KR100680307B1 - 압전 진동자 및 이를 구비한 초음파 모터 - Google Patents

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Abstract

압전 진동자 및 이를 구비한 초음파 모터가 개시된다. 사각형의 단면을 갖는 탄성부재와, 탄성부재의 각 면에 부착되어 전기 신호가 입력되면 탄성부재를 종방향 및 굴곡방향으로 진동시키는 압전소자를 포함하고, 압전소자는 모두 동일한 크기를 가지고 상기 탄성부재보다 길이가 짧은 것을 특징으로 하는 압전 진동자는 압전소자가 하나의 분극 방향만을 갖기 때문에 제조시간 및 비용을 절감할 수 있고, 압전소자가 모두 동시에 진동하기 때문에 부피를 단순·간소화할 수 있을 뿐만 아니라 진동성능을 향상시킬 수 있게 된다.
압전소자, 압전 진동자, 초음파 모터

Description

압전 진동자 및 이를 구비한 초음파 모터{Piezoelectric Vibrator and Ultrasonic Motor Having Piezoelectric Vibrator}
도 1은 종래의 압전 진동자를 도시한 평면도.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자를 나타내는 사시도.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자에서 압전소자의 분극 방향을 도시한 개략도.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 다른 압전 진동자에 있어서, 주파수의 변화에 따른 압전소자의 어드미턴스를 나타낸 그래프.
도 5는 ATILATM 프로그램을 이용하여 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자의 종방향 진동을 나타낸 도면.
도 6a는 ATILATM 프로그램을 이용하여 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자의 x축 방향으로의 굴곡방향 진동을 나타낸 도면.
도 6b는 ATILATM 프로그램을 이용하여 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자의 y축 방향으로의 굴곡방향 진동을 나타낸 도면.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자를 나타내는 사시도.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자에서 압전 소자의 분극 방향 을 도시한 개략도.
도 9a는 ATILATM 프로그램을 이용하여 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자의 종방향 진동을 나타낸 도면.
도 9b는 ATILATM 프로그램을 이용하여 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자의 굴곡방향 진동을 나타낸 도면.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동자를 나타내는 사시도.
도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동자에서 압전 소자의 분극 방향을 도시한 개략도.
도 12a는 ATILATM 프로그램을 이용하여 본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동자의 종방향 진동을 나타낸 도면.
도 12b는 ATILATM 프로그램을 이용하여 본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동자의 굴곡방향 진동을 나타낸 도면.
도 13은 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자를 나타내는 사시도.
도 14는 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자의 도전성 전극의 일실시예를 나타내는 사시도.
도 15는 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자에서 각각의 압전소자의 분극 방향을 나타내는 개략도.
도 16a는 ATILATM 프로그램을 이용하여 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진 동자의 종방향 진동을 나타낸 도면.
도 16b는 ATILATM 프로그램을 이용하여 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자의 굴곡방향 진동을 나타낸 도면.
도 17은 본 발명의 제5실시예에 따른 초음파 모터의 분해 사시도.
도 18은 본 발명의 제5실시예에 따른 초음파 모터의 결합 사시도.
도 19는 본 발명의 제5실시예에 따른 초음파 모터의 단면도.
본 발명은 압전 진동자 및 압전 진동자를 구비한 초음파 모터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 단순한 구성과 간소한 부피를 가짐과 동시에 진동 성능을 향상시킬 수 있는 압전 진동자 및 이를 구비한 초음파 모터에 관한 것이다.
최근 코일의 권선을 필요로 하지 않는 모터, 예를 들어 장치의 소형화 등에 적합한 모터로서 초음파 모터가 시선을 끌고 있다. 초음파 모터는 전력 소모가 적고 경량이며 선형 운동을 기어 없이 직접 얻을 수 있고, 속도와 위치제어를 전기적으로 제어할 수 있을 뿐만 아니라 정방향 또는 역방향으로의 움직임이 가능하기 때문에 널리 사용되고 있다.
도 1은 종래의 초음파 모터에 사용되는 압전 진동자(10)를 나타낸 평면도이다.
종래의 압전 진동자(10)는 압전 세라믹 등으로 이루어진 직사각형 형상의 압전소자(13)와, 압전소자(13)의 일면에 형성된 돌출부(11)를 포함한다. 돌출부(11)는 피동체(미도시)를 가압하고 있는데, 압전소자(13)의 진동에 의해 돌출부(11)가 피동체를 움직이게 한다. 압전소자(13)에는 4개의 분극 영역(polization region) 즉, 제1분극영역(13a), 제2분극영역(13b), 제3분극영역(13c) 및 제4분극영역(13d)이 형성되어 있는데, 모든 분극 영역(13a, 13b, 13c, 13d)은 두께 방향으로 동일한 분극 방향을 갖는다. 4개의 분극 영역(13a, 13b, 13c, 13d)은 동일한 크기를 가지고 두 개의 열을 이루며 배열된다. 그리고 4개의 분극 영역(13a, 13b, 13c, 13d) 상에는 전극(electrode)이 각각 형성되어 있다.
제1분극영역(13a) 및 제4분극영역(13d)은 동일한 분극 방향을 갖는다. 그리고 제2분극 영역(13b) 및 제3분극영역(13c) 또한 제1분극영역(13a)과 반대 방향의 분극 방향을 갖는다. 그리고 제1분극영역(13a) 및 제4분극영역(13d) 그리고 제2분극영역(13b) 및 제3분극영역(13c)는 각각 리드 와이어(17)에 의해 연결되어 있다.
제1분극영역(13a) 및 제4분극영역(13d)에 전류가 인가되면 압전소자(13)가 종방향(longitudinal direction)으로 진동하고, 제2분극영역(13b) 및 제3분극영역(13c)에 전류가 인가되면 굴곡방향(bending direction)으로 진동한다. 이때, 제1분극영역(13a) 및 제4분극영역(13d)이 진동하는 경우, 제2분극영역(13b) 및 제3분극영역(13c)은 진동하지 않는다. 또한, 제2분극영역(13b) 및 제3분극영역(13c)이 진동하는 경우 제1분극영역(13a) 및 제4분극영역(13d)은 진동하지 않는다.
위에서 살펴 본 바와 같이, 종래의 압전 진동체(10)는 하나의 압전 소자 (13)에 2개의 분극 방향을 갖기 때문에, 2번의 분극 공정이 필요하게 된다. 이로 인해 압전 소자의 제작시간 및 비용이 상승하는 문제점이 있다. 특히, 하나의 압전소자(13)에 두 번의 분극을 나누어 실시하면 분극을 먼저 실시한 부분에서는 소극(depolization)이 발생하여 압전소자(13)의 성능이 저하된다.
그리고 종래의 압전 진동체(10)는 대각선 방향에 있는 한 쌍의 분극영역(13a, 13d)만 여기(excited)되고 다른 한 쌍(13b, 13c)은 여기 되지 않는데, 이는 압전 진동체(10)의 진동 성능의 저하를 유발한다. 이로 인해 종래의 압전 진동체(10)는 진동 성능을 향상시키기 위해서 더욱 높은 전압을 인가해야 하는 문제점이 있다. 또한, 종래의 압전 진동체(10)는 진동 성능의 향상을 위해 압전소자(13)를 다수 층으로 적층 하여 사용했는데, 이는 압전소자의 부피가 증가하는 문제점을 유발한다.
그리고 분극은 압전소자(13)에 높은 직류전압을 인가함으로써 압전소자(13) 내부에 있는 쌍극자(dipole)를 원하는 방향으로 배열하는 것을 의미하는데, 분극 과정에서 적층된 압전소자(13) 사이에 있는 전극과의 경계면에서 응력(stress)이 집중적으로 발생한다. 이러한 응력은 추후 압전 진동자(10)의 동작시 크랙(crack)의 발생요인이 되며 압전소자(13)의 특성저하를 유발한다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로,
본 발명의 목적은 하나의 압전소자에 두 번의 분극 공정을 수행할 필요가 없기 때문에 제작 시간 및 비용을 절감할 수 있는 압전 진동자 및 이를 구비한 초음 파 모터를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 부피를 작게 할 수 있을 뿐만 아니라 구조가 단순하고 진동 성능을 향상시킬 수 있는 압전 진동자 및 이를 구비한 초음파 모터를 제공하는 것이다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서 다음과 같은 구성을 갖는 실시예에 의해 구현된다.
본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자는 사각형의 단면을 갖는 탄성부재와, 탄성부재의 각 면에 부착되어 전기 신호가 입력되면 탄성부재를 종방향 및 굴곡방향으로 진동시키는 압전소자를 포함하고, 압전소자는 모두 동일한 크기를 가지고 탄성부재보다 길이가 짧다.
이와 같은 구성을 갖는 압전 진동자는 단일한 분극 방향을 갖는 압전소자를 사용하기 때문에, 압전 진동자의 제작시간 및 비용을 줄일 수 있다. 그리고 탄성부재의 각 면에 부착된 압전소자가 모두 동시에 진동하기 때문에 진동성능을 향상할 수 있으며 압전 진동자의 부피를 감소할 수 있게 된다. 또한, 압전소자는 탄성부재를 진동시키기 때문에 종래의 압전 진동자에 비해 강성이 우수한 장점이 있다.
탄성부재의 마주 보는 면에 부착된 한 쌍의 압전소자는 서로 동일한 방향으로 분극되고, 다른 한 쌍은 서로 반대 방향으로 분극된다. 따라서, 한 쌍의 압전소자는 종방향으로 진동하고 이와 동시에 다른 쌍의 압전소자는 굴곡방향으로 진동할 수 있게 된다. 따라서 종방향 운동과 굴곡방향 운동의 합성에 의해 탄성부재의 일 단은 탄원을 그리며 운동하게 된다.
압전소자의 일단부는 탄성부재의 일단부와 정렬함으로써 탄성부재의 일단에 진동을 집중시킬 수 있다. 또한, 압전소자의 한쪽 모서리는 깎여져 있으며, 깎여진 모서리가 외부로 향하도록 배치함으로써 압전소자 상호 간의 쇼트를 방지할 수 있다.
탄성부재의 길이는 압전소자 길이의 두 배로 형성함으로써 탄성부재의 진동의 크기를 최대로 하는 것이 바람직하다. 탄성부재의 마주 보는 면에 부착된 한 쌍의 압전소자와 다른 한 쌍의 압전소자에는 90°의 위상차를 갖는 전압이 각각 인가되기 때문에 한 쌍은 굴곡방향으로, 다른 한 쌍은 종방향으로 진동할 수 있게 된다.
본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자는 동일한 직육면체 형상을 갖고 상호 반대 방향으로 분극되어 접합된 한 쌍의 제1압전소자와, 동일한 직육면체 형상을 갖고 제1압전소자의 일면에 각각 부착되며 상호 동일한 방향으로 분극된 한 쌍의 제2압전소자를 포함하며, 제1압전소자는 제2압전소자에 비해 길이가 길고, 전기 신호가 입력되면 제1압전소자는 종방향으로 진동하고 상기 제2압전소자는 굴곡방향으로 진동하게 된다.
따라서 본 발명의 제2실시예 및 제3실시예에 따른 압전 진동자는 단일한 분극 방향을 갖는 압전소자를 사용하기 때문에, 압전 진동자의 제작시간 및 비용을 줄일 수 있다. 그리고 탄성부재의 각 면에 부착된 압전소자가 모두 동시에 진동하기 때문에 진동성능을 향상할 수 있으며 압전 진동자의 부피를 감소할 수 있는 효 과를 도모할 수 있다. 또한, 압전소자만을 이용하기 때문에 압전 진동자의 제작이 용이하다.
각각의 제2압전소자의 일단부를 제1압전소자의 일단부와 정렬함으로써 제2압전소자의 일단부에서의 변위를 최대로 할 수 있고, 각각의 제2압전소자를 제1압전소자의 중앙에 부착함으로써 제2압전소자의 양단이 진동하게 할 수도 있다.
