KR20160060999A - 압전 액추에이터 및 렌즈 모듈 - Google Patents

압전 액추에이터 및 렌즈 모듈 Download PDF

Info

Publication number
KR20160060999A
KR20160060999A KR1020140163325A KR20140163325A KR20160060999A KR 20160060999 A KR20160060999 A KR 20160060999A KR 1020140163325 A KR1020140163325 A KR 1020140163325A KR 20140163325 A KR20140163325 A KR 20140163325A KR 20160060999 A KR20160060999 A KR 20160060999A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
groove
electrode
piezoelectric element
piezoelectric actuator
piezoelectric
Prior art date
Application number
KR1020140163325A
Other languages
English (en)
Inventor
양정승
이정원
김종범
강윤성
강인영
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020140163325A priority Critical patent/KR20160060999A/ko
Priority to US14/939,368 priority patent/US20160149113A1/en
Publication of KR20160060999A publication Critical patent/KR20160060999A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
    • G02B7/09—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted for automatic focusing or varying magnification
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
    • G02B7/08—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted to co-operate with a remote control mechanism
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B3/00—Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers
    • G03B3/10—Power-operated focusing
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2041—Beam type
    • H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853—Ceramic compositions
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B2205/00—Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
    • G03B2205/0053—Driving means for the movement of one or more optical element
    • G03B2205/0061—Driving means for the movement of one or more optical element using piezoelectric actuators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)

Abstract

본 발명의 압전 액추에이터는 압전 소자의 제1면에 형성되는 제1전극; 및 압전 소자의 제2면에 형성되는 제2전극;을 포함하고, 상기 제1전극에는 상기 압전 소자의 제1길이 방향으로 연장되는 하나 이상의 제1홈이 형성된다.

