JP2007109632A - 受動電気検査可能な、加速度および電圧測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加速度および電圧測定装置は、第1の絶縁層の上面の導電性プレートと、前記導電性プレートの上面の第2の絶縁層であり、前記プレートの上面は、第2の絶縁層の開口に露出する、第2の絶縁層と、開口に掛けわたされた導電性ナノチューブと、前記ナノチューブへの導電性コンタクトとを有する。
【選択図】図22
Description
Claims (22)
- 第一の絶縁層の上面上の導電性プレートと、
前記導電性プレートの上面上の第二の絶縁層であり、前記プレートの上面は、前記第二の絶縁層の開口内で露出する、第二の絶縁層と、
1つまたは複数の導電性ナノチューブの1つまたは複数セットであり、前記ナノチューブの遠位第1および第二の端部領域が前記第二の絶縁層に接し、前記ナノチューブの中央領域は、前記開口を掛けわたされ、前記1つまたは複数のナノチューブの相違するセット中のナノチューブは、互いに電気的に接触しない、1つまたは複数の導電性ナノチューブの1つまたは複数セットと、
導電性の1つまたは複数のコンタクトであり、前記1つまたは複数のコンタクトのそれぞれは、前記1つまたは複数のナノチューブの相違するセットのナノチューブの第一の端部領域と電気的に接触する、導電性の1つまたは複数のコンタクトとを有する装置。 - さらに、前記1つまたは複数のナノチューブの前記1つまたは複数セットの前記1つまたは複数の中間領域に取り付けられた慣性重量を含む、請求項1の装置。
- 前記ナノチューブの長手方向軸と平行な方向の前記開口の幅は、前記1つまたは複数のナノチューブの前記1つまたは複数のセットの下でそれぞれ異なり、または、
前記導電性プレートの上面に垂直な方向の前記開口の深さは、前記1つまたは複数のナノチューブの前記1つまたは複数のセットの下でそれぞれ異なり、または、
前記ナノチューブの長手方向軸に平行な方向の前記開口の幅と前記導電性プレートの上面と垂直な方向の前記開口の深さの両方は、前記1つまたは複数のナノチューブの前記1つまたは複数のセットのそれぞれの下で異なる、請求項1の装置。 - 前記導電性プレートの前記上面に物理的に接触する前記1つまたは複数のナノチューブの前記1つまたは複数のセットの1つまたは複数のうちのいずれかが、加速力の除去後にファンデルワールス力によって、前記導電性プレートの前記上面に取り付けられたままとなるように、前記開口上に掛けわたされた前記ナノチューブの領域は、前記導電性プレートの前記上面に垂直な方向に印加されたベクトル成分を有する加速力によって偏向可能である、請求項1の装置。
- 前記ナノチューブは、カーボンナノチューブである、請求項4の装置。
- さらに、導電性アンテナと、当該アンテナを前記導電性プレートに一次的に電気的に接続する手段とを有する、請求項1の装置。
- 第一の絶縁層の上面に導電性プレートを形成するステップと、
前記導電性プレートの上面に第二の絶縁層を形成するステップと、
前記第二の絶縁層に開口を形成し、前記プレートの上面を開口に露出するステップと、
1つまたは複数の導電性ナノチューブの1つまたは複数のセットであり、前記ナノチューブの遠位第1および第二の端部領域は、前記第二の絶縁層に接し、前記ナノチューブの中央領域は、前記開口を掛けわたされ、前記1つまたは複数のナノチューブの相違するセット中のナノチューブは、互いに電気的に接触しない、1つまたは複数の導電性ナノチューブの1つまたは複数のセットを形成するステップと、
1つまたは複数の導電性コンタクトを形成するステップであり、前記1つまたは複数のそれぞれのコンタクトは、前記1つまたは複数のナノチューブの相違するセットのナノチューブの第一の端部領域と電気的に接触するステップとを含む方法。 - さらに、前記1つまたは複数のナノチューブの前記1つまたは複数のセットの1つまたは複数の中間領域に取り付けられた慣性重量を形成するステップを含む、請求項7の方法。
- 前記ナノチューブの長手方向軸と平行な方向の前記開口の幅は、前記1つまたは複数のナノチューブの前記1つまたは複数のセットの下でそれぞれ異なり、
前記導電性プレートの上面に垂直な方向の前記開口の深さは、前記1つまたは複数のナノチューブの前記1つまたは複数のセットの下でそれぞれ異なり、または、
前記ナノチューブの長手方向軸に平行な方向の前記開口の幅と前記導電性プレートの上面と垂直な方向の前記開口の深さの両方は、前記1つまたは複数のナノチューブの前記1つまたは複数のセットのそれぞれの下で異なる、請求項7の方法。 - 前記導電性プレートの前記上面に物理的に接触する前記1つまたは複数のナノチューブの前記1つまたは複数のセットの1つまたは複数のうちのいずれかが、加速力の除去後にファンデルワールス力によって、前記導電性プレートの前記上面に取り付けられたままとなるように、前記開口上に掛けわたされた前記ナノチューブの領域は、前記導電性プレートの前記上面に垂直な方向に印加されたベクトル成分を有する加速力によって偏向可能である、請求項7の方法。
- 前記ナノチューブは、カーボンナノチューブである、請求項7の方法。
- 第一の絶縁層の上面の1つまたは複数の導電性プレートと、
前記導電性プレートの上面の第二の絶縁層であり、前記導電性プレートの上面は、前記導電性プレートのそれぞれの上の前記第二の絶縁層の開口に露出する、第二の絶縁層と、
前記開口に掛けわたされたナノチューブの導電性マットと、
ナノチューブの前記マットに接触する導電性コンタクトとを含む装置。 - さらに、前記開口上にナノチューブの前記マットに取り付けられた慣性重量を含む、請求項12の装置。
- 前記開口のそれぞれの面積は異なり、
前記導電性プレートの上面と垂直な方向の前記開口のそれぞれの深さは異なり、
または、前記開口のそれぞれの面積は異なり、前記導電性プレートの上面と垂直な方向の開口のそれぞれの深さは異なる、請求項12の装置。 - 前記導電性プレートの上面のいずれかに物理的に接触する前記ナノチューブのマットのいずれかの部分が、加速力の除去後にファンデルワールス力によって、前記導電性プレートの上面に取り付けられたままとなるように、前記ナノチューブのマットは、前記導電性プレートの上面に垂直な方向に印加されたベクトル成分を有する加速力によって、前記開口上で偏向可能である、請求項12の装置。
- 前記ナノチューブは、カーボンナノチューブである、請求項12の装置。
- さらに、導電性アンテナと、前記アンテナに電気的に接続され、ナノチューブの前記導電性マット上に位置する導電性電極とを有する請求項12の装置。
- 第一の絶縁層の上面に1つまたは複数の導電性プレートを形成するステップと、
前記導電性プレートの上面に第二の絶縁層を形成するステップと、
前記第二の絶縁層中の導電性プレートのぞれぞれの上に開口を形成し、前記プレートの前記上面を、前記開口に露出するステップと、
前記開口に掛けわたされたナノチューブの導電性マットを形成するステップと、
ナノチューブの前記マットに導電性コンタクトを形成するステップとを含む方法。 - さらに、前記開口上にナノチューブの前記マットに取り付けられた慣性重量を形成するステップを含む、請求項18の方法。
- 前記開口のそれぞれの面積は異なり、
前記導電性プレートの上面と垂直な方向の前記開口のそれぞれの深さは異なり、または、
