JP4434109B2 - 電気・音響変換素子 - Google Patents
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Description
シリコンのように機械的に硬い材料で構成されていても、背面に空隙をもつダイアフラム構造になっているために、生体や水など機械的に柔らかい材料と良好な音響インピーダンス整合をとることができることが特長である。PZTを用いた従来型圧電トランスデューサの場合は、音響インピーダンスは材料固有の物性値として一定であるのに対し、ダイアフラム構造のみかけの音響インピーダンスは、材料だけでなく構造も反映している。そのため、対象物に合わせた設計の自由度がある。
また、前述のように受送信回路との組み合わせはトランスデューサにとって重要な点であるが、シリコンを基材として構成されていることは、受信回路や送信回路をトランスデューサ直近に一体化して構成し得るという特長につながる。最近では、開発が進み、送受信感度の上でも、PZTを用いた従来型圧電トランスデューサと比較するに足る水準にまで達している。
非特許文献2には、半導体ダイアフラム構造を用いたエレクトレット型のトランスデューサが開示されている。これは、図1ダイアフラム側の電極3と空隙4の間か、基盤側の電極2と空隙4の間のどちらか少なくとも一方に、電荷を蓄積した絶縁層5を設けている。この電荷蓄積型絶縁層を構成する材質として、非特許文献2や、3に示されているように、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜などのシリコン化合物もしくは、これらの積層構造が用いられている。これらシリコン化合物の絶縁層は、CVD(Chemical Vapor Deposition)に代表される気相成長により形成されるが、結晶欠陥の量を制御することにより、化合物層の表面だけでなく、化合物層中にも電荷をトラップすることが可能である。そのため、あらかじめ高電界下で帯電させておくことで、DCバイアス電圧の必要のない電気・音響変換素子として利用されている。
ここまでの実施例においては、ダイアフラムの構造として、Si3N4の例を説明したが、他にも半導体プロセスで形成しやすい材料として、SiO2やSiC、poly-Siなど、更にはSi系以外でもGaAsなどの化合物半導体や、タングステンや銅などの金属を用いることも可能である。またポリイミドなどの高分子と、半導体の複合体をダイアフラムとして用いることも可能である。特に半導体部分が薄く、表面に保護膜としてポリイミドを付ける場合には保護膜としてのポリイミドがダイアフラムとしても機能することになる。電極としてはアルミニウムの例で説明を行ったが、勿論他の金属、銅や金、白金、タングステンなども利用可能である。また複数の金属の合金を持って電極とすることも可能であるし、導電性を制御した半導体を用いることも可能である。
Claims (9)
- シリコンまたはシリコン化合物を基材とする基板と、
前記基板上または基板中に形成された第1の電極と、
前記基板上に設けられたシリコンまたはシリコン化合物を基材とする薄膜と、
前記薄膜上または薄膜中に形成された第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極の間に設けられた空隙層と、
前記第1の電極と前記第2の電極により与えられる電荷を蓄積する、前記第1の電極と前記第2の電極の間に設けられた電荷蓄積層と、
前記電荷蓄積層に蓄積された電荷量を測定するためのソース電極とドレイン電極とを有することを特徴とする電気・音響変換素子。 - 前記基板は互いに異なるバンドギャップを形成する第1のシリコン化合物層と第2シリコン化合物層とを有し、
前記第1のシリコン化合物層と前記第2シリコン化合物層は、前記第1のシリコン化合物層と前記第2シリコン化合物層の界面が、前記ソース電極と前記ドレイン電極の近傍に位置するように設けられていることを特徴とする請求項1記載の電気・音響変換素子。 - 前記薄膜は前記空隙層の中心部近傍に凸部が形成されるような凸部を有することを特徴とする請求項1記載の電気・音響変換素子。
- 前記電荷蓄積層の内部に導電層を有することを特徴とする請求項1記載の電気・音響変換素子。
- 前記導電層はドット状に形成されていることを特徴とする請求項4記載の電気・音響変換素子。
- 前記電荷蓄積層は窒化シリコン層であることを特徴とする請求項1記載の電気・音響変換素子。
- 前記ソース電極と前記ドレイン電極は前記電荷蓄積層の端部近傍に設けられていることを特徴とする請求項1記載の電気・音響変換素子。
- 前記電荷蓄積層の半径は前期凸部の半径より小さいことを特徴とする請求項3記載の電気・音響変換素子。
- 前記シリコン化合物は窒化シリコンであることを特徴とする請求項1記載の電気・音響変換素子。
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