KR101163642B1 - 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치와 이를 이용한 초정밀 이송장치 - Google Patents

표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치와 이를 이용한 초정밀 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치는, 압전 탄성재질의 기판; 기판상에 패터닝되며, 외부에서 전압신호를 인가받아 기판상에 표면 탄성파(surface acoustic wave)를 발생시키거나, 기판을 통해 전달된 표면 탄성파가 흡수되는 한쌍의 제1, 2전극(electrode); 제1, 2전극 사이에서 기판상에 접촉 내지 압착되게 설치되고, 기판 표면에 형성된 표면 탄성파에 의해 직선이동되는 슬라이더; 슬라이더에 연결 설치되고, 제1, 2전극 중 기판을 통해 전달된 표면 탄성파를 흡수하게 되는 전극의 단자에 전기적으로 연결되는 이동소자; 및 슬라이더의 이동변위에 비례하여 이동소자와 상대변위를 가지도록 기판 외측에 고정 설치되고, 이동소자와 동일한 전극의 다른 단자에 전기적으로 연결되는 고정소자;를 포함한다.

Description

표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치와 이를 이용한 초정밀 이송장치{combining device of surface acoustic wave sensor and actuator, ultra-precision transfer apparatus using this}
본 발명은 표면탄성파를 이용하여 대상물을 이동시키는 구동력을 제공하거나 감지대상의 특성, 변화 등을 감지하는데 사용가능한 표면 탄성파 장치와 이를 이용한 초정밀 이송장치에 관한 것이다.
표면 탄성파(SAW: Surface acoustic wave) 장치는, 압전 기판의 양단에 형성된 전극(IDT: Interdigital transducer) 구조에 의해 고주파 대역 통과 필터의 특징을 기본적으로 가지고 있어, 안테나를 통한 무선 측정 시스템과 관련하여 그 연구가 활발히 진행되고 있다.
고주파 대역통과 필터 외에, 전극에 부착된 부하의 임피던스에 따른 응답 특성 또는 주변의 물리/화학적 변화에 의한 중심주파수 및 지연 특성을 이용한 센서로도 적용 가능하며, 표면 탄성파가 가지는 타원 운동과 마이크로 파 영역의 주파수 특성을 이용하여 초정밀 구동 장치로도 적용할 수 있다.
근래에는 바이오/화학 분야에서도 그 적용예가 나타나고 있으며, 대표적으로는 기판의 지연선에 특정 물질에 민감하게 반응하는 물질을 코팅하여 특정 물질의 수축에 따른 기판의 중심 주파수를 이용한 바이오/화학 분야의 무선 센싱 기술이 있으며, 바이오 또는 화학 물질의 초정밀 이송을 위한 구동 시스템으로 구현된 사례도 보이고 있다.
상기와 같이, 표면 탄성파 장치를 온도, 압력 센서로서의 적용 이외에, 미립자의 농도 검출, 이송 시스템 등 기계분야의 구동기로서 적용하기 위한 연구가 이루어지고 있으나, 표면 탄성파를 이용한 센서와 구동기가 서로 독립된 별도의 분야로 취급되어 개발, 적용되고 있는 실정이다.
본 발명은, 표면탄성파 센서와, 표면탄성파 구동기를 하나의 시스템으로 통합시킨 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치와 이를 이용한 초정밀 이송장치를 제시하고자 한다.
상술한 바와 같은 목적 달성을 위한 본 발명은, 압전 탄성재질의 기판(110); 상기 기판(110)상에 패터닝되며, 외부에서 전압신호를 인가받아 상기 기판(110)상에 표면 탄성파(surface acoustic wave)를 발생시키거나, 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파가 흡수되는 한쌍의 제1, 2전극(electrode)(120, 130); 상기 제1, 2전극(120, 130) 사이에서 상기 기판(110)상에 접촉 내지 압착되게 탑재되고, 상기 기판(110) 표면에 형성된 표면 탄성파에 의해 직선이동되는 슬라이더(140); 상기 슬라이더(140)에 연결 설치되고, 상기 제1, 2전극(120, 130) 중 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파를 흡수하게 되는 전극의 단자에 전기적으로 연결되는 이동소자(151); 및 상기 슬라이더(140)의 이동변위에 비례하여 상기 이동소자(151)와 상대변위를 가지도록 상기 기판(110) 외측에 고정 설치되고, 상기 이동소자(151)와 동일한 전극의 다른 단자에 전기적으로 연결되는 고정소자(152);를 포함하여 구성되는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치를 기술적 요지로 한다.
