JP2005168281A - 積層圧電素子及び振動波駆動装置 - Google Patents
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- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 48
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 27
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 21
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 13
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 9
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 19
- 239000002783 friction material Substances 0.000 abstract description 15
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 38
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 38
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 16
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 11
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 10
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003854 Surface Print Methods 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/106—Langevin motors
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/503—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view
- H10N30/505—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view the cross-section being annular
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Abstract
【解決手段】 リニア型振動波モータを、振動体32とスライダ33から構成する。振動体32を構成する積層圧電素子30を、圧電不活性部36と圧電活性部37から構成すると共に、圧電不活性部37の上面に摩擦材31を接合する。摩擦材31を、スライダ33の摩擦材33−2に接触する接触部31−1、該接触部31−1と同じ厚さの部位31−2、薄板部31−3、31−4から構成する。振動体32に異なる2つの曲げ振動からなる複合振動を生成することで、振動体32を構成する積層圧電素子30の圧電不活性部37上面の2つの接触部31−1の表面に、楕円運動または円運動を発生させる。
【選択図】 図7
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る積層電気−機械エネルギ変換素子である積層圧電素子の構成を示す図であり、軸線Lから右半分は断面図、軸線Lから左半分は外観図である。図2は、積層圧電素子の製造の途中段階を示すと共にその積層構造を示す斜視図である。尚、以下では製造途中段階の積層圧電素子と製造後の積層圧電素子には便宜上同じ符号を付すものとする。
図4は、本発明の第2の実施の形態に係る積層圧電素子の構成を示す斜視図である。図5は、積層圧電素子の製造途中の段階を示すと共にその積層構造を示す斜視図である。尚、以下では製造途中段階の積層圧電素子と製造後の積層圧電素子には便宜上同じ符号を付すものとする。
3、26、36 圧電活性部
4、27、37 圧電不活性部
5、22 圧電層
6、23 内部電極
7 外部電極
8 凹部
10、20、32 振動体
11 振動波モータ
18 ロータ
21 突起部
31 摩擦材
31−1 接触部
33 スライダ
Claims (11)
- 複数の層から構成される積層圧電素子において、
電気量を機械量に変換する変換機能を有する材料の層と複数に分割された電極材料の層とを複数層重ねた圧電活性部と、前記変換機能を有する材料の層を少なくとも一層又は複数層重ねた圧電不活性部とを積層して一体化すると共に、前記圧電不活性部の厚さを、前記積層圧電素子に複数の振動を発生可能な厚さとしたことを特徴とする積層圧電素子。 - 複数の層から構成される積層圧電素子において、
電気量を機械量に変換する変換機能を有する材料の層と複数に分割された電極材料の層とを複数層重ねた圧電活性部と、前記変換機能を有する材料の層を少なくとも一層又は複数層重ねた圧電不活性部とを積層して一体化すると共に、前記圧電不活性部に、前記積層圧電素子に発生可能な複数の振動の変位を拡大する変位拡大部を形成したことを特徴とする積層圧電素子。 - 前記積層圧電素子を円筒形状とし、前記圧電活性部の積層方向の両側に前記圧電不活性部を積層して一体化したことを特徴とする請求項1又は2記載の積層圧電素子。
- 前記圧電不活性部の一部に凹部を形成したことを特徴とする請求項3記載の積層圧電素子。
- 前記複数の振動は、前記積層圧電素子の軸方向に交差する少なくとも2つの曲げ振動であることを特徴とする請求項3又は4記載の積層圧電素子。
- 前記積層圧電素子を平板形状とし、前記圧電活性部の積層方向の一方の側に前記圧電不活性部を積層して一体化したことを特徴とする請求項1又は2記載の積層圧電素子。
- 前記圧電不活性部の一部に凸部を形成したことを特徴とする請求項6記載の積層圧電素子。
- 前記複数の振動は、複数の曲げ振動であることを特徴とする請求項6又は7記載の積層圧電素子。
- 前記請求項1乃至5の何れかに記載の積層圧電素子を備え、前記積層圧電素子を振動体とし、前記振動体に加圧されて接触する接触体を回転させることを特徴とする振動波駆動装置。
- 前記請求項1、2、6乃至8の何れかに記載の積層圧電素子を備え、前記積層圧電素子を振動体とし、前記振動体と前記振動体に加圧されて接触する接触体とを相対的に移動させることを特徴とする振動波駆動装置。
- 振動体に振動を発生させ、前記振動体に加圧されて接触する接触体を回転させる振動波駆動装置において、
前記振動体が電気量を機械量に変換する変換機能を有する材料の層と複数に分割された電極材料の層とを複数層重ねた圧電活性部と、前記変換機能を有する材料の層を複数層重ねた圧電不活性部とを積層して一体化した積層圧電素子で構成され、前記接触体が前記圧電不活性部に加圧されて接触することを特徴とする振動波駆動装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004299072A JP4697929B2 (ja) | 2003-11-13 | 2004-10-13 | 積層圧電素子及び振動波駆動装置 |
US10/985,374 US7233096B2 (en) | 2003-11-13 | 2004-11-10 | Multilayer piezoelectric element and vibration-wave drive device |
CNB2004100929828A CN100399598C (zh) | 2003-11-13 | 2004-11-12 | 多层压电元件和振动波驱动设备 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003383896 | 2003-11-13 | ||
JP2003383896 | 2003-11-13 | ||
JP2004299072A JP4697929B2 (ja) | 2003-11-13 | 2004-10-13 | 積層圧電素子及び振動波駆動装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005168281A true JP2005168281A (ja) | 2005-06-23 |
JP2005168281A5 JP2005168281A5 (ja) | 2007-11-15 |
JP4697929B2 JP4697929B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=34575960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004299072A Expired - Fee Related JP4697929B2 (ja) | 2003-11-13 | 2004-10-13 | 積層圧電素子及び振動波駆動装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7233096B2 (ja) |
JP (1) | JP4697929B2 (ja) |
CN (1) | CN100399598C (ja) |
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DE102013107154A1 (de) * | 2013-07-08 | 2015-01-22 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Antriebsvorrichtung |
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JP2016086540A (ja) * | 2014-10-27 | 2016-05-19 | キヤノン株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータを用いた駆動装置 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4697929B2 (ja) | 2011-06-08 |
CN1617366A (zh) | 2005-05-18 |
CN100399598C (zh) | 2008-07-02 |
US7233096B2 (en) | 2007-06-19 |
US20050104476A1 (en) | 2005-05-19 |
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