JP4605320B1 - 超音波振動子およびそれを用いた超音波診断装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図4
Description
PZTの場合、Vo=0.76・Vs
PVDFの場合、Vo=0.14・Vs
となり、圧電層31がPZTの場合の信号損失は、26%となり、PVDFの場合の信号損失は、86%となる。
ここで、以下に、前記特許文献3に開示の技術と、本実施形態の超音波振動子との対比を説明する。
ここで、並列容量Cdは、電極面積S、電極間距離d、圧電材料の比誘電率ε、および真空の誘電率ε0(=8.854×10−12[F/m])から、次式2で計算することができる。
したがって、先ず無機圧電素子であるPZTの並列容量Cdを計算する。PZTの比誘電率εは、非常に大きく、2000程度である。厚さは、超音波の波長の1/2にすることが多く、大体、0.3mm〜1mm程度である。2次元アレイの個々の圧電素子のサイズ(電極面積)Sは、超音波の周波数、超音波ビームの走査角や加工上の限界等から決まり、0.2mm□〜0.4mm□程度である。ここでは、厚さをd=0.4mm、サイズをS=0.25mm×0.25mm、ε=2000とし、前記式2から、PZTの並列容量Cdは、2.8[pF]となる。
PZTの場合、Vo=0.45・Vs
PVDFの場合、Vo=0.04・Vs
となる。すなわち、配線容量Csによる信号損失は、PZTで50%以上、PVDFでは90%以上になる。
Claims (7)
- 被検体に対向する第1の面と、該第1の面の反対側の第2の面とを有し、2次元アレイ状に配置された圧電素子を備えた圧電素子アレイと、
前記圧電素子アレイの第2の面側に配置されて、各圧電素子での超音波の受信信号が入力される集積回路とを備え、
前記集積回路は、
各圧電素子での受信信号を受けて、低インピーダンスで出力するインピーダンス変換回路と、
前記各圧電素子の個別電極に対向し、対応する圧電素子での受信信号に基づく前記インピーダンス変換回路の出力信号で駆動されるシールド電極とを含むこと
を特徴とする超音波振動子。 - 前記各圧電素子は、有機圧電素子であること
を特徴とする請求項1に記載の超音波振動子。 - 前記各圧電素子の個別電極を、前記集積回路の配線層に形成すること
を特徴とする請求項2に記載の超音波振動子。 - 前記有機圧電素子は、受信用として使用され、
前記集積回路の前記有機圧電素子とは反対側には、送信を行う無機圧電素子を配置すること
を特徴とする請求項2または請求項3に記載の超音波振動子。 - 前記集積回路は、シリコン基板に作成され、その厚みは、送信超音波の波長の1/4であること
を特徴とする請求項4に記載の超音波振動子。 - 前記インピーダンス変換回路のゲインは、1であること
を特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の超音波振動子。 - 前記請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の超音波振動子を用いること
を特徴とする超音波診断装置。
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