JP3861809B2

JP3861809B2 - 圧電振動板およびこの圧電振動板を用いた圧電型電気音響変換器

Info

Publication number: JP3861809B2
Application number: JP2002379742A
Authority: JP
Inventors: 哲夫竹島; 清高田島; 裕二小杉
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2002-12-27
Filing date: 2002-12-27
Publication date: 2006-12-27
Anticipated expiration: 2022-12-27
Also published as: DE10354026B4; JP2004214796A; KR100517076B1; KR20040060746A; US20040124748A1; US7067959B2; CN1512822A; DE10354026A1; CN100356816C

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電レシーバや圧電サウンダなどに用いられる圧電振動板およびこの圧電振動板を用いた圧電型電気音響変換器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特開２００１−９５０９４号公報
【特許文献２】
特開２００２−１０３９３号公報
従来、電子機器、家電製品、携帯電話機などにおいて、圧電サウンダや圧電レシーバとして圧電型電気音響変換器が広く用いられている。この種の圧電型電気音響変換器において、積層構造の圧電セラミックスよりなるバイモルフ型圧電振動板を使用したものが、特許文献１で提案されている。
【０００３】
この圧電振動板は、２層または３層の圧電セラミックス層を積層して積層体を形成するとともに、この積層体の表裏主面に主面電極を形成し、各セラミックス層の間に内部電極を形成し、すべてのセラミックス層を厚み方向に同一方向に分極したものである。そして、表裏の主面電極と内部電極との間に交流信号を印加することで、積層体を屈曲振動させる。このように、圧電振動板がセラミックスの積層構造体よりなり、厚み方向に順に配置された２つの振動領域（セラミックス層）が相互に逆方向に振動するので、ユニモルフ型圧電振動板に比べて大きな変位量、つまり大きな音圧を得ることができる。
【０００４】
ところが、この圧電振動板は圧電セラミックス層だけで構成されているため、落下衝撃などの衝撃力に対して弱いという欠点がある。そこで、特許文献２では、積層体の表裏面のほぼ全面を薄肉な樹脂層で覆った構造の圧電振動板が提案されている。このように積層体の表裏主面のほぼ全面を樹脂層で覆うことにより、積層体を補強でき、落下強度が大幅に向上するとともに、樹脂層は積層体の屈曲振動を阻害するものではないので、音圧を殆ど損なわず、また共振周波数が大きく上昇することがないという特徴を有する。また、樹脂層によって積層体を補強することで、積層体を構成するセラミックス層をさらに薄層化でき、音圧特性を一層向上させることが可能になる。
【０００５】
図８〜図１０はこのような圧電振動板の一例を示す。
圧電振動板４０は、ＰＺＴなどからなる２層の圧電セラミックス層４１ａ，４１ｂを積層した積層体４１を備えており、積層体４１の表裏主面には主面電極４２，４３が形成され、セラミックス層４１ａ，４１ｂの間には内部電極４４が形成されている。２つのセラミックス層４１ａ，４１ｂは、矢印Ｐで示すように厚み方向において同一方向に分極されている。表側の主面電極４２と裏側の主面電極４３は、積層体４１の一方の辺から他方の辺の直前まで延びており、内部電極４４は主面電極４２，４３と対称的に他方の辺から一方の辺の直前まで延びている。積層体４１の表裏面は樹脂層４５，４６によって覆われている。
【０００６】
