JP2012138505A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012138505A JP2012138505A JP2010290723A JP2010290723A JP2012138505A JP 2012138505 A JP2012138505 A JP 2012138505A JP 2010290723 A JP2010290723 A JP 2010290723A JP 2010290723 A JP2010290723 A JP 2010290723A JP 2012138505 A JP2012138505 A JP 2012138505A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- driving element
- external electrode
- bonding
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
【課題】複数の積層型圧電素子を重ね合せた圧電駆動素子を利用したバイモルフ型の圧電アクチュエータを用いて、外部電極のクラックの防止ないし低減を図る。
【解決手段】複数の積層型圧電素子20が接着剤26を介して積層方向に接合された圧電駆動素子12A,12Bを、積層方向と直交する方向に貼り合わせるとともに、表面に外部電極16,18を設けてバイモルフ型の圧電アクチュエータ10を得る。外部電極16,18の最大厚みをa,最小厚みをbとしたときに、a/bの比を1.2〜1.5とする。また、外部電極16,18を、厚みが連続して変化した波形とし、かつ、硬度を鉛筆硬度F〜Bとする。
【選択図】図1
【解決手段】複数の積層型圧電素子20が接着剤26を介して積層方向に接合された圧電駆動素子12A,12Bを、積層方向と直交する方向に貼り合わせるとともに、表面に外部電極16,18を設けてバイモルフ型の圧電アクチュエータ10を得る。外部電極16,18の最大厚みをa,最小厚みをbとしたときに、a/bの比を1.2〜1.5とする。また、外部電極16,18を、厚みが連続して変化した波形とし、かつ、硬度を鉛筆硬度F〜Bとする。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電アクチュエータに関し、更に具体的には、複数の積層型圧電素子を重ね合せた圧電アクチュエータに関するものである。
一般的な積層型アクチュエータは、電界方向に対して平行に伸縮するもの(以下「d33素子」という)であるが、前記電界方向に対して垂直に伸縮するもの(以下「d31素子」という)もある。前記d31素子は、平板状の形状を有しており、バイモルフあるいはユニモルフなどの屈曲型変位拡大機構を用いてアクチュエータとして利用されている。図3(A)には、前記d33素子100が示されており、圧電体102中に内部電極104が積層形成され、電界方向に対して平行に伸縮することが示されている。また、図3(B)には、前記d31素子110が示されており、圧電体112中に内部電極114が積層形成され、電界方向に対して垂直に伸縮することが示されている。
現在、図3(B)に示す積層構造を有するd31素子110は、層厚みt31が、10〜100μm程度,数〜数十程度の積層数nを有する。このような構造のd31素子110では、下記数式1の理論式に準じて変位量が決定される。数式1中、ΔLは変位量,d31は圧電材料(圧電体112)の歪み常数,Lは素子長さ,t31は内部電極114間の層厚み,Vは印加電圧を示す。従って、圧電材料の歪み常数d31を一定とした場合は、素子長さLを長くするか、印加電圧Vを高電圧としなければならない。あるいは、層間厚みt31を薄くしてもよいが、静電容量が増加し、駆動回路に負担が掛かるという不都合がある。現状の圧電体も、この層間厚みは18μm程度であり、これ以上薄くすると、焼成時に、同時焼成電極の残留応力が増え特性が低下してしまうという不都合がある。
それに対し、前記d31素子110と、素子長さL,幅W,厚みtが同一である図3(A)に示す構造のd33素子100の変位量は、下記の数式2の理論式で示される。数式2中、ΔLは変位量、d33は圧電材料の歪み常数,n33は積層数,Vは印加電圧を示している。
ここで、前記d33は、下記数式3に示すように、前記d31素子110の歪み常数31に対して、2.7〜3倍程度の変位増大が見込まれるから、前記数式2に、前記数式3を「3×d31=d33」として代入すると、下記数式4及び数式5の関係が得られる。
