DE69916344T2 - Pizoelektrischer Betätiger für Tintenstrahldruckkopf - Google Patents

Pizoelektrischer Betätiger für Tintenstrahldruckkopf Download PDF

Info

Publication number
DE69916344T2
DE69916344T2 DE69916344T DE69916344T DE69916344T2 DE 69916344 T2 DE69916344 T2 DE 69916344T2 DE 69916344 T DE69916344 T DE 69916344T DE 69916344 T DE69916344 T DE 69916344T DE 69916344 T2 DE69916344 T2 DE 69916344T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrodes
actuator
electrode
auxiliary
piezoelectric actuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69916344T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69916344D1 (de
Inventor
Franciscus Richard Blom
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Production Printing Netherlands BV
Original Assignee
Oce Technologies BV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oce Technologies BV filed Critical Oce Technologies BV
Application granted granted Critical
Publication of DE69916344D1 publication Critical patent/DE69916344D1/de
Publication of DE69916344T2 publication Critical patent/DE69916344T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14274Structure of print heads with piezoelectric elements of stacked structure type, deformed by compression/extension and disposed on a diaphragm

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Aktor für einen Tintenstrahldruckkopf, mit:
    • – einem Körper aus einem piezoelektrischen Material, der eine Bodenfläche aufweist, über welche die mechanische Energie des Aktors auf ein Empfangselement übertragen wird, wobei der Körper einen an die Bodenfläche angrenzenden aktiven Teil sowie einen inaktiven Teil aufweist;
    • – einer geschichteten Struktur aus abwechselnden Signalelektroden und Masseelektroden, die parallel zu der Bodenfläche in dem aktiven Teil angeordnet und durch Schichten des piezoelektrischen Materials getrennt sind;
    • – einer geschichteten Struktur aus abwechselnden Hilfselektroden und Masseelektroden, die parallel zu der Bodenfläche in dem inaktiven Teil angeordnet und durch Schichten des piezoelektrischen Materials getrennt sind;
    • – wenigstens einer Signalleitungselektrode, die an einer ersten Seite des Körpers ausgebildet ist und die Signalelektroden verbindet;
    • – einer Masseleitungselektrode, die auf einer zweiten, der ersten Seite entgegengesetzten Seite ausgebildet ist und die Masseelektroden verbindet; und
    • – und einer Hilfsleitungselektrode, die an einer dritten Seite des Körpers 24 ausgebildet ist und die Hilfselektroden verbindet.
  • JP-09 156 100 A beschreibt einen Aktor dieses Typs, bei dem der aktive Teil und der inaktive Teil Seite an Seite angeordnet sind und beide an die Bodenfläche des Körpers angrenzen.
  • Ein Aktor dieses Typs dient dazu, flüssige Tinte in einem Tintenstrahldruckkopf unter Druck zu setzen, so daß Tintentröpfchen aus Düsen des Druckkopfes ausgestoßen werden können. Typischerweise hat der Druckkopf eine lineare Zeile von Düsen, und jede Düse ist mit einem Tintenkanal verbunden, der mit Tinte gefüllt ist. Die Tintenkanäle sind parallel zueinander angeordnet und durch ein blattförmiges Empfangselement abgedeckt, das an der Bodenfläche des Aktors befestigt ist, so daß es entsprechend den Expansions- und Kontraktionshüben des Aktors deformiert werden kann, um die Tinte in den Tintenkanälen unter Druck zu setzen. Der aktive Teil des piezoelektrischen Körpers ist in eine Vielzahl paralleler Finger aufgeteilt, die jeweils einem der einzelnen Tintenkanäle zugeordnet sind und durch Teilungsschnitte voneinander getrennt sind, die in die Bodenfläche des Körpers eingeschnitten sind.
  • Der inaktive Teil des Körpers bildet eine brückenartige Struktur, die die Finger auf der der Bodenfläche entgegengesetzten Seite miteinander verbindet.
  • Die Signalleitungselektroden sind den jeweiligen Fingern einzeln zugeordnet, so daß ein Tintentröpfchen aus einer ausgewählten Düse erhalten werden kann, indem eine Spannung zwischen der zugehörigen Signalleitungselektrode und der Masseleitungselektrode angelegt wird.