Description

압전 액추에이터 및 렌즈 모듈{Piezo Actuator and Lens Module}
본 발명은 렌즈의 초점거리를 조절하는 압전 액추에이터 및 이를 포함한 렌즈 모듈에 관한 것이다.
압전 액추에이터는 다양한 분야에 적용될 수 있다. 일 예로, 압전 액추에이터는 렌즈 모듈에 장착되어 렌즈의 초점거리를 조정하는데 이용될 수 있다. 특히, 압전 액추에이터는 비교적 설치공간에 제약이 없으므로 소형 렌즈 모듈에 장착이 용이하다.
압전 액추에이터는 제조 과정에서 기공과 같은 결점이 형성될 수 있다. 이러한 결점은 압전 액추에이터의 구동 신뢰성을 떨어뜨린다. 일 예로, 결점을 내재하고 있는 압전 액추에이터는 렌즈의 초점거리를 정밀하게 조정하기 어렵다.
따라서, 소형 렌즈 모듈의 정밀한 초점조정을 위해서는 내부의 결점을 최소화할 수 있는 압전 액추에이터의 개발이 요구된다.
참고로, 본 발명과 관련된 선행기술로는 특허문헌 1이 있다.
KR 2009-0038181 A
본 발명은 내부의 결점을 자가 치유할 수 있도록 구성된 압전 액추에이터와 이를 구비한 렌즈 모듈을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 압전 액추에이터는 부분적인 고온 발열이 가능하도록 일 면에 요철이 형성된다.
본 발명은 내부 결점의 자가 치유를 통해 압전 액추에이터의 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 압전 액추에이터의 사시도이고,
도 2는 본 발명의 제2실시 예에 따른 압전 액추에이터의 사시도이고,
도 3은 제2실시 예에 따른 압전 액추에이터의 변형 형태를 나타낸 사시도이고,
도 4는 본 발명의 제3실시 예에 따른 압전 액추에이터의 사시도이고,
도 5는 제3실시 예에 따른 압전 액추에이터의 변형 형태를 나타낸 사시도이고,
도 6은 제3실시 예에 따른 압전 액추에이터의 다른 변형 형태를 나타낸 사시도이고,
도 7은 본 발명의 제4실시 예에 따른 압전 액추에이터의 사시도이고,
도 8은 도 7에 도시된 압전 액추에이터의 A-A 단면도이고,
도 9는 도 7에 도시된 압전 액추에이터의 B-B 단면도이고,
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 렌즈 모듈의 평면도이고,
도 11은 도 10에 도시된 렌즈 모듈의 C-C 단면도이고,
도 12는 다른 형태에 따른 렌즈 모듈의 C-C 단면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.
아울러, 명세서 전체에서, 어떤 구성이 다른 구성과 '연결'되어 있다 함은 이들 구성들이 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 구성을 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함하는 것을 의미한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
도 1을 참조하여 제1실시 예에 따른 압전 액추에이터를 설명한다.
압전 액추에이터(100)는 압전 소자(110), 제1전극(120), 제2전극(130)을 포함한다. 일 예로, 압전 액추에이터(100)는 제2전극(130), 압전 소자(110), 제1전극(120)이 순차적으로 적층된 구조물일 수 있다.
압전 소자(110)는 세라믹 재질로 이루어질 수 있다. 일 예로, 압전 소자(110)는 PZT 세라믹일 수 있다. 압전 소자(110)는 산화 망간(MnO2)을 포함하는 재질일 수 있다. 일 예로, 압전 소자(110)는 망간을 포함하는 복합 산화물일 수 있다. 압전 소자(110)는 망간화합물이 표면에 부착된 형태일 수 있다. 일 예로, 압전 소자(110)의 표면에는 산화 망간 형태의 화합물이 부착될 수 있다.
이와 같이 구성된 압전 소자(110)는 고온 발열을 통한 상(phase) 변화가 일어날 수 있다. 아울러, 압전 소자(110)는 상 변화를 통해 내부의 결점을 자가 치유할 수 있다. 일 예로, 압전 소자(110)의 내부 결점은 주변의 입자들에 의해 매워질 수 있다.
압전 소자(110)는 소정의 높이(hp)를 가질 수 있다. 높이(hp)는 압전 액추에이터(100)가 탑재되는 장치의 용도에 따라 결정될 수 있다. 일 예로, 큰 구동력이 필요한 경우에는 압전 소자(110)의 높이(hp)를 증가시키고, 다른 예로, 작은 구동력이 필요한 경우에는 압전 소자(110)의 높이(hp)를 감소시킬 수 있다.