제1압전소자의 길이는 제2압전소자 길이의 두 배로 형성함으로써 제1압전소자의 진동량을 최대로 하는 것이 바람직하다. 그리고 제1압전소자와 제2압전소자에는 90°의 위상차를 갖는 전기 신호가 입력되기 때문에 제1압전소자 및 제2압전소자는 동시에 종방향 및 굴곡방향으로 진동할 수 있게 된다.
본 발명의 제4실시예에 따른 압전소자는 하나의 분극 방향만을 갖는 다수 층의 압전소자와, 압전소자의 양면에 형성되어 각각 상호 연결된 전도성 전극과, 압전소자의 일면에 형성된 돌출부를 포함하며, 인접하는 각각의 압전소자는 모두 반대 방향으로 분극되며, 상기 전극은 모두 상호 전기적으로 연결되어 있다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자는 단일한 분극 방향만을 갖는 압전소자를 사용하기 때문에, 압전 진동자의 제작시간 및 비용을 줄일 수 있다. 그리고 탄성부재의 각 면에 부착된 압전소자가 모두 동시에 진동하기 때문에 진동성능을 향상할 수 있으며 압전 진동자의 부피를 감소할 수 있는 효과를 도모할 수 있다.
전도성 전극에 4 위상(phase)을 가지는 전기 신호를 인가함으로써 전기 신호의 크기를 더욱 크게 할 수 있게 된다.
본 발명의 제5실시예에 따른 초음파 모터는 상기 제1실시예 내지 제4실시예의 압전 진동자를 구비하고, 압전 진동자가 삽입되는 케이스와, 케이스에 상하 방향으로 이동 가능하게 삽입되며 압전 진동자와 접촉하여 운동하는 슬라이더와, 압전 진동자를 슬라이더 방향으로 가압하는 제1가압부재와, 슬라이더를 압전 진동자 방향으로 가압하는 제2가압부재를 포함한다.
본 발명의 제5실시예에 따른 초음파 모터는 부피가 작고 낮은 전력으로도 진동량을 크게할 수 있는 효과를 도모할 수 있다. 또한, 제1가압부재 및 제2가압부재에 의해 압전 진동자와 슬라이더가 견고하게 밀착하고 있기 때문에 압전 진동자의 진동이 슬라이더에 효율적으로 전달된다.
제1가압부재는 원형의 단면을 가지고 상기 케이스에 삽입된 판스프링에 의해서 슬라이더 방향으로 가압 됨으로써 압전 진동자와 슬라이더를 더욱 견고하게 밀착할 수 있다.
케이스는 압전 진동자가 삽입되는 진동자 수용부와, 진동자 수용부와 통하고 슬라이더가 삽입되는 슬라이더 삽입공과, 제1가압부재가 삽입되어 압전 진동자의 일단부와 접할 수 있도록 케이스의 일단부에서 소정의 깊이로 형성된 제1가압부재 끼움홈과, 제2가압부재가 삽입되어 슬라이더와 접할 수 있도록 상기 슬라이더 삽입공에 대해 수직으로 형성된 제2가압부재 삽입공과, 판스프링이 삽입되어 제1가압부재와 접할 수 있도록 제1가압부재 끼움홈에 대해 수직방향으로 형성된 스프링 삽입홈을 포함한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일실시예를 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자를 나타내는 사시도이다. 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자(30)는 일정한 길이를 가진 사각형 단면의 탄성부재(31)와, 상기 탄성부재(31)의 각 면에 부착된 동일한 크기를 갖는 4개의 압전소자(33)로 이루어진다.
상기 탄성부재(31)는 상기 압전소자(33)에 전기 신호가 입력되어 진동이 발생하면, 그 진동에 의해 종방향(longitudinal direction) 또는 굴곡방향(bending direction)으로 진동함으로써 결과적으로 탄성부재(31)의 끝단은 타원을 그리면서 진동한다. 이에 의해 상기 탄성부재(31)의 일단과 접촉해 있는 피진동체(미도시)가 상기 탄성부재(31)와의 마찰력에 의해 진동하게 된다.
상기 탄성부재(31)로는 탄성력을 가진 것이라면 어떠한 것도 가능하다. 예를 들어 황동(brass) 또는 스테인리스 스틸(stainless steel) 등이 있다. 상기 탄성부재(31)의 길이는 상기 압전소자 길이의 2배로 형성함으로써 탄성부재(31)에서 발생하는 진동의 크기를 최대로 함이 바람직하다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 압전소자(33)를 상기 탄성부재(31)의 일단에 정렬함으로써 탄성부재(31)의 다른 끝단에서 발생하는 진동의 크기를 최대로 할 수 있다.
본 발명의 제1실시예에서는 상기 탄성부재(31) 단면을 4각형으로 하였지만 본 발명은 이에 한정되는 것을 아니며, 압전소자(33)의 진동을 이용하여 종방향 또는 굴곡방향으로 진동할 수 있다면 어떠한 형상의 단면을 가진 탄성부재(31)도 가능하다. 예를 들면, 8각형의 단면을 가지는 탄성부재의 각 면에 이웃하는 압전소자 의 분극 방향을 모두 반대로 배치하는 것도 가능하다.
상기 압전소자(33)는 모두 동일한 크기를 가지고 상기 탄성부재(31)의 각 면에 에폭시 수지 등에 의해 부착된다. 상기 압전소자(33)의 길이는 상기 탄성부재(31) 길이의 절반에 해당한다. 그리고 상기 압전소자(33)는 상기 탄성부재(31)의 각 면에 부착될 경우, 도 2에 도시된 바와 같이, 4개의 압전소자(33)의 결합단면이 사각형을 이룬다. 상기 압전소자(33)의 두께는 상기 압전소자(33)의 크기 및 형상에 따라 결정된다.