  • Der inaktive Brückenteil des piezoelektrischen Körpers dient als ein Abstützelement, das die Reaktionskräfte der aktiven Aktorfinger aufnimmt und auch den Herstellungsprozeß erleichtert, indem es die Herstellung einer Vielzahl von Fingern in einer einstückigen Konstruktion ermöglicht, einfach durch Ausbildung von Teilungsschnitten in dem piezoelektrischen Körper. Die Hilfselektroden in dem inaktiven Teil werden nicht benötigt, wenn der Druckkopf in Betrieb ist. Diese Hilfselektroden werden nur bei dem Prozeß der Herstellung des Aktors benötigt.
  • Wie im Stand der Technik bekannt ist, muß eine piezoelektrische Einrichtung, die z. B. aus piezoelektrischer Keramik hergestellt ist, während des Herstellungsprozesses polarisiert werden, damit sie den gewünschten piezoelektrischen Effekt zeigt. Dieser Polarisationsschritt geht einher mit einer anisotropen Schrumpfung oder Dehnung des pizeoelektrischen Materials. Wenn nur der aktive Teil polarisiert würde, würde sich deshalb der piezoelektrische Körper als Ganzes wie ein bimorphes Element verhalten und würde in unerwünschter Weise verzogen oder sogar zerbrechen. Dies ist der Grund, weshalb die Hilfselektroden benutzt werden, um auch den inaktiven Teil des piezoelektrischen Körpers zu polarisieren.
  • 4 zeigt ein Beispiel eines Druckkopfes 10, in dem ein kommerziell erhältlicher piezoelektrischer Aktor 12 verwendet wird.
  • Der Druckkopf 10 weist ein Tragelement 14 auf, auf dem eine Kanalplatte 16 angeordnet ist. In der oberen Oberfläche der Kanalplatte 16 sind mehrere parallele Tintenkanäle 18 gebildet. In 4 ist nur einer dieser Tintenkanäle 18 gezeigt. Ein Ende des Tintenkanals 18 ist als eine Düse 20 ausgebildet, von der Tintentröpfchen ausgestoßen werden sollen. Das rückwärtige Ende des Tintenkanals ist mit einem Tintenzufuhrsystem (nicht gezeigt) verbunden, das in dem Tragelement 14 untergebracht ist. Ein Empfangselement 22 ist als ein dünnes flexibles Blatt ausgebildet und so auf die Kanalplatte 16 aufgelegt, daß es sämtliche Tintenkanäle 18 und Düsen 20 bedeckt.
  • Der Aktor 12 weist einen Körper 24 auf, der aus piezoelektrischer Keramik hergestellt ist und als ein Quader geformt ist, mit einer Bodenfläche 26, die an dem Empfangselement 22 fixiert ist. Der an die Bodenfläche 26 angrenzende Teil des Körpers 24 ist in eine Vielzahl von Fingern 28 unterteilt, die parallel zueinander und zu den Tintenkanälen 18 angeordnet sind. Jeder Finger 28 ist direkt über einem der Tintenkanäle 18 angeordnet. In 4 ist jedoch zu sehen, daß der Körper 24 und auch seine Finger 28 auf der den Düsen 20 entgegengesetzten Seite über die Tintenkanäle 18 hinausragen. Nur der Teil der Finger 28, der über den Tintenkanälen 18 liegt, ist als ein aktiver Teil 30 des piezoelektrischen Aktors ausgebildet. Dieser aktive Teil 30 weist eine geschichtete Struktur auf, mit abwechselnden Signalelektroden 32 und Masseelektroden 34. Die Masseelektroden 34 erstrecken sich nur über den aktiven Teil 30, während sich die Signalelektroden 32 über die gesamte Länge des Körpers 24 erstrecken und somit auch in einem inaktiven Teil 36 vorhanden sind, der gegenüber den Tintenkanälen 18 versetzt ist.
  • Der Teil des Körpers 24, der die einzelnen Finger 28 überbrückt und sich oberhalb des aktiven Teils 30 befindet, bildet einen weiteren inaktiven Teil 38. Dieser inaktive Teil 38 enthält eine geschichtete Struktur mit abwechselnden Masselektroden 34 und Hilfselektroden 40.