제1전극(120)은 압전 소자(110)의 제1면에 형성될 수 있다. 일 예로, 제1전극(120)은 도 1을 기준으로 압전 소자(110)의 상면에 형성될 수 있다. 제1전극(120)은 주름을 갖는 형태일 수 있다. 일 예로, 제1전극(120)의 표면에는 복수의 제1홈(122)이 형성될 수 있다.
제1홈(122)은 압전 소자(110)의 제1길이 방향(도 1 기준으로 Y축 방향)으로 연장되는 형태일 수 있다. 일 예로, 제1홈(122)의 길이는 압전 소자(110)의 제1길이와 동일할 수 있다.
제1홈(122)은 제1깊이(d1)와 제1너비(W1)를 가질 수 있다. 제1깊이(d1)는 제1전극(120)의 높이(hf)보다 작은 범위에서 결정될 수 있다. 일 예로, 제1깊이(d1)는 제1전극(120)의 높이(hf)의 1/2보다 작을 수 있다.
제1홈(122)의 제1너비(W1)는 제1전극(120)의 제2방향 길이(Wx)를 벗어나지 않는 범위에서 결정될 수 있다. 아울러, 제1홈(122)과 제1홈(122) 간의 간격(Px)은 제1홈(122)의 너비(W1)와 같거나 다를 수 있다.
제2전극(130)은 압전 소자(110)의 제2면에 형성될 수 있다. 일 예로, 제2전극(130)은 도 1을 기준으로 압전 소자(110)의 하면에 형성될 수 있다. 제2전극(130)은 소정의 높이(hs)를 가질 수 있다. 일 예로, 제2전극(130)은 제1전극(120)과 대체로 동일 또는 유사한 크기의 높이를 가질 수 있다.
위와 같이 형성된 압전 액추에이터(100)는 부분적으로 다른 높이를 가질 수 있다. 일 예로, 압전 액추에이터(100)는 대체로 일정한 높이(h)를 가지나, 제1홈(122)이 형성된 부분에서 제1높이(h1)를 가질 수 있다.
제1홈(122)이 형성된 부분에서는 고온 발열 현상이 발생할 수 있다. 일 예로, 제1홈(122)이 형성된 부분은 주변부보다 낮은 높이로 인해 높은 전류 저항값을 가지므로, 압전 액추에이터(100)에 전류가 공급되면 고온 발열 현상이 발생할 수 있다.
고온 발열 현상은 제1홈(122)이 형성된 부분의 상 변화를 야기할 수 있다. 일 예로, 제1홈(122)과 인접한 압전 소자(110)의 일부 영역은 상 변화 현상이 일어날 수 있다. 압전 소자의 상 변화는 압전 소자(110)에 내포된 결점을 보상케 하는 기작을 유도 또는 발생시킬 수 있다. 따라서, 본 실시 예에 따른 압전 액추에이터(100)는 압전 소자(110)의 결점 유무와 관계없이 구동신뢰성을 확보할 수 있다.
다음에서는 다른 실시 예에 따른 압전 액추에이터를 설명한다. 참고로, 이하의 실시 예들에 대한 설명에서 전술된 실시 예와 동일한 구성요소는 전술된 실시 예와 동일한 도면부호를 사용하고, 이들 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 2를 참조하여 제2실시 예에 따른 압전 액추에이터를 설명한다.
본 실시 예에 따른 압전 액추에이터(100)는 제1전극(120)의 형태에 있어서 구별될 수 있다. 일 예로, 제1전극(120)에는 서로 다른 방향으로 연장되는 제1홈(122)과 제2홈(124)이 형성될 수 있다.
제1홈(122)은 압전 액추에이터(100)의 제1방향(도 2 기준으로 Y축 방향)으로 길게 형성된다. 제1홈(122)은 제1너비(W1)를 가지며, 제1깊이(d1)를 가질 수 있다. 이와 같이 형성된 제1홈(122)은 압전 액추에이터(100)의 높이를 부분적으로 낮출 수 있다. 일 예로, 압전 액추에이터(100)는 대체로 일정한 높이(h)를 가지나, 제1홈(122)이 형성된 부분에서는 제1높이(h1)를 가질 수 있다. 여기서, 제1높이(h1)는 높이(h)보다 작은 크기이다.
제2홈(124)은 압전 액추에이터(100)의 제2방향(도 2 기준으로 X축 방향)으로 길게 형성된다. 제2홈(124)은 제2너비(W2)를 가지며, 제2깊이(d2)를 가질 수 있다.
제2너비(W2)는 압전 액추에이터(100)의 제2방향 길이(Wy)보다 작은 크기이고, 제2깊이(d2)는 제1전극(120)의 높이(hf)보다 작은 크기일 수 있다. 제2너비(W2)는 제1너비(W1)와 대체로 동일 또는 유사한 크기일 수 있다.
제2깊이(d2)는 제1깊이(d1)와 대체로 동일 또는 유사한 크기일 수 있다.
이와 같이 형성된 제2홈(124)은 압전 액추에이터(100)의 높이를 부분적으로 낮출 수 있다. 일 예로, 제2홈(124)이 형성된 부분의 제2높이(h2)는 높이(h)보다 작을 수 있다.