すなわち、d33素子100の変位量ΔLは、積層数n33に大きく依存するため、積層技術の応用により変位量の拡大が見込まれる。更に、歪み常数d33は、d31の約3倍の値を持つことからも、d33素子の方がより効率的な変位量の増大が期待できることとなる。このようなd33素子の構造を利用した背景技術としては、例えば、下記特許文献1に示す技術がある。当該特許文献1には、くし状に交差配置された電極を有する複数の積層体サブユニットから成り、1サブユニットの上下面を他のサブユニットの上下面に接着して複数個積み重ねたシート積層型圧電体において、上記各積層体サブユニットの外部電極を有するユニット側面と、上記サブユニット上下面とが交わるエッジに面取り部を形成することが記載されている。
しかしながら、例えば、前記背景技術に示すシート積層型圧電体を利用して、ユニモルフ型及びバイモルフ型の圧電アクチュエータを作成した場合、いずれにおいても電極間に挟まれた圧電体の変位量自体は変わらないが、バイモルフ型アクチュエータでは、X軸方向とY軸方向(すなわち、図3(A)における長さLの方向と、厚みtの方向)ともに応力が発生するため、中央部に配置された積層型圧電素子ほど移動量が大きくなり、積層型圧電素子の接続部位の外部電極にクラックが入ることがある。
本発明は、以上のような点に着目したもので、複数の積層型圧電素子を重ね合せた圧電駆動素子を利用したバイモルフ型の圧電アクチュエータにおいて、外部電極のクラックの防止ないし低減を図ることを、その目的とする。
本発明の圧電アクチュエータは、複数の積層型圧電素子が接着剤を介して積層方向に接合された圧電駆動素子を用いた圧電アクチュエータであって、第1の圧電駆動素子と第2の圧電駆動素子とを、前記積層方向と直交する方向に貼り合わせるとともに、前記第1の圧電駆動素子と、前記第2の圧電駆動素子とのそれぞれの側面に外部電極を形成し、バイモルフ型とし、前記圧電駆動素子の貼り合わせ方向における前記外部電極の最大厚みをa,最小厚みをbとしたときに、a/bの比を、1.2〜1.5としたことを特徴とする。
主要な形態の一つは、前記外部電極が、鉛筆硬度F〜Bの硬度を有することを特徴とする。他の形態は、前記外部電極は、厚みが連続して変化する波形であることを特徴とする。更に他の形態は、前記外部電極の波形の幅の周期がランダムであること,あるいは、前記外部電極の波形の高さがランダムであることを特徴とする。更に他の形態は、前記積層型圧電素子同士を接合した複数の接合箇所における接着剤の硬度ないし厚みが、同一でないことを特徴とする。
本発明の圧電アクチュエータの製造方法は、積層型圧電素子を作成する工程と、複数の積層型圧電素子を、その積層方向に接着剤により接合して圧電駆動素子を形成する工程と、第1の圧電駆動素子と第2の圧電駆動素子とを、前記積層方向と直交する方向に貼り合わせる工程と、前記第1の圧電駆動素子と第2の圧電駆動素子との貼り合わせ前後のいずれかの時点において、前記第1の圧電駆動素子と第2の圧電駆動素子のそれぞれの側面に、前記貼り合わせ方向における最大厚みをa,最小厚みをbとしたときに、a/bの比が1.2〜1.5となるように外部電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
主要な形態の一つは、前記外部電極を、外部電極ペーストをインジェクトすることにより形成すること,あるいは、前記外部電極を、外部電極ペースト塗布後に型押しすることにより形成することを特徴とする。他の形態は、前記複数の積層型圧電素子を接合する工程において、複数の積層型圧電素子を接合したサブブロックを複数形成し、該サブブロック同士を更に接着剤によって接続して、前記第1及び第2の圧電駆動素子を得ることを特徴とする。更に他の形態は、前記サブブロックを形成する工程と、該サブブロック同士を接合する工程において、異なる硬度ないし厚みを有する接着剤層が接合面に介在するように、接合を行うことを特徴とする。本発明の前記及び他の目的,特徴,利点は、以下の詳細な説明及び添付図面から明瞭になろう。
本発明によれば、複数の積層型圧電素子が接着剤を介して積層方向に接合された第1の圧電駆動素子と第2の圧電駆動素子とを、前記積層方向と直交する方向に貼り合わせるとともに、前記第1及び第2の圧電駆動素子のそれぞれの側面に外部電極を形成してバイモルフ型とした圧電アクチュエータにおいて、前記圧電駆動素子の貼り合わせ方向における前記外部電極の最大厚みをa,最小厚みをbとしたときに、a/bの比を、1.2〜1.5とすることにより、厚みが薄いところで外部電極を曲がりやすくし、振動時の応力を分散させ、外部電極のクラックを防止できるという効果が得られる。