  • All die Elektroden 32, 34 und 40 werden durch ebene rechteckige Blätter aus leitfähigem Material gebildet, die parallel zu der Bodenfläche 26 des Körpers 24 angeordnet und durch Schichten aus keramischem Material voneinander getrennt sind. Die Signalelektroden 32 jedes Fingers 28 sind miteinander verbunden durch eine Signalleitungselektrode 42, die an einer hinteren Seitenfläche des Körpers 24 ausgebildet ist, d. h., der Seitenfläche, die von den Düsen 20 abgewandt ist. Ähnlich sind all die Masseelektroden 34 in dem aktiven Teil 30 und dem inaktiven Teil 38 durch eine gemeinsame Masseleitungselektrode 44 verbunden, die an der vorderen Seitenfläche des Körpers 24 ausgebildet ist. Die Hilfselektroden 40 sind durch eine gemeinsame Hilfsleitungselektrode 46 verbunden, die wieder auf der hinteren Seitenfläche des Körpers 24 ausgebildet, jedoch von den Signalleitungselektroden 42 durch eine Lücke 48 getrennt ist.
  • Die Signalleitungselektroden 42 und die Masseleitungselektroden 44 sind mit jeweiligen Kontaktelektroden 50 und 52 verbunden, die an der Bodenfläche 26 des Körpers 24 ausgebildet sind. Die Kontaktelektrode 52 erstreckt sich über die hinteren Enden der Tintenkanäle 18 hinaus. All die Kontaktelektroden 50 und 52 sind über elektrische Leitungen, die auf einem Verbindungsteil 54 ausgebildet sind, elektrisch mit einer (nicht gezeigten) Steuerschaltung verbunden. Das Verbindungsteil 54 wird durch eine flexible Folie gebildet, die sandwichartig zwischen der Bodenfläche 26 des Körpers 24 und dem Empfangselement 22 unterhalb des inaktiven Teils 36 liegt.
  • Wenn einer der Signalleitungselektroden 42 über die zugehörige Kontaktelektrode 50 und das Verbindungsteil 54 ein erregendes Signal zugeführt wird, so führt der aktive Teil 30 des betreffenden Fingers 28 einen Expansionshub aus, so daß das Empfangselement 22 nach unten durchgebogen wird und die in dem Tintenkanal 18 enthaltene Tinte unter Druck setzt und dadurch ein Tintentröpfchen aus der Düse 20 ausstößt. Um Verluste bei der mechanischen Energie zu vermeiden, die auf das Empfangselement 22 übertragen wird, ist es bevorzugt, daß das Verbindungsteil 54 nicht zwischen dem aktiven Teil 30 des Aktors und dem Empfangselement 22 vorhanden ist, sondern nur weiter hinten als die Tintenkanäle 18. Der Körper 24 ist nach hinten über die Tintenkanäle 18 hinaus verlängert worden, damit eine ausreichende Kontaktfläche zwischen den Kontaktelektroden 50 und 52 und dem Verbindungsteil 54 gebildet wird. Da sich das Empfangselement 22 in diesem Bereich nicht nach unten durchbiegen kann, weil es durch die Kanalplatte 16 abgestützt wird, ist der Teil 36 des Körpers 24 inaktiv und enthält keine Masseleketroden 34.
  • Es vesteht sich, daß bei dem in 4 gezeigten herkömmlichen Aktor 12 das Verbindungsteil 54 an der Bodenfläche 26 anliegen muß, weil die vorderen und hinteren Seitenflächen des inaktiven oberen Teils des Körpers 24 durch die Masseleitungselektrode 44 und die Hilfsleitungselektrode 46 belegt sind, die während des Polarisationsschrittes dazu benötigt werden, die Masseelektroden 34 und die Hilfselektroden 40 in dem inaktiven Teil 38 anzuschließen.
  • EP-A-0 757 939 beschreibt eine Aktor, der in eine Vielzahl von piezoelektrischen Fingern unterteilt ist, die auf der der Bodenfläche entgegengesetzten Seite durch einen brückenartigen Teil verbunden sind. In dem brückenartigen Teil sind keine Elektroden vorgesehen.
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen piezoelektrischen Aktor zu schaffen, der mehr konstruktive Freiheit bietet, wenn der Aktor in einem Tintenstrahldruckkopf verwendet wird.
  • Diese Aufgabe wird mit den in Anspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst.
  • Die Erfindung hat den Vorteil, daß die ersten und zweiten Seitenflächen des Blockes in ihrer Gesamtheit für den Anschluß der Signalelektroden und der Masseelektroden benutzt werden können, was mehr Wahlfreiheit hinsichtlich der Position ermöglicht, in der ein Verbindungsteil an den piezoelektrischen Block anzuschließen ist. Insbesondere kann sich das Verbindungsteil in einer von der Bodenfläche entfernten Position an den Block anschließen, z. B. auf der der Bodenfläche entgegengesetzten Oberseite.