위와 같은 제1전극(120)의 구조를 갖는 압전 액추에이터(100)는 제1홈(122)과 제2홈(124)이 형성된 영역에서 고온 발열 및 상 변화 현상이 일어나므로, 압전 소자(110)의 내부에 형성된 결점을 보다 효과적으로 치유할 수 있다. 따라서, 본 실시 예는 압전 액추에이터(100)의 구동 신뢰성을 확보하는데 유리할 수 있다.
도 3을 참조하여 제2실시 예에 따른 압전 액추에이터의 다른 형태를 설명한다.
제2실시 예에 따른 압전 액추에이터(100)는 도 3에 도시된 형태로 변경될 수 있다. 일 예로, 제1홈(122)의 너비(W1)는 제2홈(124)의 너비(W2)보다 클 수 있다. 그러나 제1홈(122) 및 제2홈(124)의 대소 관계가 전술된 형태로 한정되는 것은 아니다. 다른 예로, 제1홈(122)의 너비(W1)는 제2홈(124)의 너비(W2)보다 작을 수 있다.
도 4를 참조하여 제3실시 예에 따른 압전 액추에이터를 설명한다.
본 실시 예에 따른 압전 액추에이터(100)는 제2전극(130)의 형태에 있어서 구별될 수 있다. 일 예로, 제2전극(130)에는 제3홈(132)이 형성될 수 있다. 제3홈(132)은 압전 액추에이터(100)의 제1방향(도 4 기준으로 Y축 방향)으로 길게 형성된다.
제3홈(132)은 제3너비(W3)를 가지며, 제3깊이(d3)를 가질 수 있다. 이와 같이 형성된 제3홈(132)은 제1홈(122)과 더불어 압전 액추에이터(100)의 높이를 부분적으로 낮출 수 있다. 일 예로, 압전 액추에이터(100)는 대체로 일정한 높이(h)를 가지나, 제3홈(132)이 형성된 부분에서는 제3높이(h3)를 가질 수 있다.
한편, 도 3에서는 제3홈(132)이 제1홈(122)과 대칭되는 지점에 형성되는 것으로 도시되어 있다. 그러나 제3홈(132)의 형성 위치가 도 3에 도시된 형태로 한정되는 것은 아니다. 일 예로, 제3홈(132)은 제1홈(122)과 대칭되지 않는 지점에 형성될 수 있다.
도 5를 참조하여 제3실시 예에 따른 액추에이터의 변형 형태를 설명한다.
제3실시 예에 따른 액추에이터(100)는 도 5에 도시된 형태로 변형될 수 있다. 예를 들어, 제1홈(122)은 제3홈(132)은 서로 다른 크기를 가질 수 있다. 일 예로, 제3홈(132)의 너비(W3)는 제1홈(122)의 너비(W1)보다 클 수 있다. 다른 예로, 제3홈(132)의 깊이(d3)는 제1홈(122)의 깊이(d1)보다 클 수 있다.
도 6을 참조하여 제3실시 예에 따른 액추에이터의 다른 변형 형태를 설명한다.
제3실시 예에 따른 액추에이터(100)는 도 6에 도시된 형태로 변형될 수 있다. 예를 들어, 제1홈(122)은 제3홈(132)은 서로 다른 크기를 가질 수 있다. 일 예로, 제3홈(132)의 너비(W3)는 제1홈(122)의 너비(W1)보다 작을 수 있다. 다른 예로, 제3홈(132)의 깊이(d3)는 제1홈(122)의 깊이(d1)보다 작을 수 있다.
도 7을 참조하여 제4실시 예에 따른 압전 액추에이터를 설명한다.
본 실시 예에 따른 압전 액추에이터(100)는 제1전극(120) 및 제2전극(130)의 형태에 있어서 구별될 수 있다. 예를 들어, 제1전극(120)과 제2전극(130)에는 서로 다른 방향으로 연장되는 홈이 형성될 수 있다.
일 예로, 제1전극(120)에는 제1방향(도 7 기준으로 Y축 방향)으로 연장되는 제1홈(122)이 형성되고, 제2전극(130)에는 제2방향(도 7 기준으로 X축 방향)으로 연장되는 제4홈(134)이 형성될 수 있다. 다른 예로, 제1전극(120)에는 제2방향(도 7 기준으로 X축 방향)으로 연장되는 제1홈(122)이 형성되고, 제2전극(130)에는 제1방향(도 7 기준으로 Y축 방향)으로 연장되는 제4홈(134)이 형성될 수 있다.
위와 같은 전극(120, 130) 형태는 압전 소자(110)의 상면 및 하면에 고온 발열을 유도하는데 유리할 수 있다.
도 8 및 도 9를 참조하여 제4실시 예에 따른 압전 액추에이터의 단면 형태를 설명한다.
제4실시 예에 따른 압전 액추에이터(100)는 제4홈(134)의 유무에 따라 다른 단면 형태를 가질 수 있다.
일 예로, 제4홈(134)이 형성되지 않는 부분은 도 8에 도시된 단면형태를 가질 수 있다. 해당 단면에서는 제1홈(122)이 형성된 지점에서만 압전 액추에이터(100)의 높이가 낮을 수 있다.