積層体４１の一方の側面には、主面電極４２，４３と導通する側面電極４７が形成され、積層体４１の対向する側面には、内部電極４４と導通する側面電極４８が形成されている。側面電極４８の上下部は積層体４１の表裏面の縁部に沿って形成された引出電極４９と導通している。樹脂層４５，４６には、表裏の主面電極４２，４３の一部が露出する切欠部４５ａ，４６ａと、引出電極４９の一部が露出する切欠部４５ｂ，４６ｂとが形成されている。圧電振動板４０を端子付きのケースに収納し、ケース内に露出した端子に対して表側の樹脂層４５の切欠部４５ａ，４５ｂから露出した電極を導電性接着剤により接続することで、圧電振動板４０と端子とを電気的に接続することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成の圧電振動板４０では、樹脂層４５，４６の切欠部４５ａ，４６ａおよび４５ｂ，４６ｂが対向する辺の中央部であって、表裏対向する位置に設けられている。このうち、表裏の主面電極４２，４３の一部を露出させる切欠部４５ａ，４６ａを表裏の樹脂層４５，４６に設ける理由は、次の通りである。すなわち、側面電極４７，４８は積層体４１の表裏に樹脂層４５，４６を形成した後で形成されるが、主面電極４２，４３が薄膜電極よりなるので、樹脂層４５，４６とセラミックス層４１ａ，４１ｂとの間から露出している主面電極４２，４３の露出面積が非常に小さく、側面電極４７を圧電振動板４０の側面に形成しただけでは主面電極４２，４３との導通信頼性を確保できない。そこで、側面電極４７に沿った表裏の樹脂層４５，４６の辺部に切欠部４５ａ，４６ａを形成し、側面電極４７の一部を主面電極４２，４３の表面に回り込ませることで、その導通信頼性を確保したものである。なお、引出電極４９を露出させる切欠部４５ｂ，４６ｂについては、表側の樹脂層４５にのみ設ければよいが、方向性をなくすため、裏側の樹脂層４６にも設けてある。
【０００８】
上記のように樹脂層４５，４６の表裏対向位置に切欠部４５ａ，４６ａ，４５ｂ，４６ｂが設けられているため、落下衝撃が加わった場合に、切欠部から露出した積層体４１の部分にクラックが発生しやすいという問題があった。特に、積層体４１を薄層化した場合にクラックの発生頻度が高くなる。図１０において、破線ＣＲはクラックの発生箇所を示す。クラックの原因は、導電性接着剤による硬化収縮応力が樹脂層４５，４６の切欠部から露出した電極に作用すること、落下衝撃が加わった時にその衝撃力がケースから導電性接着剤を介して樹脂層４５，４６の切欠部から露出した電極部分に集中すること、切欠部４５ａ，４６ａ，４５ｂ，４６ｂが設けられた積層体４１の部分の強度が不足していること、などが考えられる。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、表裏の主面電極と側面電極との導通信頼性を確保しながら、耐衝撃性をさらに高めることができる圧電振動板およびこの圧電振動板を用いた圧電型電気音響変換器を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、複数の圧電セラミックス層を積層した四角形の積層体の表裏主面に主面電極が形成され、各セラミックス層の間に内部電極が形成され、表裏の主面電極と内部電極との間に交流信号を印加することにより屈曲振動する圧電振動板であって、表裏の主面電極は積層体の１つの側面に形成された第１の側面電極を介して互いに導通し、内部電極は第１の側面電極と異なる側面に形成された第２の側面電極と導通し、かつ第２の側面電極は積層体の少なくとも表主面に形成された引出電極と導通しており、上記積層体の表裏主面のほぼ全面が樹脂層で覆われており、上記第１の側面電極に沿った表裏の樹脂層の１つの辺部に、表裏の主面電極の一部が露出する第１，第２切欠部がそれぞれ形成され、第２の側面電極に沿った表側の樹脂層の他の１つの辺部に、引出電極が露出する第３切欠部が形成された圧電振動板において、上記表裏の樹脂層の第１，第２切欠部は、互いに対向しない位置に形成されていることを特徴とする圧電振動板を提供する。
【００１１】
落下衝撃が加わった場合に切欠部から露出した積層体の部分にクラックが発生する主たる原因は、切欠部が表裏対向しているため、積層体の露出部の強度が不足するからである。そこで、本発明では、表裏の樹脂層の切欠部を互いに対向しない位置に形成することで、切欠部が設けられた積層体の反対面には必ず樹脂層が存在し、積層体の強度不足を補うようにしたものである。このように、切欠部を表裏対向しない位置に設けたところ、耐衝撃性が飛躍的に向上した。
この場合でも、表裏の樹脂層の双方に切欠部が設けられているので、側面電極を形成した際に表裏の主面電極の表側へ回り込むことができ、表裏の主面電極と側面電極との導通信頼性を確保することができる。
【００１２】
