CN106449966B - 一种压电传感装置及应用 - Google Patents
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 120
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 19
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 7
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 25
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 17
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 11
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 11
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 11
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 10
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018100 Ni-Sn Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018532 Ni—Sn Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSZKOFNTXPLTCU-UHFFFAOYSA-N barium lithium Chemical compound [Li].[Ba] YSZKOFNTXPLTCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical class [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium dioxide Chemical compound O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0414—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means using force sensing means to determine a position
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- H—ELECTRICITY
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- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
- H03K17/94—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
- H03K17/96—Touch switches
- H03K17/964—Piezoelectric touch switches
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/302—Sensors
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
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Abstract
本发明提出了一种压电传感装置,其特征在于,包括多个压电区,每个压电区包括正极表面和负极表面,其中,多个区从第一个到最后一个依次采用相邻压电区同极表面与同极表面电连接的方式连接,即正极表面与正极表面电连接,或负极表面与负极表面电连接。本发明提出的压电传感装置可以有效地增大高频信号、消弱低频信号,使输出的波形信号更有利于提高定位精度。
Description
技术领域
本发明涉及一种利用压电效应进行机械能与电能相互转换的装置,具体为一种压电传感装置。
背景技术
压电传感器是一种常见的用于测量振动或力度的传感器,其以某些电介质的压电效应为基础,其中,正压电效应是指当有外力施加到其表面时,该电介质表面会产生电荷,从而实现对于非电量的测量;逆压电效应是指对电介质施加交变电场引起机械变形的现象,又称电致伸缩效应,用逆压电效应制造的变送器可用于电声和超声工程。
压电传感器的应用非常广泛,在工程力学、生物医学、石油勘探、声波测井、电声学等技术领域均有应用。
一般地,压电传感器在实际应用中,都会设计成一种传感器模块,以方便安装和信号的保真采集。压电传感器模块在设计上,通常会包括引线、预处理电路、安装方式和多个压电传感器连接方式。
在压电传感器的设计上,单个传感器信号有时不能达到实际应用的强度或者输出的信号不利于采集和识别。多个压电传感器在组合应用时,因为它们的相位不同,采集时信号的波峰和波谷会进行一定程度的相消或叠加从而产生不同特性的信号,目前传统的组合方法是将传感器进行串联连接,连接时将一个传感器的正电极与另一传感器的负电极相连接,如专利CN200480038012.8所述的组合方法,它能有效地增大低频信号,同时消弱高频信号。但对于利用机械波(或弹性波)进行定位的应用而言,高频信号由于具有更高的分辨率,因此能提供更高的定位精度。而专利CN200480038012.8所述的组合方法消弱了高频信号,因此不利于进行精确定位。本发明提出了一种组合方式可以有效地增大高频信号、消弱低频信号,使输出的波形信号更有利于提高定位精度。本发明的效果已经实验验证。