여기서, 상기 제1, 2전극(120, 130)은, 외부에서 전압신호를 인가받아 상기 기판(110)상에 표면 탄성파를 발생시키는 인풋 전극(input electrode)과, 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파가 흡수되는 아웃풋(output electrode) 전극의 기능을 상호 교번적으로 수행할 수 있다.
그리고, 상기 제1, 2전극(120, 130)은, 전위차에 의해 전기장을 발생시키는 양극단자(도면부호 미표기)와, 음극단자(도면부호 미표기)로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 제1, 2전극(120, 130)은, 상기 이동소자(151)에 연결되는 제1단자(E1)와, 상기 고정소자(152)에 연결되는 제2단자(E2)로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 제1, 2전극(120, 130)은, 빗(comb)형상을 가지며, 빗형상의 빗살부분이 서로 교번되도록 대향되게 배치되는 한쌍의 탠덤전극(tandem electrode)으로 구성될 수 있다.
또한, 상기 고정소자(152)는, 상기 슬라이더(140)의 이동 방향을 기준으로 전방 또는 후방측에 설치되며, 상기 이동소자(151)는, 이동 중에도 상기 고정소자(152)와 일정한 대향면적을 유지가능한 대향면을 구비하여, 상기 고정소자(152)에 대향되게 설치될 수 있다.
그리고, 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)는, 상기 슬라이더(140)의 이동방향을 따라 연속하여 연장되는 대향면을 구비하여 상호 대향되게 설치될 수 있다.
또한, 상기 제1, 2전극(120, 130) 각각을 구성하는 단자에 연결되어, 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적의 변화에 따른 전기용량 변화를 감지하여 전기신호로 변환하는 센서소자(미도시);를 더 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 본 발명은, 상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치(100); 상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 제1, 2전극(120, 130)에 연결되며, 상기 제1, 2전극(120, 130) 중 일측에 선택적으로 전원을 공급하는 전원공급장치(200); 및 상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 제1, 2전극(120, 130)에 연결되며, 상기 제1, 2전극(120, 130) 중 타측에서 전하량 내지 전기용량을 감지하여 전기신호로 변환하는 센서장치(미도시);를 포함하여 구성되는 초정밀 이송장치를 다른 기술적 요지로 한다.
여기서, 상기 센서장치는, 상기 제1, 2전극(120, 130) 각각을 구성하는 단자에 연결되어, 상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적의 변화에 따른 전기용량 변화를 감지하여 전기신호로 변환하는 센서소자(미도시);를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 상기 센서장치에서 전기신호를 전달받아 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적 변화 내지 상기 이동소자(151)의 이동거리를 연산, 도출하는 연산부(미도시)와, 상기 연산부에서 도출된 값을 숫자나 그래프로 실시간 디스플레이하는 디스플레이부(미도시)가 구비되는 이송거리 표시수단(미도시);을 더 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 센서장치에서 전기신호를 전달받아 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적 변화 내지 상기 이동소자(151)의 이동거리를 연산, 도출하는 연산부(미도시)와, 상기 연산부에서 도출된 값을 기설정된 기준값과 비교하여 일치하지 않으면 상기 전원공급장치(200)를 작동시키고, 일치하면 상기 전원공급장치(200)의 작동을 정지시키는 제어를 수행하는 제어부(미도시)가 구비되는 자동이송 제어수단(미도시);을 더 포함하여 구성될 수 있다.
상술한 바와 같은 구성에 의한 본 발명은, 표면탄성파 센서와, 표면탄성파 구동기를 하나의 시스템으로 통합시킨 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치를 제시함으로써, 기존에 표면탄성파 센서와, 표면탄성파 구동기를 별도도 적용함에 따라 구조가 복잡하고 사이즈가 확대되는 비효율성을 극복하여, 소형화를 구현할 수 있다.
표면탄성파를 이용해 한쌍의 전극 사이에서 슬라이더를 이동시키면서, 슬라이더에 연결된 이동소자와 정위치에 고정설치된 고정소자간의 간극 변화 또는 중첩면적 변화를 감지하는 것에 의해, 이동소자 또는 이동소자에 연결된 대상물을 이송시키면서 그 위치를 정확히 감지, 제어할 수 있도록 한다.