請求項２のように、第１切欠部を第１の側面電極に沿った表側の樹脂層の辺部の一端部近傍に設け、第２切欠部を第１の側面電極に沿った裏側の樹脂層の辺部の他端部近傍に設け、第３切欠部を第２の側面電極に沿った表側の樹脂層の辺部のいずれかの端部近傍に設けるのがよい。
圧電振動板をケースなどに収納し、振動板の電極を端子などと接続する際、できるだけ振動板を拘束しないように工夫する必要がある。そこで、第１〜第３切欠部を側面電極に沿った表裏の樹脂層の辺部の端部近傍に設ける、換言するとコーナ部近傍に設けることで、できるだけ振動板の振動を阻害しない位置で外部と接続することが可能になる。特に、第１切欠部と第２切欠部とが同一辺の両端部に離れて設けられているので、一方の切欠部の応力が他方の切欠部に影響せず、クラックの発生を効果的に防止できる。
【００１３】
請求項３のように、請求項１または２に記載の圧電振動板と、圧電振動板を収納し、圧電振動板の第１の側面電極および第２の側面電極が形成された対向する２辺、あるいは圧電振動板の全周またはコーナ部を支持する支持部を有する筐体と、上記支持部近傍の筐体の内側面に一端部が露出し、他端部が筐体の外面に露出するよう筐体に固定された一対の端子とを備えた圧電型電気音響変換器であって、第１切欠部から露出する表側の主面電極の一部と一方の端子の一端部とが導電性接着剤により接続され、第３切欠部から露出する引出電極と他方の端子の一端部とが導電性接着剤により接続されている構造とするのがよい。
圧電振動板の電極とケースの端子とを接続する際、導電性接着剤を使用することが、作業性、導通信頼性および小型化の面で望ましい。請求項１または２に記載の圧電振動板の場合、表側の樹脂層の第１，第３切欠部から主面電極および引出電極が露出しているので、圧電振動板をケースに収納した後、その上から導電性接着剤をディスペンサなどによって塗布すれば、端子と圧電振動板との電気的接続を簡単に達成できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１〜図３は本発明の第１の実施形態である表面実装型の圧電型電気音響変換器を示す。
この実施形態の電気音響変換器は、圧電レシーバのように広いレンジの周波数に対応する用途に適したものであり、圧電振動板１とケース２０と蓋板３０とを備えている。ここでは、ケース２０と蓋板３０とで筐体が構成される。
【００１５】
圧電振動板１は、図４〜図６に示すように、２層の圧電セラミックス層２ａ，２ｂを積層した四角形の積層体２を備えており、積層体２の表裏主面には主面電極３，４が形成され、セラミックス層２ａ，２ｂの間には内部電極５とダミー電極６とが形成されている。２つのセラミックス層２ａ，２ｂは、矢印Ｐで示すように厚み方向において同一方向に分極されている。表側の主面電極３と裏側の主面電極４の１辺には、図６に示すように幅ｄの欠如部３ａ，４ａが形成され、残りの３辺は積層体２の側面まで延びている。積層体２の側面まで延びた主面電極３，４の１辺が、積層体２の一つの側面に形成された側面電極７によって相互に接続されている。表側の主面電極３の欠如部３ａが形成された積層体２の表面には、主面電極３とギャップを隔てて引出電極８が形成されている。内部電極５は、主面電極３，４の欠如部３ａ，４ａが形成された積層体２の側面にのみ露出するように方形に形成され、ダミー電極６は内部電極５の３辺をギャップを間にして取り囲むようにコ字形に形成されている。ダミー電極６は内部電極５が露出した積層体２の側面を含む４つの側面に露出している。内部電極５は、上記側面電極７と対向する側面に形成された側面電極９によって引出電極８と接続されている。側面電極９は、ダミー電極６と導通しないように、積層体２の一辺の長さより短く形成されている。
上記各電極３，４，５，６，７，８，９は、いずれも薄膜電極である。
なお、図４の手前側には、縁部より若干中央寄りの位置で切断した断面を表してある。
【００１６】
上記のようにダミー電極６を設けた理由は、内部電極５を積層体２の４つの側面まで延ばした場合、積層体２の側面において内部電極５と主面電極３，４とが厚み方向に近接し、マイグレーションによる短絡が発生する恐れがあるため、内部電極５をギャップを隔てて取り囲むダミー電極６を設けることで、内部電極５と主面電極３，４とのマイグレーションによる短絡を防止したものである。
なお、側面電極７は主面電極３，４同士を接続すると同時に、ダミー電極６とも接続されるが、ダミー電極６は内部電極５と電気的に絶縁されているので、電気的特性に問題はない。
【００１７】
積層体２の表裏面には、落下衝撃による積層体２の割れを防止するため、主面電極３，４を覆う樹脂層１０，１１が形成されている。表側の樹脂層１０には、主面電極３の一部が露出する第１切欠部１０ａと、引出電極８が露出する第３切欠部１０ｂとが対角のコーナ部近傍に形成されており、裏側の樹脂層１１には、主面電極４の一部が露出する第２切欠部１１ａが異なるコーナ部近傍に形成されている。そのため、積層体２の側面電極７が形成された辺に設けられる表側樹脂層１０の第１切欠部１０ａと裏側樹脂層１１の第２切欠部１１ａとが表裏対向しない位置に設けられている。
【００１８】
ここでは、セラミックス層２ａ，２ｂとして各１０ｍｍ×１０ｍｍ×１５μｍ（総厚み３０μｍ）のＰＺＴ系セラミックスを使用した。また、樹脂層１０，１１として厚みが３〜１０μｍのポリアミドイミド系樹脂を使用した。
なお、表裏の方向性をなくすため、積層体２の裏面にも、引出電極と樹脂層１１の切欠部とを設けてもよい。この場合の引出電極および切欠部は、切欠部１１ａと対角のコーナ部近傍に設けるのがよい。
また、上記実施例では、引出電極７を切欠部１０ｂに対応した島状電極としたが、短幅の帯状電極としてもよい。
切欠部１０ａ，１０ｂ，１１ａの形状も実施例に限定されない。
【００１９】
上記圧電振動板１は、例えば次のように製造される。
集合基板状態の２枚のセラミックス層を準備し、両セラミックス層を内部電極５およびダミー電極６を間にして積層し、焼成した後、その表裏面に主面電極３，４および引出電極８となる電極をスパッタリングなどによって形成することで、集合基板状態の積層体を得る。この積層体の表裏面に、切欠部となる所定の窓穴を有する樹脂層１０，１１をスクリーン印刷法などによって形成する。次に、集合基板状態の積層体を縦横に所定の寸法でカットし、個片状態の積層体（樹脂層付き）を得る。しかる後、個片状態の積層体の対向する２側面にスパッタリングなどによって側面電極７，９を形成することにより、図４に示す圧電振動板１が得られる。
【００２０】
ケース２０は樹脂材料で底壁部２０ａと４つの側壁部２０ｂ〜２０ｅとを持つ四角形の箱型に形成されている。樹脂材料としては、ＬＣＰ（液晶ポリマー），ＳＰＳ（シンジオタクチックポリスチレン），ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド），エポキシなどの耐熱樹脂が望ましい。４つの側壁部２０ｂ〜２０ｅの内周には環状の支持部（段差部）２０ｆが設けられ、対向する２つの側壁部２０ｂ，２０ｄの内側の支持部２０ｆ上に、一対の端子２１，２２の内部接続部２１ａ，２２ａが露出している。端子２１，２２の内部接続部２１ａ，２２ａはそれぞれ二股状に形成され、圧電振動板１のコーナ部近傍に位置している。端子２１，２２はケース２０にインサート成形などによって固定されたものであり、ケース２０の外部に露出した外部接続部２１ｂ，２２ｂが側壁部２０ｂ，２０ｄの外面に沿ってケース２０の底面側へ折り曲げられている。
【００２１】
４つの側壁部２０ｂ〜２０ｅの内側には、図１，図２に示すように、圧電振動板１の対向する４辺を位置規制するためのガイド壁２０ｇが突設されている。そのため、ケース２０に圧電振動板１を収納すると、圧電振動板１の４辺がガイド壁２０ｇでガイドされ、支持部２０ｆ上の所定位置に正確に載置される。このとき、圧電振動板１の天面と端子２１，２２の内部接続部２１ａ，２２ａの上面とがほぼ同一高さになる。
なお、底壁部２０ａには第１の放音孔２０ｈが形成されている。
【００２２】
ケース２０に収納された圧電振動板１は、４箇所で弾性支持剤２３および導電性接着剤２４によって端子２１，２２の内部接続部２１ａ，２２ａに接続固定される。すなわち、対角位置にある第１切欠部１０ａに露出する主面電極３と端子２１の一方の内部接続部２１ａとの間、および第３切欠部１０ｂに露出する引出電極８と端子２２の一方の内部接続部２２ａとの間に、弾性支持剤２３が塗布される。この実施例では、残りの対角位置にある２箇所についても弾性支持剤２３が塗布されているが、この弾性支持剤２３は省略できる。ここでは弾性支持剤２３を圧電振動板１の側辺に沿って線状または楕円状に塗布したが、塗布形状はこれに限るものではない。弾性支持剤２３としては、例えば硬化後のヤング率が３．７×１０⁶ Ｐａのウレタン系接着剤のような柔らかい弾性接着剤が使用される。また、この弾性支持剤２３の未硬化状態での粘性が高く、滲みにくい性質を有するので、弾性支持剤２３を塗布したとき、弾性支持剤２３が圧電振動板１とケース２０との隙間を通って支持部２０ｆまで流れ落ちる恐れがない。弾性支持剤２３を塗布した後、加熱硬化させる。
なお、圧電振動板１の固定方法としては、圧電振動板１をケース２０に収納した後でディスペンサなどで弾性支持剤２３を塗布してもよいが、圧電振動板１に予め弾性支持剤２３を塗布した状態で圧電振動板１をケース２０に収容してもよい。
【００２３】
弾性支持剤２３を硬化させた後、導電性接着剤２４を弾性支持剤２３の上を交差するように線状または楕円状に塗布し、主面電極３と端子２１の内部接続部２１ａ、引出電極８と端子２２の内部接続部２２ａとをそれぞれ接続する。導電性接着剤２４としては、弾性を有する導電ペースト、例えば硬化後のヤング率が０．３×１０⁹ Ｐａのウレタン系導電ペーストが使用される。導電性接着剤２４を塗布した後、これを加熱硬化させる。導電性接着剤２４の塗布形状は上記に限るものではなく、弾性支持剤２３を跨いで主面電極３と内部接続部２１ａ、引出電極８と内部接続部２２ａとを接続できればよい。
【００２４】
導電性接着剤２４を塗布，硬化させた後、弾性封止剤２５を圧電振動板１の周囲全周とケース２０の内周部との隙間に塗布し、圧電振動板１の表側と裏側との間の空気漏れを防止する。弾性封止剤２５を環状に塗布した後、加熱硬化させる。弾性封止剤２５としては、柔らかい弾性材料、例えば硬化後のヤング率が３．０×１０⁵ Ｐａのシリコーン系接着剤が使用される。
【００２５】
上記のように圧電振動板１をケース２０に固定した後、ケース２０の上面開口部に蓋板３０が接着剤３１によって接着される。蓋板３０はケース２０と同様な材料で形成される。蓋板３０を接着することで、蓋板３０と圧電振動板１との間に音響空間が形成される。蓋板３０には、第２の放音孔３２が形成されている。
上記のようにして表面実装型の圧電型電気音響変換器が完成する。
【００２６】
この実施形態の電気音響変換器では、端子２１，２２間に所定の交流信号を印加することで、圧電振動板１を面積屈曲モードで屈曲振動させることができる。分極方向と電界方向とが同一方向である圧電セラミックス層は平面方向に縮み、分極方向と電界方向とが逆方向である圧電セラミックス層は平面方向に伸びるので、全体として厚み方向に屈曲する。特に、積層体２の表裏面を覆っている樹脂層１０，１１が薄肉な樹脂層であるから、積層体２の屈曲振動を阻害せず、音圧を殆ど損なわず、また共振周波数が大きく上昇することがない。
【００２７】
表１は電気音響変換器の落下試験の結果を示す。
従来構造とは図８〜図１０に示す圧電振動板を用いた電気音響変換器であり、本発明構造とは図４〜図６に示す圧電振動板を用いた電気音響変換器である。
６面落下を１サイクルとし、５サイクルまで落下したときに圧電振動板の切欠部を設けた箇所に割れやクラックが発生したかどうかを判断した。切欠部の位置以外の条件は同一とした。○は割れの発生なし、×は発生ありを示す。
表１から明らかなように、従来構造では落下高さが１２０ｃｍ以上になると割れが発生していたのに対し、本発明構造では落下高さが１８０ｃｍになっても割れが発生しておらず、本発明構造の優れた効果が確かめられた。
【００２８】
【表１】

【００２９】
図７は本発明にかかる圧電振動板の他の実施例を示す。
この圧電振動板は、図４〜図６に示した圧電振動板１をこれより大型の樹脂フィルム１５の上に接着したものである。樹脂フィルム１５としては、厚さ５〜１０μｍ程度で、ヤング率が５００ＭＰａ〜１５０００ＭＰａの材料がよく、具体的にはエポキシ系、アクリル系、ポリイミド系、ポリアミドイミド系などの樹脂フィルムが使用される。
このような大型の樹脂フィルム１５の中央部に圧電振動板１を貼り付け、樹脂フィルム１５の外周部を筐体の支持部に固定すれば、圧電振動板１を強く拘束することなく支持することができ、圧電振動板１が一層振動しやすくなる。そのため、圧電振動板１の変位量を大きくすることができ、高い音圧を得ることができるとともに、圧電振動板１の寸法を小さくしても同等の共振周波数を得ることができる。また、基本共振から３次共振まで落ち込みのない音圧が得られ、広帯域音声の再生に対応できる。
【００３０】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
上記実施形態の圧電振動板は２層の圧電セラミックス層を積層したものであるが、３層以上の圧電セラミックス層を積層したものでもよい。
また、ケース２０の内周に圧電振動板１の４辺を支持する環状の支持部２０ｆを設けたが、圧電振動板１の２辺または４つのコーナ部を支持する支持部を設けてもよい。
本発明の筐体は、圧電振動板を収納し、外部端子あるいは電極を設けたものであればよく、実施形態のような凹断面形状のケースと、その上面に接着される蓋板とで構成されたものに限らない。
【００３１】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、圧電振動板の表裏面に形成される樹脂層の第１，第２切欠部を互いに対向しない位置に形成したので、この圧電振動板を筐体に収納固定した状態で落下衝撃が加わった場合に、切欠部から露出した積層体の部分にクラックが発生するのを防止でき、落下衝撃に対する耐衝撃性を大幅に向上させることができた。また、表裏の樹脂層に切欠部がそれぞれ設けられているので、側面電極を主面電極の表側に回り込ませることができ、表裏の主面電極と側面電極との導通信頼性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る圧電型電気音響変換器の第１実施形態の分解斜視図である。
【図２】図１に示す圧電型電気音響変換器の蓋板および弾性封止剤を除外した状態の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線階段断面図である。
【図４】図１の圧電型電気音響変換器に用いられる圧電振動板の斜視図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線による階段断面図である。
【図６】図４の圧電振動板の分解斜視図である。
【図７】本発明にかかる圧電振動板の他の例の斜視図である。
【図８】従来の圧電振動板の一例の斜視図である。
【図９】図８のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１０】図８の圧電振動板の平面図である。
【符号の説明】
１圧電振動板
２積層体
３，４主面電極
５内部電極
７第１側面電極
８引出電極
９第２側面電極
１０，１１樹脂層
１０ａ第１切欠部
１０ｂ第３切欠部
１１ａ第２切欠部
２０ケース
２１，２２端子
２４導電性接着剤
２５弾性封止剤
３０蓋板

Claims

複数の圧電セラミックス層を積層した四角形の積層体の表裏主面に主面電極が形成され、各セラミックス層の間に内部電極が形成され、表裏の主面電極と内部電極との間に交流信号を印加することにより屈曲振動する圧電振動板であって、
表裏の主面電極は積層体の１つの側面に形成された第１の側面電極を介して互いに導通し、内部電極は第１の側面電極と異なる側面に形成された第２の側面電極と導通し、かつ第２の側面電極は積層体の少なくとも表主面に形成された引出電極と導通しており、
上記積層体の表裏主面のほぼ全面が樹脂層で覆われており、上記第１の側面電極に沿った表裏の樹脂層の１つの辺部に、表裏の主面電極の一部が露出する第１，第２切欠部がそれぞれ形成され、第２の側面電極に沿った表側の樹脂層の他の１つの辺部に、引出電極が露出する第３切欠部が形成された圧電振動板において、上記表裏の樹脂層の第１，第２切欠部は、互いに対向しない位置に形成されていることを特徴とする圧電振動板。
上記第１切欠部は、第１の側面電極に沿った表側の樹脂層の辺部の一端部近傍に設けられ、
上記第２切欠部は、第１の側面電極に沿った裏側の樹脂層の辺部の他端部近傍に設けられ、
上記第３切欠部は、第２の側面電極に沿った表側の樹脂層の辺部のいずれかの端部近傍に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動板。
請求項１または２に記載の圧電振動板と、上記圧電振動板を収納し、圧電振動板の第１の側面電極および第２の側面電極が形成された対向する２辺、あるいは圧電振動板の全周またはコーナ部を支持する支持部を有する筐体と、上記支持部近傍の筐体の内側面に一端部が露出し、他端部が筐体の外面に露出するよう筐体に固定された一対の端子とを備えた圧電型電気音響変換器であって、上記第１切欠部から露出する表側の主面電極の一部と一方の端子の一端部とが導電性接着剤により接続され、上記第３切欠部から露出する引出電極と他方の端子の一端部とが導電性接着剤により接続されていることを特徴とする圧電型電気音響変換器。