JP2010199272A - 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電体層7と内部電極層9とを交互に積層してなり、一対の長方形状の主面と該主面の長手方向の両端側に設けられた一対の側面20とを有する板状の積層体13と、内部電極層9と電気的に接続された一対の外部電極17、19とを具備する積層型圧電素子1、3であって、積層体13の一対の側面の一方の主面側の部分は、それぞれ一方の主面の長手方向に傾斜するとともに一方の主面と連続する傾斜面20aとされ、該傾斜面20aに外部電極17、19が形成され、かつ一方の主面に、一対の外部電極17、19のうち一方が電気的に接続される表面電極層15が形成されている。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の積層型圧電素子を用いた振動体の一実施形態を図1、図2に基づいて説明する。図1は本発明のバイモルフ型の振動体の断面図を、図2は平面図を示す。
(第2形態)
図1に示したように、積層体13の主面の長さが長くなればなるほど、言い換えれば、積層体13の長さが長くなればなるほど、内部電極層9の主面の長手方向xの収縮量が大きくなり、積層体13の側面から内部電極層9の先端の凹み量が大きくなるため、通常は、焼成した後、カットして内部電極層9を積層体13の側面に露出させ、この側面に外部電極17、19を形成し、接続信頼性を図ることが行われているが、本発明では、焼成後にカットすることなく、外部電極17、19の積層体13側面への接合強度を向上するため、積層体13の側面を焼き肌面とすることが望ましい。
作製されたユニモルフ型振動体10個について、支持板と積層型圧電素子の外部電極間の絶縁抵抗を測定したところ、10個中1個が10MΩ以下であり、絶縁性が低いものであった。また、本発明品と同様、変位量を測定したところ、17.3〜17.9μmであった。
5・・・支持板
6・・・底面側の接着剤層
7・・・圧電体層
9・・・内部電極層
11・・・不活性層
13・・・積層体
15・・・表面電極層
17、19・・・外部電極
20・・・側面
20a・・・傾斜面
20b・・・垂直側面
x・・・主面の長手方向
Claims (4)
- 圧電体層と内部電極層とを交互に積層してなり、前記圧電体層で形成される一対の長方形状の主面と該主面の長手方向の両端側に設けられた一対の側面とを有する板状の積層体と、前記内部電極層と電気的に接続された一対の外部電極とを具備する積層型圧電素子であって、前記積層体の前記一対の側面の一方の主面側の部分は、それぞれ前記一方の主面の長手方向に傾斜するとともに前記一方の主面と連続する傾斜面とされ、該傾斜面に前記外部電極が形成され、かつ前記一方の主面に、前記一対の外部電極のうち一方が電気的に接続された表面電極層が形成されていることを特徴とする積層型圧電素子。
- 圧電体層と内部電極層とを交互に積層してなるとともに、前記圧電体層で形成される一対の長方形状の主面と該主面の長手方向の両端側に設けられた一対の側面とを有し、該一対の側面の一方の主面側の部分は、それぞれ前記一方の主面の長手方向に傾斜し、かつ前記一方の主面と連続する傾斜面とされた板状の積層体を準備する工程と、該積層体の前記傾斜面に前記内部電極層と電気的に接続する一対の外部電極をそれぞれ設ける工程とを具備することを特徴とする積層型圧電素子の製法。
- 前記積層体の一方の主面に、前記一対の外部電極のうち一方が接続される表面電極層を、前記外部電極と同時に形成する工程を具備することを特徴とする請求項2に記載の積層型圧電素子の製法。
- 請求項1に記載の前記積層型圧電素子の前記表面電極層が形成されていない側の主面を、接着剤層により支持板に接合してなることを特徴とする振動体。
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2009
- 2009-02-25 JP JP2009042004A patent/JP2010199272A/ja active Pending
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