JP5116250B2 - 積層圧電素子及びその製造方法、並びに振動波駆動装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 21
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 8
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 183
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 20
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 17
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 15
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 13
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000000975 co-precipitation Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 2
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/874—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices embedded within piezoelectric or electrostrictive material, e.g. via connections
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
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Description
<積層圧電素子1の構造>
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る積層圧電素子の構成を示す構造図である。また、図2は、図1の積層圧電素子の長手方向の断面図である。
図3は、図1の積層圧電素子1の製造方法を示す工程図である。
圧電層2−1〜2−8は、一定寸法の形状に切り出したグリーンシートから成り、電極層3−1〜3−6は、導電材料である銀・パラジウムの粉末を主成分とし有機ビヒクルと混練した導電ペーストを前記グリーンシート上にスクリーン印刷で形成して設ける。電極層を形成していないグリーンシートと所定の電極層を形成したグリーンシートとを順に重ね、加圧して積層一体化する。
積層一体化工程後は、所定温度(例えば1100℃)の鉛雰囲気で焼成し一体焼結させる。焼成により、始めにグリーンシートの有機バインダーと導電ペーストの有機ビヒクルは焼失する。焼結が終わると、グリーンシートは焼結し圧電セラミックスとして圧電層になり、導電ペーストは導電材料の粉末が焼結し導電性を有する電極層になる。
焼成後は分極処理を行う。この分極処理では、まず、3本のスルーホール6−1、6−2、6−3に繋がる表面電極層3−1−1、3−1−2、3−1−3にそれぞれ金属ピン(不図示)を押し当てる。次いで、表面電極層3−1−1をグランド(G)とし、表面電極層3−1−2と3−1−3をプラス(+)として、所定温度(例えば100〜150℃)のオイル中で、所定電圧(例えば200V)を印加して、約10分〜30分かけて分極を行う。この結果、電極層3−2、3−4をグランド(G)とし、電極層3−3をプラス(+)として、圧電層2−2と2−3は分極される。
上記の分極処理後は、両面ラップ加工または平面研削加工を行うことで、積層圧電素子1の上面及び下面を削り平坦化する。圧電層2−1と2−8はその表面から厚さの半分ほど(約30μm)が削られ、表面電極層3−1も削り落とされる。
従来例では、非駆動部に、本実施の形態の電極層3−5と3−6に相当する、外形まで達する全面の電極層を設けていない。そのため、焼成し分極処理した後は反りの発生が顕著であり、表面を平坦に加工すると、本実施の形態の電極層3−2に相当する電極層が表面に露出して、振動波モータの振動体として使用ができなかった。
上記第1の実施の形態で説明した積層圧電素子を複数配列した積層圧電素子板を用意し、この積層圧電素子板から個々の素子を分離する実施の形態について説明する。即ち、第2の実施の形態では、小寸法の素子を量産するに際し、1個単独で作るのではなく多数個を同時に作り、生産性を上げるようにしたものである。
従来例では、表面電極層を上面にして焼成・分極処理した場合、駆動部には、本実施の形態の全面電極層3−5’、3−6’に相当する電極層を設けていないため、従来の積層圧電素子板の反りは大きなものとなる。即ち、図5に示すように、積層圧電素子板7の反りの変形による凸部の高さをHとし、積層圧電素子板7の厚さをTとした場合に、積層圧電素子板7の反りLは、次式で計算することができる。
この計算式により、従来例の反りLを求めると、積層圧電素子板の反りLは50〜70μmも発生した。
図6(a),(b)は、本発明の第3の実施の形態に係る積層圧電素子板の構造図であり、同図(a)は斜視図、同図(b)はB’−B’断面図である。
このような積層圧電素子板7’において、非駆動部5の電極層3−7と3−8を用いて圧電層2−6’の分極処理も行い、第2の実施の形態の計算式で測定すると、積層圧電素子板7’の反りLは、0〜5μmとなり、従来例よりも大幅に減少した。
図7は、上記各実施の形態に係る積層圧電素子を用いた振動波モータの構成を示す斜視図である。
2−1〜2−8 圧電層
3−1 表面電極層
3−2〜3−6 電極層
4 駆動部
5 非駆動部
8 振動体
Claims (8)
- 導電層に対する電圧の印加により駆動し積層圧電素子に振動を発生させる駆動部と、前記振動の発生が可能な厚さで構成された非駆動部とを備え、
前記駆動部及び前記非駆動部が圧電材料から成る圧電層を積層して成り、
前記駆動部と前記非駆動部は一体焼成されており、
前記駆動部は分極されており、
前記駆動部において、前記圧電層の間に1つ以上の導電層があり、
前記非駆動部において、前記圧電層の間に1つ以上の導電層があり、
前記非駆動部の前記導電層は、前記駆動部の前記導電層より、焼成中の収縮が早くなるように構成されていることを特徴とする積層圧電素子。 - 前記非駆動部の前記導電層は、前記駆動部の前記導電層よりも厚く構成したことを特徴とする請求項1に記載の積層圧電素子。
- 前記非駆動部の前記導電層は、前記駆動部の前記導電層よりも領域面積を広く構成したことを特徴とする請求項1または2に記載の積層圧電素子。