发明内容
本发明提出了一种可以有效地增大高频信号、消弱低频信号的压电传感装置,具体技术方案如下:
一种压电传感装置,其特征在于,包括多个压电区,每个压电区包括正极表面和负极表面,其中,多个区从第一个到最后一个依次采用相邻压电区同极表面与同极表面电连接的方式连接,即正极表面与正极表面电连接,或负极表面与负极表面电连接。所述压电区指独立的具有压电效应的单元,例如压电陶瓷或压电薄膜等。
进一步,还包括第一引出电极和第二引出电极,分别耦合于第一压电区和最后一个压电区的与相邻压电区的非连接端。若第一压电区的正极表面与相邻压电区的正极表面电连接,则将第一引出电极耦合于第一压电区的负极表面,若第一压电区的负极表面与相邻压电区的负极表面电连接,则将第一引出电极耦合于第一压电区的正极表面;若最后一个压电区的正极表面与相邻压电区的正极表面电连接,则将第二引出电极耦合于最后一个压电区的负极表面,若最后一个压电区的负极表面与相邻压电区的负极表面电连接,则将第二引出电极耦合于最后一个压电区的正极表面。
进一步,所述多个压电区处在单一压电结构中。
进一步,所述多个压电区分别处在不同的压电结构中。
进一步,所述多个压电区以并齐排列的方式排列分布。
进一步,所述多个压电区以直线链接形式排列分布。
进一步,所述多个压电区以二维阵列形式排列分布。
进一步,所述多个压电区以分层形式排列分布,或者所述多个压电区以三维阵列形式排列分布。
进一步,所述多个压电区之间包括填充的绝缘材料。
进一步,所述多个压电区之间的距离可调。
本发明还提出一种触摸检测装置,包括触摸接收装置和本发明所提出的压电传感装置,压电传感装置用于将对触摸接收装置的触摸动作转化为压电信号。
进一步,还包括信号检测装置,用于检测压电传感装置输出的压电信号;
还包括信号处理装置,用于对检测到的压电信号进行分析,得到触摸位置信息;
所述压电传感装置有四个,分别分布于触摸接收装置的四个角位置或者分别分布在触摸接收装置边界位置。
本发明还提出一种触摸检测的方法,该检测触摸位置的方法应用本发明所提出的触摸检测装置来实现,包括以下步骤:
S100:触摸接收装置接收触摸动作;
S200:压电传感装置检测到由触摸动作所产生的压力变化;
S300:压电传感装置通过压电效应,将检测到的压力变化转化为电信号。
进一步,还包括以下步骤:
S400:压电传感装置输出压电信号;
S500:信号检测装置接收该压电信号,并对该信号进行预处理;
S600:信号处理装置对预处理后的压电信号进行分析,得到触摸动作的触摸位置和/或触摸轨迹。
本发明提出了一种组合方式可以有效地增大高频信号、消弱低频信号,使输出的波形信号更有利于提高定位精度。
附图说明
图1为本发明实施例1的第一种结构示意图;
图2为本发明实施例1的第二种结构示意图;
图3为本发明实施例1的第三种连接示意图;
图4为本发明实施例1的第四种连接示意图;
图5为本发明实施例2的第一种连接示意图;
图6(a)为本发明实施例2的第二种连接的示意图1;
图6(b)为本发明实施例2的第二种连接的示意图2;
图7为本发明实施例2的第三种连接示意图;
图8为本发明实施例2的第四种连接示意图;
图9为本发明实施例2的第五种连接示意图;
图10为本发明实施例2的第六种连接示意图;
图11为本发明与现有技术实验效果对比图;
图12为本发明实施例3结构示意图;
图13为本发明实施例4的第一种方法流程图;
图14为本发明实施例4的第二种方法流程图。
附图标记说明:
1001–第一引出电极;1002–第二引出电极;1003–压电材料;
1004–电极;1005-第一压电区;1006-第二压电区;
2001–第一引出电极;2002–第二引出电极;2003–压电材料;
2004–电极;2005-第一压电区;2006-第二压电区;
3001-电极;3002-电极;3003-压电材料;3004-第一引出电极;
3005-第二引出电极;3006-连接线;3007-第一压电区;3008-第二压电区;
4001–第一引出电极;4002–电极;4003–第二引出电极;
4004–电极;4005–压电材料;4006–电极;
4007-第一压电区;4008-第二压电区;4009-第三压电区;4010-第四压电区;
5001–电极;5002–电极;5003–第一压电区;5004–第一引出电极;
5005–第二引出电极;5006-第二压电区;5007–连接线;6001–第一引出电极;
6002–第二引出电极;6003–第一压电区;6004–电极;6005–第二压电区;6006-绝缘连接片;
7001–第一引出电极;7002–电极;7003–第一压电区;7004–电极;
7005–第二压电区;7006–第三压电区;7007–第二引出电极;
8001–第一引出电极;8002–电极;8003-第二引出电极;8004-第一压电区;
8005-电极;8006-第二压电区;8007-第三压电区;8008-电极;8009-第四压电区。
9001-第一引出电极;9002-电极;9003-电极;9004-电极;9005-第二引出电极;
9006-第一压电区;9007-第二压电区;9008-第三压电区;9009-第四压电区。