상기 압전소자(33)는 압전효과를 갖는 재료(압전재료)로 형성된다. 그 적합한 예로는 PZT계 세라믹, PbTiO3계 세라믹 등의 압전 효과를 갖는 세라믹을 들 수 있다. PZT계 세라믹에 적합한 예로는 PZT 및 Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-PbTiO3-PbZrO3계 세라믹을 들 수 있다. 상기 압전소자(33)는 고유의 진동을 가지는데, 압전소자(33)에 입력되는 전기 신호의 주파수와 압전소자 고유의 주파수가 일치하면 강한 진동이 발생하게 된다.
상기 압전소자(33)의 일면에는 전도성 전극(conductive electrode, 미도시)이 부착되어 있다. 그리고 상기 전극에 전기적 신호가 입력된다. 상기 압전소자(33)의 일면에는 기계 가공 등에 의해 절삭된 폴리싱부(35)가 형성되어 있다. 이로 인해 서로 접촉해 있는 각각의 압전소자(33)의 전극간의 쇼트(short)를 방지할 수 있게 된다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자(30)에서 압전소자(33)의 분 극 방향을 나타낸 개략도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 탄성부재(31)의 마주 보는 면에 부착된 한 쌍의 압전소자(31)는 동일한 방향으로 분극(polization)되어 전기 신호의 입력에 의해 굴곡방향으로 진동한다. 그리고 상기 탄성부재(31)의 마주 보는 면에 부착된 한 다른 한 쌍의 압전소자(31)는 서로 반대 방향으로 분극되며 전기 신호의 입력에 의해 종방향으로 진동한다. 상기 각각의 압전소자 쌍에는 90°의 위상차를 갖는 전기 신호가 입력된다. 예를 들면, 서로 동일한 방향으로 분극된 압전소자 쌍에는
Figure 112005026663271-pat00001
(여기서
Figure 112005026663271-pat00002
는 각주파수)의 주파수를 갖는 전압이 인가되고, 서로 반대되는 분극 방향을 갖는 압전소자 쌍에는
Figure 112005026663271-pat00003
(여기서
Figure 112005026663271-pat00004
는 각주파수)의 주파수를 갖는 전압이 인가될 수 있다.
도 3에서 알 수 있는 바와 같이, 상기 압전소자(33)는 종래의 압전소자(13)와는 달리 하나의 분극 방향만을 갖기 때문에 압전소자의 제작가 편리하고 제조 비용이 저렴한 장점이 있다. 또한, 아래에서 설명하는 바와 같이 압전 진동자(30)의 진동시 모든 압전소자(33)가 여기 되기 때문에 진동의 크기를 더욱 크게 할 수 있는 효과를 도모할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자(30)에 인가되는 주파수의 변화에 따른 압전소자의 어드미턴스를 나타낸 그래프이다. 이때 상기 탄성부재(31)는 길이 8.0mm이고 한 변의 길이가 0.7mm를 갖는 정사각형 단면의 황동을 사용하였다. 그리고 압전소자는 4.0mm의 길이와 1.0mm의 폭 및 0.3mm의 두께를 갖는다. 도 4에서 가로축은 상기 압전소자(33)에 인가되는 주파수의 크기를 나타내고 세로축은 어드미턴스(admittance)로서 단위는
Figure 112005026663271-pat00005
[simens]이다. 그리고 도 4에서 청색선은 서로 반대 방향으로 분극된 한 쌍의 압전소자를 임피던스 분석기(impedence analyzer)에 의해 측정한 어드미턴스를 나타내고, 적색선은 서로 동일한 방향으로 분극된 다른 한 쌍의 압전소자의 어드미턴스를 나타낸다. 그리고 흑색선은 적색선과 청색선의 어드미턴스의 합을 나타낸다. 즉, 청색선은 상기 탄성부재(31)의 굴곡방향 진동에 관계하고 적색선은 탄성부재(31)의 종방향 진동과 관련되며, 흑색선은 탄성부재의 굴곡방향 진동 및 종방향 진동의 합성과 관련한다.
상기 압전소자(33)의 어드미턴스가 클수록, 즉 압전소자의 임피던스가 적을수록 상기 압전소자(33)의 진동이 커진다. 도 4에서 알 수 있는 바와 같이, 상기 압전소자(33)는 일정한 주파수에 대해 어드미턴스가 급격히 증가하는데, 이때 주파수가 상기 압전소자(33)의 진동이 급격히 증가하는 공진 주파수(resonance frequency)이다.
표 1은 도 4에서 어드미턴스가 급격히 증가하는 공진주파수(Fr), 반공진주파수(Fa), 전기-기계적 커플링(electromechanical coupling) 및 진동 방향을 ATILATM프로그램을 이용하여 나타낸 것이다.
[표 1]
공진모드 Fr(㎐) Fa(㎐) 전기-기계적 커플링(%) 방향
제1 굴곡 (first bending) 36307.5 36307.8 0.37 B1_x
제1 굴곡 (fist bending) 36307.5 36417.4 7.76 B1_y
제2 굴곡 (second bending) 119642 119645 0.69 B2_y
제2 굴곡 (second bending) 119642 120819 13.92 B2_x
제1 신장 (first longitudinal) 198706 199284 7.61 L1
제3 굴곡 (third bending) 199335 199393 2.43 B3_x
제3 굴곡 (third bending) 199335 201690 15.24 B3_y
도 4 및 표 1에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자(30)는 공진 주파수 Fr=36307.5, 119642, 199335(㎐)에서 굴곡방향으로 급격하게 진동함을 알 수 있고, Fr=198706(㎐)에서 종방향으로 급격하게 신장함을 알 수 있다. 여기서 제3 굴곡(third bending)과 제1 신장(first longitudinal)의 주파수 범위가 상당히 근사하기 때문에, 이 주파수에 해당하는 전기 신호를 압전소자(31)에 인가함으로써 진동을 발생시킨다.
이 때, 제3 굴곡과 제1 신장의 주파수 범위가 매우 근사하기 때문에 상기 압전소자(31)는 굴곡방향 및 종방향으로 동시에 진동한다. 그리고 제3 굴곡과 제1 신장에서의 전기-기계적 커플링이 제일 크기 때문에 같은 크기의 전기 신호의 입력에 대해 기계적 진동이 최대로 발생함을 알 수 있다. 전기-기계적 커플링이란 전기적 에너지와 기계적 에너지의 상호 변환율을 나타내는데, 일정한 크기의 전기적 입력이 있을 때 기계적 출력(예를 들면, 변위)이 크게 발생할 경우 전기-기계적 커플링 이 크다고 할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자(30)의 종방향 진동을 ATILATM를 이용하여 나타낸 도면이고, 도 6a 내지 도 6b는 압전 진동자(30)의 굴곡방향 진동을 나타낸 그래프이다.
상기 압전 진동자(30)에 전기 신호가 입력되면, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 탄성부재(33)는 신장 또는 수축을 반복하면서 종방향으로 진동한다(L1 신장). 이 때, ATILATM를 이용하여 주파수를 구하면 Fr=198706(㎐)가 된다. 그리고 Fr=199335(㎐)의 주파수가 입력되면 상기 탄성부재(33)는 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이 3개의 굴곡을 가진 B3 굴곡운동을 하게 된다. L1 신장과 B3 굴곡의 합성으로 인해, 상기 탄성부재(31)의 일단부는 타원을 그리면서 진동하게 되는 것이다.
본 발명의 제1실시예에 따른 압전 진동자(30)는 종래의 압전 소자와는 달리 전기 신호의 입력시 모든 압전소자(33)가 진동하기 때문에 진동을 크게 할 수 있을 뿐만 아니라, 이에 따라 압전 진동자의 부피를 작게 할 수 있게 된다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자(40)를 나타낸 사시도이다. 도 7에 도시된 바에 따르면, 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자(40)는 서로 동일한 크기를 갖는 한 쌍의 압전소자(41a, 41b)로 이루어진 제1압전소자(41)와, 상기 제1압전소자(41)에 비해 짧은 길이를 갖는 동일한 한 쌍의 압전소자(43a, 43b)로 이루어진 제2압전소자(43)를 포함한다.
상기 제1압전소자(41)는 동일한 한 쌍의 압전소자(41a, 41b)가 적층되어 형 성된다. 상기 제1압전소자(41)는 앞서 본 제1실시예의 압전소자(33)와 동일한 압전 세라믹스 등으로 형성된다. 상기 제1압전소자(41) 사이에는 도전성 전극(미도시)이 형성되어 있어서, 외부로부터 입력되는 전기 신호를 상기 제1압전소자(41)에 인가한다. 그리고 상기 제1압전소자(41)의 접합면은 그라운드(ground)된다. 상기 제1압전소자(41)의 일단은 피진동체(미도시)와 접촉해 있으며 종방향 및 굴곡방향 진동에 의해 피진동체에 구동력을 전달한다.
상기 제2압전소자(43)는 동일한 한 쌍의 압전소자(43a, 43b)가 상기 제1압전소자(41a, 41b)의 일면에 에폭시 수지 등에 의해 부착되어 형성된다. 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자(40)의 제2압전소자(43)의 일단은 상기 제1압전소자(41)의 일단과 정렬된다. 따라서, 상기 제1압전소자(41)는 앞서 본 제1실시예의 탄성부재(31)와 같이 일단부만 진동하면서 피진동체에 진동력을 전달한다.
상기 제2압전소자(43)는 상기 제1압전소자(41)와 동일한 두께 및 폭을 갖는 압전 세라믹스에 의해 형성된다. 그리고 상기 제2압전소자(43)는 상기 제1압전소자(41)의 1/2에 해당하는 길이를 갖는 것이 진동의 크기를 최대로 할 수 있다. 상기 제2압전소자(43)에는 상면 및 하면에는 도전성 전극(미도시)이 형성되어 있어서, 외부로부터 들어오는 전기 신호가 제2압전소자(43)에 전달된다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자(40)에서 압전소자(41, 43)의 분극 방향을 나타낸 도면이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제1압전소자(41)는 서로 반대 방향으로 분극되고, 상기 제2압전소자(43)는 서로 동일한 방향으로 분극된다. 상기 제1압전소자(41) 및 제2압전소자(43)에 90°의 위상차를 갖는 전기 신호가 입력되면, 상기 제1압전소자(41)는 종방향으로 진동하고, 이와 동시에 제2압전소자(43)는 굴곡방향으로 진동하게 된다. 따라서, 종방향 진동과 굴곡방향 진동의 합성에 의해 상기 제1압전소자(41)의 일단부는 타원을 그리면서 진동한다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자(40)가 진동하는 형상을 ATILATM를 이용하여 나타낸 그래프이다. 도 9a 내지 도 9b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자(40)는 상기 제1실시예와 같이 L1 신장 및 L3 굴곡운동을 함을 알 수 있다.
본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동체(40)의 압전소자(41, 43)에서, 각각의 압전소자(41a, 41b, 43a, 43b)는 모두 동일한 분극 방향을 갖기 때문에 압전소자의 제조가 용이함을 알 수 있다. 그리고 상기 제1압전소자(41) 및 제2압전소자(43)가 동시에 진동하기 때문에 단순한 구조를 가지면서 압전 진동자의 진동 성능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 압전 진동자(40)의 부피를 줄일 수 있음을 알 수 있다. 또한, 본 발명의 제2실시예에 따른 압전 진동자(40)는 압전소자(40)만에 의해 진동이 발생하기 때문에 효율이 높고 제조가 용이하다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동자(40')를 도시한 사시도이다. 도 10에 도시된 바에 따르면, 본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동자(40')는 서로 동일한 크기를 갖는 한 쌍의 압전소자(41a', 41b')로 이루어진 제1압전소자(41')와, 상기 제1압전소자(41')에 비해 짧은 길이를 갖는 동일한 한 쌍의 압전소자(43a', 43b')로 이루어진 제2압전소자(43')를 포함한다.
상기 제1압전소자(41') 및 제2압전소자(43')의 구성은 앞서 본 제2실시예에 따른 압전소자의 제1압전소자(41) 및 제2압전소자(43)와 동일하다. 다만, 상기 제2압전소자(43')는 상기 제1압전소자(41')의 중앙에 배치된 점에서 제2실시예와 차이점이 있다.