- 前記駆動部と前記非駆動部の導電層は、ペースト状の導電材料である導電ペーストを使用して形成され、
前記非駆動部の前記導電層を形成する導電ペーストは、前記駆動部の前記導電層を形成する導電ペーストよりも単位面積当たりの使用量が多いことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の積層圧電素子。 - 前記駆動部と前記非駆動部の導電層は、ペースト状の導電材料である導電ペーストを使用して形成され、
前記非駆動部の前記導電層を形成する導電ペーストは、前記駆動部の前記導電層を形成する導電ペーストよりも主成分である導電材料の比率が多いことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の積層圧電素子。 - 前記非駆動部の前記導電層に挟まれた圧電層は、分極されていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の積層圧電素子。
- 請求項1乃至6の何れか1項に記載の積層圧電素子を振動体とし、前記振動体と、前記振動体に加圧されて接触する接触体とを相対的に移動させることを特徴とする振動波駆動装置。
- 請求項1乃至6の何れか1項に記載の積層圧電素子の製造方法であって、
前記導電層を形成するためのペースト状の導電材料から成る導電ペーストと、前記圧電層を形成するためシート状の圧電材料から成る圧電シートとを予め用意しておき、
前記導電ペーストが塗布された圧電シートと前記導電ペーストが塗布されていない圧電シートとを重ねて一体化する積層一体化工程と、
前記積層一体化工程後の積層物を焼成する焼成工程とを有し、
前記積層一体化工程は、前記焼成工程後において前記非駆動部に1つ以上の導電層が形成されるように、圧電シートを積層一体化したことを特徴とする積層圧電素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006108862A JP5116250B2 (ja) | 2006-04-11 | 2006-04-11 | 積層圧電素子及びその製造方法、並びに振動波駆動装置 |
US11/696,177 US7808162B2 (en) | 2006-04-11 | 2007-04-03 | Stacked piezoelectric element and vibration wave driving apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006108862A JP5116250B2 (ja) | 2006-04-11 | 2006-04-11 | 積層圧電素子及びその製造方法、並びに振動波駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007281362A JP2007281362A (ja) | 2007-10-25 |
JP5116250B2 true JP5116250B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=38574498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006108862A Expired - Fee Related JP5116250B2 (ja) | 2006-04-11 | 2006-04-11 | 積層圧電素子及びその製造方法、並びに振動波駆動装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7808162B2 (ja) |
JP (1) | JP5116250B2 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7999442B2 (en) * | 2006-12-22 | 2011-08-16 | Seiko Instruments Inc. | Piezoelectric actuator and electronics device using the same |
JP2009124791A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Canon Inc | 振動体及び振動波アクチュエータ |
DE102009003312A1 (de) | 2008-10-14 | 2010-04-15 | Hesse & Knipps Gmbh | Bondvorrichtung, Ultraschall-Transducer und Bondverfahren |
WO2010057939A1 (de) * | 2008-11-20 | 2010-05-27 | Ceramtec Ag | Vielschichtaktor mit aussenelektroden als metallische, poröse, dehnbare leitschicht |
JP2010171360A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-08-05 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 |
US8299687B2 (en) * | 2010-07-21 | 2012-10-30 | Transducerworks, Llc | Ultrasonic array transducer, associated circuit and method of making the same |
JP5943590B2 (ja) * | 2011-01-07 | 2016-07-05 | 日本発條株式会社 | 圧電素子の製造方法、圧電素子、圧電アクチュエータ、及びヘッド・サスペンション |
US20130100775A1 (en) * | 2011-10-25 | 2013-04-25 | Matthew Todd Spigelmyer | System and method for providing discrete ground connections for individual elements in an ultrasonic array transducer |
JP5984523B2 (ja) * | 2012-06-15 | 2016-09-06 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
US9846091B2 (en) | 2013-03-12 | 2017-12-19 | Interlink Electronics, Inc. | Systems and methods for press force detectors |
US9574954B2 (en) | 2013-03-12 | 2017-02-21 | Interlink Electronics, Inc. | Systems and methods for press force detectors |
US9261418B2 (en) * | 2013-03-12 | 2016-02-16 | Interlink Electronics, Inc. | Systems and methods for common mode signal cancellation in press detectors |
JP6348287B2 (ja) * | 2014-01-14 | 2018-06-27 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧電素子 |
WO2015131083A1 (en) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | The Regents Of The University Of California | Variable thickness diaphragm for a wideband robust piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (pmut) |
DE102014116120A1 (de) * | 2014-11-05 | 2016-05-12 | Bürkert Werke GmbH | Membranaktor sowie Verfahren zur Herstellung eines Membranaktors |
US10864553B2 (en) * | 2015-01-16 | 2020-12-15 | The Regents Of The University Of California | Piezoelectric transducers and methods of making and using the same |
JP6729015B2 (ja) * | 2016-06-08 | 2020-07-22 | Tdk株式会社 | 圧電素子 |
JP6932935B2 (ja) * | 2017-02-01 | 2021-09-08 | Tdk株式会社 | 圧電アクチュエータ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07221357A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 積層圧電素子 |
WO1997026681A1 (en) * | 1996-01-18 | 1997-07-24 | Philips Electronics N.V. | Composite piezoelectric multilayer element and method of manufacturing such an element |
JPH09270540A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Chichibu Onoda Cement Corp | 積層型圧電アクチュエータ素子及びその製造方法 |
DE69916344T2 (de) * | 1998-01-23 | 2005-05-12 | Océ-Technologies B.V. | Pizoelektrischer Betätiger für Tintenstrahldruckkopf |
JP3128548B2 (ja) * | 1999-03-11 | 2001-01-29 | 沖電気工業株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US6351393B1 (en) * | 1999-07-02 | 2002-02-26 | International Business Machines Corporation | Electronic package for electronic components and method of making same |
JP3716724B2 (ja) * | 1999-09-30 | 2005-11-16 | ブラザー工業株式会社 | 圧電式インクジェットプリンタヘッドの圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
JP3730893B2 (ja) * | 2001-09-20 | 2006-01-05 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子及びその製法並びに噴射装置 |
JP4989019B2 (ja) | 2003-04-28 | 2012-08-01 | 京セラ株式会社 | セラミックス基板、圧電アクチュエータ基板、圧電アクチュエータおよびこれらの製造方法 |
JP4697929B2 (ja) * | 2003-11-13 | 2011-06-08 | キヤノン株式会社 | 積層圧電素子及び振動波駆動装置 |
EP1753039B1 (en) * | 2004-03-29 | 2012-10-24 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element |
-
2006
- 2006-04-11 JP JP2006108862A patent/JP5116250B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-04-03 US US11/696,177 patent/US7808162B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7808162B2 (en) | 2010-10-05 |
US20070236107A1 (en) | 2007-10-11 |
JP2007281362A (ja) | 2007-10-25 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A072 | Dismissal of procedure [no reply to invitation to correct request for examination] |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |