JP5578836B2 - 電気機械変換装置及びその作製方法 - Google Patents
電気機械変換装置及びその作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5578836B2 JP5578836B2 JP2009263081A JP2009263081A JP5578836B2 JP 5578836 B2 JP5578836 B2 JP 5578836B2 JP 2009263081 A JP2009263081 A JP 2009263081A JP 2009263081 A JP2009263081 A JP 2009263081A JP 5578836 B2 JP5578836 B2 JP 5578836B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cell
- cells
- dummy
- membrane
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0292—Electrostatic transducers, e.g. electret-type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B3/00—Methods or apparatus specially adapted for transmitting mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49005—Acoustic transducer
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49009—Dynamoelectric machine
Description
本発明の第一の実施形態を以下に説明する。本実施形態では、セルと比べてダミーセルのキャビティの幅を狭くし、深さを同じにした場合を示す。
本発明の第二の実施形態を以下に説明する。本実施形態では、セルに比べてダミーセルのキャビティ深さを深くした場合を示す。
本発明の第三の実施形態を以下に説明する。本実施形態では、ダミーセルをエレメントの内側から外側に向かう方向に複数形成された場合を示す。
本発明の第四の実施形態を以下に説明する。
特許文献1に公開されているCMUTの作製方法を基にした、上記実施形態1のようなキャビティの深さがセルと同じダミーセルを有するCMUTの作製方法の一例を、図7を用いて説明する。図7の(a)から(f)の記号は、以下の工程(a)から(f)に対応している。
(a)SOI(Silicon On Insulator)基板201の両面にシリコン酸化物層202及び203を形成する。
(b)シリコン酸化物層202のうち、セルのキャビティとダミーセルのキャビティとを作製する部分に貫通孔204を形成し、デバイス基板205を作製する。
(c)下部電極206及び貫通配線207、パッド208を有する貫通配線基板の上面にシリコン酸化物層210を形成する。
(d)デバイス基板205の上面に残っているシリコン酸化物層202と貫通配線基板209の上面のシリコン酸化物層210とを接合する。
(e)デバイス基板205のシリコン酸化物層202及びSOI基板のデバイス層211以外の層を除去し、デバイス層211の上面に上部電極212を形成する。
(f)貫通配線基板209の下面のパッド208と回路基板213の上面のパッド214とを接合する。
102 セル
103 メンブレン
104 絶縁層
105 キャビティ
106 上部電極
107 下部電極
108 配線
109 エレメント最外周のセル
110 ダミーセル
111 ダミーセルのキャビティ
112 ダミーセルの上部電極
113 ダミーセルの下部電極
114 ダミーセル
115 エレメント
116 ダミーセル
117 エレメント
118 ダミーセル
Claims (6)
- 第1の電極と、前記第1の電極との間に間隙を挟んで形成された第2の電極と、を有するセルを複数備えた電気機械変換装置であって、
電気的に並列に接続された前記セルの集合体の外周に、前記セルと電気的に接続されていないダミーセルを備え、
前記セルの集合体の内側から外側に向かう方向において、ダミーセルの間隙の幅は前記セルの間隙の幅よりも狭いことを特徴とする電気機械変換装置。 - 前記ダミーセルの間隙の幅は、前記セルの間隙の幅の10%以上40%以下の幅であることを特徴とする請求項1に記載の電気機械変換装置。
- 前記ダミーセルの間隙の深さは前記セルの間隙の深さと同じであることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気機械変換装置。
- 前記ダミーセルの間隙の深さは前記セルの間隙の深さよりも深いことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気機械変換装置。
- 前記ダミーセルは、前記セルの集合体の内側から外側に向かう方向に複数形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電気機械変換装置。
- 第1の電極と、前記第1の電極との間に間隙を挟んで形成された第2の電極と、を有するセルを複数備えた電気機械変換装置の作製方法であって、
電気的に並列に接続された前記セルの集合体の外周に、前記セルと電気的に接続されていないダミーセルを形成する工程を備えており、
前記ダミーセルを形成する工程では、セルの集合体の内側から外側に向かう方向において、ダミーセルの間隙の幅が前記セルの間隙の幅より狭くなるよう形成することを特徴とする電気機械変換装置の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009263081A JP5578836B2 (ja) | 2008-12-25 | 2009-11-18 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008330366 | 2008-12-25 | ||
JP2008330366 | 2008-12-25 | ||
JP2009263081A JP5578836B2 (ja) | 2008-12-25 | 2009-11-18 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010172181A JP2010172181A (ja) | 2010-08-05 |
JP5578836B2 true JP5578836B2 (ja) | 2014-08-27 |
Family
ID=42111373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009263081A Expired - Fee Related JP5578836B2 (ja) | 2008-12-25 | 2009-11-18 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8455964B2 (ja) |
JP (1) | JP5578836B2 (ja) |
WO (1) | WO2010073534A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5578836B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2014-08-27 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP5436013B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2014-03-05 | キヤノン株式会社 | 機械電気変化素子 |
JP5875243B2 (ja) * | 2011-04-06 | 2016-03-02 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP2013051459A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Canon Inc | 電気機械変換装置及びその製造方法 |
JP2013065983A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Canon Inc | 電気機械変換装置、及びその製造方法 |
JP5893352B2 (ja) | 2011-11-14 | 2016-03-23 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置 |
JP6238556B2 (ja) | 2013-04-25 | 2017-11-29 | キヤノン株式会社 | 被検体情報取得装置およびその制御方法、ならびに探触子 |
EP2796209B1 (en) | 2013-04-25 | 2020-06-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Capacitive transducer and method of manufacturing the same |
EP2796210B1 (en) | 2013-04-25 | 2016-11-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Capacitive transducer and method of manufacturing the same |
JP6189167B2 (ja) * | 2013-10-10 | 2017-08-30 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子およびそれを用いた超音波診断装置 |
US9067779B1 (en) * | 2014-07-14 | 2015-06-30 | Butterfly Network, Inc. | Microfabricated ultrasonic transducers and related apparatus and methods |
KR20160069293A (ko) * | 2014-12-08 | 2016-06-16 | 삼성전자주식회사 | 프로브, 초음파 영상장치, 및 초음파 영상장치의 제어방법 |
WO2018236956A1 (en) | 2017-06-21 | 2018-12-27 | Butterfly Network, Inc. | MICROFABRICATED ULTRASONIC TRANSDUCER HAVING INDIVIDUAL CELLS HAVING ELECTRICALLY ISOLATED ELECTRODE SECTIONS |
FR3077163B1 (fr) * | 2018-01-22 | 2021-08-27 | Soitec Silicon On Insulator | Procedes de conception et de fabrication d'un dispositif comprenant un reseau d'elements micro-usines, dispositif obtenu a l'issu de tels procedes |
FR3097052B1 (fr) * | 2019-06-07 | 2021-07-02 | Commissariat Energie Atomique | Procédé de fabrication d’une pluralité de résonateurs |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3603828B2 (ja) * | 2001-05-28 | 2004-12-22 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置 |
US6958255B2 (en) * | 2002-08-08 | 2005-10-25 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Micromachined ultrasonic transducers and method of fabrication |
US8246545B2 (en) | 2003-11-26 | 2012-08-21 | Imacor Inc. | Ultrasound transducers with improved focus in the elevation direction |
JP4624763B2 (ja) * | 2004-10-27 | 2011-02-02 | オリンパス株式会社 | 静電容量型超音波振動子、及びその製造方法 |
WO2006046471A1 (ja) | 2004-10-27 | 2006-05-04 | Olympus Corporation | 静電容量型超音波振動子及びその体腔内超音波診断システム |
US7037746B1 (en) | 2004-12-27 | 2006-05-02 | General Electric Company | Capacitive micromachined ultrasound transducer fabricated with epitaxial silicon membrane |
JP4790315B2 (ja) | 2005-05-31 | 2011-10-12 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 静電容量型超音波振動子 |
CN103350064B (zh) * | 2007-04-27 | 2016-12-28 | 株式会社日立制作所 | 静电容量式超声波传感器以及超声波摄像装置 |
JP5578836B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2014-08-27 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
-
2009
- 2009-11-18 JP JP2009263081A patent/JP5578836B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-12-14 WO PCT/JP2009/006852 patent/WO2010073534A1/en active Application Filing
- 2009-12-14 US US13/141,488 patent/US8455964B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-05-01 US US13/874,888 patent/US9276501B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9276501B2 (en) | 2016-03-01 |
US20110254405A1 (en) | 2011-10-20 |
WO2010073534A1 (en) | 2010-07-01 |
US8455964B2 (en) | 2013-06-04 |
US20140203682A1 (en) | 2014-07-24 |
JP2010172181A (ja) | 2010-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5578836B2 (ja) | 電気機械変換装置及びその作製方法 | |
JP5436013B2 (ja) | 機械電気変化素子 | |
JP5812660B2 (ja) | 電気機械変換装置及びその製造方法 | |
KR102096086B1 (ko) | 간극 제어 구조를 구비한 음향 변환기 및 음향 변환기를 제조하는 방법 | |
JP5921079B2 (ja) | 電気機械変換装置及びその作製方法 | |
JP4730162B2 (ja) | 超音波送受信デバイス,超音波探触子およびその製造方法 | |
KR101414531B1 (ko) | 전기기계 변환장치 및 그 제조방법 | |
JP5677016B2 (ja) | 電気機械変換装置及びその作製方法 | |
JP5408937B2 (ja) | 電気機械変換素子及びその製造方法 | |
US20200236470A1 (en) | Microelectromechanical electroacoustic transducer with piezoelectric actuation and corresponding manufacturing process | |
JP2009182838A (ja) | 弾性波トランスデューサ、弾性波トランスデューサアレイ、超音波探触子、超音波撮像装置 | |
KR101593994B1 (ko) | 고출력 초음파 트랜스듀서 | |
JPWO2015190429A1 (ja) | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 | |
JP2013065983A (ja) | 電気機械変換装置、及びその製造方法 | |
WO2009041675A1 (en) | Electrostatic transducer and manufacturing method therefor | |
US20090136064A1 (en) | Vibration transducer and manufacturing method therefor | |
JP4811035B2 (ja) | 音響センサ | |
JP2010098454A (ja) | 機械電気変換素子 | |
JP2009089100A (ja) | 振動トランスデューサ | |
KR101893486B1 (ko) | 강성 백플레이트 구조의 마이크로폰 및 그 마이크로폰 제조 방법 | |
JP2007208544A (ja) | 音響センサ | |
JP2008054307A (ja) | シリコンマイクロホン | |
JP6177375B2 (ja) | 電気機械変換装置及びその作製方法 | |
CN117861984A (zh) | 一种双压电薄膜压电超声换能器及其制备方法 | |
JP2009089099A (ja) | 振動トランスデューサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100630 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140610 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140708 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5578836 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |