JP2014112665A5 - - Google Patents

Description

本発明に係る圧電材料は、一般式（１）
（Ｂａ_１−ｘＣａ_ｘ）_ａ（Ｔｉ_{１−ｙ−ｚ}Ｓｎ_ｙＺｒ_ｚ）Ｏ_３（１）（１．００≦ａ≦１．０１、０．１２５≦ｘ≦０．３００、０＜ｙ≦０．０２０、０．０４１≦ｚ≦０．０６９）
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物と、Ｍｎを含み、前記Ｍｎの含有量が前記ペロブスカイト型金属酸化物１００重量部に対して金属換算で０．１２重量部以上０．４０重量部以下であることを特徴とする圧電材料。

本発明に係る圧電素子は、第一の電極、前記圧電材料および第二の電極を有することを特徴とする。

本発明に係る積層圧電素子は、上記の圧電材料を含む圧電材料層と、電極層とが交互に積層されたことを特徴とする。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、上記の圧電素子または上記の積層圧電素子を配した振動部を備えた液室と、前記液室と連通する吐出口を有することを特徴とする。

本発明に係る超音波モータは、上記の圧電素子または上記の積層圧電素子を配した振動体と、前記振動体と接触する移動体と、を有することを特徴とする。

本発明に係る塵埃除去装置は、上記振動装置を振動板に配した振動部に備えたことを特徴とする。

本発明に係る撮像装置は、上記の塵埃除去装置と撮像素子ユニットを有する撮像装置であって、上記塵埃除去装置の振動部が前記撮像素子ユニットの受光面側に設けられている事を特徴とする。

本発明に係る圧電音響部品は、上記の圧電素子または上記の積層圧電素子を備えたことを特徴とする。
本発明に係る電子機器は、上記の圧電素子または上記の積層圧電素子を備えたことを特徴とする。

本発明によれば、広い実用温度領域で良好かつ安定な圧電定数と機械的品質係数を有する非鉛圧電材料を提供することができる。また、本発明は前記非鉛圧電材料を用いた圧電素子、積層圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器、振動装置、塵埃除去装置、撮像装置、圧電音響部品および電子機器を提供することができる。

Claims (21)

1. 一般式（１）
   （Ｂａ_１−ｘＣａ_ｘ）_ａ（Ｔｉ_{１−ｙ−ｚ}Ｓｎ_ｙＺｒ_ｚ）Ｏ_３（１）（１．００≦ａ≦１．０１、０．１２５≦ｘ≦０．３００、０＜ｙ≦０．０２０、０．０４１≦ｚ≦０．０６９）
   で表わされるペロブスカイト型金属酸化物と、ＭｎおよびＭｇを含み、
   前記ペロブスカイト型金属酸化物１００重量部に対して、前記Ｍｎの含有量が金属換算で０．１２重量部以上０．４０重量部以下であり、
   前記Ｍｇの含有量が金属換算で０．０００１重量部以上０．１０００以下であることを特徴とする圧電材料。
2. 前記一般式（１）においてｚ≦−２ｙ＋０．１００であることを特徴とする請求項１に記載の圧電材料。
3. 前記圧電材料が−２５℃から１００℃において構造相転移点を有さないことを特徴とする請求項１乃至２のいずれかに記載の圧電材料。
4. 前記圧電材料を構成する結晶粒の平均円相当径が１μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電材料。
5. 前記圧電材料の相対密度が９３％以上１００％以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の圧電材料。
6. 前記Ｍｇの含有量は、０．０５重量部以下であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の圧電材料。
7. 第一の電極、請求項１乃至６のいずれかに記載の圧電材料および第二の電極を有する圧電素子。
8. 請求項１乃至６のいずれかに記載の圧電材料を含む圧電材料層と、電極層とが交互に積層された積層圧電素子。
9. 請求項７に記載の圧電素子または請求項８に記載の積層圧電素子を配した振動部を備えた液室と、前記液室と連通する吐出口を有する液体吐出ヘッド。
10. 被転写体の載置部と請求項９に記載の液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置。
11. 請求項７に記載の圧電素子または請求項８に記載の積層圧電素子を配した振動体と、前記振動体と接触する移動体と、を有する超音波モータ。
12. 駆動部に請求項１１に記載の超音波モータを備えた光学機器。
13. 請求項７に記載の圧電素子または請求項８に記載の積層圧電素子を配した振動体を有する振動装置。
14. 請求項１３に記載の振動装置を振動板に配した振動部に備えた塵埃除去装置。
15. 請求項１４に記載の塵埃除去装置と撮像素子ユニットを有する撮像装置であって、前記塵埃除去装置の振動板を前記撮像素子ユニットの受光面側に設けたを特徴とする撮像装置。
16. 請求項７に記載の圧電素子または請求項８に記載の積層圧電素子を備えた圧電音響部品。
17. 請求項７に記載の圧電素子または請求項８に記載の積層圧電素子を備えた電子機器。
18. Ｂａ、Ｃａ、Ｔｉ、ＳｎおよびＺｒを含むペロブスカイト型金属酸化物と、
    ＭｎおよびＭｇを含有し、
    Ｂａ、Ｃａのモル数の和に対するＣａのモル数の比であるｘが０．１２５≦ｘ≦０．３００であり、
    Ｔｉ、Ｓｎ およびＺｒのモル数の和に対するＳｎのモル数の比であるｙが０＜ｙ≦０．０２０であり、
    Ｔｉ、Ｓｎ およびＺｒのモル数の和に対するＺｒのモル数の比であるｚが０．０４１≦ｚ≦０．０６９であり、
    Ｔｉ、Ｓｎ およびＺｒのモル数の和に対するＢａ、Ｃａのモル数の和の比であるａは１．００≦ａ≦１．０１であり、
    前記Ｂａ、Ｃａ、Ｔｉ、ＳｎおよびＺｒを含むペロブスカイト型金属酸化物１００重量部に対して、前記Ｍｎの含有量は、金属換算で０．１２重量部以上０．４０重量部以下であり、
    前記Ｍｇの含有量は、金属換算で０．０００１重量部以上０．１０００以下である圧電材料。
19. 第一の電極、請求項１８に記載の圧電材料および第二の電極を有する圧電素子。
20. 請求項１８に記載の圧電材料を含む圧電材料層と、電極層が交互に積層された積層圧電素子。
21. 請求項１９記載の圧電素子あるいは請求項２０記載の積層圧電素子を備えた電子機器。