JP2012513896A5 -

Info

長手方向軸と横方向軸とを有する基材上に基準を作製するように構成される装置であって、
前記基材上に、前記長手方向軸に対して有限でゼロでない傾斜を有する少なくとも１つの連続的な部分を含む１つの基準を作製するように構成される第１の基準デバイスと、
前記第１の基準デバイスに機械的に連結され、前記基材上に前記長手方向軸に対して有限でゼロでない傾斜を有する少なくとも１つの連続的な部分を含む別の基準を作製するように構成される第２の基準デバイスと、
前記長手方向軸に沿って、前記基材と前記第１の基準デバイス及び前記第２の基準デバイスとの間に相対運動を提供するように構成される移動機構と、
前記基準を作製するための前記第１の基準デバイス及び前記第２の基準デバイスの動作中、並びに前記基材と前記第１の基準デバイス及び前記第２の基準デバイスとの間の前記相対運動中に、横方向軸の構成要素を有する軌道に沿って、前記第１の基準デバイス及び前記第２の基準デバイスを共に前記基材を横切って往復移動させるように構成されるアクチュエータと、を備える装置。