JP2008072120A - 圧電制御された集積磁性装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る磁性装置(1)が基板の上に集積されており、本装置は、駆動電極(11a、11b)に結合され、圧電材料から作製された少なくとも1つの素子と、この圧電材料素子の応力下で変形可能な少なくとも1つの磁性素子(8)とを備える。本装置(1)は、基板に対して可動であるビーム(7)の形態を有し、基準長手軸(A1)に沿って所定の幅(W1)の2つの横断部(9)を備える。圧電材料素子は横断部(9)の少なくとも一部によって形成され、各横断部(9)は基板上に機械的に繋止するための領域を備える。横断部(9)は、磁性素子(8)が上に配置される、所定の幅(W2)の少なくとも1つの中心ブランチ(10)によって接続される。
【選択図】図3
Description
− 圧電材料素子は、横断部の少なくとも一部によって形成されること、
− 各横断部が、基板上に機械的に繋止するための領域(zone)を備えること、および
− 横断部は、磁性素子が上に配置される、所定の幅の少なくとも1つの中心ブランチ(central branch)によって接続されることを特徴とする。
Claims (26)
- 駆動電極(11)に結合され、圧電材料から作製された少なくとも1つの素子と、圧電材料から作製された前記素子の応力下で変形可能な少なくとも1つの磁性素子(8)とを備える、基板(21)上に集積された可変応答磁性装置(1)であって、
前記基板(21)に対して可動であるビーム(7)の形態にあり、基準長手軸(A1)に沿って所定の幅(W1)の2つの横断部(9)を備えることを特徴とし、さらに、
− 前記圧電材料素子は、横断部(9)の少なくとも一部によって形成されること、
− 各横断部(9)が、前記基板(21)上に機械的に繋止するための領域(16)を備えること、および
− 前記横断部(9)は、前記磁性素子(8)が上に配置される、所定の幅(W2)の少なくとも1つの中心ブランチ(10)によって接続されることを特徴とする装置。 - 前記中心ブランチ(10)の前記幅(W2)は、前記横断部(9)の前記幅(W1)よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記2つの横断部(9)は圧電材料から作製されることを特徴とする請求項1および2の一項に記載の装置。
- 前記中心ブランチ(10)は圧電材料から作製されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記駆動電極(11a、11b)は、一部が前記ビーム(7)の前記横断部(9)の表面上に延びることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記駆動電極(11a、11b)は、前記圧電材料素子の両側に位置決めされることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 各横断部(9)が、前記対応する中心ブランチ(10)まで延びる移行領域(18)によって延長されることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記移行領域(18)は可変断面であることを特徴とする請求項7に記載の装置。
- 前記移行領域(18)は、前記結合された横断部(9)および中心ブランチ(10)に接する楕円形状を有することを特徴とする請求項7に記載の装置。
- 前記移行領域(18)は複数の穴を備えることを特徴とする請求項7から9のいずれか一項に記載の装置。
- 各横断部(9)が複数の穴(20)を備えることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の装置。
- 前記磁性素子(8)は、前記ビーム(7)の前記基準軸(A1)に平行な異方性の軸を有する一軸磁性材料を含むことを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記磁性素子(8)は、前記ビーム(7)の前記基準軸(A1)に垂直な異方性の軸を有する一軸磁性材料を含むことを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の装置。
- 前記磁性素子(8)は、実質的に長方形状の断面を有することを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の装置。
- 前記磁性素子(8)は、実質的に楕円面形状の断面を有することを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の装置。
- 前記磁性素子(8)は、前記ビーム(7)の前記中心ブランチ(10)の上に横並びで配置された複数の接合されていない基本磁性素子から構成されることを特徴とする請求項1から15のいずれか一項に記載の装置。
- 前記装置は、前記磁性素子(8)と結合された少なくとも1つの電気伝導性素子を備えることを特徴とする請求項1から16のいずれか一項に記載の装置。
- 前記電気伝導性素子は、ソレノイド・コイル(12)であることを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 前記コイル(12)は、前記磁性材料(8)を包囲することを特徴とする請求項18に記載の装置。
- 前記電気伝導性素子は、蛇行(13)の形態にある電線であることを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 前記電気伝導性素子は、直線(14)の形態にある電線であることを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 前記電気伝導性素子は、螺旋(15)の形態にある電線であることを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 前記電気伝導性素子は、前記磁性素子(8)から距離を隔てて位置決めされることを特徴とする請求項20から22のいずれか一項に記載の装置。
- 前記電気伝導性素子は、前記磁性素子(8)の片側のみに配置されることを特徴とする請求項23に記載の装置。
- 前記電気伝導性素子(29)は、前記磁性素子(8)の両側にかつこの素子に接触して配置されることを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 前記ビーム(7)は、柔軟な絶縁材料の中にカプセル封入されることを特徴とする請求項1から25のいずれか一項に記載の装置。
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