TW201013177A - Method for selecting what region of paste pattern is to be inspected - Google Patents

Description

201013177 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於選擇形成於母基板上的膠圖案之欲 檢測區之方法。 【先前技術】 液晶為結晶固體與等向液體間之中間相，並結合了 φ 晶體結構與可變形液體的某些特性。液晶顯示器(LCD) ' 利用液晶的流動性及其結晶特性有關的異向性。LCD應 用於手機、可攜式電腦、桌上型監視器、以&LCD電視。 LCD包含TFT陣列基板、彩色濾光片陣列基板、 以及夾於其間之液晶層。 藉由控制施加於各晝素液晶層之電壓，可容許光以 各種量通過而構成不同的灰階。 參 密封劑(或膠)塗佈機用以形成膠圖案於TFT陣列基 板或彩色濾光片陣列基板，其於後稱之為母基板。膠圖 案用以將TFT陣列基板及彩色濾光片陣列基板附接。 圖1為密封劑塗佈機之透視圖。 密封劑塗佈機包含主框架1〇〇、可移動地提供於主 201013177 2架100上之平台200，而基板將設置於其上、驅動平 台、200之ί 一驅動單元300、可移動地提供於主框架100 之塗佈頭單元支撐框40〇、驅動塗佈頭單元支撐框400 之第二驅動單元5⑻、可雜地提供於塗佈頭單元支撲 框400之複數個塗佈頭單元6〇〇、驅動塗佈頭單元6〇〇 之第三驅動單元7⑻、以及控制第… 動單元之_單元(摘示）。

塗佈頭單元支撐框4〇〇包含水平部41〇及垂直部 各自水平部410的兩端向下延伸。垂直部々so可 移動地連接到主框架100。水平部410位於橫跨平台2〇〇 上方。 塗佈頭單元600提供於水平部410，使得塗佈頭單 元600可移動於又軸方向。 第二驅動單元5〇〇操作以直線移動塗佈頭單元支撐 框400於γ轴方向。第三驅動單元7〇〇操作以沿水平部 410直線移動塗佈頭單元6〇〇於又軸方向。 如圖2及圖3所示，塗佈鮮元_包含可移動地 提供於水平部410之基件_、連接到基件61〇之頭塊 620、可^拆卸地附接到頭塊620之含膠注射器630、提供 於注射器630之一端的噴嘴64〇，透過喷嘴64〇可自注 7 201013177 射器630排出膠、量測喷嘴_與母基板欲塗佈膠之塗 佈表面間之垂直距離之第-量測單元咖、以及距離調 整單兀670，其利用第-量測單元65〇所得之資料向上 及向下移動喷嘴64G於Z軸方向’以轉喷嘴_及母 基板之塗佈表面間之預定距離。 塗佈頭單元_根據輸入的參考圖案資料移動。於 此時，第-量測單元650與塗佈頭單元㈣、 此乃因第-量測單元65〇是安裝在塗佈頭象元_之 塊620上。結果第一量測單元㈣根 資料移動。第-量測單元㈣於移動時持續地 640與母基板之塗佈表面間之距離。 、j噴嘴 現將說明具有上述組態之密封劑塗佈機的操作。 母基板10設置於平台2〇〇上。第二 ^通及操作以根據輸入的參考圖案資料 佈頭早7C _之喷嘴64〇於χ轴及動塗 動時，透過喷嘴640排出膠，結果 巧入參考圖案資料之膠圖案於母基板10 』應 據輸入的參相輯料變化 :根 此連接成直角所構成。 條直圖案線彼 機(未顯 然而’作業員必須利用提供於頭塊620之相 8 201013177 示）’肉眼檢測膠圖案，以決定形成於母基板1〇上之膠 圖案的高度及寬度是否在敢公差内。當發現膠圖案某 區域有缺陷時’必須於膠圖案的缺陷區重做。當缺陷膠 圖案不能重做時’避免進—步將減液滴剩缺陷膠圖 案内。 以肉眼100%檢測所有的膠圖案區域是非常耗時的 ❹ 參 【發明内容】 因此，本發明之-目的在於制且輕易地選擇形 於母基板上之膠圖案之欲檢測區。 根據本發明之-方面，提供—種 土之膠圖案之欲檢測區之方法，本方法包含=板 提供於塗佈頭單元之喷嘴間之距離之資料， 佈頭單元根據輸入的參考圖荦資料 為塗 佈頭單元之吾，—：： 科移動時’由提供於塗 持續地量測:當根據距離之資料向 =2:”母基板欲塗佈勝之输面與 上及向下移料嘴而維持㈣表面===向 離時，藉由排φ挪二$嘴間之預定距 圖案於=對fr的參考圖案資料之膠 以及基於參考圖案資料之圖案影像，且影像 背景。 五以圖案影像作為 201013177 距離之資财相較於敎雜，以貞數或正數表