前記開口のそれぞれの面積が異なり、前記導電性プレートの上面と垂直な方向の開口のそれぞれの深さは異なる、請求項18の方法。 - 前記導電性プレートの上面のいずれかに物理的に接触する前記ナノチューブのマットのいずれかの部分が、加速力の除去後にファンデルワールス力によって、前記導電性プレートの上面に取り付けられたままとなるように、前記ナノチューブのマットは、前記導電性プレートの上面に垂直な方向に印加されたベクトル成分を有する加速力によって、前記開口上で偏向可能である、請求項18の方法。
- 前記ナノチューブは、カーボンナノチューブである、請求項18の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/161181 | 2005-10-13 | ||
US11/161,181 US7629192B2 (en) | 2005-10-13 | 2005-10-13 | Passive electrically testable acceleration and voltage measurement devices |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012016866A Division JP5623440B2 (ja) | 2005-10-13 | 2012-01-30 | 加速度および電圧測定装置、並びに加速度および電圧測定を製造する方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007109632A true JP2007109632A (ja) | 2007-04-26 |
JP2007109632A5 JP2007109632A5 (ja) | 2008-12-04 |
JP4953722B2 JP4953722B2 (ja) | 2012-06-13 |
Family
ID=37947379
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006210142A Expired - Fee Related JP4953722B2 (ja) | 2005-10-13 | 2006-08-01 | 受動電気検査可能な、加速度および電圧測定装置 |
JP2012016866A Expired - Fee Related JP5623440B2 (ja) | 2005-10-13 | 2012-01-30 | 加速度および電圧測定装置、並びに加速度および電圧測定を製造する方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012016866A Expired - Fee Related JP5623440B2 (ja) | 2005-10-13 | 2012-01-30 | 加速度および電圧測定装置、並びに加速度および電圧測定を製造する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7629192B2 (ja) |
JP (2) | JP4953722B2 (ja) |
CN (1) | CN100485951C (ja) |
TW (1) | TW200729517A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8350360B1 (en) | 2009-08-28 | 2013-01-08 | Lockheed Martin Corporation | Four-terminal carbon nanotube capacitors |
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- 2005-10-13 US US11/161,181 patent/US7629192B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-07-25 CN CNB2006101077608A patent/CN100485951C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-01 JP JP2006210142A patent/JP4953722B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-10-02 TW TW095136513A patent/TW200729517A/zh unknown
-
2008
- 2008-07-02 US US12/166,623 patent/US7898045B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-01-30 JP JP2012016866A patent/JP5623440B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JP2012145582A (ja) | 2012-08-02 |
CN100485951C (zh) | 2009-05-06 |
US7629192B2 (en) | 2009-12-08 |
US20080258246A1 (en) | 2008-10-23 |
CN1949528A (zh) | 2007-04-18 |
JP5623440B2 (ja) | 2014-11-12 |
US7898045B2 (en) | 2011-03-01 |
JP4953722B2 (ja) | 2012-06-13 |
US20070085156A1 (en) | 2007-04-19 |
TW200729517A (en) | 2007-08-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081022 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090423 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110512 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110517 |
|
RD12 | Notification of acceptance of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7432 Effective date: 20110531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111018 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120116 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120125 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120221 |
|
RD14 | Notification of resignation of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7434 Effective date: 20120221 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120313 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150323 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |