JP2012102382A - 圧電薄膜素子、圧電薄膜の製造方法、及び圧電薄膜デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る圧電薄膜素子1は、基板10と、基板10上に設けられ、一般式(NaxKyLiz)NbO3(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦0.2、x+y+z=1)で表されるニオブ酸化物系ペロブスカイト構造を有する圧電薄膜40とを備え、圧電薄膜40が、CH4、C2H2、C2H4、C2H6、C3H8、CH3OH、C2H5OH、及びC2H4O2からなる群から選択される有機分子、又は水酸基、アシル基、カルボニル基、アルキニル基、及びカルボキシル基からなる群から選択される基を含む分子、又はO−H結合、C−O結合、C=O結合、C≡C結合、及びO−O結合からなる群から選択される結合を含む分子を有する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る圧電薄膜素子の断面の概要を示す。
本実施の形態に係る圧電薄膜素子1は、例えば、鉛を含まない圧電材料から形成される圧電薄膜40を備えることにより、環境負荷の小さい高精細高速インクジェットプリンタ用ヘッド、又は小型で低価格であるジャイロセンサ等に応用することができる。
基板10としては、例えば、Si基板、MgO基板、ZnO基板、SrTiO3基板、SrRuO3基板、ガラス基板、石英ガラス基板、GaAs基板、GaN基板、サファイア基板、Ge基板、ステンレス基板等を用いることができる。本実施の形態においては、価格が低廉で、かつ、工業的に使用の実績が豊富なSi基板を用いることが好ましい。
下部電極30は、Pt若しくはPtを含む合金からなる金属層の単層構造を有する。また、下部電極30は、Pt若しくはPtを含む合金から形成される電極層と、Au等の導電性材料からなる電極層とを含む積層構造を有して形成することもできる。更に、下部電極30は、Ru、Ir、Sn、及びInからなる群から選択される少なくとも1つの元素を含む金属層、Ru、Ir、Sn、及びInからなる群から選択される少なくとも1つの元素の酸化物を含む酸化物層、又はRu、Ir、Sn、及びInからなる群から選択される少なくとも1つの元素と圧電薄膜40を構成する元素との化合物を含む化合物層を有して形成することもできる。また、下部電極30は、Pt若しくはPtを含む合金から形成される電極層及び/又は導電性材料からなる電極層、金属層、酸化物層、及び化合物層からなる群から選択される少なくとも一つを含む積層構造から形成することもできる。
また、圧電薄膜40は、上述のとおり、(NaxKyLiz)NbO3(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦0.2、x+y+z=1)で表されるペロブスカイト構造を有する酸化物から主として形成される。なお、圧電薄膜40を構成するニオブ酸カリウムナトリウム、又はニオブ酸リチウムカリウムナトリウムに、所定量のCu、Ta、及び/又はV等をドープすることもできる。
従来は、スパッタリング用ターゲットに含まれる有機系ガス、水酸基を含むガス、及び水素等、並びにスパッタリング成膜室に存在、あるいは発生する残留ガスとしての有機系ガス、水酸基を含むガス、及び水素等のうち、ニオブ酸リチウムカリウムナトリウム膜(なお、ニオブ酸カリウムナトリウム膜を含む)に含有される含有量について、詳細な分析と、分析結果をベースにした成膜の制御はなされていなかった。
上部電極50は、Pt若しくはPtを含む合金から形成することができる。また、上部電極50は、Pt若しくはPtを含む合金から形成される電極層と、導電性材料からなる電極層とを含む積層構造を有して形成することもできる。更に、上部電極50は、Ru、Ir、Sn、及びInからなる群から選択される少なくとも1つの元素を含む金属層、Ru、Ir、Sn、及びInからなる群から選択される少なくとも1つの元素の酸化物を含む酸化物層、又はRu、Ir、Sn、及びInからなる群から選択される少なくとも1つの元素と圧電薄膜40を構成する元素との化合物を含む化合物層を有して形成することもできる。
圧電薄膜40は、RFスパッタリング法、イオンビームスパッタ法、又はCVD法等を用いて形成することができる。
本実施の形態において用いるスパッタリングターゲットは以下のようにして作製することができる。
本実施の形態に係る圧電薄膜素子1は、圧電薄膜素子1を構成する基板10、接着層20、下部電極30、及び圧電薄膜40の材料を適切に選定すると共に、圧電薄膜40の形成に用いるスパッタリングターゲット、スパッタリング成膜室の背圧、成膜後の熱処理温度を最適化して形成される。したがって、本実施の形態においては、圧電薄膜40に含まれる有機分子、O−H結合を含む分子、水素等の含有量を昇温脱離ガス分析法等によって精密に測定して定量化を図ると共に、その含有量を制御することができるので、圧電特性が向上した圧電薄膜素子1を提供することができる。
10 基板
12 酸化膜
14 Si基板
20 接着層
30 下部電極
40 圧電薄膜
50 上部電極
60 焼結体ターゲット
100 RFマグネトロンスパッタリング装置
200 薄膜材料
Claims (13)
- 基板と、
前記基板上に設けられ、一般式(NaxKyLiz)NbO3(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦0.2、x+y+z=1)で表されるニオブ酸化物系ペロブスカイト構造を有する圧電薄膜と
を備え、
前記圧電薄膜が、CH4、C2H2、C2H4、C2H6、C3H8、CH3OH、C2H5OH、及びC2H4O2からなる群から選択される有機分子、又は水酸基、アシル基、カルボニル基、アルキニル基、及びカルボキシル基からなる群から選択される基を含む分子、又はO−H結合、C−O結合、C=O結合、C≡C結合、及びO−O結合からなる群から選択される結合を含む分子を有する圧電薄膜素子。 - 前記圧電薄膜から脱離する有機分子の数が、1×10−5Pa以下の真空中、800℃以下の温度において、前記圧電薄膜の単位面積当たり1×1013個/cm2以上2×1016個/cm2以下である請求項1に記載の圧電薄膜素子。
- 前記有機分子が、C2H4分子であり、
前記圧電薄膜から脱離する前記C2H4分子の数が、580℃以上800℃以下の温度範囲において、前記圧電薄膜の単位面積当たり2×1016個/cm2以下である請求項2に記載の圧電薄膜素子。 - 前記圧電薄膜から脱離する前記水酸基、又は前記O−H結合を含む分子の数が、前記圧電薄膜の単位面積当たり1.5×1016個/cm2以下である請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧電薄膜素子。
- 前記O−H結合を含む分子が、H2O分子であり、
前記圧電薄膜から脱離する前記H2Oの数が、200℃以上380℃以下の温度範囲において、前記圧電薄膜の単位面積当たり1.5×1016個/cm2以下である請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電薄膜素子。 - 前記圧電薄膜から脱離する前記有機分子の数が、前記圧電薄膜の単位質量当たり1.7×1017個/g以下である請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧電薄膜素子。
- 前記有機分子が、C2H4分子であり、
前記圧電薄膜から脱離する前記C2H4分子の数が、580℃以上800℃以下の温度範囲において、前記圧電薄膜の単位質量当たり1.7×1017個/g以下である請求項6に記載の圧電薄膜素子。 - 前記圧電薄膜から脱離する前記水酸基又は前記O−H結合を含む分子の数が、前記圧電薄膜の単位質量当たり1.3×1017個/g以下である請求項1〜7のいずれか1項に記載の圧電薄膜素子。
- 前記O−H結合を含む分子が、H2O分子であり、
前記圧電薄膜から脱離する前記H2Oの数が、200℃以上380℃以下の温度範囲において、前記圧電薄膜の単位質量当たり1.3×1017個/g以下である請求項1〜8のいずれか1項に記載の圧電薄膜素子。 - 前記圧電薄膜が、ペロブスカイト構造を有するABO3の結晶(ただし、AはLi、Na、K、La、Sr、Nd、Ba、及びBiからなる群から少なくとも1つ選択される元素、BはZr、Ti、Mn、Mg、Nb、Sn、Sb、Ta、及びInからなる群から少なくとも1つ選択される元素、Oは酸素を表す。)、ABO3の非晶質、若しくは前記ABO3の結晶と前記ABO3の非晶質とが混合した組成を有する請求項1〜9のいずれか1項に記載の圧電薄膜素子。
- 前記基板と前記圧電薄膜との間に設けられる下部電極層
を更に備え、
前記下部電極層を構成する材料の結晶配向性が、前記基板の表面に対して垂直方向に優先配向した単層構造若しくは積層構造を有する請求項1〜10のいずれか1項に記載の圧電薄膜素子。 - 基板を準備する基板準備工程と、
前記基板上に圧電薄膜を形成する圧電薄膜形成工程と、
真空中、不活性ガス雰囲気中、若しくは大気中で前記圧電薄膜に熱処理を施す熱処理工程と
を備え、
前記熱処理工程が、前記圧電薄膜に含まれる有機分子、又は水酸基、アシル基、カルボニル基、及びカルボキシル基からなる群から選択される基を含む第1分子、又はO−H結合、C−O結合、C=O結合、及びO−O結合からなる群から選択される結合を含む第2分子の数を低減させることにより、前記熱処理の後の前記圧電薄膜から前記有機分子、前記第1分子、及び前記第2分子の脱離する数を低減させる圧電薄膜の製造方法。 - 請求項1〜11のいずれか1項に記載の圧電薄膜素子を備える圧電薄膜デバイス。
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