JP2014111523A5 - - Google Patents

Description

本発明に係る圧電材料は、下記一般式（１）
（Ｂａ_１−ｘＣａ_ｘ）_ａ（Ｔｉ_{１−ｙ−ｚ}Ｓｎ_ｙＺｒ_ｚ）Ｏ_３ （１）（式中、ｘは０．０５０≦ｘ≦０．２００、ｙは０．０１０≦ｙ≦０．０４０、ｚは０≦ｚ≦０．０４０を示す。ただしｘ≧０．３７５（ｙ＋ｚ）＋０．０５０である。ａは０．９９２５＋ｂ≦ａ≦１．００２５＋ｂを示す。ただしｂは０．００４８≦ｂ≦０．０４００である。）
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物と、
Ｍｎ成分と、
Ｍｇ成分を含有し、
前記ｂは前記Ｍｎの含有量が前記ペロブスカイト型金属酸化物１モルに対して金属換算でｂモルであることを示し、前記Ｍｇの含有量は前記ペロブスカイト型金属酸化物１００重量部に対して金属換算で０．１００重量部以下であることを特徴とする。

本発明に係る圧電素子は、第一の電極、前記圧電材料および第二の電極を有することを特徴とする。

本発明に係る積層圧電素子は、前記圧電材料を含む圧電材料層と、電極とが交互に積層されたことを特徴とする。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、上記の圧電素子または積層圧電素子を配した振動部を備えた液室と、前記液室と連通する吐出口を有することを特徴とする。

本発明に係る超音波モータは、上記の圧電素子または積層圧電素子を配した振動体と、前記振動体と接触する移動体とを有することを特徴とする。

本発明に係る撮像装置は、上記の塵埃除去装置と撮像素子ユニットを有する撮像装置であって、前記塵埃除去装置を前記撮像素子ユニットの受光面側に設けたことを特徴とする。

本発明に係る圧電音響部品は、上記の圧電素子または積層圧電素子を備えたことを特徴とする。
本発明に係る電子機器は、上記の圧電素子または積層圧電素子を備えたことを特徴とする。

また、本発明は前記圧電材料を用いた圧電素子、積層圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器、振動装置、塵埃除去装置、撮像装置、圧電音響部品および電子機器を提供することができる。

Claims (21)

1. 下記一般式（１）
   （Ｂａ_１−ｘＣａ_ｘ）_ａ（Ｔｉ_{１−ｙ−ｚ}Ｓｎ_ｙＺｒ_ｚ）Ｏ_３ （１）
   （式中、ｘは０．０５０≦ｘ≦０．２００、ｙは０．０１０≦ｙ≦０．０４０、ｚは０≦ｚ≦０．０４０を示す。ただしｘ≧０．３７５（ｙ＋ｚ）＋０．０５０である。ａは０．９９２５＋ｂ≦ａ≦１．００２５＋ｂを示す。ただしｂは０．００４８≦ｂ≦０．０４００である。）
   で表わされるペロブスカイト型金属酸化物と、
   Ｍｎ成分と、
   Ｍｇ成分を含有し、
   前記ｂは前記Ｍｎの含有量が前記ペロブスカイト型金属酸化物１モルに対して金属換算でｂモルであることを示し、前記Ｍｇの含有量は前記ペロブスカイト型金属酸化物１００重量部に対して金属換算で０．１００重量部以下であることを特徴とする圧電材料。
2. 前記ペロブスカイト型金属酸化物が、前記一般式（１）においてｚ＝０であることを特徴とする請求項１に記載の圧電材料。
3. 前記圧電材料が、Ｃｕ、ＢおよびＳｉから選ばれる少なくとも１種の成分を含有しており、前記Ｃｕ、ＢおよびＳｉから選ばれる少なくとも１種の含有量が前記ペロブスカイト型金属酸化物１００重量部に対して金属換算で０．００１重量部以上４．０００重量部以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電材料。
4. 前記圧電材料を構成する結晶粒の平均円相当径が１μｍ以上１０μｍ以下であり、かつ円相当径が２５μｍ以下である結晶粒の含有量が９９個数パーセント以上であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電材料。
5. 前記圧電材料の相対密度が９０％以上１００％以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の圧電材料。
6. 第一の電極、請求項１乃至５のいずれかに記載の圧電材料および第二の電極を有する圧電素子。
7. 請求項１乃至５のいずれかに記載の圧電材料を含む圧電材料層と、電極とが交互に積層された積層圧電素子。
8. 前記電極がＡｇとＰｄを含み、前記Ａｇの含有重量Ｍ１と前記Ｐｄの含有重量Ｍ２との重量比Ｍ１／Ｍ２が１．５≦Ｍ１／Ｍ２≦９．０であることを特徴とする請求項７に記載の積層圧電素子。
9. 請求項６に記載の圧電素子または請求項７または８に記載の積層圧電素子を配した振動部を備えた液室と、前記液室と連通する吐出口を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
10. 被転写体の載置部と請求項９に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液体吐出装置。
11. 請求項６に記載の圧電素子または請求項７または８に記載の積層圧電素子を配した振動体と、前記振動体と接触する移動体とを有することを特徴とする超音波モータ。
12. 駆動部に請求項１１に記載の超音波モータを備えたことを特徴とする光学機器。
13. 請求項６に記載の圧電素子または請求項７または８に記載の積層圧電素子を配した振動体を有することを特徴とする振動装置。
14. 請求項１３に記載の振動装置を振動板に配した振動部に備えたことを特徴とする塵埃除去装置。
15. 請求項１４に記載の塵埃除去装置と撮像素子ユニットを有する撮像装置であって、前記塵埃除去装置を前記撮像素子ユニットの受光面側に設けたことを特徴とする撮像装置。
16. 請求項６に記載の圧電素子または請求項７または８に記載の積層圧電素子を備えた圧電音響部品。
17. 請求項６に記載の圧電素子または請求項７または８に記載の積層圧電素子を備えた電子機器。
18. Ｂａ、Ｃａ、Ｔｉ、ＳｎおよびＺｒを含むペロブスカイト型金属酸化物、あるいはＢａ、Ｃａ、ＴｉおよびＳｎを含むペロブスカイト型金属酸化物と
    Ｍｎ成分とＭｇ成分を含み、
    Ｂａ、Ｃａのモル数の和に対するＣａのモル数の比であるｘが０．０５０£ｘ£０．２００であり、
    Ｔｉ、Ｓｎ、Ｚｒのモル数の和に対するＳｎのモル数の比であるｙが、０．０１０£ｙ£０．０４０であり、
    Ｔｉ、Ｓｎ、Ｚｒのモル数の和に対するＺｒのモル数の比であるｚが、０£ｚ£０．０４０であり、
    前記Ｂａ、Ｃａ、Ｔｉ、ＳｎおよびＺｒを含む酸化物１モル、あるいは前記Ｂａ、Ｃａ、ＴｉおよびＳｎを含む酸化物１モル、に対する金属換算での前記Ｍｎのモル数であるｂの値は、０．００４８£ｂ£であり、
    Ｔｉ、Ｓｎ、Ｚｒのモル数の和に対するＢａ、Ｃａのモル数の和の比であるａの値は０．９９２５＋ｂ£ａ£１．００２５＋ｂを満たし、
    前記Ｂａ、Ｃａ、Ｔｉ、ＳｎおよびＺｒを含む酸化物１００重量部、あるいは前記Ｂａ、Ｃａ、ＴｉおよびＳｎを含む酸化物１００重量部に対して０．１００重量部以下含む圧電材料。
19. 第一の電極、請求項１８のいずれかに記載の圧電材料および第二の電極を有する圧電素子。
20. 請求項１８記載の圧電材料を含む圧電材料層と、電極層が交互に積層された積層圧電素子。
21. 請求項１９記載の圧電素子あるいは請求項２０記載の積層圧電素子を備えた電子機器。