  • In einem piezoelektrischen Druckkopf muß der Aktor fest mit dem Empfangselement verbunden sein, weil der Aktor in der Lage sein muß, nicht nur Expansionshübe, sondern auch Kontraktionshübe auszuführen, um Tinte in den Tintenkanal einzusaugen. Im Hinblick auf die extrem kleinen Breitenabmessungen der Tintenkanäle und der zugehörigen piezoelektrischen Finger ist dieser Verbindungsschritt eine ziemlich problematische Prozedur. Die Verbindung erfolgt normalerweise mit Hilfe eines Klebers, der bei hohen Temperaturen ausgehärtet werden muß. Wenn eine dünne Folie, die als das Verbindungsteil dient, sandwichartig zwischen dem Aktor und dem Empfangselement angeordnet ist, kann somit dieses Verbindungsteil durch die bei dem Klebeschritt einwirkende Hitze zerstört werden. Dieses Problem läßt sich durch die Konstruktion gemäß der vorliegenden Erfindung einfach vermeiden, weil sie es gestattet, das Verbindungsteil an der Oberseite des piezoelektrischen Körpers anzubringen, nachdem der Aktor mit dem Empfangselement verbunden worden ist und der Kleber ausgehärtet ist. Dies bietet den bemerkenswerten zusätzlichen Vorteil, daß elektronische Komponenten, die durch hohe Temperaturen zerstört würden, auf dem Verbindungsteil integriert werden können.
  • Wenn das Verbindungsteil nicht mehr sandwichartig zwischen dem Aktor und dem Empfangselement angeordnet zu werden braucht, besteht außerdem keine Notwendigkeit mehr, den piezoelektrischen Körper des Aktors über die Tintenkanäle hinaus zu verlängern. Somit kann der Aktor so verkürzt werden, daß er nur oberhalb der Tintenkanäle liegt, und er braucht keinen inaktiven Teil mehr aufzuweisen, der an die Bodenfläche angrenzt. Infolgedessen wird der Aktor kompakter und kostengünstiger.
  • Speziellere wahlfreie Merkmale der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Ein Tintenstrahldruckkopf mit dem erfindungsgemäßen Aktor ist Gegenstand des Anspruchs 8.
  • Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden nun anhand der beigefügten Zeichnungen erläutert, in denen zeigen:
  • 1 eine perspektivische Ansicht eines Tintenstrahldruckkopfes mit einem piezoelektrischen Aktor gemäß der Erfindung, wobei Teile zu Illustrationszwecken weggebrochen sind;
  • 2 eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Blockes, der weiter bearbeitet werden muß, um den Aktor gemäß 1 zu bilden;
  • 3 einen piezoelektrischen Aktor gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung; und
  • 4 einen Druckkopf mit einem herkömmlichen Aktor.
  • Der in 1 gezeigte Tintenstrahldruckkopf 10 hat den gleichen allgemeinen Aufbau wie der Druckkopf, der bereits im Zusammenhang mit 4 beschrieben wurde. Gleiche Teile sind mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und bezüglich Einzelheiten der Komponenten, die bereits beschrieben wurden, wird auf den Einleitungsteil dieser Beschreibung verwiesen.
  • Der hauptsächliche Unterschied zwischen den in 4 und 1 gezeigten Druckköpfen besteht darin, daß in 1 der erfindungsgemäße piezoelektrische Aktor 12 verwendet worden ist und daß das Verbindungsteil 54 an der Oberseite des Körpers 24 des Aktors angebracht ist. Dementsprechend sind die Kontaktelektroden 50 und 52 auf der Oberseite des Körpers 24 ausgebildet und mit den Signalelektroden 32 und den Masseelektroden 34 durch Signalleitungselektroden 42 bzw. Masseleitungselektroden 44 verbunden, die sich über die gesamte Höhe der hinteren und vorderen Seitenflächen des Blockes 24 erstrecken.
  • Die Hilfselektroden 40 müssen natürlich elektrisch von den Signalleitungselektroden 42 und den Masseleitungselektroden 44 isoliert sein und können deshalb weder zur hinteren Seitenfläche noch zur vorderen Seitenfläche des Blockes 24 herausgeführt sein. Stattdessen sind diese Hilfselektroden 40 zu einer oder beiden seitlichen Seitenflächen des Blockes 24 herausgeführt und elektrisch durch Hilfsleitungselektroden 46 miteinander verbunden, die an diesen seitlichen Seitenflächen ausgebildet sind, wie in 2 gezeigt ist. An beiden seitlichen Enden der Oberseite des Körpers 24 sind Hilfskontaktelektroden 56 ausgebildet und elektrisch mit den jeweiligen Hilfsleitungselektroden 46 verbunden. Wenn der Druckkopf in Betrieb ist und die Hilfselektroden 40 nicht gebraucht werden, können diese folglich mit den Masseelektroden 34 kurzgeschlossen werden, mit Hilfe von Leitungen, die auf dem Verbindungsteil 54 ausgebildet sind und die Kontaktelektroden 52 und 56 verbinden.
  • Es ist zu erkennen, daß in 2 die Finger 28 des Aktors noch nicht voneinander getrennt sind. Um den Aktor fertigzustellen, ist es notwendig, diese Finger zu trennen, indem Teilungsschnitte in der Bodenfläche des Blockes 24 gebildet werden. Die Signalleitungselektroden 42 und die Kontaktelektroden 50 für jeden Finger sind streifenförmig ausgebildet, so daß sie auch im oberen Bereich des Körpers 24 von denen für die benachbarten Finger elektrisch isoliert sind.
  • Weiter ist in 1 zu erkennen, daß die Länge des Körpers 24 in Längsrichtung der Tintenkanäle 18 kleiner ist als in 4 und daß der Aktor ausschließlich oberhalb der Tintenkanäle 18 angeordnet ist. Dies ist möglich, weil sich das Verbindungsteil 54 an die Oberseite des Aktors anschließt und nicht sandwichartig zwischen der Bodenfläche des Aktors und dem Empfangselement 22 zu liegen braucht. Der an die Bodenfläche 26 angrenzende inaktive Teil 36 des Körpers 24 kann somit in 1 fortgelassen werden, und der Aktor gemäß dieser Ausführungsform der Erfindung ist nur in einen unteren aktiven Teil 30 angrenzend an die Bodenfläche 26 und einen darüberliegenden inaktiven Teil 38 unterteilt.
  • 3 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform des Aktors 12, der Kontaktelektroden 50, 52 sowohl an der Oberseite als auch an der Bodenfläche aufweist, so daß ein Verbindungsteil je nach Wunsch sowohl an der Oberseite als auch an der Bodenfläche angebracht werden kann. Ähnlich wie der in 4 gezeigte herkömmliche Aktor hat dieser Aktor einen inaktiven Teil 36, der sich vertikal über die gesamte Höhe des Blockes 24 erstreckt.
  • Die Hilfselektroden 40 im oberen Teil des Blockes 24 sind durchgehend in beiden inaktiven Teilen 38 und 36 ausgebildet. Der inaktive Teil 36 enthält zusätzliche Blindelektroden 58, die mit den Masseelektroden 34 bündig sind. Innerhalb der Finger 28 wechseln die Blindelektroden 58 mit den Signalelektroden 32 ab, während im oberen Bereich des inaktiven Teils 36 diese Blindelektroden mit den Hilfselektroden 40 abwechseln.
  • Ähnlich wie in 2 sind die Hilfselektroden 40 und die Blindelektroden 58 mit Hilfsleitungselektroden verbunden, die an den seitlichen Seitenflächen des Blockes 24 vorgesehen sind. Wenn der Block 24 gemäß 3 während des Herstellungsprozesses polarisiert wird, werden die Hilfselektroden 40 und die Blindelektroden 58 mit den Signalelektroden 32 kurzgeschlossen, während die Masseelektroden 34 geerdet werden. Somit wird ein Spannungsabfall nur zwischen den abwechselnden Elektroden in dem aktiven Teil 30 und dem inaktiven Teil 38 auftreten, so daß das piezoelektrische Material in diesen Teilen polarisiert wird. In dem inaktiven Teil 36, der sich vertikal über die gesamte Höhe des Blockes 24 erstreckt, liegen während des Polarisationsschrittes sowohl die Hilfselektroden 40 als auch die Blindelektroden 58 auf einem hohen Potential, so daß, wie bei der herkömmlichen Konstruktion, kein Spannungsabfall auftritt und das piezoelektrische Material nicht polarisiert wird. Die Blindelektroden 58 erleichtern den Herstellungsprozeß dadurch, daß sie es erlauben, einen Block 24 mit gleichmäßiger Dicke zu erhalten, indem einfach Elektrodenlagen und Lagen aus piezoelektrischem Material übereinander geschichtet werden.
  • Es sollte bemerkt werden, daß die Dicke der Elektroden in den Zeichnungen zu Illustrationszwecken übertrieben ist und andererseits die Anzahl der Elektrodenlagen beträchtlich größer sein kann als in den Zeichnungen gezeigt ist.
  • Obgleich oben nur spezielle Ausführungsformen der Erfindung beschrieben wurden, versteht es sich für den Fachmann, daß verschiedene Abwandlungen im Rahmen der nachstehenden Ansprüche möglich sind.

Claims (9)

  1. Piezoelektrischer Aktor (12) für einen Tintenstrahldruckkopf (10), mit: – einem Körper (24) aus einem piezoelektrischen Material, der eine Bodenfläche (26) aufweist, über welche die mechanische Energie des Aktors auf ein Empfangselement (22) übertragen wird, wobei der Körper einen an die Bodenfläche (26) angrenzenden aktiven Teil (30) sowie einen inaktiven Teil (38) aufweist; – einer geschichteten Struktur aus abwechselnden Signalelektroden (32) und Masseelektroden (34), die parallel zu der Bodenfläche (26) in dem aktiven Teil (30) angeordnet und durch Schichten aus dem piezoelektrischen Material voneinander getrennt sind; – einer geschichteten Struktur aus abwechselnden Hilfselektroden (40) und Masseelektroden (34), die parallel zu der Bodenfläche in dem inaktiven Teil (38) angeordnet und durch Schichten des piezoelektrischen Materials voneinander getrennt sind; – wenigstens einer Signalleitungselektrode (42), die an einer ersten Seitenfläche des Körpers (24) ausgebildet ist und die Signalelektroden (32) verbindet; – einer Masseleitungselektrode (44), die auf einer zweiten, der ersten Seitenfläche gegenüberliegenden Seitenfläche ausgebildet ist und die Masseelektroden (34) verbindet; und – einer an einer dritten Seitenfläche des Körpers (24) ausgebildeten Hilfsleitungselektrode (46), die die Hilfselektroden (40) verbindet, dadurch gekennzeichnet, daß der aktive Teil (30) in eine Vielzahl von Fingern (28) unterteilt ist, die parallel zueinander angeordnet sind, – der inaktive Teil (38) ein brückenartiger Teil ist, der auf der der Bodenfläche (26) entgegengesetzten Seite die Finger in einem Stück miteinander verbindet, und an jedem Finger (28) eine gesonderte Signalleitungselektrode (42) ausgebildet und in den brückenartigen inaktiven Teil (38) verlängert ist.
  2. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 1, bei dem Kontaktelektroden (50), die mit den jeweiligen Signalleitungselektroden (42) verbunden sind, und eine Kontaktelektrode (52), die elektrisch mit den Masseleitungselektroden (44) verbunden ist, an einer der Bodenfläche (26) entgegengesetzten oberen Oberfläche des Blockes (24) ausgebildet sind.
  3. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 2, bei dem wenigstens eine zusätzliche Kontaktelektrode (56) an einem Randbereich der oberen Oberfläche des Körpers (24) ausgebildet und elektrisch mit der Hilfsleitungselektrode (46) verbunden ist.
  4. Piezoelektrischer Aktor nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem Kontaktelektroden (50, 52, 56) sowohl an der oberen Oberfläche als auch an der Bodenfläche (26) des Körpers (24) ausgebildet sind.
  5. Piezoelektrischer Aktor nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem der Körper (24) einen zweiten inaktiven Teil (36) aufweist, der an einen Abschnitt der Bodenfläche (26) angrenzt.
  6. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 5, bei dem die Hilfselektroden (40) sich über beide inaktiven Teile (36, 38) des Körpers (24) erstecken und Blindelektroden in dem zweiten aktiven Teil (36) angeordnet sind, wobei jede Blindelektrode (58) in der gleichen Ebene wie eine entsprechende der Masseelektroden (34) angeordnet ist und elektrisch mit der Hilfsleitungselektrode (46) verbunden ist.
  7. Tintenstrahldruckkopf mit wenigstens einem Tintenkanal (18), der in einer Düse (20) endet und durch ein flexibles Empfangselement (22) abgedeckt ist, und einem mit dem Empfangselement (22) verbundenen piezoelektrischen Aktor (12), dadurch gekennzeichnet, daß der piezoelektrischer Aktor (12) den in einem der vorstehenden Ansprüche angegebenen Aufbau aufweist.
  8. Tintenstrahldruckkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein Verbindungsteil (54), das die Signalelektroden (32) und Masseelektroden (34) des Aktors (26) elektrisch anschließt, an einer der Bodenfläche (26) des Körpers (24) entgegengesetzten oberen Oberfläche angeordnet ist.
  9. Tintenstrahldruckkopf nach Anspruch 7 oder 8, bei dem die Länge des Aktors (12) in Längsrichtung der Tintenkanäle (18) kleiner oder gleich der Länge der Tintenkanäle ist.
DE69916344T 1998-01-23 1999-01-12 Pizoelektrischer Betätiger für Tintenstrahldruckkopf Expired - Lifetime DE69916344T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP98200189 1998-01-23
EP98200189 1998-01-23

