에 저장된다.

상기 갭 데이터는 설정된 갭을 기준으로 그 설정된 갭보다 크면 양의 수치로 표시되고 그 설정된 갭보다 작으면 음의 수치로 표시됨이 바람직하다.

이와 같은 갭 데이터는, 도 5에 도시한 바와 같이, 그래프로 표시될 수 있으며, 그 그래프의 X축은 기준 패턴 데이터를 따라 노즐(또는 제1 측정 유닛)이 움직이는 경로를 나타내며, 그래프의 Y축은 노즐과 기판 도포면 사이의 갭을 나타낸다. 그래프에서 X축의 임의의 점(위치)에서 Y축의 수치는 기준 패턴 이미지의 임의의 위치에서 그 제1 측정 유닛과 기판 도포면 사이의 갭을 나타내는 것이다.

만일, 기준 패턴 이미지의 임의의 지점(위치)에서 Y축의 수치가 -3이면 그 기준 패턴 이미지의 임의의 지점에 해당되는 기판 도포면(11)의 지점(위치)과 상기 노즐(640) 사이의 갭이 설정된 갭보다 작은 것이다. 즉, 설정된 갭이 40 마이크로 미터라고 하면 기준 패턴 이미지의 임의의 지점에서 Y축의 수치가 -3이면 그 기준 패턴 이미지의 임의의 지점에 해당되는 기판 도포면(11)의 지점(위치)과 상기 노즐(640) 사이의 갭이 37 마이크로 미터인 것이다.

상기 노즐(640)은 헤드 유닛(600)이 X,Y 방향으로 움직임에 따라 함께 움직인다. 동시에, 상기 제1 측정 유닛(650)에 의해 측정되는 갭 데이터에 따라 그 노즐(640)이 상하로 움직이면서 기판 도포면(11)과 일정 간격을 유지하게 된다. 상기 노즐(640)을 통해 페이스트가 토출된다. 상기 기판(10)에 형성된 페이스트 패턴을 이루는 패턴 라인의 폭과 높이를 일정하게 하기 위하여 그 노즐(640)이 기판 도포면과 일정 간격을 유지하여야 한다.

그리고, 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 기준 패턴 데이터와 갭 데이터를 중첩시켜 그 기준 패턴 데이터에 의해 형성된 기준 패턴 이미지(P)를 배경으로 갭 데이터에 의해 형성된 갭 패턴 이미지(G)를 표시장치에 디스플레이한다. 상기 표시 장치는 모니터인 것이 바람직하다.

상기 기준 패턴 이미지(P)이 네 개의 패턴 라인들이 연결된 사각형이면 그 기준 패턴 이미지(P)에 따라 페이스트가 도포되는 도포면(도포 라인)에 대한 형상이 기준 패턴 이미지(P)과 일치하는 사각형이므로 그 기판 도포면과 노즐(640) 사이의 갭 데이터를 기준 패턴 데이터와 중첩시키게 되면 기준 패턴 이미지(P)를 기준으로 갭 패턴 이미지(G)가 모니터에 디스플레이된다.

상기 기준 패턴 이미지(P)를 배경으로 상기 갭 패턴 이미지(G)를 디스플레이할 때 설정된 갭과 일치하는 지점과 그 설정된 갭보다 작은 지점과 그 설정된 갭보다 큰 지점으로 구분되어 표시된다. 상기 기판 도포면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭과 일치하는 경우 기준 패턴 이미지(P)를 이루는 라인과 일치하게 표시되고, 상기 기판 도표면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭보다 작은 경우 그 기준 패턴 이미지(P)를 이루는 라인과 떨어지게 그 라인의 한쪽에 표시되며, 상기 기판 도표면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭보다 큰 경우 그 기준 패턴 이미지(P)를 이루는 라인과 떨어지게 다른 한쪽에 표시된다.

예를 들면, 기준 패턴 이미지(P)의 임의의 지점(위치) P1에 해당되는 기판 도포면의 지점에서의 갭이 설정된 갭과 같을 때 그 P1에서 갭 데이터는 '0'으로 그 P1에서의 좌표점이 사각형 기준 패턴 이미지(P)를 이루는 라인에 표시된다. 그리고 기준 패턴 이미지(P)의 임의의 지점 P2에 해당되는 기판 도포면의 지점에서의 갭이 설정된 갭보다 작을 때 그 P2에서 갭 데이터는 '-' 로 그 P2에서의 좌표점이 사각형 기준 패턴 이미지(P)의 외부 영역에 표시된다. 그리고 기준 패턴 이미지(P)의 임의의 지점 P3에 해당되는 기판 도포면의 지점에서의 갭이 설정된 갭보다 클 때 그 P3에서 갭 데이터가 '+'로 그 P3에서의 좌표점이 사각형 기준 패턴 이미지(P)의 내부 영역에 표시된다.