以下、本発明を実施するための形態を、実施例に基づいて詳細に説明する。
最初に、図1を参照しながら本発明の実施例1を説明する。図1(A)は、本実施例の圧電アクチュエータの構造を示す主要断面図,図1(B)は前記圧電アクチュエータを構成する積層型圧電素子を示す外観斜視図,図1(C)は前記(B)を#A‐#A線に沿って切断し矢印方向に見た断面図,図1(D)は前記(A)の一部を拡大して示した断面の画像である。
図1(A)に示すように、本実施例の圧電アクチュエータ10は、複数のd33型の積層型圧電素子20が接着剤26を介して積層方向に接合された圧電駆動素子12A及び12Bを、前記積層方向と直交する方向にポリウレタンフィルム14を介して貼り合わせたバイモルフ型の圧電アクチュエータであって、圧電駆動素子12A,12Bの側面には外部電極16,18が形成されている。前記積層型圧電素子20は、図1(C)に示すように、圧電体22中に内部電極24Aと24Bが交互に複数積層形成された構造となっており、該積層型圧電素子20同士が、接着剤26を介して、内部電極24A,24Bの積層方向に複数接合されることで、前記圧電駆動素子12A,12Bが形成される。前記内部電極24Aは外部電極16に接続され、前記内部電極24Bは前記外部電極18に接続されている。
前記圧電体22は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)により形成され、内部電極24A,24Bは、例えば、銀や白金により形成され、外部電極16,18は、例えば、銀ペーストにより形成され、接着剤26としては、例えば、エポキシ系接着剤が用いられる。また、前記外部電極16,18は、図1(D)に示すように、断面の厚み(圧電駆動素子12Aと12Bの貼り合わせ方向における厚み)が連続して変化する波形であって、最大厚みをa,最小厚みをbとしたときに、a/bの比が、1.2〜1.5となるように形成されている。なお、図1(D)には外部電極16が示されているが、他方の外部電極18についても同様である。このように、外部電極16,18中に、それぞれ厚み差を設けることにより、厚みが薄いところが起点となって曲がるきっかけを作り、振動時の応力を分散させ、外部電極16,18のクラックを低減ないし防止することができる。なお、本実施例では、前記外部電極16,18の断面形状を、矩形ではなく、厚みが連続して変化する波形とすることにより、更に応力分散効果を高めることができる。a/b比が1.2より小さい場合、厚みの差が小さすぎるため、薄い部分が十分に屈曲の起点とはならず、上記のメカニズムが起こらずにクラックが生じてしまう。逆に1.5よりも大きい場合は、電極の薄い部分に応力が溜まりすぎるため、そこを起点にクラックが発生してしまう。
以上のような外部電極16,18は、鉛筆硬度F〜Bの硬度を有するようにすると、前記厚みの比a/bによる応力分散効果を妨げることがない。鉛筆硬度がFよりも大きい場合、外部電極16,18そのものが脆すぎるため、屈曲変位によって容易に亀裂が生じてしまい、外部電極16,18としての機能を失う上、電極のクラックから連続する形で圧電体22にもクラックが入りやすくなる。また、鉛筆硬度がBよりも柔らかい場合には、屈曲変位に対してほとんど抵抗することなく変形してしまうため、応力分散の効果が小さく、圧電体22のクラック発生を抑制することができない。
本実施例の圧電アクチュエータ10の製造方法の一例を示すと、まず、積層型圧電素子20を形成する。該積層型圧電素子20の形成方法としては、公知の各種の手法,例えば、スラリービルド法や印刷スラリー形成法など、公知の各種の手法が利用可能である。次に、前記積層型圧電素子20を、内部電極24A,24Bの積層方向に、接着剤26を介して複数接合し、圧電駆動素子12A及び12Bを得る。そして、前記ポリウレタンフィルム14を介して、前記圧電駆動素子12A,12Bを貼り合わせ、外部電極16,18を形成する。あるいは、前記圧電駆動素子12A,12Bの貼り合わせに先立って、圧電駆動素子12Aに外部電極16を形成し、圧電駆動素子12Bに外部電極18を形成し、その後に、圧電駆動素子12A,12Bを貼り合わせるようにしてもよい。前記外部電極16,18は、外部電極ペーストをインジェクトすることにより形成してもよいし、外部電極ペースト塗布後に型押しをするようにしてもよく、いずれの手法によっても、所定の形状を形成することが可能である。
なお、本実施例では、積層型圧電素子20を接合後に、厚さ0.5mmまで研磨し、端面電極(外部電極16,18)形成してから、分極後に上下分極方向を反転させて、両圧電駆動素子12A,12Bをポリウレタンフィルム14で貼り合わせている。このような圧電アクチュエータ10の駆動方式は、バイモルフ式となる。前記端面電極(外部電極16,18)は、各積層型圧電素子20の内部電極24A,24Bと接続しており、前記外部電極16,18に電圧をかけることにより、各積層型圧電素子20の内部電極24A,24B間に挟まれた圧電体22が変位し、一方の圧電駆動素子12Aが積層方向に伸びるとき、他方の圧電駆動素子12Bが積層方向に縮み、前記圧電駆動素子12Aが積層方向に縮むとき、圧電駆動素子12Bは伸びる。その結果、バイモルフ式では、圧電駆動素子12Aと圧電駆動素子12Bとを前記積層方向と直交する方向に貼り合わせた方向にて振動する。
表1には、本実施例の圧電アクチュエータ10において、積層型圧電素子20を40個接合し、各積層型圧電素子20中の層間厚みを66μm,層数を20としたときの、外部電極16,18の最大厚みaと最小厚みbの比についての試験結果が示されている。試験は、a/bを1.1〜1.6までに設定した試作品(No.1〜6)について、28Vrms−200Hzの正弦波入力により1時間駆動した後、外観観察によりクラックの有無を判定した。この表1の結果から、a/bが1.1と1.6の試作品についてはクラックの発生が見られたが、a/bが1.2〜1.5の範囲の試作品については、クラックが発生しないことが確認された。
このように、実施例1によれば、複数の積層型圧電素子20が接着剤26を介して積層方向に接合された圧電駆動素子12A,12Bを、前記積層方向と直交する方向に貼り合わせるとともに、圧電駆動素子12A,12Bの側面に外部電極16,18が設けられたバイモルフ型の圧電アクチュエータ10において、前記圧電駆動素子12A,12Bの貼り合わせ方向における前記外部電極16,18の最大厚みをa,最小厚みをbとしたときに、a/bの比を、1.2〜1.5とすることとした。このため、厚みが薄いところで外部電極を曲がりやすくし、振動時の応力を分散させ、外部電極のクラックを低減ないし防止することができる。特に、本実施例では、前記外部電極16,18の厚みが連続して変化しているため、より外部電極16,18が曲がりやすくなり、応力分散効果を高めることができる。更に、前記外部電極16,18の硬度を、鉛筆硬度F〜Bの硬度とすることで、前記厚み比による応力分散効果を妨げることがない。
なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることができる。例えば、以下のものも含まれる。
(1)前記実施例で示した形状,寸法は一例であり、同様の効果を奏する範囲内において適宜変更してよい。例えば、前記実施例1では、外部電極16は、波形幅がほぼ規則的であり、高さ(最大厚みa及び最小厚みb)も一定であったが、これも一例であり、図2(A)に示す外部電極16Aのように、波形幅がランダム(一定周期で波が形成されていない)となるようにしてもよい。あるいは、図2(B)に示す外部電極16Bのように、波形の高さがランダム(一定の高さで波が形成されていない)となるようにしてもよい。図示の例では、波の山の高さが異なる(厚みamax,厚みamin)とともに、波の谷の深さが異なる(厚みbmax,bmin)ように形成されている。この場合であっても、最大厚みであるamaxと最小厚みであるbminの比が、上述した1.2〜1.5の範囲内であればよい。前記図2(A)及び(B)のいずれの場合においても、アクチュエータの変形時の応力を効率的に分散し、外部電極16,18のクラックの発生を一層低減することが可能となる。
(1)前記実施例で示した形状,寸法は一例であり、同様の効果を奏する範囲内において適宜変更してよい。例えば、前記実施例1では、外部電極16は、波形幅がほぼ規則的であり、高さ(最大厚みa及び最小厚みb)も一定であったが、これも一例であり、図2(A)に示す外部電極16Aのように、波形幅がランダム(一定周期で波が形成されていない)となるようにしてもよい。あるいは、図2(B)に示す外部電極16Bのように、波形の高さがランダム(一定の高さで波が形成されていない)となるようにしてもよい。図示の例では、波の山の高さが異なる(厚みamax,厚みamin)とともに、波の谷の深さが異なる(厚みbmax,bmin)ように形成されている。この場合であっても、最大厚みであるamaxと最小厚みであるbminの比が、上述した1.2〜1.5の範囲内であればよい。前記図2(A)及び(B)のいずれの場合においても、アクチュエータの変形時の応力を効率的に分散し、外部電極16,18のクラックの発生を一層低減することが可能となる。
(2)前記実施例1で示した材料も一例であり、同様の効果を奏するように、必要に応じて適宜変更してよい。
(3)前記実施例1で示した積層型圧電素子20の接合数も一例であり、必要に応じて適宜増減してよい。
(4)前記実施例1では、接着剤26は、全ての接合部において同じ硬度及び厚みを有することとしたが、これも一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。例えば、図2(C)及び(D)に示す例のように、複数(図示の例では4つ)の積層型圧電素子20を接着剤26Aによって接合してサブブロック28を形成し、該サブブロック28同士を接着剤26Bにより接合するという具合である。図示の例では、接着剤26Aと26Bの厚みが異なっているが、厚みが異なるのみで接着剤の硬度は同じであってもよいし、硬度自体が異なる接着剤を用いてもよい。むろん、図2(C)及び(D)に示す例も一例であり、接着剤の厚みが全ての接合箇所で同一で、硬度のみが異なるようにしてもよい。このように、積層型圧電素子20の接合部の接着剤(ないし接着剤層)の硬度又は厚みの少なくとも一方を変化させることにより、アクチュエータの変形時の応力を分散でき、外部電極16,18のクラックを低減することが可能となる。
(3)前記実施例1で示した積層型圧電素子20の接合数も一例であり、必要に応じて適宜増減してよい。
(4)前記実施例1では、接着剤26は、全ての接合部において同じ硬度及び厚みを有することとしたが、これも一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。例えば、図2(C)及び(D)に示す例のように、複数(図示の例では4つ)の積層型圧電素子20を接着剤26Aによって接合してサブブロック28を形成し、該サブブロック28同士を接着剤26Bにより接合するという具合である。図示の例では、接着剤26Aと26Bの厚みが異なっているが、厚みが異なるのみで接着剤の硬度は同じであってもよいし、硬度自体が異なる接着剤を用いてもよい。むろん、図2(C)及び(D)に示す例も一例であり、接着剤の厚みが全ての接合箇所で同一で、硬度のみが異なるようにしてもよい。このように、積層型圧電素子20の接合部の接着剤(ないし接着剤層)の硬度又は厚みの少なくとも一方を変化させることにより、アクチュエータの変形時の応力を分散でき、外部電極16,18のクラックを低減することが可能となる。
本発明によれば、複数の積層型圧電素子が接着剤を介して積層方向に接合された第1の圧電駆動素子と第2の圧電駆動素子とを、前記積層方向と直交する方向に貼り合わせるとともに、前記第1及び第2の圧電駆動素子のそれぞれの側面に外部電極を形成する。そして、前記圧電駆動素子の貼り合わせ方向における前記外部電極の最大厚みをa,最小厚みをbとしたときに、a/bの比を、1.2〜1.5とすることにより、厚みが薄いところで外部電極を曲がりやすくし、振動時の応力を分散させ、外部電極のクラックを低減ないし防止するため、バイモルフ型の圧電アクチュエータの用途に適用できる。
10:圧電アクチュエータ
12A,12B:圧電駆動素子
14:ポリウレタンフィルム
16,16A,16B,18:外部電極
20:積層型圧電素子
22:圧電体
24A,24B:内部電極
26,26A,26B:接着剤
28:サブブロック
100:d33素子
102:圧電体
104:内部電極
110:d31素子
112:圧電体
114:内部電極
12A,12B:圧電駆動素子
14:ポリウレタンフィルム
16,16A,16B,18:外部電極
20:積層型圧電素子
22:圧電体
24A,24B:内部電極
26,26A,26B:接着剤
28:サブブロック
100:d33素子
102:圧電体
104:内部電極
110:d31素子
112:圧電体
114:内部電極
Claims (11)
- 複数の積層型圧電素子が接着剤を介して積層方向に接合された圧電駆動素子を用いた圧電アクチュエータであって、
第1の圧電駆動素子と第2の圧電駆動素子とを、前記積層方向と直交する方向に貼り合わせるとともに、前記第1の圧電駆動素子と、前記第2の圧電駆動素子とのそれぞれの側面に外部電極を形成し、バイモルフ型とし、
前記圧電駆動素子の貼り合わせ方向における前記外部電極の最大厚みをa,最小厚みをbとしたときに、a/bの比を、1.2〜1.5としたことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記外部電極が、鉛筆硬度F〜Bの硬度を有することを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記外部電極は、厚みが連続して変化する波形であることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電アクチュエータ。
- 前記外部電極の波形の幅の周期がランダムであることを特徴とする請求項3記載の圧電アクチュエータ。
- 前記外部電極の波形の高さがランダムであることを特徴とする請求項3記載の圧電アクチュエータ。
- 前記積層型圧電素子同士を接合する複数の接合箇所における接着剤の硬度ないし厚みが、同一でないことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
- 積層型圧電素子を作成する工程と、
複数の積層型圧電素子を、その積層方向に接着剤により接合して圧電駆動素子を形成する工程と、
第1の圧電駆動素子と第2の圧電駆動素子とを、前記積層方向と直交する方向に貼り合わせる工程と、
前記第1の圧電駆動素子と第2の圧電駆動素子との貼り合わせ前後のいずれかの時点において、前記第1の圧電駆動素子と第2の圧電駆動素子のそれぞれの側面に、前記貼り合わせ方向における最大厚みをa,最小厚みをbとしたときに、a/bの比が1.2〜1.5となるように外部電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記外部電極を、外部電極ペーストをインジェクトすることにより形成することを特徴とする請求項7記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記外部電極を、外部電極ペースト塗布後に型押しすることにより形成することを特徴とする請求項7記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記複数の積層型圧電素子を接合する工程において、
複数の積層型圧電素子を接合したサブブロックを複数形成し、該サブブロック同士を更に接着剤によって接続して、前記第1及び第2の圧電駆動素子を得ることを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記サブブロックを形成する工程と、該サブブロック同士を接合する工程において、異なる硬度ないし厚みを有する接着剤層が接合面に介在するように、接合を行うことを特徴とする請求項10記載の圧電アクチュエータの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010290723A JP2012138505A (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010290723A JP2012138505A (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | 圧電アクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012138505A true JP2012138505A (ja) | 2012-07-19 |
Family
ID=46675686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010290723A Withdrawn JP2012138505A (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012138505A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190018251A (ko) * | 2017-08-14 | 2019-02-22 | 엘지이노텍 주식회사 | 압전 소자, 이 소자를 포함하는 압전 액츄에이터, 및 이 엑츄에이터를 포함하는 압전 모듈 |
KR20210007857A (ko) * | 2019-07-09 | 2021-01-20 | 금오공과대학교 산학협력단 | 압전 복합체, 그 제조방법, 및 이를 포함하는 자기전기 적층형 구조체 |
-
2010
- 2010-12-27 JP JP2010290723A patent/JP2012138505A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190018251A (ko) * | 2017-08-14 | 2019-02-22 | 엘지이노텍 주식회사 | 압전 소자, 이 소자를 포함하는 압전 액츄에이터, 및 이 엑츄에이터를 포함하는 압전 모듈 |
KR102391894B1 (ko) | 2017-08-14 | 2022-04-28 | 엘지이노텍 주식회사 | 압전 소자, 이 소자를 포함하는 압전 액츄에이터, 및 이 엑츄에이터를 포함하는 압전 모듈 |
KR20210007857A (ko) * | 2019-07-09 | 2021-01-20 | 금오공과대학교 산학협력단 | 압전 복합체, 그 제조방법, 및 이를 포함하는 자기전기 적층형 구조체 |
KR102454903B1 (ko) * | 2019-07-09 | 2022-10-17 | 금오공과대학교 산학협력단 | 압전 복합체, 그 제조방법, 및 이를 포함하는 자기전기 적층형 구조체 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI729189B (zh) | 觸覺回饋產生裝置 | |
JP5116250B2 (ja) | 積層圧電素子及びその製造方法、並びに振動波駆動装置 | |
EP1705722A3 (en) | Multilayer piezoelectric element, fuel injector having the piezoelectric element and piezoelectric element production method | |
JP2005168281A5 (ja) | ||
JP2014033478A (ja) | 圧電発電装置 | |
US11437560B2 (en) | Multilayer piezoelectric element, piezoelectric vibration apparatus, and electronic device | |
JP2005285817A (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエータ並びに圧電素子及び圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP2012138505A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP5969863B2 (ja) | 圧電素子、音響発生器、音響発生装置及び電子機器 | |
JP6323863B2 (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエータおよび圧電素子の製造方法 | |
JP6077798B2 (ja) | 圧電素子、音響発生器、音響発生装置および電子機器 | |
JP2003164174A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP4258238B2 (ja) | 積層型圧電素子及びその製造方法 | |
KR101789170B1 (ko) | 전자 기기용 압전 액추에이터 | |
JPH0257353B2 (ja) | ||
KR100586305B1 (ko) | 교번전극구조를 갖는 밴더형 액츄에이터 | |
JP2005287100A (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータ装置 | |
JP2004087662A (ja) | 圧電素子 | |
JP2008300430A (ja) | 積層型圧電素子ならびにその製造方法 | |
JP5144097B2 (ja) | 超音波モータ装置 | |
JP2005045086A (ja) | インジェクタ装置用積層型圧電素子 | |
JP4818853B2 (ja) | 超音波モータ素子 | |
JP2017092167A (ja) | 圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
KR100651164B1 (ko) | 인치웜 액츄에이터용 압전 소자 | |
JP5825656B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよび連結型圧電アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20140304 |