當關絲像為背景顯科’可將距轉像顯示成 l含以下各關線：喷嘴與㈣表關之制距離與預 ^巨離相同之點、嘴嘴與塗佈表面間之量測距離小於預 =距離之點、以及喷嘴與塗佈表面間之量測距離大於預 疋距離之點。

以圖案影料背景顯示之距轉像中，當嘴嘴與塗 =表面間之量難_預定距離綱時，可於構成圖案 =之:,直圖案線上顯示零⑼差異’當喷嘴與塗佈表 „案線之内或之外顯示差異，以及當噴嘴盘=ί面t量測距離大於預定距離時，可於構成圖案影像 之四條直圖案線之外或之内顯示差異。 x、 間的=離影像中’可以顏色表示量測距離與預定距 離 於距離影像中，可以不同顏色表示量 距離間的正差異與負差異。 測距離與預定 於距離影像中， 量測距離與預定距離間之差異越大 201013177 時，可以越深的顏色表示差異。 根據本發明，因為以圖案影像為背景 嘴及母基板之塗佈表面間之距離之夕、缺^土；噴 及基於參考_ 之圖_像，可$ = ’以 形成於母紐JL。 轉圖案如何 ❹ 案之欲檢測區 圖 正或負距

再者，以顏色表示塗佈表面及喷嘴間之 離’而辨識出膠圖案之欲檢測區。 B 式，將更清楚了 、及優點。 式’將詳細說明 參考本發明以下詳細說明及伴隨圖 解本發明前述及其他目的、特徵、觀點