상기 제2압전소자(43')의 길이 중심은 상기 제1압전소자(41')의 길이 중심과 일치한다. 따라서 상기 제1압전소자(41') 및 상기 제2압전소자(43')에 전기 신호가 입력되면 상기 제1압전소자(41')의 양단이 타원을 그리면서 진동하게 된다.
도 11은 본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동자(40')에서 압전소자(41', 43')의 분극 방향을 나타낸 도면이다. 도 11에 도시된 바에 따르면 제1압전소자(41')는 서로 반대 방향으로 분극되고, 제2압전소자(43')는 서로 동일한 방향으로 분극되는데, 이는 도 8에 도시된 본 발명의 제2실시예에 따른 압전소자의 분극 방향과 동일하다.
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동자(40')가 진동하는 형상을 ATILATM를 이용하여 나타낸 도면이다. 도 12a 및 도 12b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동자(40')는 앞서본 제1실시예 및 제2실시예의 압전 진동자와 동일하게 L1 종진동 및 B3 굴곡진동을 한다. 그리고 상기 제1압전소자(41')의 양단이 동시에 타원을 그리면서 진동한다.
본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동체(40')의 압전소자(41', 43')에서 각각의 압전소자(41a', 41b', 43a', 43b')는 모두 동일한 분극 방향을 갖기 때문에 압전소자의 제조가 용이함을 알 수 있다. 그리고 상기 제1압전소자(41') 및 제2압전소자(43')가 동시에 진동하기 때문에 구조가 간단하고 압전 진동자의 진동 성능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 압전 진동자(40')의 부피를 줄일 수 있음을 알 수 있다. 또한, 본 발명의 제3실시예에 따른 압전 진동자(40')는 압전소자(40')만에 의해 진동이 발생하기 때문에 효율이 높고 제조가 용이하다.
도 13은 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자(50)를 도시한 사시도이다. 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자(50)는 다수 층으로 적층된 동일한 압전소자(51)와, 상기 압전소자(51) 사이에 형성된 도전성의 전극(53)과, 상기 압전소자(51)의 일면에서 돌출된 돌출부(55)를 포함한다.
상기 압전소자(51)는 동일한 크기를 가지고 다수 층으로 적층된다. 상기 압전소자(51)는 앞서 본 제1실시예 내지 제3실시예의 압전소자(33, 41, 41')와 동일한 압전 세라믹스에 의해 형성된다. 상기 압전소자(51)의 양면에는 전기 신호를 압전소자(51)에 인가하는 전극(electrode)이 형성되어 있다. 도 13에서는 상기 압전소자(51)를 7층으로 구성하였지만, 본 발명은 이에 국한되는 것은 아니며, 압전소자(51)의 크기 및 원하는 진동량 등에 따라 6층 이하 또는 8층 이상으로도 적층할 수 있다.
상기 돌출부(55)는 상기 압전소자(51)의 일면에서 소정의 길이를 가지고 외부로 돌출되어 있다. 상기 돌출부(55)는 상기 압전소자(51)의 종방향 및 굴곡방향 진동에 의해 타원을 그리면서 진동한다. 상기 돌출부(55)는 피진동체(미도시)와 접하고 있기 때문에, 피진동체는 돌출부(55)에 의해 진동하게 된다.
상기 돌출부(55)는 피진동체와의 마찰력을 이용하여 운동력을 전달하기 때문에, 상기 돌출부(55)에는 내마모부재를 형성할 수 있다. 내마모부재로는 소다, 납, 붕산염(예; PyrexTM), 크라운, 부싯돌, 중 부싯돌, 석영유리 등의 유리류, 알루미나, 산화지르코늄, 탄화규소, 질산규소, 탄화텅스텐, 탄화티탄 등의 세라믹류를 함유한 각종 재료를 들 수 있다.
도 14는 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자(50)의 전극(53)의 일실시예를 나타내는 사시도이다. 도 14에 도시된 바에 따르면, 상기 전극(53)은 상기 압전소자(51)의 최상면에 형성되는 상부전극(53a), 최하면에 형성된 하부전극(53b) 및 상기 압전소자(51)의 양면에 순차적으로 적층되는 제1 내지 제6 내부전극(53c1, 53c2, 53c3, 53c4, 53c5, 53c6)을 포함한다.
도 14에 도시된 바와 같이, 상기 상부전극(53a) 및 제2내부전극(53c2)은 동일한 패턴을 가지고, 제1내부전극(53c1) 및 제3내부전극(53c3)은 또한 동일한 패턴을 가진다. 그리고 상기 제4내부전극(53c4) 및 제6내부전극(53c6)도 동일한 패턴을 가지고 제5내부전극(53c4) 및 하부전극(53b) 또한 동일한 패턴을 갖는다. 그리고 상기 제1내부전극(53c1) 및 제3내부전극(53c3)은 상기 제4내부전극(53c4) 및 제6내부전극(53c6)과 전극의 길이 방향 및 폭 방향에 대해 서로 대칭된 패턴을 갖는다. 그리고 상부전극(53a)및 제2내부전극(53c2)은 하부전극(53b) 및 제5내부전극(53c5)과 전극의 길이 및 폭 방향에 대해 상호 대칭된다. 상기 상부전극(53a), 하부전극(53b) 및 제1 내지 제6 내부전극(53c1, 53c2, 53c3, 53c4, 53c5, 53c6)은 상기 압전소자(51)를 극화하고 전기 신호를 공급하는데 사용된다. 본 발명의 제4실시예에 따른 전극(53)은 도 14에 국한되는 것은 아니며, 당업자가 필요에 따라 다양하게 변경할 수 있음은 물론이다.
상기 상부전극(53a)에는 sin 및 -sin이 입력된다. 그리고 상기 하부전극(53b)에는 cos 및 -cos가 입력된다. 따라서, 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자(50)에는 4개의 상(phase)을 갖는 전기 신호가 입력된다. 상부전극(53a) 및 하부전극(53b)에는 sin 및 -sin 그리고 cos 및 -cos이 입력되므로, 상대적으로 2sin(또는 2cos)의 크기를 갖는 전기 신호가 입력되는 효과를 가진다.
도 15는 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자(50)에서 압전소자(51)의 분극 방향을 나타낸 도면이다. 도 15에 도시된 바와 같이, 인접하는 모든 압전소자(51)는 서로 반대 방향으로 분극된다. 그리고 각각의 압전소자(51)는 모두 하나의 분극 방향만을 갖는다.
도 16a 및 도 16b는 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자(50)가 진동하는 형상을 ATILATM를 이용하여 나타낸 도면이다. 도 16a 및 도 16b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동자(50)는 265㎑에서 종방향으로 진동하고 267㎑에서 B2 모드로 굴곡 방향으로 진동한다. 따라서 주파수 대역이 상호 동일하기 때문에 상기 압전 진동자(50)는 동시에 진동하게 된다.
본 발명의 제4실시예에 따른 압전 진동체(50)의 압전소자(51)는 모두 동일한 분극 방향을 갖기 때문에 압전소자의 제조가 용이함을 알 수 있다. 그리고 상기 압전소자(51) 모두가 동시에 진동하기 때문에 구조가 간단하면서도 압전 진동자의 진동 성능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 압전 진동자(50)의 부피를 줄일 수 있음을 알 수 있다.
이하에서는 도 17 내지 도 19를 참조하여 본 발명의 제5실시예에 따른 초음파 모터(70)를 설명하기로 한다.
도 17은 본 발명의 제5실시예에 따른 초음파 모터(70)의 분해 사시도이고, 도 18은 도 17에 도시된 초음파 모터(70)의 결합된 상태를 나타낸 사시도이다. 그리고 도 19는 도 17 및 도 18에 도시된 초음파 모터의 결합 단면도이다.
도 17에 도시된 바에 따르면 본 발명의 초음파모터(70)는 케이스(71)와 상기 케이스(71)에 삽입되는 압전 진동자(80)과, 상기 압전 진동자(80)의 후단부를 가압하는 제1가압부재(73), 슬라이더(79a, 79b)를 가압하는 제2가압부재(75) 및 상기 제1가압부재(73)를 가압하는 판스프링(77)을 포함한다.
상기 케이스(71)는 상기 압전 진동자(80), 제1가압부재(73), 제2가압부재(75), 판스프링(77) 및 슬라이더(79a, 79b)를 수용한다. 상기 케이스(71)는 상기 압전 진동자(80)가 삽입되는 진동자 수용부(715), 상기 슬라이더(79a, 79b)를 수용하는 슬라이더 삽입공(713), 상기 제1가압부재(73)가 삽입되는 제1가압부재 끼움홈(717), 상기 제2가압부재(75)가 삽입되는 제2가압부재 삽입공(711) 및 상기 판스프링(77)이 삽입되는 스프링 삽입홈(719)을 포함한다.
상기 진동자 수용부(715)는 상기 케이스(71)의 중앙에 형성되어 있으며, 압전 진동자(80)의 양단부는 케이스(71)스에 의해 외부와 차단되지만, 나머지 부분은 외부로 노출된다. 상기 압전 진동자(80)는 상기 진동자 수용부(715)에 삽입 및 고정된다. 상기 진동자 수용부(715)는 상기 슬라이더 삽입공(713)과 통한다.
상기 슬라이더 삽입공(713)에는 상기 슬라이더(79a, 79b)의 일부가 삽입된다. 상기 슬라이더 삽입공(713)의 직경은 상기 슬라이더(79a, 79b)의 직경보다 다소 크기 때문에, 상기 슬라이더(79a, 79b)의 자유로운 승하강이 가능하게 된다. 상기 슬라이더 삽입공(713)은 상기 진동자 수용부(715)와 통하고, 상기 제2가압부재 삽입공(711)에 대해 수직으로 형성된다.
상기 제2가압부재 삽입공(711)에는 상기 제2가압부재(75a, 75b)의 양단부가 삽입된다. 그리고 상기 제1가압부재 끼움홈(717)은 상기 케이스(71)의 일단부에서부터 형성된 장방향 홈으로써 일단부가 개방된 슬롯 형태를 가진다. 상기 제1가압부재 끼움홈(717)에는 상기 제1가압부재(73)가 삽착되어 상기 진동자 수용부(715)에 삽입된 압전소자(80)의 후면을 가압한다. 상기 스프링 삽입홈(719)은 상기 케이스(71)의 상하 방향으로 형성된 홈으로써, 상기 스프링 삽입홈(719)에 삽입된 상기 판스프링(77)이 상기 제1가압부재(73)를 가압한다.
상기 압전 진동자(80)는 본 발명의 제1실시예 내지 제4실시예에 따른 압전 진동자(30, 40, 40' 50)가 사용될 수 있다. 상기 압전 진동자(80)의 일단부에는 돌출부(81)가 형성되어 있는데, 돌출부(81)가 상기 슬라이더(79a, 79b)를 마찰력을 이용하여 상하 방향으로 구동한다. 상기 압전 진동자(80)의 구성은 앞서 본 제1실 시예 내지 제4실시예와 동일하므로 구체적은 설명은 생략하기로 한다.
상기 슬라이더는(79)는 상기 슬라이더 삽입공(713)에 삽입되어 상기 압전소자(80)의 돌출부(81)와 접하는 제1슬라이더(79a)와, 상기 제1슬라이더(79a)가 회전하지 않도록 안내하는 제2슬라이더(79b)를 포함한다. 상기 제1슬라이더(79a)는, 도 19에 도시한 바와 같이, 상기 압전 진동자(80)의 돌출부(81)와 접하고 있기 때문에 돌출부(81)의 진동에 의해 상하 방향으로 구동한다.
상기 제1가압부재(73)는 원형의 단면을 가진 봉이다. 상기 제1가압부재(73)는, 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 압전 진동자(80)와 선 접촉한다. 따라서, 상기 제1가압부재(73)는 상기 압전 진동자(80)를 정확하게 수직으로 가압할 수 있다. 상기 제1가압부재(73)는 상기 판스프링(77)에 의해 상기 제1가압부재 끼움홈(717)으로부터 이탈이 방지된다.