다른 예로, 제4홈(134)이 형성된 부분은 도 9에 도시된 단면형태를 가질 수 있다. 이러한 단면 형태에서는 제1홈(122) 및 제4홈(134)이 형성된 부분에서 압전 액추에이터(100)의 높이가 모두 낮을 수 있다. 아울러, 제1홈(122) 및 제4홈(134)이 중첩되는 부분에서 압전 액추에이터(100)의 높이가 가장 낮을 수 있다.
도 10을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 렌즈 모듈을 설명한다.
렌즈 모듈(10)은 고정부(20), 렌즈 지지부(30), 연결부(40)를 포함한다. 아울러, 렌즈 모듈(10)은 전술된 압전 액추에이터 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 또한, 렌즈 모듈(10)은 하나 이상의 렌즈(200)를 포함할 수 있다.
고정부(20)는 대체로 사각 틀 형태로 형성된다. 고정부(20)는 멤스(MEMS) 공정을 통해 제작될 수 있다. 일 예로, 고정부(20)는 웨이퍼를 기반으로 제작될 수 있다.
렌즈 지지부(30)는 렌즈(200) 형상과 대체로 일치하는 형태로 형성된다. 일 예로, 렌즈 지지부(30)는 원 형태일 수 있다. 그러나 렌즈 지지부(30)의 형태가 원으로 한정되는 것은 아니다. 일 예로, 렌즈(200)의 형태가 사각인 경우, 렌즈 지지부(30)는 사각 형태일 수 있다.
연결부(40)는 고정부(20)와 렌즈 지지부(30)를 연결하도록 구성될 수 있다. 일 예로, 연결부(40)는 고정부(20)의 일 측으로부터 렌즈 지지부(30)의 접선방향으로 길게 연장될 수 있다. 그러나 연결부(40)의 연장형태가 전술된 형태로 한정되는 것은 아니다. 다른 예로, 연결부(40)는 고정부(20)의 일 측으로부터 렌즈 지지부(30)의 반경 방향으로 길게 연장될 수 있다.
한편, 고정부(20), 렌즈 지지부(30) 및 연결부(40)는 일체로 형성될 수 있다. 일 예로, 고정부(20), 렌즈 지지부(30) 및 연결부(40)는 하나의 웨이퍼를 기반으로 식각 공정에 의해 제작될 수 있다. 이 경우, 렌즈 모듈(10)의 박형화에 유리할 수 있다.
압전 액추에이터(100)는 연결부(40)에 형성된다. 일 예로, 압전 액추에이터(100)는 4개의 연결부(40)에 각각 형성될 수 있다. 압전 액추에이터(100)는 연결부(40)의 휨 변형을 유도하도록 구성될 수 있다. 일 예로, 압전 액추에이터(100)는 구동력을 통해 연결부(40)를 상방 또는 하방으로 휘어지게 할 수 있다.
위와 같이 구성된 렌즈 모듈(10)은 압전 액추에이터(100)의 구동력에 따라 렌즈(200)를 움직일 수 있다. 일 예로, 렌즈 모듈(10)은 다수의 압전 액추에이터(100)를 동일 방향으로 구동시켜 렌즈(200)의 초점거리를 조정할 수 있다. 다른 예로, 렌즈 모듈(10)은 다수의 압전 액추에이터(200)를 서로 다른 방향으로 구동시켜 렌즈(200)의 기울임 상태를 보정할 수 있다.
도 11을 참조하여 렌즈 모듈의 C-C 단면 형태를 설명한다.
렌즈 모듈(10)은 자가 치유가 가능한 압전 액추에이터(100)를 포함한다. 일 예로, 압전 액추에이터(100)는 도 11에 도시된 바와 같이 제1전극(120)에 다수의 홈(122)이 형성된 형태일 수 있다.
도 12를 참조하여 다른 형태에 따른 렌즈 모듈의 C-C 단면 형태를 설명한다.
렌즈 모듈(10)은 자가 치유가 가능한 압전 액추에이터(100)를 포함한다. 일 예로, 압전 액추에이터(100)는 도 12에 도시된 바와 같이 제1전극(120) 및 제2전극(130)에 다수의 홈(122, 132)이 형성된 형태일 수 있다.
이와 같이 구성된 압전 액추에이터(100)는 전술한 바와 같이 홈(122, 132)이 형성된 부분에서 발생하는 고온 발열 및 상 변화 현상에 따라 내부의 결점을 자가 치유할 수 있다.
따라서, 본 실시 예에 따른 렌즈 모듈(10)은 압전 액추에이터(100)를 통한 정밀한 렌즈(200)의 초점조정 및 기울기 보정이 가능할 수 있다.
본 발명은 이상에서 설명되는 실시 예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다. 예를 들어, 전술된 실시형태에 기재된 다양한 특징사항은 그와 반대되는 설명이 명시적으로 기재되지 않는 한 다른 실시형태에 결합하여 적용될 수 있다.
10 렌즈 모듈
20 고정부
30 렌즈 지지부
40 연결부
100 압전 액추에이터
110 압전 소자
120 제1전극
122 제1홈
124 제2홈
130 제2전극
132 제3홈
134 제4홈
200 렌즈

