JP5586248B2 - 圧電積層部品 - Google Patents
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のいずれか一方に露出しており、端子電極が、非接続電極の端部とは接続せず、非接続電極よりも圧電積層体の他方主面側に配置された電極と接続するように、圧電積層体の両端部にそれぞれ部分的に形成されているときには、圧電積層部品の作製時に、圧電体層および電極を交互に積層する際に、一方主面側の圧電体層およびその他の圧電体層のそれぞれにおいて、電極および非接続電極の構成を、端部が圧電積層体の両端部の端面のいずれか一方に露出する、という構成に一様に揃えることが可能となる。従って、一方主面側の圧電体層およびその他の圧電体層のそれぞれにおいて電極の形成の仕方を変化させる必要がないため、圧電積層部品の作製の効率を向上させることができる。
った。そこで、振動の変位の発生力の低減を抑制しつつ、全体としての静電容量を低減させることが課題であった。
mとした。その他の圧電体層2bの寸法は、長さを19mm、幅を3.5mm、厚みを30μm
とした。その他の圧電体層2bは12層積層されているものとした。これにより、圧電積層体5中には12層の電極3が形成された。圧電積層体5の一方主面Aおよび他方主面Bには、1層ずつ電極3を形成した。これら電極3の寸法は、圧電体層2の長さ方向の寸法が18.5mmであり、圧電体層2の幅方向の寸法が3mmであり、厚みが1μmであるものとした。
体層が13層積層されており、圧電積層体中には電極が12層積層されているものとした。なお、圧電積層体の厚みは0.404mmとした。それ以外の構成および寸法等は、本発明の圧
電積層部品1の実験例1と同様のものとした。
験例1の圧電積層部品1の静電容量の値は720pFであった。これに対して、比較例1の
圧電積層部品の静電容量の値は780pFであった。
〜10kHzであり、電圧が1Vであるサイン波の入力信号を使用して測定を行なった。
動の変位の発生力を比較し検討した。なお、実験例1の圧電積層部品1と比較例1の圧電積層部品とについて750Hzの周波数の信号を入力した場合の振動の変位の発生力を比較
した理由は、それぞれの圧電積層部品が主に約750Hz付近の高周波信号が入力される携
帯型電子機器で使用されることを目的として作製されたものだからである。
圧電積層部品1の振動の変位の発生力は−20.1dBNであり、周波数750Hzにおける比
較例1の圧電積層部品の振動の変位の発生力は−21.1dBNであった。
とができた。
2bの厚みの2倍である構成の実験例1の圧電積層部品1と同様のものとして、実験例2の圧電積層部品1を作製した。
層の厚みと同じである圧電積層部品を作製した。この圧電積層部品の圧電積層体は、圧電体層が12層積層されており、圧電積層体中には電極が11層積層されているものとした。なお、圧電積層体の厚みは0.373mmとした。それ以外の構成および寸法等は、本発明の圧
電積層部品1の実験例2と同様のものとした。
して、比較例2の圧電積層部品の静電容量の値は780pFであった。
、実験例2の圧電積層部品1の振動の変位の発生力は−20.6dBNであり、比較例2の圧電積層部品の振動の変位の発生力は−21.1dBNであった。
の厚みを30μmとした。また、その他の圧電体層2bは10層積層されているものとした。これにより、圧電積層体5中には10層の電極3が形成された。なお、圧電積層体の厚みは0.432mmとした。それ以外の構成および寸法等は、前述の圧電体層2aの厚みが圧電体
層2bの厚みの2倍である構成の実験例1の圧電積層部品1と同様のものとして、実験例3の圧電積層部品1を作製した。
電積層部品1の実験例3と同様のものとした。
して、比較例3の圧電積層部品の静電容量の値は780pFであった。
、実験例3の圧電積層部品1の振動の変位の発生力は−21.6dBNであり、比較例3の圧電積層部品の振動の変位の発生力は−21.1dBNであった。
1の具体例を説明する。図6は、図1(b)に示す圧電積層部品1の実施の形態の他の例のX−X線における断面図である。
みを60μmとした。また、その他の圧電体層2bの寸法は、長さを19mm、幅を3.5mm
、厚みを30μmとした。その他の圧電体層2bは12層積層されているものとした。これにより、圧電積層体5中には12層の電極3を形成した。圧電積層体5の一方主面Aおよび他方主面Bには、1層ずつ電極3を形成した。これら電極3の寸法は、圧電体層2の長さ方向の寸法が18.5mmであり、圧電体層2の幅方向の寸法が3mmであり、厚みが1μmであるものとした。そして、端子電極4a,4bの厚みは20μmとした。
体5の両端部の端面に露出していないものとした。
方向に3.5mmとし、厚みを20μmとした。
2:圧電体層
2a:一方主面側の圧電体層(絶縁セラミック層)
2b:その他の圧電体層
3:電極
4a:(圧電積層体の一方の端部の)端子電極
4b:(圧電積層体の他方の端部の)端子電極
5:圧電積層体
6:シム材
7:非接続電極
A:一方主面
B:他方主面
Claims (3)
- 複数の圧電体層が積層され、該圧電体層間と一方主面と他方主面とに電極が形成され、両端部に前記電極に接続された端子電極がそれぞれ形成されている圧電積層体と、
両面にそれぞれ前記圧電積層体が前記一方主面側で貼り付けられたシム材とを含む圧電積層部品であって、
それぞれの前記圧電積層体は、前記一方主面側の前記圧電体層が、その他の前記圧電体層2層分以上の厚みを有しており、前記その他の前記圧電体層のそれぞれの厚みは同じであって、
前記圧電積層体の一方の端部の前記端子電極と前記シム材の主面とは、導電性樹脂を介して電気的に接続され、
前記圧電積層体の他方の端部の前記端子電極と前記シム材の主面とは、絶縁性接着剤を介して接合されており、
前記圧電積層体の前記一方主面側の前記圧電体層中に、前記端子電極に電気的に接続されていない非接続電極が形成され、
該非接続電極は、前記圧電積層体の前記両端部の端面に露出していないことを特徴とする圧電積層部品。 - 複数の圧電体層が積層され、該圧電体層間と一方主面と他方主面とに電極が形成され、両端部に前記電極に接続された端子電極がそれぞれ形成されている圧電積層体と、
両面にそれぞれ前記圧電積層体が前記一方主面側で貼り付けられたシム材とを含む圧電積層部品であって、
それぞれの前記圧電積層体は、前記一方主面側の前記圧電体層が、その他の前記圧電体層2層分以上の厚みを有しており、前記その他の前記圧電体層のそれぞれの厚みは同じであって、
前記圧電積層体の一方の端部の前記端子電極と前記シム材の主面とは、導電性樹脂を介して電気的に接続され、
前記圧電積層体の他方の端部の前記端子電極と前記シム材の主面とは、絶縁性接着剤を介して接合されており、
前記圧電積層体の前記一方主面側の前記圧電体層中に、前記端子電極に電気的に接続されていない非接続電極が形成され、
該非接続電極の端部が前記圧電積層体の前記両端部の端面のいずれか一方に露出しており、前記端子電極は、前記非接続電極の前記端部とは接続せず、前記非接続電極よりも前記圧電積層体の前記他方主面側に配置された前記電極と接続するように、前記圧電積層体の前記両端部にそれぞれ部分的に形成されていることを特徴とする圧電積層部品。 - 前記圧電積層体の前記一方主面側の前記圧電体層に替えて絶縁セラミック層を積層してなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電積層部品。
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