도 1 - 본 발명에 따른 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치의 제1실시예를 도시한 개념도
도 2 - 본 발명에 따른 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치의 제2실시예를 도시한 개념도
본 발명은 표면탄성파를 이용하여 대상물을 이동시키는 구동력을 제공하면서도, 감지대상의 특성, 변화 등을 감지하는데 사용할 수 있는 표면 탄성파(SAW: Surface acoustic wave) 센서 및 구동기 통합 장치와 이를 이용한 초정밀 이송장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치의 제1실시예를 도시한 개념도를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치는, 기판(substrate)(110), 제1전극(120), 제2전극(130), 슬라이더(140), 이동소자(151), 고정소자(152)로 이루어진 구성을 가진다
표면탄성파는 탄성체 기판의 표면을 따라 전파되는 음향파로, 표면탄성파를 이용하는 장치에 중요한 영향을 끼치는 요소는, 상기 기판(110) 재료의 적절한 선정과, 사용 조건에 맞는 전극의 설계로서, 전기기계 결합 상수가 크고 상대적으로 느린 표면파 진행 속도로 인해 일반적으로 이용되는 128O-LiNbO3을 포함하여 다양한 종류의 압전 탄성재질이 상기 기판(110)의 소재로 사용될 수 있다.
상기 기판(110)상에는 한쌍의 상기 제1, 2전극(electrode)(120, 130)이 패터닝되며, 상기 제1, 2전극(120, 130)은 외부에서 전압신호를 인가받아 상기 기판(110)상에 표면 탄성파(surface acoustic wave)를 발생시키거나, 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파가 흡수하게 된다.
상기 제1, 2전극(120, 130)은, 외부에서 전압신호를 인가받아 상기 기판(110)상에 표면 탄성파를 발생시키는 인풋 전극(input electrode)과, 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파가 흡수되는 전극의 아웃풋(output electrode) 기능을 상호 교번적으로 수행하게 된다.
즉, 상기 제1전극(120)과 제2전극(130) 각각이, 외부에서 전압신호가 인가되는 위치에 따라, 외부에서 전압신호를 인가받게 될 수도 있으며, 표면 탄성파를 흡수하게 될 수도 있어, 인풋 전극과 아웃풋 전극의 용도로 각각 구별되지 않는다.
도 1에는, 상기 제1전극(120)이 인풋 전극의 기능을 하고, 상기 제2전극(130)이 아웃풋 전극의 기능을 하는 상태가 도시되어 있으며, 상기 제1, 2전극(120, 130) 각각이, 빗살부분이 서로 교번되도록 대향되게 배치되는 빗(comb)형상의 탠덤전극(tandem electrode) 한쌍으로 이루어진 구조를 가진다.
상기 제1전극(120) 또는 제2전극(130)이, 외부에서 전압신호를 인가받게 되는 인풋 전극의 기능을 함에 있어서는, 상기 탠덤전극 중 일측은 양극단자(도면부호 미표기)로, 타측은 음극단자(도면부호 미표기)가 되어, 상기 양극단자와 음극단자간의 전위차에 의해 전기장을 발생시키게 된다.
상기 제1전극(120) 또는 제2전극(130)이, 표면 탄성파를 흡수하게 되는 아웃풋 전극의 기능을 함에 있어서는, 상기 탠덤전극 중 일측은 상기 이동소자(151)에 연결되는 제1단자(E1)로, 타측은 상기 고정소자(152)에 연결되는 제2단자(E2)가 된다.
상기 제1, 2전극(120, 130)은, 포토리쏘그래피(photolithography) 공정을 통해 상기 기판(110)상에 패터닝하여 형성할 수 있다.
상기 슬라이더(140)는, 상기 제1, 2전극(120, 130) 사이에서 상기 기판(110)상에 접촉 내지 압착되게 탑재(preload)되며, 상기 기판(110) 표면상에는, 압전효과에 의해 표면 탄성파의 진행방향과 반대되는 방향으로 변위가 발생하게 된다.
즉, 상기 슬라이더(140)와의 접촉되는 표면상에는 상기 표면 탄성파의 진행방향과 반대되면서, 그 내측은 표면 탄성파의 진행방향과 동일한 방향을 향하는 타원형의 변위가 상기 제1, 2전극(120, 130) 사이에 연속하여 형성됨에 따라, 상기 슬라이더(140)는 상기 제1, 2전극(120, 130) 사이에서 직선이동하게 된다.