Claims (14)

  1. 압전 소자의 제1면에 형성되는 제1전극; 및
    상기 압전 소자의 제2면에 형성되는 제2전극;
    을 포함하고,
    상기 제1전극에는 상기 압전 소자의 제1길이 방향으로 연장되는 하나 이상의 제1홈이 형성되는 압전 액추에이터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1전극에는 상기 압전 소자의 제2길이 방향으로 연장되는 하나 이상의 제2홈이 형성되는 압전 액추에이터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1홈과 상기 제2홈은 서로 다른 크기를 갖는 압전 액추에이터.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2전극에는 상기 압전 소자의 제1길이 방향으로 연장되는 하나 이상의 제3홈이 형성되는 압전 액추에이터.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2전극에는 상기 압전 소자의 제2길이 방향으로 연장되는 하나 이상의 제4홈이 형성되는 압전 액추에이터.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1홈과 상기 제3홈은 서로 다른 크기를 갖는 압전 액추에이터.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 압전 소자는 산화 망간을 포함하는 압전 액추에이터.
  8. 고정부와 렌즈 지지부를 연결하는 복수의 연결부; 및
    상기 연결부에 형성되고, 상기 고정부에 대한 상기 렌즈 지지부의 상대적 위치가 변경되도록 상기 연결부를 변형시키는 압전 액추에이터;
    를 포함하고,
    상기 압전 액추에이터는,
    압전 소자의 제1면에 형성되고, 상기 압전 소자의 제1길이 방향으로 연장되는 하나 이상의 제1홈이 형성되는 제1전극; 및
    상기 압전 소자의 제2면에 형성되는 제2전극;
    을 포함하는 렌즈 모듈.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1전극에는 상기 압전 소자의 제2길이 방향으로 연장되는 하나 이상의 제2홈이 형성되는 렌즈 모듈.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1홈과 상기 제2홈은 서로 다른 크기를 갖는 렌즈 모듈.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 제2전극에는 상기 압전 소자의 제1길이 방향으로 연장되는 하나 이상의 제3홈이 형성되는 렌즈 모듈.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1홈과 상기 제3홈은 서로 다른 크기를 갖는 렌즈 모듈.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 제2전극에는 상기 압전 소자의 제2길이 방향으로 연장되는 하나 이상의 제4홈이 형성되는 렌즈 모듈.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1홈과 상기 제4홈은 서로 다른 크기를 갖는 렌즈 모듈.
KR1020140163325A 2014-11-21 2014-11-21 압전 액추에이터 및 렌즈 모듈 KR20160060999A (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140163325A KR20160060999A (ko) 2014-11-21 2014-11-21 압전 액추에이터 및 렌즈 모듈
US14/939,368 US20160149113A1 (en) 2014-11-21 2015-11-12 Piezoelectric actuator and lens module including the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140163325A KR20160060999A (ko) 2014-11-21 2014-11-21 압전 액추에이터 및 렌즈 모듈

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160060999A true KR20160060999A (ko) 2016-05-31

Family

ID=56011056

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140163325A KR20160060999A (ko) 2014-11-21 2014-11-21 압전 액추에이터 및 렌즈 모듈

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20160149113A1 (ko)
KR (1) KR20160060999A (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10545357B2 (en) * 2017-08-24 2020-01-28 International Business Machines Corporation Programmable metamaterial
US10261384B2 (en) 2017-08-24 2019-04-16 International Business Machines Corporation Reconfigurable interference

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3059130A (en) * 1957-10-03 1962-10-16 United Insulator Company Ltd Electromechanical transducers
US3760172A (en) * 1970-06-15 1973-09-18 Univ Leland Stanford Junior Method of and apparatus for signal processing
US4156158A (en) * 1977-08-17 1979-05-22 Westinghouse Electric Corp. Double serrated piezoelectric transducer
US4166230A (en) * 1977-12-30 1979-08-28 Honeywell Inc. Slotted, electroded piezoelectric wafer for electro-optic devices
FR2467487A1 (fr) * 1979-10-15 1981-04-17 Ebauches Sa Resonateur piezoelectrique
US8555483B2 (en) * 2006-04-04 2013-10-15 Nikon Corporation Method of manufacturing a vibrating element
TWI545814B (zh) * 2012-11-02 2016-08-11 佳能股份有限公司 壓電式材料、壓電式元件及電子設備

Also Published As

Publication number Publication date
US20160149113A1 (en) 2016-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11009673B2 (en) Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same
KR20090038181A (ko) 가변 초점 광학 장치
WO2013118601A1 (ja) 駆動装置およびレンズユニット
US10411182B2 (en) Drive apparatus
US11209607B2 (en) Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same
KR20160060999A (ko) 압전 액추에이터 및 렌즈 모듈
US20160154203A1 (en) Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same
US20160062109A1 (en) Optical scanning device
US10359596B2 (en) Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same
US20130002894A1 (en) Stabilized camera module
JP6505770B2 (ja) 熱電モジュール
CN104167433A (zh) 包含弹簧和悬挂在其上的元件的装置及制造该装置的方法
JP2011147042A (ja) 撮像装置及び携帯機器
JP2012521569A (ja) マイクロ撮像装置
JP5633531B2 (ja) Ｍｅｍｓデバイス
KR101900933B1 (ko) 렌즈 삽입부를 구비하는 칩 원판
JP2009071663A (ja) 移動機構および撮像装置
JP6485388B2 (ja) 可変焦点ミラーおよび光走査装置
JP2006330559A (ja) 積層型圧電アクチュエータを用いたカメラモジュール
JP6284640B2 (ja) ピエゾ積層体を電気的に接触接続させるためのコンポーネント、ピエゾ積層体、及び、ピエゾコンポーネントの製造方法
KR102198578B1 (ko) 반사형 능동 가변 렌즈 및 그 제조 방법
US20230356997A1 (en) Piezoelectric drive element
JP2011145324A (ja) 撮像装置およびそれを備えた携帯機器
WO2015005216A1 (ja) レンズ変位装置
WO2006123104A2 (en) Curved electro-active actuator

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid