JP2014150333A - 圧電部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電部品は、支持基板1と、支持基板1に搭載された圧電素子2と、圧電素子2を覆うように支持基板1に設けられた枠体41および天板42からなるキャップ4とを含み、枠体41の底部が封止材5によって接合されてなる圧電部品であって、枠体41の底部411は内壁面と外壁面との間の領域において高低差のある形状になっている。
【選択図】図1
Description
と接合されている断面が、前記枠体の全周にわたっていることを特徴とする。
面内方向以外で振動を受ける部分ができるため、駆動時の面内の振動に対して強くなる。その結果、キャップ4(枠体41)の底部411と封止材5との間にずれが生じにくいので、剥がれが抑制されて封止が保たれ、安定した周波数特性が得られる。
構成により、誘電体層144の面積を増やすことができて容量値を大きくすることができ、作製できる容量値の幅が広がる。そのため使用するICと相性のいい、容量値を作製できる。
11:支持基板本体
121、122:信号端子
13:グランド端子
141、142:配線導体
2:圧電素子
21:圧電体
22、23:励振電極
3:導電性接合材
4:キャップ
41:枠体
411:底部
42:天板
5:封止材
Claims (7)
- 支持基板と、該支持基板に搭載された圧電素子と、該圧電素子を覆うように前記支持基板に設けられた枠体および天板からなるキャップとを含み、前記枠体の底部が封止材によって接合されてなる圧電部品であって、
前記枠体の底部は内壁面と外壁面との間の領域において高低差のある形状になっていることを特徴とする圧電部品。 - 前記枠体の底部は、外側よりも内側が高くなっていることを特徴とする請求項1に記載の圧電部品。
- 前記枠体の底部は、前記封止材と接着される接合面を複数有していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電部品。
- 前記枠体の底部は階段状になっていることを特徴とする請求項3に記載の圧電部品。
- 前記枠体の底部を横切るように前記支持基板の主面に垂直な平面で切断した断面のうち、前記底部の全ての領域が封止材と接合されている断面を有していることを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちのいずれかに記載の圧電部品。
- 前記枠体の底部の全ての領域が封止材と接合されている断面が、前記枠体の全周にわたっていることを特徴とする請求項5に記載の圧電部品。
- 前記支持基板の主面上に設けられた容量形成用の誘電体層が、前記枠体の内側から前記底部の高くなっている領域まで配置されていることを特徴とする請求項2乃至請求項6のうちのいずれかに記載の圧電部品。
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