10001-第一引出电极;10002-电极;10003-电极;10004-电极;10005-电极;
10006-电极;10007-电极;10008-电极;10009-第二引出电极;
10010-第一压电区;10011-第二压电区;10012-第三压电区;10013-第四压电区;
10014-第五压电区;10015-第六压电区;10016-第七压电区;10017-第八压电区。
具体实施方式
下面结合附图及实施例,对本发明的技术方案做详细描述。应当理解,附图中所示各零部件是示意性而非限制性的,各特征未按比例画出。
对于本发明内容,以两个性能相同的传感装置组合为例说明其原理:
本发明增大高频信号,消弱低频信号,所述高频与低频信号是相对于具体的使用条件而言,因f(频率)=v(波速)/λ(波长),本发明所针对的高频与低频的分界点定义为:
f=v/(6*d) (1)
其中,v为待测量物体中机械波传播的速度,d即为图中所示的两个压电区的等效距离,一般指两个压电区中心间距离。需要注意的是对于薄板结构中的波而言,上式中的v不是固定的值,而是f的函数。频率大于上式中f=v/(6*d)的即为高频信号,频率低于f=v/(6*d)的为低频信号,由式(1)可以看出,高频与低频的界定根据不同材料和两个压电区的位置而有所区别,所以此处的高频与低频是相对材料和压电区位置而言。本发明是在材料和压电区位置确定前提下,可以获得增大高频信号和消弱低频信号的有益效果的。
本发明原理如下:
设结构中的波信号为S0=A0*sin(a*t+θ0) (2)
第一传感装置输出的波信号为S1=A1*sin(a*t+θ1) (3)
第二传感装置输出的波信号为S2=A1*sin(a*t+θ2) (4)
本发明组合输出的波信号为
上式中,即为输出波信号S的幅值。对于薄板结构中的0阶反对称波而言,当频率f增大时,波长λ将减小。两个传感器的等效距离d不变,相位差为|θ1-θ2|=2*π*d/λ。所以当|θ1-θ2|<π时,也即d/λ<1/2时,f增大,S幅值增大。因此本发明组合可对高频信号起放大作用,最大可至原信号的2倍,可对低频信号起减弱作用,最小可接近于0。同时,可以看出,通过调整d的大小,可以调整信号的放大倍数。
而现有技术中,组合输出的信号
其正与本发明相反,当f增大时,s幅值减小。
如图11所示,为本发明与现有技术实验效果对比图,本实验中,使用2片压电陶瓷传感器分别以现有技术中的方法串联和本发明中的方法连接,在玻璃介质上,同时对同一个振动波形进行采集,本发明的波形在最开始的高频阶段,幅值要明显高于对比发明中的幅值,在后边波形频率降低后,二者在幅值上没有显著的差异。说明本发明所述的连接方式可以起到放大高频信号的作用。在具体应用上,如果待测量频率大于本发明所述分界频率的情况下,应用本发明所述方法可以有效提高有效信号。
实施例1
如图1所示,为实施例1的第一种结构示意图,该结构包括第一引出电极1001、第二引出电极1002、第一压电区1005、第二压电区1006和电极1004。其中,第一压电区1005和第二压电区1006处于同一压电材料1003中,压电材料1003为具有压电效应的材料,包括无机压电材料和有机压电材料,无机压电材料中,包括压电晶体,如水晶(石英晶体)、镓酸锂、锗酸锂、锗酸钛以及铁晶体管铌酸锂、钽酸锂等,还包括压电陶瓷,如钛酸钡BT、锆钛酸铅PZT、改性锆钛酸铅、偏铌酸铅、铌酸铅钡锂PBLN、改性钛酸铅PT等,有机压电材料又称压电聚合物,如聚偏氟乙烯(PVDF)(薄膜)及以它为代表的其他有机压电(薄膜)材料,本实施例中采用压电陶瓷。本实施例中,第一压电区1005和第二压电区1006处于同一压电材料1003中,即两个压电区处于同一压电结构中,两个压电区均为上表面为负极表面、下表面为正极表面,在正极表面耦合电极1004,实现两个压电区的电连接,分别在两个压电区的负极表面耦合电极,形成第一引出电极1001和第二引出电极1002,用于将压电传感装置与外接电路电连接。本发明中,电极为金属镀膜,压电传感装置工作时,由于压电效应使压电区的两个表面上分别积累数量相等极性相反的电荷,其中,积累正电荷的电极为正极表面,积累负电荷的电极为负极表面,与正极表面耦合的电极为正电极,与负极表面耦合的电极为负电极,电极采用导电性良好材料,如铝或者银等金属材料,或Ag-Ni-Sn、Ag-Ni-Au、Cu-Ni-Sn(BME)等由三层结构构成的分层电极,保证在产生较小电势差情况下,不会因为电极阻抗导致输出电流显著减小。图1中,电极1004为正电极,第一引出电极1001和第二引出电极1002为负电极,第一压电区1005和第二压电区1006的极化方向为从正极表面指向负极表面,电极1004电连接第一压电区的正极表面和第二压电区的正极表面,第一引出电极1001和第二引出电极1002分别连接引出线,或通过导电轨迹,与外部电路相连接,包括采用焊接材料、导电膏或导电粘合剂等适用于电连接的材料将引出电极与外部电路相连接。
使用时,电极1004与要测量的振动物体机械连接,如焊接或使用粘结剂粘接等,机械连接时,可只将电极上数个点或线与振动物体连接,本实施例中,为了增大压电传感装置与要测量的振动物体的接触面积,提高检测准确性,将整个电极表面与要测量的振动物体采用粘结剂粘接。当有振动产生时,电极1004表面受压,该压力会传导至压电材料1003上,根据压电效应,会在两个负电极,即引出电极1001和引出电极1002上产生电势差,引出线或导电轨迹上会在该电势差作用下,产生小电流输出,该小电流即为待测电信号。
如图2所示,为实施例1的第二种结构示意图,该结构包括第一引出电极2001、第二引出电极2002、第一压电区2005、第二压电区2006和电极2004。其中,第一压电区2005和第二压电区2006处于同一压电材料2003中,即两个压电区处于同一压电结构中,两个压电区均为上表面为负极表面、下表面为正极表面,极化方向为从负极表面指向正极表面。分别在两个压电区的正极表面和负极表面耦合电极,其中,电极2004为正电极,第一引出电极2001和第二引出电极2002为负电极,电极2004连接第一压电区的正极表面和第二压电区的正极表面,第一引出电极1001和第二引出电极1002用于将压电传感装置与外接电路电连接。使用时,第一引出电极2001和第二引出电极2002分别连接引出线或通过导电轨迹与外部电路相连接,电极2004与要测量的振动物体机械连接。
如图3所示,为实施例1的第三种结构示意图,该结构包括第一引出电极3004、第二引出电极3005、第一压电区3007、第二压电区3008、电极3001、电极3002和连接线3006。其中,第一压电区3007和第二压电区2008处于同一压电材料3003中,即两个压电区处于同一压电结构中,两个压电区均为上表面为正极表面、下表面为负极表面,极化方向为从正极表面指向负极表面。分别在两个压电区的正极表面和负极表面耦合电极,电极3001和电极3002为正电极,第一引出电极3004和第二引出电极3005为负电极,连接线3006连接两个正电极,即电极3001和电极3002,实现将两个压电区的正极表面电连接,第一引出电极3004和第二引出电极3005用于将压电传感装置与外接电路电连接。使用时,第一引出电极3004和第二引出电极3005分别连接引出线或通过导电轨迹与外部电路相连接,使用时,可只将电极3001或电极3002与要测量的振动物体机械连接,但为了增加压电传感装置与要测量的振动物体的接触面积,提高检测精度,本实施例中,将电极3001和电极3002同时与要测量的振动物体机械连接,以下实施例结构中,为增大压电传感装置与要测量的振动物体的接触面积,均采用该种方式连接。
如图4所示,为实施例1的第四种结构示意图,该结构包括第一引出电极4001、电极4002、第二引出电极4003、电极4004、第一压电区4007、第二压电区4008、第三压电区4009、第四压电区4010和电极4006。其中,第一压电区4007、第二压电区4008、第三压电区4009、第四压电区4010处于同一压电材料4005中,即四个压电区处于同一压电结构中,四个压电区均为上表面为正极表面、下表面为负极表面,四个压电区的极化方向为从正极表面指向负极表面。分别在四个压电区的正极表面和负极表面耦合电极,第一引出电极4001、电极4002和第二引出电极4003为正电极,电极4004和电极4006为负电极,电极4004连接第一压电区的负极表面和第二压电区的负极表面,电极4002连接第二压电区的正极表面和第三压电区的正极表面,电极4006连接第三压电区的负极表面和第四压电区的负极表面,第一引出电极4001和第二引出电极4003用于将压电传感装置与外接电路电连接。使用时,第一引出电极4001和第二引出电极4003分别连接引出线或通过导电轨迹与外部电路相连接,电极4004和电极4006与要测量的振动物体机械连接。
实施例2
如图5~图8所示,为本发明实施例2的四种不同结构,本实施例与实施例1的区别在于,实施例1中是在同一压电区的正极表面和负极表面放置多个电极,形成的一个压电结构中具有多个压电区的压电传感装置,本实施例中是在不同的压电区的正极表面和负极表面放置电极,形成每个压电区分别在不同的压电结构中的压电传感装置。其中,不同的压电区之间可以用绝缘材料相连接,也可以不采用任何材料连接,所述的绝缘材料要有一定的强度,比如塑料、绝缘陶瓷、亚克力等。所述的绝缘材料起到加强结构强度的作用,使所述压电传感装置在安装和使用过程中,更加坚固耐用,不易损坏。此外,多个压电区之间的距离可调,多个压电区之间的距离不固定,可根据具体应用情况而调整,例如根据测量物体形状或厚度而调整;若压电区之间包括填充的绝缘材料,则填充的绝缘材料在压电区排列方向上长度不固定,可根据具体应用情况而调整,例如根据测量物体形状或厚度而调整。具体如下所示。
如图5所示,为实施例2的第一种结构示意图,该结构包括第一引出电极5004、第二引出电极5005、第一压电区5003、电极5001、电极5002、第二压电区5006和连接线5007。其中,第一压电区5003和第二压电区5006分别处于两个不同的压电材料中,即两个压电区分别处于两个不同的压电结构中。两个压电区均为上表面为正极表面,下表面为负极表面,极化方向均为从正极表面指向负极表面。分别在第一压电区5003和第二压电区5006的正极表面和负极表面耦合电极,电极5001和电极5002为正电极,第一引出电极5004和第二引出电极5005为负电极。电极5001、第一压电区5003和第一引出电极5004构成第一压电结构,电极5002、第二压电区5006和第二引出电极5005构成第二压电结构,且两个压电结构的极化方向均为从正电极指向负电极,连接线5007连接第一压电结构和第二压电结构的两个正电极,即电极5001和电极5002,第一引出电极5004和第二引出电极5005用于将压电传感装置与外接电路电连接。使用时,第一引出电极5004和第二引出电极5005分别连接引出线或通过导电轨迹与外部电路相连接,电极5001和电极5002与要测量的振动物体机械连接。
如图6所示,为实施例2的第二种结构示意图,图6中包括(a)和(b)两种结构。图6(a)中结构包括第一引出电极6001、第二引出电极6002、第一压电区6003、电极6004和第二压电区6005。其中,第一压电区6003和第二压电区6005分别处于两个不同的压电材料中,即两个压电区分别处于两个不同的压电结构中。两个压电区均为下表面为正极表面,上表面为负极表面,极化方向均为从正极表面指向负极表面。分别在第一压电区6003和第二压电区6005的正极表面和负极表面耦合电极,电极6004为正电极,第一引出电极6001和第二引出电极6002为负电极。电极6004、第一压电区6003和第一引出电极6001构成第一压电结构,电极6004、第二压电区6005和第二引出电极6002构成第二压电结构,且两个压电结构的极化方向均为从正电极指向负电极,电极6004连接第一压电结构的正电极和第二压电结构的正电极,第一引出电极6001和第二引出电极6002用于将压电传感装置与外接电路电连接。使用时,第一引出电极6001和第二引出电极6002分别连接引出线或通过导电轨迹与外部电路相连接,电极6004与要测量的振动物体粘连。图6(b)中结构,与图6(a)中结构相比,还包括绝缘连接片6006,该绝缘连接片起到加强结构强度的作用,使所述压电传感装置在安装和使用过程中,更加坚固耐用,不易损坏。
如图7所示,为实施例2的第三种结构示意图,该结构包括第一引出电极7001、电极7002、第二引出电极7007、第一压电区7003、电极7004、第二压电区7005和第三压电区7006。其中,第一压电区7003、第二压电区7005和第三压电区7007分别处于三个不同的压电材料中,即三个压电区分别处于三个不同的压电结构中。三个压电区均为上表面为正极表面,下表面为负极表面,极化方向均为从正极表面指向负极表面。分别在第一压电区7003、第二压电区7005和第三压电区7007的正极表面和负极表面耦合电极,第一引出电极7001、电极7002为正电极,电极7004和电极7007为负电极,第一压电区7003、第二压电区7005和第三压电区7006的极化方向为从正电极指向负电极,第一引出电极7001、第一压电区7003与电极7004构成第一压电结构,电极7002、第二压电区7005和电极7004构成第二压电结构,电极7002、第三压电区7006和第二引出电极7007构成第三压电结构,且三个压电结构的极化方向均为从正电极指向负电极,电极7004连接第一压电结构的负电极和第二压电结构的负电极,电极7002连接第二压电结构的正电极和第三压电结构的正电极,第一引出电极7001和第二引出电极7007用于将压电传感装置与外接电路电连接。使用时,第一引出电极7001和第二引出电极7007分别连接引出线或通过导电轨迹与外部电路相连接。然而,本结构中,由于第一引出电极7001与第二引出电极7007不在同一平面内,因此,在使用时,不能同时将电极7002与电极7004机械连接于要测量的振动物体上,对使用造成了不便,因此,对本结构进行改进,得到实施例2的第四种结构。
如图8所示,为实施例2的第四种结构示意图,该结构包括第一引出电极8001、电极8002、第二引出电极8003、第一压电区8004、电极8005、第二压电区8006、第三压电区8007、电极8008和第四压电区8009。其中,第一压电区8004、第二压电区8006、第三压电区8007和第四压电区8009分别处于四个不同的压电材料中,即四个压电区分别处于四个不同的压电结构中。四个压电区均为上表面为正极表面,下表面为负极表面,极化方向均为从正极表面指向负极表面。分别在第一压电区8004、第二压电区8006、第三压电区8007和第四压电区80099的正极表面和负极表面耦合电极,第一引出电极8001、电极8002和第二引出电极8003为正电极,电极8005和电极8008为负电极,第一压电区8004、第二压电区8006、第三压电区8007和第四压电区8009的极化方向为从正电极指向负电极,第一引出电极8001、第一压电区8004与电极8005构成第一压电结构,电极8002、第二压电区8006和电极8005构成第二压电结构,电极8002、第三压电区8007和电极8008构成第三压电结构,第二引出电极8003、第四压电区8009和电极8008构成第四压电结构,且四个压电结构的极化方向均为从正电极指向负电极,,电极8005连接第一压电结构的负电极和第二压电结构的负电极,电极8002连接第二压电结构的正电极和第三压电结构的正电极,电极8008连接第三压电结构和第四压电结构,第一引出电极,8001和第二引出电极8003用于将压电传感装置与外接电路电连接。使用时,第一引出电极8001和第二引出电极8003分别连接引出线或通过导电轨迹与外部电路相连接,且由于两个引出电极位于同一水平面上,因此,使用时,可将电极8005和电极8008与所要测量的振动物体机械连接使用。
