JP4593239B2 - 電気機械フィルタ - Google Patents
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Description
アス磁界である。
の場合の強磁性共鳴周波数は、約9.85GHzとなる。
Hの大きさを変えることで、強磁性共鳴周波数を変調でき、チューナブルフィルタを実
現できる。
にも依存する。式1は、ストリップ線路電流による高周波磁界と直流バイアス磁界による磁気モーメントが直交した場合の表式であり、高周波磁界と磁気モーメントが同一方向となった場合は、強磁性共鳴は起こらない。直流バイアス磁界Hのベクトルにも着目する必
要がある。
即ち、本発明では、信号線路となる電極、磁界発生部、およびそれらを可動とする機構とを備え、所定の周波数の信号のみを選択して出力することができるとともに、所定の周波数を変調可能とすることを可能とする電気機械フィルタを提供することを目的とする。
すなわち、本発明の電気機械フィルタは、信号線路となる電極と、この電極に相対向するように配置された駆動電極と、これらの電極間に生起される電界によって相対的にベクトル変位可能に形成された磁界発生部と、前記これらの電極のいずれか一方あるいは前記磁界発生部のいずれかが可動であり、前記信号線路を流れる信号のうち、所定の周波数の信号のみを選択して出力することができるとともに、所定の周波数を変調可能としたものである。
この構成により、駆動電極による静電力などを変化させることにより、導体あるいは駆動電極あるいは磁界発生部を変位させることにより、信号線路を貫く磁界を変化させることができ、強磁性共鳴周波数を容易に調整することができる。
この構成により、信号線路を両持ち梁とするなどの方法により、容易に変位可能であり、駆動電極に与える電位を調整するのみで強磁性共鳴周波数を容易に調整することができ、変調可能な電気機械フィルタを形成することができる。
この構成により、磁界の方向を容易に変化させることができ、従って変調可能な電気機械フィルタを形成することができる。また、磁界発生部が可動であれば、信号線路を固定にすることができ、基板表面に所望の厚さの信号線路を形成することができることになり、製造が容易で、耐久性の高い電気機械フィルタを形成することが可能となる。また、信号伝送線路そのものは固定であるため、より信頼性の高いものとなる。
この構成により、駆動電極の電位を変化させるのみで容易に磁性体を変位させることができ、磁界変化を容易に実現することができるため、変調可能な電気機械フィルタを形成することができる。
この構成により、設計の自由度を高めることができる。駆動電極が可動であれば、信号線路を固定にすることができ、信号線路との相互作用で変位された駆動電極によってさらに磁界発生部を変位させることもできる。
この構成により、駆動電極の電位を変化させることにより、容易に信号線路を変位させることが出来、その結果信号線路が受ける磁界を容易に変化させることができ、変調可能な電気機械フィルタを形成することができる。
また本発明の電気機械フィルタは、前記基板表面に形成された磁性体を含む磁界発生部と、前記磁性体上に、所定の間隔を隔てて相対向して変位可能に配置され、信号線路となる導体と、前記信号線路に近接して配置された駆動電極とを備え、前記磁性体は、前記信号線路と交差する磁界成分をもつように着磁され、前記駆動電極の電位を変化させることにより、前記信号線路を変位させ、前記信号線路を貫く前記磁性体による磁界を変化させることにより、磁性共鳴周波数を変化させるようにしている。
この構成により、加工性が良好で、容易に信号線路が受ける磁界を容易に変化させることができ、変調可能な電気機械フィルタを形成することができる。
この構成により、磁界変化を最大限に大きく共鳴周波数の変化として取り出すことができ変調可能な電気機械フィルタを形成することができる。
この構成により、磁性体を水平ニ方向で変位可能とし、変調をより高精度に制御可能とすることができる。
この構成により、薄膜プロセスにより容易に、微細かつ信頼性の高い、変調可能な電気機械フィルタを形成することが可能となる。
この構成により、信号線路の変位により、半導体基板と接触するような場合があっても、短絡を防止することができる。
この構成により、信号線路と磁界が直交する方向にあるため、より高感度となり、高精度の変調が可能となる。
この構成により、磁性体を水平ニ方向で変位可能とし、変調をより高精度に制御可能とすることができる。
この構成により、信号線路が固定であるため、基板表面に所望の厚さの信号線路を形成することができることになり、製造が容易で、耐久性の高い電気機械フィルタを形成することが可能となる。また、より信頼性の高いものとなる。
また本発明の電気機械フィルタは、前記基板が半導体基板であり、前記磁性体が、前記半導体基板表面に形成されたスペーサを介して形成された梁状体を構成している。
また本発明の電気機械フィルタは、前記信号線路が、前記半導体基板表面に絶縁膜を介して形成された導体である。
この構成により、強磁性体の形成が容易となる。強磁性体材料の形成を、より下層の工程で実現することができるため、強磁性体の成膜に際して、生じ易い電極材料等の劣化を防止することができる。
この構成により、第1及び第2の駆動電極によりそれぞれ磁界および信号線路の位置を変化させることができるため、より高精度の変調が可能となる。
この構成により、第1の導体に信号が入力されると、磁界発生部の周りに高周波電流による高周波磁界を発生する。この高周波磁界により、磁界発生部にスピンの歳差運動が励起される(キッテルモード)。このモードのつくる磁界により、第1の導体に誘導起電力が生じる。そしてこの磁界発生部の強磁性共鳴周波数の信号が入力されたときのみ、強磁性共鳴現象が起こり、磁界発生部のスピンの歳差運動の角度が最大となり、誘導起電力の大きさが最大となる。このようにして、第2の導体が誘導起電力により信号を出力することになり、強磁性共鳴周波数によって決まるある特定の周波数の信号のみ第2の導体に伝搬することができる。
この構成により、互いの信号の干渉をなくし、ノイズのない信号出力を実現することができる。
これにより、小型化をはかることができる。
(実施の形態1)
図1(a)および(b)は、本発明の実施の形態1における電気機械フィルタの構成を示す斜視図および断面図である。
この電気機械フィルタ100は、信号線路に対し、この信号線路を貫く磁界を発生する磁界発生部を配し、静電力によって、この信号線路と磁界発生部の相対位置を変位させ、前記信号線路を貫く磁界を変化させ、信号線路に流れる電流による高周波磁界と交差する直流バイアス磁界とを相対的にベクトル変調することにより、強磁性共鳴周波数を変調することにより、強磁性共振周波数を変調可能にし、前記可動電極101を流れる信号のうち特定周波数の信号を吸収させることにより、バンドストップフィルタを構成したものである。
可動電極101の下方には、この可動電極101と相対向するように駆動電極103が設けられており、可動電極101と駆動電極103との間の電位差により生ずる静電力により、可動電極101が下方へ変位可能に構成されている。
図1(b)は、本発明実施の形態1における電気機械フィルタの構成を示す断面図である。信号入力ポートINより入力された信号は、可動電極101に伝搬し、信号出力ポートOUTへ出力される。この場合、磁性体102がつくる直流バイアス磁界H中に可動電極が位置するため、強磁性共鳴現象による信号のフィルタリングがおき、強磁性共鳴周波数によって決まるある特定の周波数の信号のみ信号出力ポートOUTへ伝搬することができる。ここでは強磁性共鳴周波数の信号が吸収され、この強磁性共鳴周波数を除く周波数の信号が伝送される。
この様な仕組みにすることにより、可動電極を貫く直流バイアス磁界のベクトルや大きさを可変とすることができ、強磁性共鳴周波数を変化させることが可能となる。
と周波数を変調可能にすることができる。
前記実施の形態1の電気機械フィルタの変形例である電気機械フィルタ100aでは、図3(a)に示すように、前記実施の形態1に示した電気機械フィルタ100においては、一つの磁性体102で直流バイアス磁界Hを発生させているのに対し、二つの磁性体を、可動電極101を挟む形で対向に位置することにより、電気機械フィルタ100とは異なる直流バイアス磁界Hを形成する。
図7(a)〜(i)は、本発明の実施の形態1における電気機械フィルタの製造工程を段階的に説明する断面図である。
図7(d)に示すように、スペーサ105および絶縁膜106上に、Fe、Co、Niなどの磁性薄膜102aをスパッタにより堆積し、その上にフォトリソグラフィにより磁性体パターンを形成するためのフォトレジスト302を形成する。
図7(f)に示すように、磁性体102および絶縁膜106の形成された基板表面全体に、Alなどの金属薄膜103aをスパッタにより堆積し、その上にフォトリソグラフィにより駆動電極パターンにパターニングされたフォトレジスト303を形成する。
図7(h)に示すように、磁性体102および駆動電極103、絶縁膜106上に、犠牲層パターンにパターニングされたフォトレジスト304形成する。次に、Alなどの金属薄膜101aをスパッタにより堆積し、その上にフォトリソグラフィにより可動電極パターンにパターニングされたフォトレジスト305を形成する。
なお、信号線路となる可動電極101を伝搬する高周波信号が基板107に伝搬して大きな損失を生じるおそれがないことが保障される場合には、絶縁膜106はなくても良い。
図9(a)および(b)は、本発明の実施の形態2における電気機械フィルタの構成を示す斜視図および断面図である。
本実施の形態では、上述したように、駆動電極103を複数とし、可動電極101の移動方向V1を複数方向としたもので、磁性体は、可動電極101の真下に位置するように基板表面に形成したものである。すなわち、信号線路を構成する可動電極101を挟むように両側に駆動電極103を形成し、この信号線路の真下に磁性体102を配し、磁界が基板に垂直な方向に印加されるようにしたものである。
この様に、実施の形態1における電気機械フィルタ100、電気機械フィルタ100aの構造や製造方法では実現困難である直流バイアス磁界Hの形状と、その中を移動する可動電極101の移動方向や移動範囲を、構造を変えることにより実現している。
図9(b)は、本発明実施の形態2における電気機械フィルタの構成を示す断面図である。この例ではカーボンナノチューブを用いている。信号入力ポートINより入力された信号は、可動電極101に伝搬し、信号出力ポートOUTへ出力される。この場合、磁性体102がつくる直流バイアス磁界H中に可動電極が位置するため、強磁性共鳴現象による信号のフィルタリングがおき、強磁性共鳴周波数によって決まるある特定の周波数の信号のみ信号出力ポートOUTへ伝搬することができる。
この様な仕組みにすることにより、可動電極を貫く直流バイアス磁界のベクトルや大きさを可変とすることができ、強磁性共鳴周波数を変化させることが可能となる。
電気機械フィルタ400の製造方法に関しては、実施の形態1における電気機械フィルタ100、電気機械フィルタ100aの製造方法において、磁性薄膜102aをAlなどの金属薄膜103aに、金属薄膜103aをFe、Co、Niなどの磁性薄膜102に置き換えるだけで、製造と製造方法の共通化が可能である。
図10(a)および(b)は、本発明の実施の形態3における電気機械フィルタの構成を示す斜視図および断面図である。
図10(a)に示す電気機械フィルタ500では、表面に絶縁膜106が形成された基板107上に、ポスト104間に架橋された固定電極111と、固定電極111に信号を入力する信号入力ポートIN、固定電極111から信号を外部に出力する信号出力ポートOUTとが設けられている。
図10(b)は、本発明実施の形態3における電気機械フィルタの構成を示す断面図である。カーボンナノチューブを用いた電気機械フィルタの構成を示す縦断面図である。信号入力ポートINより入力された信号は、固定電極111に伝搬し、信号出力ポートOUTへ出力される。この場合、磁性体102がつくる直流バイアス磁界H中に可動電極が位置するため、強磁性共鳴現象による信号のフィルタリングがおき、強磁性共鳴周波数によって決まるある特定の周波数の信号のみ信号出力ポートOUTへ伝搬することができる。
この場合、フィルタ特性の中心周波数やチューナブルレンジは、磁性体102の変位範囲における直流バイアス磁界Hの大きさや、方向に依存するため、磁性体102の堆積条件による磁化容易軸や、磁性体102堆積後の外部磁場による着磁方向は、磁性体102から固定電極111方向にする必要がある。また、固定電極111が、所望とする直流バイアス磁界H中を移動するため、固定電極111と磁性体102との距離や高さ等の相対位置、所望の直流バイアス磁界Hを発生するための磁性体102の厚さや幅等の形状は、要求するチューナブルフィルタ特性に応じて最適化する必要がある。
また、本実施の形態においても、磁界発生部として磁性体102の代わりにコイルを形成し、同様の直流バイアス磁界Hを発生することができ、MEMS技術による可変インダクタを用いて、直流バイアス磁界Hを可変、もしくは交流バイアス磁界とすることも可能である。
また、本実施の形態3では、駆動電極110が二つとし、磁性体102を回転二方向可動としたが、駆動電極110を複数とし、磁性体の移動方向V2を複数方向としても良い。
図12(a)および(b)は、本発明の実施の形態4における電気機械フィルタの構成を示す斜視図および断面図である。
可動電極101の下方には、可動電極101に直流バイアス磁界Hを印加する磁性体102が設けられている。磁性体102は、ステム109上に設けられている。磁性体102の両側下方には、磁性体102を動かす駆動電極110が設けられており、磁性体102と駆動電極110との間の電位差により生ずる静電力により、磁性体102回転二方向へ動く様になっている。
図12(b)は、本発明実施の形態4における電気機械フィルタの構成を示す断面図である。カーボンナノチューブを用いた電気機械フィルタの構成を示す縦断面図である。信号入力ポートINより入力された信号は、可動電極101に伝搬し、信号出力ポートOUTへ出力される。この場合、磁性体102がつくる直流バイアス磁界H中に可動電極が位置するため、強磁性共鳴現象による信号のフィルタリングがおき、強磁性共鳴周波数によってある周波数の信号が吸収され、残る特定の周波数の信号のみ信号出力ポートOUTへ伝搬することができる。
また、本発明電気機械フィルタでは、その直流バイアス磁界H中を信号線路である可動電極101が同時に移動できる様になっている。可動電極101の移動方向をV1で示す。
この様な仕組みにすることにより、固定電極を貫く直流バイアス磁界のベクトルや大きさを可変とすることができ、強磁性共鳴周波数を変化させることが可能となる。
このように、電気機械フィルタ600によれば、所定の周波数の信号のみを選択して、出力することができ、且つ所定の周波数を変調可能とすることを可能とする。
また、磁界発生部として、磁性体102の代わりにコイルを形成し、同様の直流バイアス磁界Hを発生することができ、MEMS技術による可変インダクタを用いて、直流バイアス磁界Hを可変、もしくは交流バイアス磁界とすることも可能である。
また、本実施の形態4では、駆動電極103が二つとし、可動電極101を水平二方向可動としたが、駆動電極103を複数とし、可動電極101の移動方向V1を複数方向としても良い。
図14は、本発明の実施の形態5における電気機械フィルタの構成を示す斜視図である。
以上の実施の形態では、1本の信号線路を伝搬する信号を強磁性共鳴により特定周波数のものだけストップし、出力するものについて説明したが、本実施の形態では、入力信号の誘導起電力により、信号の変調を実現するものである。
すなわち、信号線路としての固定電極111の周りに高周波電流による高周波磁界を生成し、この高周波磁界によって磁性体102中に励起されるスピンの歳差運動を励起し、強磁性共鳴現象により、磁性体102中の歳差運動の角度が最大となるのを利用し、これらの信号線路の磁界と、磁性体102のスピンの歳差運動による磁界を受けることのできる領域に出力用の信号線路となる固定電極112を配置し、共鳴によって生じる、誘導起電力が所定の大きさ以上のときのみ、信号が、信号出力ポートOUTへ伝搬することができるようにしたもので、これによりバンドパスフィルタを形成する。
カーボンナノチューブを用いた電気機械フィルタの構成を示す縦断面図である。信号入力ポートINより入力された信号は、固定電極111に伝搬し、固定電極111の周りに高周波電流による高周波磁界を発生する。この高周波磁界により、磁性体102中にスピンの歳差運動が励起される(キッテルモード)。このモードのつくる磁界により、固定電極112に誘導起電力が生じる。磁性体102の強磁性共鳴周波数の信号が入力されたときのみ、強磁性共鳴現象が起こり、磁性体102中の歳差運動の角度が最大となり、誘導起電力の大きさも最大となる。よって、信号のフィルタリングがおき、強磁性共鳴周波数によって決まるある特定の周波数の信号のみ信号出力ポートOUTへ伝搬することができる。
磁性体102からは直流バイアス磁界Hが放射線状に発生している。本発明電気機械フィルタでは、磁性体102が可動であるため、その直流バイアス磁界Hと信号線路である固定電極111の相対位置を可変としている。磁性体102の移動方向をV2で示す。
この場合、フィルタ特性の中心周波数やチューナブルレンジは、磁性体102の変位範囲における直流バイアス磁界Hの大きさや、方向に依存するため、磁性体102の堆積条件による磁化容易軸や、磁性体102堆積後の外部磁場による着磁方向は、磁性体102から固定電極111に向かう方向にする必要がある。また、固定電極111が、所望とする直流バイアス磁界H中を移動するため、固定電極111と磁性体102との距離や高さ等の相対位置、所望の直流バイアス磁界Hを発生するための磁性体102の厚さや幅等の形状は、要求するチューナブルフィルタ特性に応じて最適化する必要がある。
この場合、磁性体102はポールを中心とする円形パターンであるのが望ましい。
さらにまた、駆動電極としての固定電極についても、ポールの周りに多数個配列し、各固定電極の電位を制御することにより磁性体102の回動を制御することも可能である。
図15に示す電気機械フィルタ800では、表面に絶縁膜106が形成された基板107上に、固定電極111と、信号を入力する信号入力ポートINが設けられている。固定電極111の上方には、磁性体102が設けられており、磁性体102は、シリコンなどで形成されたステム109上に設けられている。磁性体102の両側下方には、磁性体102を動かす駆動電極110が設けられており、磁性体102と駆動電極110との間の電位差により生ずる静電力により、磁性体102が回転二方向へ動く様になっている。固定電極112は、磁性体102の下方で、固定電極111と固定電極111から生ずる磁界の影響を受けない程度の間隔を空けて平行に配置されている。固定電極112からは、信号を外部に出力する信号出力ポートOUTが設けられている。
カーボンナノチューブを用いた電気機械フィルタの構成を示す縦断面図である。信号入力ポートINより入力された信号は、固定電極111に伝搬し、固定電極111の周りに高周波電流による高周波磁界を発生する。この高周波磁界により、磁性体102中にスピンの歳差運動が励起される(キッテルモード)。すると、スピン波が固定電極111側から固定電極112側へと伝搬し、固定電極112側では、このモードのつくる磁界により、固定電極112に誘導起電力が生じる。磁性体102の強磁性共鳴周波数の信号が入力されたときのみ、強磁性共鳴現象が起こり、磁性体102中の歳差運動の角度が最大となり、誘導起電力の大きさも最大となる。よって、信号のフィルタリングがおき、強磁性共鳴周波数によって決まるある特定の周波数の信号のみ信号出力ポートOUTへ伝搬することができる。
磁性体102からは直流バイアス磁界Hが放射線状に発生している。本発明電気機械フィルタでは、磁性体102が可動であるため、その直流バイアス磁界Hと信号線路である固定電極111の相対位置を可変としている。磁性体102の移動方向をV2で示す。