도 1에 도시된 상태와 같이, 상기 제1전극(120)이 인풋 전극의 기능을 하는 상태에서, 상기 슬라이더(140)는 상기 제1전극(120)측으로 이동하게 되며, 상기 제2전극(130)을 인풋 전극으로 전환하면 상기 제2전극(120)측으로 이동하게 되어, 상기 제1, 2전극(120)에의 전원 또는 신호 인가 상태를 조정하면서 상기 슬라이더(140)를 원하는 거리만큼 또는 원하는 위치로 정밀하게 이동시킬 수 있다.
상기 이동소자(151)는, 상기 슬라이더(140)에 연결 설치되어, 상기 슬라이더(140)에 연동되어 이동되거나 동일변위로 이동하게 되며, 상기 제1, 2전극(120, 130)을 구성하는 단자 중 하나에 전기적으로 연결된다.
상기 고정소자(152)는, 상기 슬라이더(140)의 이동변위에 비례하여 상기 이동소자(151)와 상대변위를 가지도록, 상기 기판(110) 외측에 고정 설치되고, 상기 이동소자(151)와 동일한 전극의 다른 단자에 전기적으로 연결된다.
도 1에 도시된 본 발명의 제1실시예에서, 상기 고정소자(152)는, 상기 슬라이더(140)의 이동 방향을 기준으로 전방 또는 후방측에 설치되고, 상기 이동소자(151)는, 상기 슬라이더(140)에 연동하여 다양한 위치로 이동되는 중에도, 상기 고정소자(152)와 일정한 대향면적을 유지가능한 대향면을 구비하여, 상기 고정소자(152)에 대향되게 설치된다.
임피던스(impedance) 또는 온저항은 교류회로의 전압과 전류의 비이다. 국제단위계에서 단위는 옴이다. 직류회로의 전기저항과는 다르게, 고임피던스가 꼭 저임피던스보다 저항이 크다고 단정지을 수는 없다. 이하에서는 j : 허수단위, ω : 교류의 각진동수로 놓는다.
전기저항에 의한 것을 저항이라고 하며, 인덕턴스에 의한 것을 유도 리액턴스라고 하고, 전기용량에 의한 것을 용량 리액턴스라고 한다. 전기용량을 C, 전기용량에 의한 리액턴스를 ZC로 놓으면, ZC = 1/jωC 과 같은 식이 성립한다.
본 발명의 실시예에서, 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)는, 평행판 구조를 가지며, 평행판 구조로 구성하면, 간단하게 제작, 적용할 수 있고, 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)의 위치 변화에 따른 임피던스 응답의 측정 또한, 대향면적 또는 간극의 변화에 비례/반비례하는 전기 용량(C(전기용량) = ε(유전율)A(대향면적)/간극(gap))을 측정하는 것에 의해 용이하게 이루어질 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치의 제2실시예를 도시한 개념도이다.
도 2에 도시된 제2실시예는, 상기 제1실시예와 비교해, 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)가, 상기 슬라이더(140)의 이동방향을 따라 연속하여 연장되는 대향면을 구비하여 상호 대향되게 설치된 구조를 가진다.
상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 대향면적이 일정하고, 유전체의 특성이 일정할 때, 전기용량은 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극에 의해서만 변화하게 된다.
상기 제1, 2전극(120, 130) 각각(아웃풋 전극 기능을 수행하게 되는 전극)을 구성하는 단자에 센서소자(미도시)를 연결하면, 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적의 변화에 따른 전기용량 변화를 감지하여 전기신호로 변환함으로써, 비접촉상태로 변위 또는 간극을 측정하는 정전 용량 센서 기능을 구현할 수 있다.
상기와 같이 하나의 아웃풋 전극을 구성하는 단자를 서로 이격된 2개의 측정 대상물에 각각 연결하여 접속시킨 후, 상기 측정 대상물 사이의 간격 변화에 따라 발생하는 정전용량(capacitance) 변화를 표면 탄성파의 전기적인 응답신호 형태로 수신함으로써, 측정 대상물 사이의 미소 거리나 변위를 측정할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 인풋 포트(input port)에 인가된 전기 신호로 인한 전왜 효과와, 이로 인해 발생한 표면 탄성파가 진행하여 아웃풋 포트(output port)에 도달하였을 때, 압전 효과에 의해 발생하는 전하의 이동과, 이에 따른 임피던스 응답의 변화를 관찰함으로써 표면 탄성파를 이용한 센서 기능을 구현하게 된다.