【實施方式】 現參考本發明較佳實施例及伴隨圖 本發明範例。 圖4為根據本發明實施例，顯示選擇形成於母美板 上之膠圖案之欲檢測區之方法之流程圖。 ' 土 本發明實施例可用於如習知技術所述之密封劑（或 11 201013177 膠)塗佈機。 如圖4所不，母基板1〇置於平台200上。 將參考圖案資料輸入到控制單元。根據輸入的參考 圖案資料，移動塗佈頭單元600之噴嘴640，以透過喷 嘴640排出膠而形成膠圖案於母基板上。 參考圖案根據輪入的參考圖案資料變化t 為便於說明，饭设參考圖案由四條膠直圖案線彼此 連接成直角所構成。 第二及第三驅動單元500及7〇〇操作以根據參考圖 案資料’移動塗佈頭單元600之喷嘴640。當根據輸入 的參考圖案資料移動塗佈頭單元6〇〇之噴嘴64〇時，透 ❹ 過喷嘴64〇排出膠而形成膠圖案於母基板1〇上。 現將描述塗佈操作。 當根據輸入的參考圖案資料移動塗佈頭單元6〇〇之 喷嘴640時，提供於塗佈頭單元6〇〇之第一量測單元65〇 持續地量麟基板10欲塗佈膠之塗佈表面與噴嘴_ 間之距離。 ^ ' 12 201013177 第一量測單元650可包含雷射位移感測器。雷射感 測器可固定地安裝於頭塊620，使雷射位移感測器位於 鄰近喷嘴640。 如圖3所示，雷射位移感測器包含發射雷射光束到 母基板10之發射部651，其安裝於頭塊620而使發射部 651與母基板1〇間有一夹角、接收自基板1〇反射之雷 射光束之接收部652，_其安裝於頭塊620而使接收部652 與母基板10間有一夾角、以及輸出部(未顯示），其將雷 射光束到達接收部652之點的位置資料，轉化為表示塗 佈表面與喷嘴間之距離之資料的電訊號，並輸出電訊 號。 雷射位移感測器藉由使發射部651持續發射雷射光 束到母基板10之塗佈表面1丨，並使接收部652接收自 塗佈表面11反射之雷射光束，來感測塗佈表面Η與喷 嘴640間之距離。可利用嘴嘴64〇與雷射位移感測器間 之垂直距離以及雷射位移感測器與塗佈表面u間之距 離，而得到塗佈表面11與噴嘴64〇間之距離。 距離之資料可相較於預定距離，以負或正數表示。 如圖5所示’距離之資料缚示成連接線圖式。圖式 13 201013177 的X轴表示噴嘴(或第一量測單元)根據參考圖案資料之 路徑，而圖式γ軸表示噴嘴與塗佈表面u間之量測距 離與預統離之S異。於圖式中呈現x鱗定點之 與塗佈表面11間之距離。 當於X轴特定點之γ軸值為_3時，對應χ輛特定 點之喷嘴640與塗佈表面u間之距離為小於預定距離。 亦即，若假設預定距離為4〇微米，則對應χ軸特定點 -之噴嘴640與在表面11這點間的距離為37微米。 喷嘴640隨著塗佈頭單元6〇〇移動於χ軸或γ軸方 向。虽根據第-量測單元65〇所得之距離之資料，向上 及向下移動喷嘴640¾維持喷嘴_與塗佈表面”間之 預定距離時’透過喷嘴_排祕。喷嘴_及塗佈表 面11間之預定距離必須持續地維持，以使膠圖案之 線的寬度及高度維持一致。 ” 如圖6所不’距離之資料之距離影像G顯示於顯示 早=而基於參考圖案資料之圖案影像Ρ則為背景。顯 示早元可包含監視器。 、右圖案影像Ρ由四條直圖案線彼此連接成直角所構 成安則形成由四條朗錄彼此連接成直角所構成之勝 圖”於母基板上。目此，以與膠圖餘同之圖案影像Ρ 201013177 為背景’顯示距離影像G於監視器上 以圖案影像P為背景之距離影像G中，當喷嘴與塗 佈，面11間之量測距離與預定距離相同時，可於構成圖 案影像P之四條直圖案線上顯示「零(0)」差異，當喷嘴 與塗伟表面11間之制雜λ!、於就距離時，可於構成 圖案影像Ρ之畴直_線之内或之外顯示此差異，以 =當嘴嘴與塗佈表面11間之量酿離大於預定距離 二，可於構成圖案影像Ρ之四條直圖案線之外或之内顯 示此差異。 舉例而§，當噴嘴與塗佈表面u之特定點(其對應 參考圖案影像P之特定點Ρ·之距離與預定距離相同 時，於特定點P1之距離表示為「〇」且在參考圖案影像 P之直圖案線上。當喷嘴與塗佈表面11之特定點(其對 % 4參考圖案影像P之特定點P2)間之距離小於預定距離 時，於特定點P2之距離表示為「_(負）」且在參考圖案 影像P之直圖案線之外。當喷嘴與塗佈表面n之特定 點(其對應參考圖案影像P之特定點P3)間之距離大於預 定距離時，於特定點P3之距離表示為「+(正)」且在參 考圖案影像P之直圖案線之内。 ^ 此外，當喷嘴與塗佈表面11之特定點(其對應夂考 圖案影像P之特定點P2)間之距離小於預定距離^於 15

雜息測距離與預定距離間之距離差異 公差為預定轉之正偏差或負偏差。赶 離偏差資料利用狀距離減去量測距離與雙邊公 ;和而得。舉例而言，假設喰嵴命洛从士―一 201013177 特定點P2之距離可表示為「_(負）」且在參考圖案影像p 之直圖案線之内。當喷嘴與塗佈表© 11之特定點(其對 應參考圖絲像p之特定點？3)間之_大於預定距離 時，於特定點P3之雜絲為「+㈤」且在參考圖案 影像P之直圖案線之外。 '、 於距離影像G巾’可喃色総L離與預定距 離間之差異。量測距離與預歧離間之正差異及負差 異’可以不同顏色表示。舉例而言，以紅色表示異， 3藍色表示負差異，或反之亦然。再者，可以相同顏 色表示量測距離與預定距離間之正差異及負差異。 於距_像G巾，量測雜_定距關之差 大時，可以越深的顏色表示此差異。 越 =和而仔。舉_言，假設噴嘴與塗佈表面 =距，量測為48微米，而預定距離設為40微Π ^邊么差设為4微米(公差範圍為％至44)。於此 中，喷嘴與塗佈表面u此 、案例 …因此，以基於參考離偏差資料為 基於距離偏差㈣之輯影Μ =像為背景，將 办彳冢ϋ顯不於監視器。可以顏 201013177 色顯示基於距離偏差資料之距離影像於監視器。 當以參考圖案影像P為背景顯示距離影像G於監視 器時，噴嘴與塗佈表面11間之量測距離與預定距離的差 異越大時，可越容易用肉眼找到。因此，形成於母基板 上之膠圖案對應顯示於監視器上有大差異之點之區 域’可選擇作為欲檢測區。 ❷ 於距離影像G中量測距離與預定距離間之差異越 大時’可以越深的顏色表示此差異。於此案例中，形成 於母基板上之膠圖案對應顯示於監視器上有越深顏色 之點之區域，可選擇作為欲檢測區。 檢測膠圖案選擇之欲檢測區有許多方式。舉例而 言’可利用放大鏡以肉眼檢測選擇之欲檢測區。 # 可自動地檢測選擇之欲檢測區。為如此進行，則可 提供量測膠圖案截面區域之第二量測單元於塗佈頭單 元600。塗佈頭單元移動靠近選擇之欲檢測區，使第二 量測單元量測該區域的截面區域。之後’決定選擇之欲 檢測區是否符合規格。關於選擇之欲檢測區的資訊，^ 動地輸入到控制單元。 當選擇之欲檢測區不符合規格時，於選擇之欲檢測 17 201013177 =行重做。當卵案之缺陷區域無法進行重做時，避 免將液晶液滴進-步的排到缺陷膠圖案内。 ^塗佈頭單元600根據參考圖案資料移動時，母基 =::J面與嘴嘴_間之距離可能不是一致的。此 乃因f基板並不平，塗佈解元6⑻的 :及=並未精準且精確地導引塗佛頭單元6=運 Ο 9 佈表面與噴嘴間距_不均勻，導致膠圖案之截 面區域不均勻。 為避免此結果，根據第一量測單元65〇所得之塗 表面11與喷嘴640間之距離之資料，向上及向下移動嗔 嘴而維持塗佈表面與嘴嘴64〇間之預定距離。然 而，顯不於監視器上之距離影財，若第—量測單元㈣ 與塗佈表面HI雜树，表村嘴私時得太上面 或太下面。喷嘴_移得太上面或太下面產生不均勾的 膠圖案截面區域。因此，第—量測單元650與塗佈表面 11間之距離存在有大差異之處之顧_域，可 為欲檢測區。 评户 如上所述’因為關案影像為背景，顯示基於噴嘴 及母基板之㈣表_之轉之㈣之距歸像，以 基於參考圖案資料之_影像於監視器，可預知將膠圖 案如何形成於母基板上。 18 201013177 再者以顏色表示塗佈表面及喷 離’而辨識出谬圖案之欲檢測區。 之或負距 圖 之所有膠圖 施行雖及重要特徵之許多形式 於前述說明的然上述實施例不限 圍界定之精神與範疇廣義 定之下的财較及修改 ❹ 均等物意欲涵蓋在_請專利範圍内。I疋之下， 【圖式簡單說明】 包含之伴賴式提供對本發明進—步的 並結 案說明書之一部分’其顯示本發明實施； 〜、咩、，、田5兒明一同用以解釋本發明原理。於圖式中： 圖1為密封劑塗佈機之透視圖； 圖； 圖2為提供於密封劑塗佈機之塗佈頭單元之透視 圖； 圖 為提供於密封劑塗佈機之塗佈頭單元之前視 19 201013177 圖4為根據本㈣實施觸示選擇軸於母基 之膠圖案之欲檢測區之方法之流程圖； 圖式圖示量測單元及塗佈表面間之距離之資料之 SS 之 圖6為以基於參相㈣ 示基於塗佈表面盥喷嘴門★二象為者景’ 顯示幕。嘴間之距離之資料之距離影像 【主要元件符號說明】 10母基板 11塗佈表面 100主框架 200平台 300驅動單元 400塗佈頭單元支撐框 410水平部 φ 42〇垂直部 500第二驅動單元 600塗佈頭單元 610基件 620頭塊 630注射器 640喷嘴 650第一量測單元 20 201013177 651發射部 652接收部 670距離調整單元 700第三驅動單元 G距離影像 P圖案影像 P卜P2、P3特定點 X喷嘴根據參考圖案資料之路徑 γ喷嘴與塗佈表面間之量測距離與預定距離之差異

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Claims (1)

1. 201013177 申請專利範圍： 1. 之一膠圖案之欲檢測區之 一種選擇形成於一母基板上 方法’包含： 輸入參考圖案資料； ^料絲欲塗_之—絲表面與提供於_ 塗佈碩早％之—喷嘴間之距 ❹ 的參考圖案資料移動時巨離= 該塗佈齡70之—量測單元持續地量測； 當根據該距離之該資料向上及向下移動該嘴嘴而 維持該塗絲面與該喷嘴間之—財距_，藉 出膠而形賴應該輸人的參考_資料之—膠圖案於 該母基板上；以及 、 顯示基於該距離之該資料之一距離影像以及基於 該參考_資料之-_影像，且__影像作為 背景。 參 2.如請求項1所述之選擇形成於母基板上之膠圖案之欲 檢測區之方法’其令當該母基板之該塗佈表面與該^ 嘴間之該距離大於該預定距離時，則該距離以二^數 表不’當該距離小於該預疋距離時，則該距離以一負 數表示。 ' 3.如請求項1所述之選擇形成於母基板上之膠圖案之欲 檢測區之方法’其中§亥距離影像指出該塗佈表^與兮 22 201013177 喷嘴間之該距離與該預定距離相同之點、該塗佈表面 與該喷嘴間之該距離小於該預定距離之點、以及該塗 佈表面與該喷嘴間之該距離大於該預定距離之點。 4. 如請求項1所述之選擇形成於母基板上之膠圖案之欲 檢測£之方法，其中於該距離影像中，當該喷嘴與該 塗佈表面間之該量測距離與該預定距離相同時，於構 成該圖案影像之四條直圖案線上顯示零(〇)差異，當該 喷嘴與該塗佈表面間之該量測距離小於該預定距離 時，於構成該圖案影像之該四條直圖案線之内或之外 顯示該差異，以及當該喷嘴與該塗佈表面間之該量測 距離大於該預定距離時，於構成該圖案影像之四條直 圖案線之外或之内顯示該差異。 5. 如請求項4所述之選擇形成於母基板上之膠圖案之欲 檢測區之方法，其中於該距離影像中，以顏色表示， 該塗佈表面與該喷嘴間大於該預定距離之該量測距 離’以及該塗佈表面與該喷嘴間小於該預定距離之該 量測距離。 6.如請求項4所述之選擇形成於母基板上之膠之 檢測區之方法，其中於該距離影像中，以不同顏色表 不j該塗佈表面與該噴嘴間大於該預定距離之該量 距離’以及該塗佈表面與該喷嘴間小於該預定距離之 23 201013177 該量測距離。 如請求項4所述之選擇形狀母基板上之膠圖案之欲 檢測區之方法’其t於該距離影像中，該量測距離與 ，預定距離間之差異越大時，可以越深的顏色表示該 差異。 ❹ 測區之 8. -種選擇形成於一母基板上之一膠圖案之欲檢 方法，包含： 輸入參考圖案資料； _ 儲存該母基板欲塗佈膠之—塗佈表一 ^單元之一喷嘴間之距離之資料，該距離為:塗 該輸入的參考圖案資料移動時，由提供 於該塗佈頭早凡之一量測單元持續地量測； 當根據該距離之該資料向上及向下移動該嗜嘴而 ^該塗佈表面與該喷嘴間之—預定距離 該:::土對應該輸入的參考圖案資料之一膠圖案於 距離差異 在指明該量測距離及該預定距離間之 之—公差後，產生距離偏差資料；以及 ，失雜偏差歸之—麟赌以及基於 背^考圖案貝料之―圖案影像，且以該圖案影像作為 24 201013177 9·如明求項8所述之選擇形成於母基板上之膠圖案之欲 檢測區之方法，其中該距離影像以顏色表示。 10.如請求項8所述之選擇形成於母基板上之膠圖案之欲 檢測區之方法，其中於該距離影像中，以不同顏色表 示，該塗佈表面與該喷嘴間大於該預定距離之該公差 調整後的量測距離，以及該塗佈表面與該喷嘴間小於 該預定距離之該公差調整後的量測距離。 ❿ 25