この場合、フィルタ特性の中心周波数やチューナブルレンジは、磁性体102の変位範囲における直流バイアス磁界Hの大きさ等に、ベクトル依存するため、磁性体102の堆積条件による磁化容易軸や、磁性体102堆積後の外部磁場による着磁方向は、磁性体102から固定電極111方向にする必要がある。また、固定電極111が、所望とする直流バイアス磁界H中を移動するため、固定電極111と磁性体102との距離や高さ等の相対位置、所望の直流バイアス磁界Hを発生するための磁性体102の厚さや幅等の形状は、要求するチューナブルフィルタ特性に応じて最適化する必要がある。
なお、本発明電気機械フィルタを並列または直列に接続した多段フィルタ構成にすることが可能である。
また、磁界発生部として磁性体102の代わりにコイルを形成し、同様の直流バイアス磁界Hを発生することができ、MEMS技術による可変インダクタを用いて、直流バイアス磁界Hを可変、もしくは交流バイアス磁界とすることも可能である。
また、本実施の形態5では、駆動電極110が二つとし、磁性体102を回転二方向可動としたが、駆動電極110をどちらか片方一つとし、磁性体102の移動方向V2をどちらか一方方向としても良い。
また、カーボンナノチューブについても各実施の形態で適用可能である。
101 可動電極
102 磁性体
103、110 駆動電極
104 ポスト
105、108 スペーサ
106 絶縁膜
107 基板
109 ステム
111、112 固定電極
Claims (19)
- 基板と、
前記基板上に形成され、信号線路となる導体と、
前記導体を貫く磁界を発生する磁界発生部と、
前記導体または前記磁界発生部と所定の間隔を隔てて対向して配置された駆動電極と、
を備え、
前記駆動電極の電位を変化させることにより、前記駆動電極と前記導体との間で生起される静電力によって前記導体を変位させ、または、前記駆動電極と前記磁界発生部との間で生起される静電力によって前記磁界発生部を変位させ、前記導体と前記磁界発生部との相対位置を変位させることによって、前記信号線路を貫く磁界を変化させることにより磁性共鳴周波数を変化させる、電気機械フィルタ。 - 請求項1記載の電気機械フィルタであって、
前記導体は、前記駆動電極と対向して配置され、前記駆動電極との間で生起される静電力により相対的に変位可能な電極である電気機械フィルタ。 - 請求項1または2に記載の電気機械フィルタであって、
前記磁界発生部は、変位可能に形成された磁性体を含む電気機械フィルタ。 - 請求項3に記載の電気機械フィルタであって、
前記磁性体は、前記駆動電極の静電力によって変位される電気機械フィルタ。 - 請求項2に記載の電気機械フィルタであって、
前記基板表面に形成され、電位を可変に構成された駆動電極と、
前記駆動電極上に、所定の間隔を隔てて相対向して配置され、信号線路となる導体と、
前記信号線路と交差する磁界成分をもつように着磁された磁性体を備えた磁界発生部とを備え、
前記駆動電極の電位を変化させることにより、前記信号線路を変位させ、前記信号線路を貫く前記磁性体による磁界を変化させることにより、磁性共鳴周波数を変化させるようにした電気機械フィルタ。 - 請求項2に記載の電気機械フィルタであって、
前記基板表面に形成された磁性体を含む磁界発生部と、
前記磁性体上に、所定の間隔を隔てて相対向して変位可能に配置され、信号線路となる導体と、
前記信号線路に近接して配置された駆動電極とを備え、
前記磁性体は、前記信号線路と交差する磁界成分をもつように着磁され、
前記駆動電極の電位を変化させることにより、前記信号線路を変位させ、前記信号線路を貫く前記磁性体による磁界を変化させることにより、磁性共鳴周波数を変化させるようにした電気機械フィルタ。 - 請求項5または6に記載の電気機械フィルタであって、
前記基板は、表面が絶縁膜により覆われた半導体基板であり、
前記磁性体は、前記絶縁膜上に形成されており、
前記信号線路は、前記磁性体と対向するように配設された両持ち梁を構成している電気機械フィルタ。 - 請求項5または6に記載の電気機械フィルタであって、
前記信号線路は、前記駆動電極と平行に配置されるとともに、
前記磁性体は、前記導体を流れる信号と直交する方向に磁場を形成する電気機械フィルタ。 - 請求項6乃至8のいずれか1項に記載の電気機械フィルタであって、
前記駆動電極は、前記信号線路を間に挟むように配置された第1駆動電極及び第2駆動電極を含む電気機械フィルタ。 - 請求項4に記載の電気機械フィルタであって、
前記基板表面に形成され、空間的に変位可能に形成された磁性体を含む磁界発生部と、
前記磁性体に対して、所定の間隔を隔てて相対向するように前記基板に固定配置され、信号線路となる導体と、
前記磁界発生部に近接して配置され、前記磁界発生部を変位可能な駆動電極とを備え、
前記磁性体は、前記信号線路と交差する磁界成分をもつように着磁され、
前記駆動電極の電位を変化させることにより、前記磁性体を変位させ、
前記信号線路を貫く前記磁性体による磁界を変化させることにより、磁性共鳴周波数を変化させるようにした電気機械フィルタ。 - 請求項10に記載の電気機械フィルタであって、
前記基板は半導体基板であり、
前記磁性体は、前記半導体基板表面に形成されたスペーサを介して形成された梁状体を構成している電気機械フィルタ。 - 請求項11に記載の電気機械フィルタであって、
前記信号線路は、前記半導体基板表面に絶縁膜を介して形成された導体である電気機械フィルタ。 - 請求項12に記載の電気機械フィルタであって、
前記信号線路は、前記磁性体と所定の間隔を隔てて相対向するように形成された電気機械フィルタ。 - 請求項1に記載の電気機械フィルタであって、
前記基板表面に形成され、電位を可変に構成された第1及び第2の駆動電極と、
前記第1の駆動電極に、所定の間隔を隔てて相対向して配置され、信号線路となる導体と、
前記第2の駆動電極に、所定の間隔を隔てて相対向して配置され、前記信号線路と交差する磁界成分をもつように着磁された磁性体を備えた磁界発生部とを備え、
前記第1の駆動電極の電位を変化させることにより、前記信号線路を変位させるとともに、
前記第2の駆動電極の電位を変化させることにより、前記磁性体を変位させ、
前記信号線路を貫く前記磁性体による磁界を変化させることにより、磁性共鳴周波数を変化させるようにした電気機械フィルタ。 - 基板と、
前記基板上に形成され、入力側の信号線路となる第1の導体と、
前記第1の導体を貫く磁界を発生する磁界発生部と、
前記磁界発生部と所定の間隔を隔てて対向して配置された駆動電極と、
前記磁界発生部と所定の間隔を隔てて相対向して配置され、出力側の信号線路となる第2の導体と、
を備え、
前記駆動電極の電位を変化させることにより、前記駆動電極と前記磁界発生部との間で生起される静電力によって前記磁界発生部を変位させ、前記第1の導体と前記磁界発生部の相対位置を変位させることによって、前記入力側の信号線路を貫く磁界を変化させ、
前記第2の導体は、前記第1の導体を流れる高周波電流による磁界と前記磁界発生部の磁界との共鳴によって誘起される誘起起電力を伝送する、電気機械フィルタ。 - 請求項15記載の電気機械フィルタであって、
前記第1の導体と前記第2の導体は直交するように配置されている電気機械フィルタ。 - 請求項15記載の電気機械フィルタであって、
前記第1の導体と前記第2の導体は所定の間隔を隔てて平行に配置されている電気機械フィルタ。 - 請求項1乃至17のいずれか1項に記載の電気機械フィルタであって、
複数の前記電気機械フィルタを配列して接続し、チューナブルバンドパスフィルタ機能を実現した電気機械フィルタ。 - 請求項1乃至17のいずれか1項に記載の電気機械フィルタであって、
複数の前記電気機械フィルタを配列して接続し、チューナブルバンドストップフィルタ機能を実現した電気機械フィルタ。
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