전계안에 있는 유전체가 전기변위의 제곱에 비례하여 왜곡을 발생시키는 현상을 전왜현상(Electrostrictive Phenomena)이라 하는데, 이것은 압전효과의 한 현상으로, 압전 효과(壓電效果, piezoelectric effect)는, 기계적 일그러짐을 가함으로써 유전 분극을 일으키는 현상을 일컬으며, 1차 압전 효과라고도 하며, 역으로 전계를 가하여 일그러짐을 일으키는 현상을 역압전 효과 또는 2차 압전 효과라고 한다.
본 발명에 따른 초정밀 이송장치는, 상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치를 이용하여, 상기 이동소자(151)의 위치 정보를 확인하면서, 상기 이동소자(151)를 정밀하게 이송시킬 수 있는 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 초정밀 이송장치는, 상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 제1, 2전극(120, 130) 중 일측에 선택적으로 전원을 공급할 수 있도록 상기 제1, 2전극(120, 130)에 전원공급장치(200)를 연결하고, 상기 제1, 2전극(120, 130) 중 타측에서 전하량 내지 전기용량을 감지하여 전기신호로 변환할 수 있도록 상기 제1, 2전극(120, 130) 센서장치(미도시)를 연결한 구조를 가진다.
여기서, 상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 설명 중에 기재되었던 상기 센서소자는, 상기 센서장치를 구성하는 구성요소 중 일부로 포함될 수 있다.
상기 이동소자(151)를 이송시킴에 있어서는, 상기 이동소자(151)의 위치 정보를 실시간으로 확인하면서 수동으로 이동시키거나, 원하는 거리만큼 상기 이동소자(151)를 자동으로 이송시킬 수 있다.
상기 이동소자(151)의 위치 정보를 실시간으로 확인가능하도록 하는 구성요소로서 이송거리 표시수단(미도시)이 구비될 수 있으며, 원하는 거리만큼 상기 이동소자(151)를 자동으로 이송시키도록 하는 구성요소로서 자동이송 제어수단이 구비될 수 있다.
상기 이송거리 표시수단과 자동이송 제어수단에는, 상기 센서장치에서 전기신호를 전달받아 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적 변화 내지 상기 이동소자(151)의 이동거리를 연산, 도출하는 연산부(미도시)가 구비된다.
상기 이송거리 표시수단에는 상기 연산부에서 도출된 값을 숫자나 그래프로 실시간 디스플레이하는 디스플레이부(미도시)가 구비되며, 상기 자동이송 제어수단에는 상기 연산부에서 도출된 값을, 사용자가 원하는 변위에 해당되는 기설정된 기준값과 비교하여 일치하지 않으면 상기 전원공급장치(200)를 작동시키고, 일치하면 상기 전원공급장치(200)의 작동을 정지시키는 제어를 수행하는 제어부(미도시)가 구비된다.
상기와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합 장치와 이를 이용한 초정밀 이송장치는, 압전 재료의 물성치에 따른 포트(port)간의 어드미턴스(admittance, 임피던스의 역수)를 계산할 수 있어, 장치 전체의 전기적인 주파수 응답 특성을 신뢰성있게 예측할 수 있다.
표면탄성파 센서와, 표면탄성파 구동기를 하나의 시스템으로 통합시킨 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치를 제시함으로써, 기존에 표면탄성파 센서와, 표면탄성파 구동기를 별도도 적용함에 따라 구조가 복잡하고 사이즈가 확대되는 비효율성을 극복하여, 소형화를 구현할 수 있다.
표면탄성파를 이용해 한쌍의 상기 제1, 2전극(120, 130) 사이에서 상기 슬라이더(140)를 이동시키면서, 상기 슬라이더(140)에 연결된 상기 이동소자(151)와 정위치에 고정설치된 상기 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 중첩면적 변화를 감지하는 것에 의해, 상기 이동소자(151) 또는 상기 이동소자(151)에 연결된 대상물을 이송시키면서 그 위치를 정확히 감지, 제어할 수 있도록 한다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되는 것이 아니고, 상기 실시예들을 기존의 공지기술과 단순히 조합적용한 실시예와 함께 본 발명의 특허청구범위와 상세한 설명에서 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 변형하여 이용할 수 있는 기술은 본 발명의 기술범위에 당연히 포함된다고 보아야 할 것이다.
