JP2007109632A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 第一の絶縁層の上面上の導電性プレートと、
   前記導電性プレートの上面上の第二の絶縁層であり、前記プレートの上面は、前記第二の絶縁層の開口内で露出する、第二の絶縁層と、
   １つまたは複数の導電性ナノチューブの１つまたは複数セットであり、前記ナノチューブの遠位第１および第二の端部領域が前記第二の絶縁層に接し、前記ナノチューブの中央領域は、前記開口を掛けわたされ、前記１つまたは複数のナノチューブの相違するセット中のナノチューブは、互いに電気的に接触しない、１つまたは複数の導電性ナノチューブの１つまたは複数セットと、
   導電性の１つまたは複数のコンタクトであり、前記１つまたは複数のコンタクトのそれぞれは、前記１つまたは複数のナノチューブの相違するセットのナノチューブの第一の端部領域と電気的に接触する、導電性の１つまたは複数のコンタクトとを有する装置。
2. さらに、前記１つまたは複数のナノチューブの前記１つまたは複数セットの前記１つまたは複数の中間領域に取り付けられた慣性重量を含む、請求項１の装置。
3. 前記ナノチューブの長手方向軸と平行な方向の前記開口の幅は、前記１つまたは複数のナノチューブの前記１つまたは複数のセットの下でそれぞれ異なり、または、
   前記導電性プレートの上面に垂直な方向の前記開口の深さは、前記１つまたは複数のナノチューブの前記１つまたは複数のセットの下でそれぞれ異なり、または、
   前記ナノチューブの長手方向軸に平行な方向の前記開口の幅と前記導電性プレートの上面と垂直な方向の前記開口の深さの両方は、前記１つまたは複数のナノチューブの前記１つまたは複数のセットのそれぞれの下で異なる、請求項１の装置。
4. 前記導電性プレートの前記上面に物理的に接触する前記１つまたは複数のナノチューブの前記１つまたは複数のセットの１つまたは複数のうちのいずれかが、加速力の除去後にファンデルワールス力によって、前記導電性プレートの前記上面に取り付けられたままとなるように、前記開口上に掛けわたされた前記ナノチューブの領域は、前記導電性プレートの前記上面に垂直な方向に印加されたベクトル成分を有する加速力によって偏向可能である、請求項１の装置。
5. 第一の絶縁層の上面に導電性プレートを形成するステップと、
   前記導電性プレートの上面に第二の絶縁層を形成するステップと、
   前記第二の絶縁層に開口を形成し、前記プレートの上面を開口に露出するステップと、
   １つまたは複数の導電性ナノチューブの１つまたは複数のセットであり、前記ナノチューブの遠位第１および第二の端部領域は、前記第二の絶縁層に接し、前記ナノチューブの中央領域は、前記開口を掛けわたされ、前記１つまたは複数のナノチューブの相違するセット中のナノチューブは、互いに電気的に接触しない、１つまたは複数の導電性ナノチューブの１つまたは複数のセットを形成するステップと、
   １つまたは複数の導電性コンタクトを形成するステップであり、前記１つまたは複数のそれぞれのコンタクトは、前記１つまたは複数のナノチューブの相違するセットのナノチューブの第一の端部領域と電気的に接触するステップとを含む方法。
6. 第一の絶縁層の上面の１つまたは複数の導電性プレートと、
   前記導電性プレートの上面の第二の絶縁層であり、前記導電性プレートの上面は、前記導電性プレートのそれぞれの上の前記第二の絶縁層の開口に露出する、第二の絶縁層と、
   前記開口に掛けわたされたナノチューブの導電性マットと、
   ナノチューブの前記マットに接触する導電性コンタクトとを含む装置。
7. さらに、前記開口上にナノチューブの前記マットに取り付けられた慣性重量を含む、請求項６の装置。
8. 前記開口のそれぞれの面積は異なり、
   前記導電性プレートの上面と垂直な方向の前記開口のそれぞれの深さは異なり、
   または、前記開口のそれぞれの面積は異なり、前記導電性プレートの上面と垂直な方向の開口のそれぞれの深さは異なる、請求項６の装置。
9. 前記導電性プレートの上面のいずれかに物理的に接触する前記ナノチューブのマットのいずれかの部分が、加速力の除去後にファンデルワールス力によって、前記導電性プレートの上面に取り付けられたままとなるように、前記ナノチューブのマットは、前記導電性プレートの上面に垂直な方向に印加されたベクトル成分を有する加速力によって、前記開口上で偏向可能である、請求項６の装置。
10. 前記ナノチューブは、カーボンナノチューブである、請求項６の装置。
11. さらに、導電性アンテナと、前記アンテナに電気的に接続され、ナノチューブの前記導電性マット上に位置する導電性電極とを有する請求項６の装置。
12. 第一の絶縁層の上面に１つまたは複数の導電性プレートを形成するステップと、
    前記導電性プレートの上面に第二の絶縁層を形成するステップと、
    前記第二の絶縁層中の導電性プレートのぞれぞれの上に開口を形成し、前記プレートの前記上面を、前記開口に露出するステップと、
    前記開口に掛けわたされたナノチューブの導電性マットを形成するステップと、
    ナノチューブの前記マットに導電性コンタクトを形成するステップとを含む方法。