JP2013128073A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 下記一般式（１）で表わされるペロブスカイト酸窒化物を含むことを特徴とする圧電材料。
   

   

   
   （式中、ｘは０≦ｘ≦１、ｙは０≦ｙ≦１、ｚは０＜ｚ＜１／３、ｗは０＜ｗ≦ｚの数値を表わす。）
2. 前記一般式（１）において、ｚは０．１≦ｚ≦０．２であることを特徴とする請求項１に記載の圧電材料。
3. 前記圧電材料が基板上に設けられた厚み２００ｎｍ以上１０μｍ以下の膜であることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電材料。
4. 前記ペロブスカイト酸窒化物が正方晶構造を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電材料。
5. 圧電材料と、該圧電材料に接して設けられた一対の電極とを少なくとも有する圧電素子であって、前記圧電材料が請求項１乃至４のいずれか一項に記載の圧電材料であることを特徴とする圧電素子。
6. 請求項５に記載の圧電素子を用いたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
7. 請求項５に記載の圧電素子を用いたことを特徴とする超音波モータ。
8. 請求項５に記載の圧電素子を用いたことを特徴とする塵埃除去装置。
9. 請求項８記載の塵埃除去装置を搭載した光学デバイス。
10. 請求項５記載のいずれか一項に記載の圧電素子を備えた、超音波振動子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、強誘電メモリ、いずれかのデバイス。