반대로, 기판 도포면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭보다 클 때 그 지점의 좌표점이 사각형 기준 패턴 이미지(P)의 외부 영역에 표시되며, 기판 도포면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭보다 작을 때 그 지점의 좌표점이 사각형 기준 패턴 이미지(P)의 내부 영역에 표시될 수 있다.

상기 갭 패턴 이미지(G)은 색으로 표시됨이 바람직하다. 즉, 갭 패턴 이미지(G)를 형성하는 갭 데이터에서 설정된 갭보다 큰 데이터 값들과 작은 데이터 값들을 갖는 부분은 각각 색으로 표시된다. 그 색들은 서로 다른 것으로 할 수 있고 서로 같은 것으로 할 수 있으나, 그 색들은 서로 다른 것으로 하는 것이 바람직하다. 그 일예로, 갭 패턴 이미지(G)를 형성하는 갭 데이터에서 설정된 갭보다 큰 데이터 값들을 갖는 부분은 빨간색으로 표시하고, 설정된 갭보다 작은 데이터 값들을 갖는 부분은 파란색으로 표시할 수 있다. 그 반대로, 갭 데이터에서 설정된 갭보다 큰 데이터 값들을 갖는 부분을 파란색으로 표시하고, 갭 데이터에서 설정된 갭보다 작은 데이터 값들을 갖는 부분을 빨간색으로 표시할 수 있다.

상기 갭 패턴 이미지(G)를 형성하는 갭 데이터에서 설정된 갭보다 큰 데이터 값들과 작은 데이터 값들을 갖는 부분은 각각 색으로 표시하며, 그 설정된 갭보다 차이가 클수록 그 색이 점점 진하게 표시되는 것이 바람직하다.

이와 같이, 기준 패턴 이미지(P)를 배경으로 갭 패턴 이미지(G)를 모니터에 디스플레이한 다음 작업자가 육안으로 확인하여 갭 패턴 이미지(G)에서 설정된 갭과 차이가 많은 부분(설정된 영역의 밖의 부분)들을 선택하고 기판(10)에 형성된 페이스트 패턴에서 그 선택된 부분(이하, 검사 영역이라 함)들에 해당되는 부분들을 검사하게 된다.

상기 검사 영역을 설정시 모니터에 디스플레이된 갭 패턴 이미지(G)에서 색의 짙고 엷음이 표시될 경우 색이 진한 부분(들)을 설정하게 된다.

상기 페이스트 패턴의 검사 영역(들)을 검사하는 방법은 다양하다. 그 일예로, 작업자가 카메라를 검사 영역에 포커싱하여 육안으로 검사하게 된다.

상기 검사 영역에 대한 검사를 작업자가 직접하지 않고 그 검사 영역을 자동 으로 검사할 수 있다. 즉, 헤드 유닛(600)에 페이스트 패턴의 단면적을 측정하는 제2 측정 유닛을 장착한다. 그리고 헤드 유닛이 그 검사 영역으로 이동하여 그 헤드 유닛에 장착된 제2 측정 유닛이 검사 영역에 해당되는 페이스트 패턴의 단면적을 측정하고 그 측정된 단면적으로 불량 여부를 판단하게 된다. 상기 선택된 검사 영역의 위치는 자동으로 제어 유닛에 입력된다.

페이스트 패턴의 검사 영역을 검사한 후 그 검사 영역이 불량일 경우 그 불량 부분을 보정하게 되고, 그 불량 부분의 보정이 불가능하게 될 경우 그 불량 부분이 갖는 페이스트 패턴에 대하여 액정 적하 작업이 진행되지 않도록 한다.

상기 헤드 유닛(600)이 기준 패턴 데이터를 따라 움직일 때 상기 기판의 도포면과 노즐(640) 끝 사이의 갭이 항상 일정하지 않은 이유는 기판 도포면의 높낮이가 일정하지 않거나, 헤드 유닛이 움직일 때 진동이 발생되거나, 그 헤드 유닛을 가이드하는 가이드 부재의 가공 정밀도가 떨어지기 때문이다. 이와 같이 노즐 끝과 기판의 도포면 사이의 간격이 항상 일정하지 않을 경우 그 노즐(640)을 통해 빠져나온 페이스트가 기판의 도포면에 형성된 페이스트 패턴의 단면적이 항상 일정하지 않게 된다. 따라서 제1 측정 유닛(650)으로 기판 도포면과 그 노즐(640) 사이의 갭을 연속적으로 측정하면서 그 측정한 갭 데이터를 근거로 노즐(640)의 끝과 기판 도포면이 항상 일정한 갭을 유지하도록 그 노즐(640)을 상 또는 하로 움직이게 된다. 하지만, 제1 측정 유닛(650)과 기판 도포면 사이의 갭 변화가 큰 부분에서는 노즐(640)의 상하 움직임이 크게 되므로 그 부분에 해당되는 페이스트 패턴 부분은 단면적이 일정하지 않을 확률이 크게 되므로 검사대상부분이 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 기준 패턴 데이터에 따라 노즐(640)이 움직이면서 페이스트를 토출시켜 기판(10)에 페이스트 패턴을 형성하고 그 페이스트 패턴이 형성된 기판 도포면과 노즐(640) 사이의 갭을 나타내는 갭 데이터와 기준 패턴 데이터를 중첩시켜 모니터에 기준 패턴 이미지를 배경으로 갭 패턴 이미지를 디스플레이하여 육안으로 페이스트 패턴의 도포 상태를 파악(예측)할 수 있다. 이와 같이, 모니터에 기준 패턴 이미지를 배경으로 갭 패턴 이미지가 디스플레이된 화면으로 페이스트 패턴의 도포 상태를 파악하게 되어 검사 영역을 쉽고 빠르게 설정(결정)할 수 있다.

상기 모니터에 기준 패턴 이미지를 배경으로 갭 패턴 이미지를 디스플레이할 때 그 갭 패턴 이미지가 색으로 표시되거나 그 설정된 갭과의 차에 따라 색의 강도를 주게 되면 그 검사 영역을 설정하는데 보다 쉽게 된다.

도 1은 일반적인 실 디스펜서의 일예를 도시한 사시도,

도 2는 상기 실 디스펜서의 헤드 유닛을 도시한 사시도,

도 3은 상기 실 디스펜서의 헤드 유닛을 도시한 정면도,

도 4는 본 발명의 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법의 일실시예를 도시한 순서도,

도 5는 측정 유닛과 기판 도포면 사이의 갭 데이터를 도시한 그래프,

도 6은 상기 기준 패턴 데이터와 갭 데이터를 중첩시켜 입력된 기준 패턴 이미지를 배경으로 갭 패턴 이미지를 디스플레이한 화면.

Claims

기준 패턴 데이터를 입력하는 단계;

상기 기준 패턴 데이터에 따라 헤드 유닛이 움직이는 동안 그 헤드 유닛에 구비된 측정 유닛이 상기 기준 패턴 데이터에 따라 페이스트가 도포되는 기판의 도포면과 상기 헤드 유닛에 구비된 노즐 사이의 갭을 연속적으로 측정한 갭 데이터를 저장하는 단계;

상기 갭 데이터에 따라 상기 노즐이 상 또는 하로 움직여 도포면과 일정 갭을 유지하면서 페이스트를 토출하여 페이스트 패턴을 기판에 형성하는 단계;

상기 기준 패턴 데이터에 기반한 기준 패턴 이미지와 상기 캡 데이타에 기반한 갭 패턴 이미지를 중첩시켜 디스플레이하는 단계를 포함하는 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법.
제 1 항에 있어서, 상기 갭 데이터는 설정된 갭을 기준으로 그 설정된 갭보다 크면 양의 수치로 표시되고 그 설정된 갭보다 작으면 음의 수치로 표시되는 것을 특징으로 하는 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법.
제 1 항에 있어서, 상기 기준 패턴 이미지를 배경으로 상기 갭 패턴 이미지를 디스플레이할 때 상기 갭 패턴 이미지는 설정된 갭과 일치하는 지점과 그 설정된 갭보다 작은 지점과 그 설정된 갭보다 큰 지점으로 구분되어 표시되는 것을 특 징으로 하는 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법.
제 1 항에 있어서, 상기 기준 패턴 이미지를 배경으로 갭 패턴 이미지를 디스플레이할 때 상기 기판 도포면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭과 일치하는 경우 기준 패턴 이미지를 이루는 라인과 일치하게 표시되고, 상기 기판 도표면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭보다 작은 경우 그 기준 패턴 이미지를 이루는 라인과 떨어지게 그 라인의 한쪽에 표시되며, 상기 기판 도표면의 임의의 지점에서의 갭이 설정된 갭보다 큰 경우 그 기준 패턴 이미지를 이루는 라인과 떨어지게 다른 한쪽에 표시되는 것을 특징으로 하는 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법.
제 4 항에 있어서, 상기 갭 패턴 이미지는 설정된 갭보다 작은 부분과 큰 부분이 각각 색으로 표시되는 것을 특징으로 하는 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법.
제 4 항에 있어서, 상기 갭 패턴 이미지는 설정된 갭보다 작은 부분과 큰 부분이 각각 색으로 표시되며, 그 색은 서로 다른 것을 특징으로 하는 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법.
제 4 항에 있어서, 상기 갭 패턴 이미지는 설정된 갭보다 작은 부분과 큰 부 분이 각각 색으로 표시되며, 그 설정된 갭에서 점점 차이가 클수록 그 색이 점점 진하게 표시되는 것을 특징으로 하는 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법.