110 : 기판 120 : 제1전극
130 : 제2전극 140 : 슬라이더
151 : 이동소자 152 : 고정소자
100 : 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치 200 : 전원공급장치
E1 : 제1단자 E2 : 제2단자

Claims (12)

  1. 압전 탄성재질의 기판(110);
    상기 기판(110)상에 패터닝되며, 외부에서 전압신호를 인가받아 상기 기판(110)상에 표면 탄성파(surface acoustic wave)를 발생시키거나, 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파가 흡수되며, 제1단자와 제2단자로 이루어진 한쌍의 제1, 2전극(electrode)(120, 130);
    상기 제1, 2전극(120, 130) 사이에서 상기 기판(110)상에 접촉 내지 압착되게 탑재되고, 상기 기판(110) 표면에 형성된 표면 탄성파에 의해 직선이동되는 슬라이더(140);
    상기 슬라이더(140)에 연결 설치되고, 상기 제1, 2전극(120, 130) 중 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파를 흡수하게 되는 전극의 제1단자에 전기적으로 연결되는 이동소자(151); 및
    상기 슬라이더(140)의 이동변위에 비례하여 상기 이동소자(151)와 상대변위를 가지도록 상기 기판(110) 외측에 고정 설치되고, 상기 이동소자(151)가 연결되는 전극과 동일한 전극의 제2단자에 전기적으로 연결되는 고정소자(152);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1, 2전극(120, 130)은,
    외부에서 전압신호를 인가받아 상기 기판(110)상에 표면 탄성파를 발생시키는 인풋 전극(input electrode)과, 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파가 흡수되는 아웃풋(output electrode) 전극의 기능을 상호 교번적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1, 2전극(120, 130)은,
    전위차에 의해 전기장을 발생시키는 양극단자와, 음극단자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치.
  4. 삭제
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제1, 2전극(120, 130)은,
    빗(comb)형상을 가지며, 빗형상의 빗살부분이 서로 교번되도록 대향되게 배치되는 한쌍의 탠덤전극(tandem electrode)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 고정소자(152)는,
    상기 슬라이더(140)의 이동 방향을 기준으로 전방 또는 후방측에 설치되며,
    상기 이동소자(151)는,
    이동 중에도 상기 고정소자(152)와 일정한 대향면적을 유지가능한 대향면을 구비하여, 상기 고정소자(152)에 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)는,
    상기 슬라이더(140)의 이동방향을 따라 연속하여 연장되는 대향면을 구비하여 상호 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1, 2전극(120, 130) 각각을 구성하는 단자에 연결되어, 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적의 변화에 따른 전기용량 변화를 감지하여 전기신호로 변환하는 센서소자;
    를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치.
  9. 제1항에 의한 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치(100);
    상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 제1, 2전극(120, 130)에 연결되며, 상기 제1, 2전극(120, 130) 중 일측에 선택적으로 전원을 공급하는 전원공급장치(200); 및
    상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 제1, 2전극(120, 130)에 연결되며, 상기 제1, 2전극(120, 130) 중 타측에서 전하량 내지 전기용량을 감지하여 전기신호로 변환하는 센서장치;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초정밀 이송장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 센서장치는,
    상기 제1, 2전극(120, 130) 각각을 구성하는 단자에 연결되어, 상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적의 변화에 따른 전기용량 변화를 감지하여 전기신호로 변환하는 센서소자;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초정밀 이송장치.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 센서장치에서 전기신호를 전달받아 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적 변화 내지 상기 이동소자(151)의 이동거리를 연산, 도출하는 연산부와, 상기 연산부에서 도출된 값을 숫자나 그래프로 실시간 디스플레이하는 디스플레이부가 구비되는 이송거리 표시수단;
    을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초정밀 이송장치.
  12. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 센서장치에서 전기신호를 전달받아 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적 변화 내지 상기 이동소자(151)의 이동거리를 연산, 도출하는 연산부와, 상기 연산부에서 도출된 값을 기설정된 기준값과 비교하여 일치하지 않으면 상기 전원공급장치(200)를 작동시키고, 일치하면 상기 전원공급장치(200)의 작동을 정지시키는 제어를 수행하는 제어부가 구비되는 자동이송 제어수단;
    을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초정밀 이송장치.
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