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69916344D1 DE69916344D1 (de) 2004-05-19
DE69916344T2 true DE69916344T2 (de) 2005-05-12

Family

ID=8233315

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69916344T Expired - Lifetime DE69916344T2 (de) 1998-01-23 1999-01-12 Pizoelektrischer Betätiger für Tintenstrahldruckkopf

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6747396B2 (de)
JP (1) JPH11263013A (de)
DE (1) DE69916344T2 (de)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW432731B (en) 1998-12-01 2001-05-01 Murata Manufacturing Co Multilayer piezoelectric part
JP3876986B2 (ja) * 2002-09-24 2007-02-07 ブラザー工業株式会社 インクジェットヘッド
JP4145760B2 (ja) * 2002-10-03 2008-09-03 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータユニット及びその製造方法
JP3861809B2 (ja) * 2002-12-27 2006-12-27 株式会社村田製作所 圧電振動板およびこの圧電振動板を用いた圧電型電気音響変換器
JP4235804B2 (ja) * 2003-03-04 2009-03-11 セイコーエプソン株式会社 圧電素子形成部材、圧電素子形成ユニット及び圧電素子ユニット並びに液体噴射ヘッド
JP4670225B2 (ja) * 2003-04-04 2011-04-13 セイコーエプソン株式会社 圧電素子形成部材およびその製造方法ならびにそれを用いた圧電素子ユニットおよび液体噴射ヘッド
US20050116635A1 (en) * 2003-12-02 2005-06-02 Walson James E. Multiple LED source and method for assembling same
US7282836B2 (en) * 2005-12-08 2007-10-16 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for a D33 mode piezoelectric actuator with a bending motion
JP4640649B2 (ja) * 2006-03-17 2011-03-02 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出ヘッド、画像形成装置、および成膜装置
JP5116250B2 (ja) * 2006-04-11 2013-01-09 キヤノン株式会社 積層圧電素子及びその製造方法、並びに振動波駆動装置
JP5153093B2 (ja) * 2006-06-28 2013-02-27 京セラ株式会社 積層型圧電素子
US8573750B2 (en) * 2008-10-30 2013-11-05 Fujifilm Corporation Short circuit protection for inkjet printhead
JP2013051236A (ja) * 2011-08-30 2013-03-14 Seiko Epson Corp 圧電素子ユニット、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
US9431041B1 (en) * 2014-02-17 2016-08-30 Magnecomp Corporation Comb structure for a disk drive suspension piezoelectric microactuator operating in the D33 mode, and method of manufacturing the same
US9786831B1 (en) 2016-01-27 2017-10-10 Magnecomp Corporation Suspension having a stacked D33 mode PZT actuator with constraint layer

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2965602B2 (ja) 1990-02-26 1999-10-18 日立金属株式会社 積層型変位素子
US5345137A (en) 1991-04-08 1994-09-06 Olympus Optical Co., Ltd. Two-dimensionally driving ultrasonic motor
JP2998764B2 (ja) 1991-06-13 2000-01-11 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式印字ヘッド、インク補給方法、及び気泡除去方法
JPH0567819A (ja) 1991-09-10 1993-03-19 Nec Corp 圧電セラミツクトランス
JP3525156B2 (ja) 1993-03-11 2004-05-10 富士通株式会社 Posデータ集計方式
DE4332966A1 (de) 1993-09-28 1995-03-30 Philips Patentverwaltung Torsionsaktuator und ein Verfahren zu dessen Herstellung
IT1268101B1 (it) 1993-10-07 1997-02-20 Seiko Epson Corp Azionatore piezoelettrico per una testa di registrazione, e procedimento per la sua fabbricazione.
EP0897803B1 (de) 1993-10-14 2001-07-25 Citizen Watch Co. Ltd. Tintenstrahlkopf und Verfahren zu seiner Herstellung und zu seiner Steuerung
US5761783A (en) 1994-03-29 1998-06-09 Citizen Watch Co., Ltd. Ink-jet head manufacturing method
US5814919A (en) 1995-04-28 1998-09-29 Canon Kabushiki Kaisha Electro-mechanical energy conversion element and a vibration wave actuator using the electro-mechanical energy conversion element

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11263013A (ja) 1999-09-28
US6747396B2 (en) 2004-06-08
US20010010443A1 (en) 2001-08-02
DE69916344D1 (de) 2004-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3630206C2 (de)
DE69916344T2 (de) Pizoelektrischer Betätiger für Tintenstrahldruckkopf
DE60313233T2 (de) Tintenstrahlkopf, Verfahren für dessen Herstellung, und Tintenstrahldrucker
DE60318122T2 (de) Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
DE4447817C2 (de) Tintenstrahldruckkopf
DE60029262T2 (de) Piezoelektrisches Tintenstrahldruckmodul
EP0713777B1 (de) Anordnung für einen Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen
DE602005005757T2 (de) Tintenstrahlkopf
DE3248087A1 (de) Fluessigkeitsstrahlkopf
DE602004002040T2 (de) Tintenstrahldruckkopf
DE69931001T2 (de) Piezoelektrischer Vibrator, Verfahren zu dessen Herstellung und diesen piezoelektrischen Vibrator verwendender Tintenstrahldruckkopf
DE60224492T2 (de) Tintenstrahldruckkopf für Tintenstrahldruckgerät
DE69824019T2 (de) Tröpfchen-niederschlagvorrichtung
DE60131855T2 (de) Schmaler mehrfarbendruckkopf zum tintenstrahldrucken
DE3008487A1 (de) Tintenstrahlaufzeichnungsgeraet
DE60316486T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfs
DE19515406C2 (de) Tintenstrahl-Schreibkopf und Herstellungsverfahren für den Tintentstrahl-Schreibkopf
EP0150348A2 (de) Schreibkopf für Tintenschreibeinrichtungen
DE60313232T2 (de) Tintenstrahlkopf und Tintenstrahldrucker
DE4435914C2 (de) Piezoelektrischer Antrieb für einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Verfahren zu dessen Herstellung
DE602004002904T2 (de) Tintenstrahlkopf
DE602004010579T2 (de) Vorrichtung für die Abgabe von Flüssigkeiten
EP0713775B1 (de) Anordnung für einen Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen
DE602004000899T2 (de) Tintenstrahldruckkopf
DE60200825T2 (de) Tintenstrahldruckkopf für Tintenstrahldruckgerät

Legal Events

Date Code Title Description
8332 No legal effect for de
8370 Indication related to discontinuation of the patent is to be deleted
8364 No opposition during term of opposition