JP4818858B2 - 超音波モータ素子 - Google Patents
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- 圧電板と第1内部電極とが交互に積層されL1B2モードで動作する2つのL1B2モード駆動部と、圧電板と第2内部電極とが交互に積層されL1モードで動作するL1モード駆動部と、を有する積層体を備えた超音波モータ素子であって、
前記L1モード駆動部は前記2つのL1B2モード駆動部に挟まれ、
前記第1内部電極は、圧電板を挟んで交互に設けられた、2行2列に配置された4つの第1電極部を有する第1駆動電極と、この第1駆動電極に対応する領域を含む第1グランド電極とを有し、
前記第2内部電極は、前記第1グランド電極に対応する領域を有するように圧電板を挟んで設けられた第2グランド電極と2層の第2駆動電極とを有し、
前記積層体の側面には、前記第1グランド電極と前記第2グランド電極とを接続する第1外部電極と、前記4つの第1電極部のうち対角に位置する2つの第1電極部と一方の前記第2駆動電極とを接続する第2外部電極と、対角に位置し前記第2外部電極に接続されていない2つの前記第1電極部と他方の前記第2駆動電極とを接続する第3外部電極とが設けられていることを特徴とする超音波モータ素子。 - 前記L1モード駆動部は、前記2層の第2駆動電極に挟まれて駆動しない圧電板を有していることを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ素子。
- 前記L1モード駆動部に設けられた非駆動圧電板の厚さは、その他の駆動可能な圧電板の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項2に記載の超音波モータ素子。
- 前記L1モード駆動部はさらに、前記第2外部電極と接続された別の第2駆動電極と、前記第3外部電極に接続されたさらに別の第2駆動電極を有していることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の超音波モータ素子。
- 前記圧電板は矩形形状を有し、前記積層体の側面において前記圧電板の短辺中央部または長辺両端部に対応する部分に、被駆動体に当接する摺動部材が設けられていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の超音波モータ素子。
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