JP2007330036A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 複数の電極が形成された圧電素子を備え、
   前記電極同士を電気的に接続する導通部が前記圧電素子の体表面部に配置されており、
   前記導通部は、常温では液状であり導電性粒子を含有した液状物を前記体表面部に設けた後、当該液状物を常温より高い温度で乾燥固化させることにより前記導電性粒子を相互接触させて形成され、
   前記体表面部には、前記電極であって互いに同電位とされる２つ以上の同一面内電極が略同一面にそれぞれ形成され、
   前記導通部であって前記各同一面内電極を互いに導通するものとして同一面内導通部が配置され、当該同一面内導通部における前記同一面内電極との各接点間に位置する中間部は、前記同一面内電極における電位とは異なる異電位部と重なり、
   前記中間部と前記異電位部との間には、絶縁層が介装される
   ことを特徴とする振動体。
2. 複数の電極が形成された圧電素子を備え、
   前記電極同士を電気的に接続する導通部が前記圧電素子の体表面部に配置されており、
   前記導通部は、常温では液状であり導電性粒子を含有した液状物を前記体表面部に設けた後、当該液状物を常温より高い温度で乾燥固化させることにより前記導電性粒子を相互接触させて形成され、
   前記圧電素子は、略板状に形成され、その平面には、前記電極であって互いに同電位とされる２つ以上の同電位電極がそれぞれ形成され、
   前記導通部により、前記各同電位電極は、前記圧電素子の前記平面に隣接する側面を経由して互いに導通されている
   ことを特徴とする振動体。
3. 請求項１に記載の振動体において、
   前記絶縁層は、常温では液状である絶縁体を前記異電位部の外面部に設けた後、当該絶縁体を常温より高い温度で乾燥固化させることにより形成されている
   ことを特徴とする振動体。
4. 請求項３に記載の振動体において、
   前記絶縁層が形成される領域外への前記絶縁体の流出を規制する流出規制部を有する
   ことを特徴とする振動体。
5. 請求項４に記載の振動体において、
   前記流出規制部は、前記中間部と前記接点との間に形成されている
   ことを特徴とする振動体。
6. 請求項４または５に記載の振動体において、
   前記流出規制部は、前記絶縁層の位置から前記圧電素子の表面に向かって窪む凹部とされている
   ことを特徴とする振動体。
7. 請求項４または５に記載の振動体において、
   前記流出規制部は、前記圧電素子の表面から突出する凸部とされている
   ことを特徴とする振動体。
8. 請求項７に記載の振動体において、
   前記凸部は、常温では液状であって前記絶縁体が前記異電位部に設けられた際における当該絶縁体の粘度よりも高粘度の絶縁体を常温より高い温度で乾燥固化させることにより形成されている
   ことを特徴とする振動体。
9. 請求項４または５に記載の振動体において、
   前記流出規制部は、前記絶縁層に平面的に隣接する位置に形成された撥水作用を奏する撥水部とされている
   ことを特徴とする振動体。
10. 請求項３に記載の振動体において、
    前記各同一面内電極には、前記絶縁層の表面に露出する導電性ポストが前記絶縁層の形成以前に立設され、
    前記導通部は、前記導電性ポストを介して前記各同一面内電極を互いに導通する
    ことを特徴とする振動体。
11. 請求項１から１０のいずれかに記載の振動体において、
    前記導通部は、当該振動体の振動の節近傍に形成されている
    ことを特徴とする振動体。
12. 請求項１から１１のいずれかに記載の振動体を備え、
    前記振動体の振動を被駆動体に伝達することにより当該被駆動体を駆動する
    ことを特徴とする圧電アクチュエータ。
13. 請求項１から１１のいずれかに記載の振動体または請求項１２に記載の圧電アクチュエータを備えた
    ことを特徴とする電子機器。
14. 互いに同電位とされる２つ以上の電極を、振動体を構成する圧電素子における略同一面にそれぞれ形成する電極形成工程と、
    常温では液状であり導電性粒子を含有した液状物を前記圧電素子の体表面部に設けた後、当該液状物を常温より高い温度で乾燥固化させることにより前記導電性粒子を相互接触させて、前記電極同士を電気的に接続する導通部を形成する導通部形成工程と、
    前記導通部と、前記電極における電位とは異なる異電位部とを絶縁する絶縁層を形成する絶縁層形成工程とを備え、
    前記導通部形成工程では、前記導通部を前記異電位部と重なる位置に形成する
    ことを特徴とする振動体の製造方法。
15. 請求項１４に記載の振動体の製造方法において、
    前記導通部形成工程では、前記液状物としてのインクを前記体表面部に噴射することによって前記導通部を形成する
    ことを特徴とする振動体の製造方法。