상기 제2가압부재(75)는 원형의 단면을 가진 봉으로서 상기 제2가압부재 삽입공(711)에 삽입되며, 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 제1슬라이더(79a)를 압전 진동자(80) 방향으로 가압한다. 상기 제2가압부재(75)를 3개 이상 형성할 수도 있다. 상기 판스프링(77)은 탄성력에 의해 상기 제1가압부재(73)를 상기 슬라이더(79) 방향으로 가압한다. 따라서 상기 압전 진동자(80)의 돌출부(81)와 상기 제1슬라이더(79a)는 항상 접하게 된다.
본 발명의 기술 사상이 상술한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상술한 실시예는 그 설명을 위한 것이지 그 제한을 위한 것이 아니며, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명은 상기와 같은 구성에 의해서 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 하나의 압전소자에 두 번의 분극 공정을 수행할 필요가 없기 때문에 제작 시간 및 비용을 절감할 수 있는 압전 진동자 및 이를 구비한 초음파 모터를 제공할 수 있는 효과를 지닌다.
본 발명은 압전 소자의 소극으로 인한 성능 저하를 제거함으로써 성능이 더욱 우수한 압전 진동자 및 이를 구비한 초음파 모터를 제공할 수 있는 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 부피를 작게 할 수 있을 뿐만 아니라 진동 성능을 향상시킬 수 있는 압전 진동자 및 이를 이용한 초음파 모터를 제공할 수 있는 효과를 도모할 수 있다.
본 발명의 초음파 모터는 제1가압부재, 제2가압부재에 의해 압전 진동자와 슬라이더가 가압 되어 접하고 있기 때문에 압전 진동자의 진동이 슬라이더에 효율적으로 전달될 수 있다.

Claims (16)

  1. 사각형의 단면을 갖는 탄성부재와,
    상기 탄성부재의 각 면에 부착되어 전기 신호가 입력되면 상기 탄성부재를 종방향 및 굴곡방향으로 진동시키는 압전소자를 포함하고,
    상기 압전소자는 모두 동일한 크기를 가지고 상기 탄성부재보다 길이가 짧은 압전 진동자.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성부재의 마주 보는 면에 부착된 한 쌍의 압전소자는 서로 동일한 방향으로 분극되고, 다른 한 쌍은 서로 반대 방향으로 분극된 압전 진동자.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 압전소자의 일단부는 상기 탄성부재의 일단부와 정렬된 압전 진동자.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 압전소자의 한쪽 모서리는 깎여져 있으며, 깎여진 모서리가 외부로 향 하도록 배치된 압전 진동자.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성부재의 길이는 상기 압전소자 길이의 두 배인 압전 진동자.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성부재의 마주 보는 면에 부착된 한 쌍의 압전소자와 다른 한 쌍의 압전소자에는 90°의 위상차를 갖는 전압이 각각 인가되는 압전 진동자.
  7. 동일한 직육면체 형상을 갖고 상호 반대 방향으로 분극되어 접합된 한 쌍의 제1압전소자와,
    동일한 직육면체 형상을 갖고 상기 제1압전소자의 일면에 각각 부착되며 상호 동일한 방향으로 분극된 한 쌍의 제2압전소자를 포함하며,
    상기 제1압전소자는 상기 제2압전소자에 비해 길이가 길고, 전기 신호가 입력되면 상기 제1압전소자는 종방향으로 진동하고 상기 제2압전소자는 굴곡방향으로 진동하는 압전 진동자.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 각각의 제2압전소자의 일단부는 상기 제1압전소자의 일단부와 정렬된 압전 진동자.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 각각의 제2압전소자는 상기 제1압전소자의 중앙에 부착되는 압전 진동자.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1압전소자의 길이는 상기 제2압전소자 길이의 두 배인 압전 진동자.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1압전소자와 상기 제2압전소자에는 90°의 위상차를 갖는 전압이 각각 인가되는 압전 진동자.
  12. 하나의 분극 방향만을 갖는 다수 층의 압전소자와,
    상기 압전소자의 양면에 형성되어 각각 상호 연결된 전도성 전극과,
    상기 압전소자의 일면에 형성된 돌출부를 포함하며,
    인접하는 상기 각각의 압전소자는 모두 반대 방향으로 분극되며, 상기 전극은 모두 상호 연결된 압전 진동자.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 전도성 전극에는 4 위상(phase)을 가지는 전기 신호가 입력되는 압전 진동자.
  14. 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 하나의 압전 진동자를 이용한 초음파 모터에 있어서,
    상기 압전 진동자가 삽입되는 케이스와,
    상기 케이스에 상하 방향으로 이동 가능하게 삽입되며 상기 압전 진동자와 접촉하여 운동하는 슬라이더와,
    상기 압전 진동자를 상기 슬라이더 방향으로 가압하는 제1가압부재와,
    상기 슬라이더를 상기 압전 진동자 방향으로 가압하는 제2가압부재를 포함하는 초음파 모터.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제1가압부재는 원형의 단면을 가지고 상기 케이스에 삽입된 판스프링에 의해서 상기 슬라이더 방향으로 가압 되는 초음파 모터.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 케이스는
    상기 압전 진동자가 삽입되는 진동자 수용부와,
    상기 진동자 수용부와 통하고 상기 슬라이더가 삽입되는 슬라이더 삽입공과,
    상기 제1가압부재가 삽입되어 상기 압전 진동자의 일단부와 접할 수 있도록 상기 케이스의 일단부에서 소정의 깊이로 형성된 제1가압부재 끼움홈과,
    상기 제2가압부재가 삽입되어 상기 슬라이더와 접할 수 있도록 상기 슬라이더 삽입공에 대해 수직으로 형성된 제2가압부재 삽입공과,
    상기 판스프링이 삽입되어 상기 제1가압부재와 접할 수 있도록 제1가압부재 끼움홈에 대해 수직방향으로 형성된 스프링 삽입홈을 포함하는 초음파 모터.
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