如图9所示,为实施例2的第五种结构示意图,包括第一引出电极9001、电极9002、电极9003、电极9004、第二引出电极9005、第一压电区9006、第二压电区9007、第三压电区9008、第四压电区9009。其中,第一压电区9006、第二压电区9007、第三压电区9008和第四压电区8009分别处于四个不同的压电材料中,即四个压电区分别位于四个不同的压电结构中。四个压电区均为上表面为正极表面,下表面为负极表面,极化方向均为从正极表面指向负极表面。分别在第一压电区9006、第二压电区9007、第三压电区9008、第四压电区9009的正极表面和负极表面耦合电极,第一引出电极9001、电极9003和第二引出电极9005为正电极,电极9002和电极9004为负电极,第一压电区9006、第二压电区9007、第三压电区9008和第四压电区9009的极化方向为从正电极指向负电极,第一引出电极9001、第一压电区9006与电极9002构成第一压电结构,电极9002、第二压电区9007和电极9003构成第二压电结构,电极9003、第三压电区9008和电极9004构成第三压电结构,第二引出电极9005、第四压电区9009和电极9004构成第四压电结构,且四个压电结构的极化方向均为从正电极指向负电极,电极9002连接第一压电结构的负电极和第二压电结构的负电极,电极9003连接第二压电结构的正电极和第三压电结构的正电极,电极9004连接第三压电结构和第四压电结构,第一引出电极9001和第二引出电极9005用于将压电传感装置与外接电路电连接。使用时,第一引出电极9001和第二引出电极9005分别连接引出线或通过导电轨迹与外部电路相连接,电极9002和电极9004与要测量的振动物体机械连接。
如图10所示,为实施例2的第六种结构示意图,包括第一引出电极10001、电极10002、电极10003、电极10004、电极10005、电极10006、电极10007、电极10008、第二引出电极10009、第一压电区10010、第二压电区10011、第三压电区10012、第四压电区10013、第五压电区10014、第六压电区10015、第七压电区10016和第八压电区10017。其中,第一压电区10010、第二压电区10011、第三压电区10012、第四压电区10013、第五压电区10014、第六压电区10015、第七压电区10016和第八压电区10017分别处于八个不同的压电材料中,即八个压电区分别处于八个不同的压电结构中。八个压电区均为上表面为正极表面,下表面为负极表面,极化方向均为从正极表面指向负极表面。分别在第一压电区10010、第二压电区10011、第三压电区10012、第四压电区10013、第五压电区10014、第六压电区10015、第七压电区10016和第八压电区10017的正极表面和负极表面耦合电极,电极10002、电极10004、电极10006、电极10008为正电极;电极10001、电极10003、电极10005、电极10007和电极10009为负电极。第一引出电极10001、第一压电区10010和电极10002构成第一压电结构,电极10002、第二压电区10011和电极10003构成第二压电结构,电极10005、第三压电区10012和电极10004构成第三压电结构,电极10004、第四压电区10013和电极10003构成第四压电结构,电极10005、第五压电区10014和电极10006构成第五压电结构,电极10006、第六压电区10015和电极10007构成第六压电结构,第二引出电极10009、第七压电区10016和电极10008构成第七压电结构,电极10008、第八压电区10017和电极10007构成第八压电结构,且八个压电结构的极化方向均为从正电极指向负电极。电极10002连接第一压电结构的正电极和第二压电结构的正电极,电极10004连接第三压电结构的正电极和第四压电结构的正电极,电极10003连接第二压电结构的负电极和第四压电结构的负电极,电极10005连接第三压电结构的负电极和第五压电结构的负电极,电极10006连接第五压电结构的正电极和第六压电结构的正电极,电极10007电极第五压电结构的负电极和第八压电结构的负电极,电极10008连接第七压电结构的正电极和第八压电结构的正电极,第一引出电极10001和第二引出电极10009用于将压电传感装置与外接电路电连接。。使用时,第一引出电极10001和第二引出电极10009分别连接引出线或通过导电轨迹与外部电路相连接,电极10003和电极10007与要测量的振动物体机械连接。本结构中,压电结构采用分层方式连接,形成三维阵列形式排列分布,本实施例中只给出三维阵列形式分布的一种结构,即2X2X2的三维矩阵排列,除了本实施例中所示的三维矩阵排列方式,还可以采用如2X2X3、3X3X3、3X3X4、5X5X5等多种三维矩阵排列形式。
实施例3
如图12所示,为本发明一种触摸检测装置结构示意图,包括触摸检测装置、压电传感装置、信号检测装置和信号分析装置。其中,用于接收触摸动作,压电传感装置用于将对触摸接收装置的触摸动作转化为压电信号,信号检测装置,用于检测压电传感装置输出的压电信号,信号处理装置,用于对检测到的压电信号进行分析,得到触摸位置信息,本实施例中,触摸接收装置为LED屏幕,压电传感装置至少为两个,若压电传感装置为两个,则分布于触摸接收装置一条对角线的两个端点位置,若压电传感装置为三个,则分别分布在触摸接收装置的四个角位置中的其中三个角位置,或者分别分布于触摸接收装置边界位置,若压电传感装置有四个,则分别分布于触摸接收装置的四个角位置或者分别分布在触摸接收装置边界位置,若压电传感装置为四个以上,则其中四个分布于触摸接收装置的四个角位置,其余压电传感装置分布于边界位置。,也可根据触摸接收装置的面积,将多个压电传感装置,即实施例1或实施例2中所述压电传感装置,排列为二维矩阵方式,如排列为3X3、5X5或7X7的矩阵,分布于触摸接收装置边界、角端和中间位置,若压电传感装置为3X3矩阵分布,则九个压电传感装置中,四个分布于角端,四个分布于触摸接收装置四条边的中间位置,一个分布于触摸接收装置中心点。
实施例4
如图13所示,本发明还提供一种触摸检测的方法,具体包括以下步骤:
触摸接收装置接收触摸动作,触摸接收装置可以为任何适合用于检测振动的装置,如玻璃板、塑料板、金属板等,也可为显示屏幕,如投影显示屏幕、液晶显示屏幕、LED显示屏幕、LCD显示屏幕或CRT显示屏幕等,本实施例中,触摸接收装置为LED显示屏幕,触摸动作包括对触摸接收装置的可产生压力的触摸,包括点击触摸、滑动触摸等;
压电传感装置检测到由触摸动作所产生的压力变化。本实施例中,压电传感装置为实施例1或实施例2中所述压电传感装置,且数量为四个,分别分布于LED显示屏幕的四个角,使用者点击触摸接收装置,即LED显示屏幕,则四个压电传感装置分别检测到触摸接收装置上压力的变化。
压电传感装置通过压电效应,将检测到的压力变化转化为电信号。压电传感装置由于压电效应,将压力变化转化为电荷变化,从而将其转化为电信号,并通过两个引出电极输出该电信号。
如图14所示,在上述触摸检测方法的基础上,做进一步改进,可以得到第二种触摸检测方法,本方法在第一种触摸检测方法的基础上,还包括以下步骤:
信号检测装置接收该压电信号,并对该信号进行预处理。其中,预处理包括为了保证信号检测的准确性和可靠性而进行的必要的处理,如去噪处理或信号放大等;
信号处理装置对检测到的压电信号进行分析,得到触摸动作的触摸位置和/或触摸轨迹。即对四个压电传感装置分别检测到的电信号进行处理,得到触摸位置,若触摸为连续触摸,如滑动触摸,可对触摸位置的变化进行对比分析,得到触摸轨迹。
本实施例中,也可根据触摸接收装置的面积,将多个压电传感装置,即实施例1或实施例2中所述压电传感装置,排列为二维矩阵方式,如排列为3X3、5X5或7X7的矩阵,分布于触摸接收装置边界、角端和中间位置,若压电传感装置为3X3矩阵分布,则九个压电传感装置中,四个分布于角端,四个分布于触摸接收装置四条边的中间位置,一个分布于触摸接收装置中心点,通过检测矩阵式排列的压电传感装置检测到的电信号,分析得到触摸位置,若触摸为连续触摸,如滑动触摸,可对触摸位置的变化进行对比分析,得到触摸轨迹,通过增加压电传感装置的数量,提高检测精确度。
应当理解,以上借助优选实施例对本发明的技术方案进行的说明是示意性的而非限制性的。本领域的普通技术人员在上述实施例的基础上可以对各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
Claims (14)
1.一种压电传感装置,其特征在于,包括多个压电区,每个压电区包括正极表面和负极表面,其中,所述多个压电区从第一个到最后一个依次采用相邻压电区同极表面与同极表面电连接的方式连接,即正极表面与正极表面电连接,或负极表面与负极表面电连接,还包括第一引出电极和第二引出电极,分别耦合于第一压电区和最后一个压电区的与相邻压电区的非连接端,即所述第一引出电极和所述第二引出电极分别耦合于所述第一压电区和最后一个压电区的同极表面;所述压电区的材料为压电材料。
2.根据权利要求1所述的压电传感装置,其特征在于,所述多个压电区处在单一压电结构中。
3.根据权利要求1所述的压电传感装置,其特征在于,所述多个压电区分别处在不同的压电结构中。
4.根据权利要求1所述的压电传感装置,其特征在于,所述多个压电区以并齐排列的方式排列分布。
5.根据权利要求1所述的压电传感装置,其特征在于,所述多个压电区以直线链接形式排列分布。
6.根据权利要求1所述的压电传感装置,其特征在于,所述多个压电区以二维阵列形式排列分布。
7.根据权利要求1所述的压电传感装置,其特征在于,所述多个压电区以分层形式排列分布,或者所述多个压电区以三维阵列形式排列分布。
8.根据权利要求1所述的压电传感装置,其特征在于,所述多个压电区之间包括填充的绝缘材料。
9.根据权利要求1所述的压电传感装置,其特征在于,所述多个压电区之间的距离可调。
10.一种触摸检测装置,其特征在于,包括触摸接收装置和至少一个权利要求1~9所述的压电传感装置,压电传感装置用于将对触摸接收装置的触摸动作转化为压电信号。
11.根据权利要求10所述的触摸检测装置,其特征在于,还包括信号检测装置,用于检测压电传感装置输出的压电信号;
还包括信号处理装置,用于对检测到的压电信号进行分析,得到触摸位置信息;
所述压电传感装置有四个,分别分布于触摸接收装置的四个角位置或者分别分布在触摸接收装置边界位置。
12.一种触摸检测的方法,其特征在于,该检测触摸位置的方法应用权利要求11所述触摸检测装置来实现,包括以下步骤:
S100:触摸接收装置接收触摸动作;
S200:压电传感装置检测到由触摸动作所产生的压力变化;
S300:压电传感装置通过压电效应,将检测到的压力变化转化为电信号。
13.根据权利要求12所述的触摸检测方法,其特征在于,还包括以下步骤:
S400:压电传感装置输出压电信号;
S500:信号检测装置接收该压电信号,并对该信号进行预处理;
S600:信号处理装置对预处理后的压电信号进行分析,得到触摸动作的触摸位置和/或触摸轨迹。
14.根据权利要求13所述的触摸检测方法,其特征在于,所述预处理包括去噪处理、信号放大。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201611011803.2A CN106449966B (zh) | 2016-11-17 | 2016-11-17 | 一种压电传感装置及应用 |
PCT/CN2017/110800 WO2018090892A1 (zh) | 2016-11-17 | 2017-11-14 | 一种压电传感装置及应用 |
EP17872003.3A EP3534418B1 (en) | 2016-11-17 | 2017-11-14 | Piezoelectric sensing device and application |
JP2019527415A JP6896857B2 (ja) | 2016-11-17 | 2017-11-14 | 圧電気センサ装置及び応用 |
US16/413,657 US11301077B2 (en) | 2016-11-17 | 2019-05-16 | Piezoelectric sensing apparatus and applications thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201611011803.2A CN106449966B (zh) | 2016-11-17 | 2016-11-17 | 一种压电传感装置及应用 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106449966A CN106449966A (zh) | 2017-02-22 |
CN106449966B true CN106449966B (zh) | 2019-07-26 |
Family
ID=58220141
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201611011803.2A Active CN106449966B (zh) | 2016-11-17 | 2016-11-17 | 一种压电传感装置及应用 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11301077B2 (zh) |
EP (1) | EP3534418B1 (zh) |
JP (1) | JP6896857B2 (zh) |
CN (1) | CN106449966B (zh) |
WO (1) | WO2018090892A1 (zh) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106449966B (zh) * | 2016-11-17 | 2019-07-26 | 北京钛方科技有限责任公司 | 一种压电传感装置及应用 |
CN110132458B (zh) * | 2018-02-09 | 2021-10-19 | 北京钛方科技有限责任公司 | 一种动态或准动态力度检测装置及方法 |
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CN110554792B (zh) * | 2018-06-04 | 2021-10-19 | 北京钛方科技有限责任公司 | 传感器校准调节装置及方法 |
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US11537229B2 (en) | 2019-01-17 | 2022-12-27 | Beijing Taifang Technology Co., Ltd. | Touch pad pressure detection method and apparatus, storage medium and computer device |
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CN106449966B (zh) * | 2016-11-17 | 2019-07-26 | 北京钛方科技有限责任公司 | 一种压电传感装置及应用 |
CN206210845U (zh) * | 2016-11-17 | 2017-05-31 | 北京钛方科技有限责任公司 | 一种压电传感装置 |
-
2016
- 2016-11-17 CN CN201611011803.2A patent/CN106449966B/zh active Active
-
2017
- 2017-11-14 WO PCT/CN2017/110800 patent/WO2018090892A1/zh unknown
- 2017-11-14 EP EP17872003.3A patent/EP3534418B1/en active Active
- 2017-11-14 JP JP2019527415A patent/JP6896857B2/ja active Active
-
2019
- 2019-05-16 US US16/413,657 patent/US11301077B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6896857B2 (ja) | 2021-06-30 |
WO2018090892A1 (zh) | 2018-05-24 |
EP3534418A1 (en) | 2019-09-04 |
US20190267995A1 (en) | 2019-08-29 |
EP3534418B1 (en) | 2022-05-11 |
JP2019537844A (ja) | 2019-12-26 |
CN106449966A (zh) | 2017-02-22 |
US11301077B2 (en) | 2022-04-12 |
EP3534418A4 (en) | 2019-10-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |