CN105424232A - 一种利用电感式感应的压力传感器及传感方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提出了一种利用电感式感应的压力传感器及传感方法,所述压力传感器包括感应器、电感数字转换模块、微控制器模块、和参考时钟,其中所述电感数字转换模块进一步包括感应器驱动模块、阻抗和电感测量模块、阈值比较器、高分辨率电感测量模块、寄存和逻辑器和通信接口。本发明采用电感方式测量感应器内的金属应变片/膜在外界压力下的形变量来检测压力的压力传感器,实现高精度(亚微米级别)的非接触式测量。本发明的压力传感器能对线性/角位置、位移、运动、压缩、振动、金属成分等进行高精度测量,并能够以低于其他竞争对手解决方案的成本提供更为出色的性能和可靠性。
Description
技术领域
本发明属于压力传感领域,尤其是涉及一种利用电感式感应的压力传感器及传感方法。
背景技术
现有的感应技术包括电阻式(开/关)感应,FSR(压力)感应、超声波感应、电容式感应、霍尔感应以及光学感应。但是其中,电阻式感应在污染环境中可靠性低,FSR感应的分辨率受限,不能远距感应,超声波感应不适合近程感应,电容式感应过于敏感且选择性差,霍尔感应需要磁铁和校正,光学感应在污染环境中可靠性较低。
因此,具有广阔应用前景的电感式感应进入人们的视线。电感式感应的好处在于:不再需要磁铁,非接触式感应带来了搞可靠性,对环境污染物(灰尘、污垢等)不敏感,能实现亚微米级的分辨率,传感器的成本低,电子设备可远离传感器布置。因此,市场需要一种新型的利用电感式感应的传感器。
发明内容
导电物体与AC电磁(EM)场相接触会引起磁场的场强变化,通过一个感应装置,比如电感,能够检测到此场强变化。典型地,一个电感器连同一个电容可构成一个谐振器,又名LC电路/回路,其可用于产生一个EM场。对于LC回路,磁场干扰效应体现为传感器电感的明显改变,这进一步体现在振荡频率的变化上。根据此原理,根据本发明的传感器含有电感至数字转换器(LDC),此LDC用于测量LC谐振器的振荡频率并进行数字转换。该传感器输出一个与频率成正比的数字值。当然,该频率测量值还能被转换为等效电感。
技术上说,AC电流流经电感元件时会产生AC磁场。此时,如果导体,比如金属物体,接近此导体时,该AC磁场会在该导体的表面引发一环流(涡流)。该涡流与导体的距离、尺寸和成分相关。
所述涡流会引发其自身的磁场,这个磁场与电感元件产生的原磁场相反。这样,导体就相当于一个次级线圈,而电感元件则相当于一个初级线圈,两者之间的耦合效应与电感元件,以及导体的电阻率、距离、尺寸和形状相关。
为减少驱动所述电感元件所需的电能,可在感应器中添加了一个与电感元件并联的电容,构成一个谐振电路(LC回路),在向电路注入能量时,所述谐振电路在与感应器的电感值和并联电容值相关的频率上震荡。
这样,在测量时只需补偿感应器中的寄生损失,该寄生损失可由LC电路在运行频率上的AC串联电阻RS所代表。这样,所构成的振荡器被限制在LC电路的谐振频率上工作,并需要注入足够的能量以补偿串联电阻RS所造成的损失。
这样,次级线圈所造成的磁场的电阻和电感可被模型化为初级线圈上与距离相关的电抗元件,如图1所示,感应器连同接近的导体整体上可被视为一个并联L-C结构,其等效并联电阻为RP=LSENSOR/RSCSENSOR,其中RP为目标距离为d时感应器的并联电容值;RS为感应器的串联电阻值;CSENSOR为感应器电容值,其为LC谐振器的电容值CTANK与并联电容值CPAR的和;LSENSOR为目标距离为d时感应器的电感值。
可将RP视为感应器驱动器的负载,该负载用于保持震荡幅度。目标物体(导体)的位置会改变RP的值,反过来,根据的RP值我们可以确定目标物体的位置。
此外,根据测量的振荡频率fSENSOR,还可计算出谐振器的电感值LSENSOR=1/(2π×fSENSOR)2×CSENSOR。
由上可见,目标的位置/距离与计算出的RP和LSENSOR相关。
在具体应用中,可在感应器中整合一个金属应变片,该金属应变片在外界压力作用下可产生形变,例如,在压力作用下靠近或远离LC谐振器,进而改变LC谐振器的振荡频率,根据以上原理可测量出外界压力的大小,即实现采用电感方式测量金属应变片(膜)的形变量来检测压力的高精度(亚微米级别)的非接触式测量。
基于以上所述的电感感测技术,本发明提出一种利用电感式感应的压力传感器,其包括:
感应器,包括具有预设谐振频率的LC谐振器以及可随外界压力产生形变并与该LC谐振器分离的金属应变片;
电感数字转换模块,与所述感应器的输出端相连;
微控制器模块,与所述电感数字转换模块的输出端相连;
参考时钟,提供参考时钟频率;以及
其中,所述电感数字转换模块进一步包括:
感应器驱动模块,与所述感应器相连,驱动并调节所述感应器的LC谐振器使其震荡幅度保持在恒定水平上;
阻抗和电感测量模块,与所述感应器驱动模块相连,测量所述LC谐振器的阻抗和谐振频率;
阈值比较器,与所述阻抗和电感测量模块相连,将阻抗和电感测量模块的测量结果与预设的阈值进行比较;
高分辨率电感测量模块,与所述感应器驱动模块相连,测量所述LC谐振器的谐振频率;
寄存和逻辑器,与所述阻抗和电感测量模块以及高分辨率电感测量模块相连,暂存指令、数据和位址并对电感测量模块以及高分辨率电感测量模块的测量结果进行数字化转换;
通信接口,电感数字转换模块通过所述通信接口与微控制器模块相连。
优选地,所述阻抗和电感测量模块的测量和高分辨率电感测量模块的测量异步进行。
优选地,所述电感数字转换模块还包括可变增益放大器。
优选地,在此实施例中,所述通信接口为串行外设接口(SPI)。
此外,本发明还提出了一种利用电感式感应的多路压力传感器,包括:
多个感应器,每一个感应器均包括具有预设谐振频率的LC谐振器以及可随外界压力产生形变并与该LC谐振器分离的金属应变片;
电感数字转换模块,与所述感应器的输出端相连;
微控制器模块,与所述电感数字转换模块的输出端相连;
参考时钟,提供参考时钟频率;以及
其中,所述电感数字转换模块进一步包括:
多个感应器驱动模块,驱动并调节所述感应器的LC谐振器使其震荡幅度保持在恒定水平上;以及
通信接口,电感数字转换模块通过所述通信接口与微控制器模块相连;处理核心,含有:
阻抗和电感测量模块,与所述感应器驱动模块相连,同时测量所述LC谐振器的阻抗和谐振频率;
阈值比较器,与所述阻抗和电感测量模块相连,将阻抗和电感测量模块的测量结果与预设的阈值进行比较;
高分辨率电感测量模块,与所述感应器驱动模块相连,测量所述LC谐振器的谐振频率;
寄存和逻辑器,与所述阻抗和电感测量模块以及高分辨率电感测量模块相连,暂存指令、数据和位址并对电感测量模块以及高分辨率电感测量模块的测量结果进行数字化转换;
多路器,连接感应器驱动模块和处理核心,为活动通道排序。
优选地,所述阻抗和电感测量模块的测量和高分辨率电感测量模块的测量异步进行。
优选地,所述电感数字转换模块还包括可变增益放大器。
优选地,在此实施例中,所述通信接口为两线式串行总线(I2C)。
再此外,本发明还提出了一种利用电感式感应的压力传感方法,包括以下步骤:
(1)提供具有预设谐振频率的感应器;
(2)通过感应器驱动模块向所述感应器提供AC电流以产生磁场;
(3)在金属应变片随外界压力产生形变时,通过感应器驱动模块调节感应器的振荡幅度使其保持在恒定水平上;
(4)监测注入感应器中的能量,计算所述感应器的等效并联电阻RP;
(5)通过与参考频率fREF的比较获得感应器的振荡频率fSENSOR;
(6)对测量出的等效并联电阻RP和振荡频率fSENSOR进行数字化转换;
(7)将等效并联电阻RP和振荡频率fSENSOR的测量结果和预设的阈值进行比较,输出开关信号。
根据本发明的利用电感感测技术的传感器可实现对线性/角位置、位移、运动、压缩、振动、金属成分以及市面上包括汽车、消费类、计算机、工业、医疗和通信应用在内的很多其他应用的高精度测量。电感感测技术能够以低于其他竞争对手解决方案的成本提供更为出色的性能和可靠性。
附图说明
根据下文的详细描述并结合附图,本发明的特征、特性以及优势会将会变得更加显而易见,其中相同的附图标记表示相同的特征,并且其中:
图1为LC谐振器的并联电学模型;
图2为根据本发明的利用电感式感应的传感器的原理框图;
图3为根据本发明的利用电感式感应的多路传感器的原理框图;
图4为根据本发明的利用电感式感应的传感方法的流程图。
具体实施方式
如图2所述,在一个优选实施例中,根据本发明的利用电感式感应的传感器包括感应器1、电感数字转换模块2、微控制器模块3以及参考时钟4,其中感应器1由LC谐振器11和金属应变片12组成,电感数字转换模块2由感应器驱动模块21、阻抗和电感测量子模块22、阈值比较器23、高分辨率电感测量模块24、寄存和逻辑器25以及通信接口26组成。
工作中,电感数字转换模块2能够同时测量连接的感应器1中LC谐振器11的阻抗RP和振荡频率fSENSOR,即通过使用谐振器感应导电材料的接近和移动,使得其能够用于直接测量物理系统的变化。
根据本发明的传感器通过闭环调节谐振器的振荡幅度使其保持在恒定电平上,同时监测谐振器的能量消耗,进而算出感应器的阻抗和振荡频率,即通过监测注入谐振器中的能量/电流I,所述传感器能够计算出所述谐振器的等效并联电阻,RP,并对其进行数字化处理后作为数字值返回。
此外,所述传感器的阈值比较器模块能够对阻抗和电感测量子模块(RP+L)的转换结果和可编程的阈值进行比较,即通过对测出的感应器频率和提供的参考频率进行比较,给出开关信号。测出的传感器频率fSENSOR可用于测定LC电路的电感LSENSOR。
具体地,本发明的感应器1含有LC谐振器11和金属应变片12,其中,LC谐振器11密封在传感器内,金属应变片12可由非金属材料上的金属膜构成,其在压力下的形变等效于金属导体相对LC谐振器11的相对位移。LC谐振器11具有预设的谐振频率(其电感和电容值均已知)并与感应器驱动模块21相连。测量时,感应器驱动模块21向LC谐振器11提供AC电流,产生AC磁场,在目标物体靠近时,比如,压下金属应变片12,磁场产生变化,感应器驱动模块21需向LC谐振器11注入能量以补偿因电感量改变(因外部物体靠近)而产生的寄生损失,以保持LC谐振器11的震荡幅度不变(闭环调节)。
对此,本发明的电感数字转换模块2(LDC)具有两个独立的测量子系统,对感应器1的阻抗和振荡频率进行测量,包括阻抗和电感测量子模块22(RP+L子系统)和高分辨率电感测量子模块24(LHR子系统)。所述两个子系统均能同时进行电感转换,但在不同的采样间隔上进行,即RP+L转换会与LHR转换异步进行。
其中的RP+L子系统能够同时测量LC谐振器的阻抗RP和振荡频率fSENSOR。首先,传感器1通过闭环调节LC谐振器11的振荡幅度使其保持在一恒定电平上来实现此测量阻抗RP的目的。通过监测供给LC谐振器1的能量,根据本发明的LDC计算出RP值。该LDC再将此值转化为与其成正比的数字化值,并将转化后的数字化值返回给微处理器。
此外,所述设备通过计算参考频率fREF的周期数量测出LC电路的震荡频率,测量出的频率fSENSOR可用于计算LC电路(感应器1)的电感值LSENSOR。
根据本发明的传感器还提供了可编程的RP范围,换句话说,其还包括一置于LDC的数模数转换器(ADC)前端的可变增益放大器(VGA,图中未示出),以缩放RP的测量范围,为小RP提供高分辨率。
LHR测量子系统提供了高分辨率的电感(L)测量。此L测量可提供高于RP+L子系统提供的测量分辨率。此LHR子系统的测定基于恒定的转换时间间隔,而RP+L子系统的转换间隔则依赖于感应器频率。RP+L转换与LHR转换异步进行。LHR子系统的采样率由参考计数设定决定,更长的转换间隔意味着更准确的LHR测量。
借助于可编程的阈值寄存器和可用的比较器,所述传感器能够提供一开关信号输出(仅适用于RP+L子系统的输出结果),此时所述传感器能作为一开关使用。
所述传感器支持500KHz至10MHz的振荡频率和1.25KΩ至90KΩ的RP的组合。此设备可通过一个简单的4线SPI(通信接口26)实现与微控制器模块3的数据通信,即通过此SPI实现对内部的寄存器的配置和对外部的数据输出。
根据本发明的传感器设备可在1.8V(–5%)至3.3V(+5%)的宽供电范围上工作。
此外,LDC工作所需的时钟频率/参考频率fREF,可由外部提供的时钟信号或内置的参考时钟4提供。
如图3所示,在另一个优选实施例中,根据本发明的传感器包括多路LDC,对应地,还包括多个感应器,多个感应器驱动器,然后是对活动通道排序的多路器(28),它们与测量并数字化传感器频率(fSENSOR)的处理核心27相连。所述处理核心27包括上文所述的阻抗和电感测量子模块22、阈值比较器23、高分辨率电感测量模块24以及寄存和逻辑器25,所述处理核心27使用参考频率fREF对传感频率进行测量。参考频率fREF可来自内部的参考时钟4(振荡器),或来自外部提供的时钟信号。每一通道的数字化输出与比值fSENSOR/fREF成正比(其中fSENSOR为感应器频率,fREF为参考时钟频率)。
在此实施例中,通信接口26为两线式串行总线(I2C),此I2C接口用于支持设备配置并将数字化的频率值发送给微控制器模块3。
此多路传感器的工作原理与上文所述的单路传感器类似,在此不在赘述。
如图4所示,本发明还提出了一种传感方法,包括以下步骤:
(1)提供具有预设谐振频率的感应器1;
(2)通过感应器驱动模块21向所述感应器1提供AC电流以产生磁场;
(3)在目标靠近时,通过感应器驱动模块21调节感应器1的振荡幅度使其保持在恒定水平上;
(4)监测注入感应器1中的能量,计算所述感应器的等效并联电阻RP;
(5)通过与参考频率fREF的比较获得感应器的振荡频率fSENSOR;
(6)对测量出的等效并联电阻RP和振荡频率fSENSOR进行数字化转换;
(7)对等效并联电阻RP和振荡频率fSENSOR的测量结果和预设的阈值进行比较,输出开关信号。
以上只是示例性的描述,以上步骤可在不同的次序上,或者同时执行。
上述示例性实施例的描述是为了使任何本领域的技术人员能够理解或使用权利要求的主题。本领域技术人员对这些实施例的各种修改将是显然的,且本文所界定的一般原理可应用于其它实施例而无需创造性的能力。因此,要求保护的主题并非旨在被限定于本文中所示的实施例,而是应被赋予与本文所揭示的原理和新颖特征相一致的最广范围。
Claims (9)
1.一种利用电感式感应的压力传感器,包括:
感应器(1),包括具有预设谐振频率的LC谐振器(11)以及可随外界压力产生形变并与该LC谐振器分离的金属应变片(12);
电感数字转换模块(2),与所述感应器(1)的输出端相连;
微控制器模块(3),与所述电感数字转换模块(2)的输出端相连;
参考时钟(4),提供参考时钟频率;以及
其中,所述电感数字转换模块(2)进一步包括:
感应器驱动模块(21),与所述感应器(1)相连,驱动并调节所述感应器(1)的LC谐振器(11)使其震荡幅度保持在恒定水平上;
阻抗和电感测量模块(22),与所述感应器驱动模块(21)相连,测量所述LC谐振器(11)的阻抗和谐振频率;
阈值比较器(23),与所述阻抗和电感测量模块(22)相连,将阻抗和电感测量模块(22)的测量结果与预设的阈值进行比较;
高分辨率电感测量模块(24),与所述感应器驱动模块(21)相连,测量所述LC谐振器(11)的谐振频率;
寄存和逻辑器(25),与所述阻抗和电感测量模块(22)以及高分辨率电感测量模块(23)相连,暂存指令、数据和位址并对电感测量模块(22)以及高分辨率电感测量模块(23)的测量结果进行数字化转换;
通信接口(26),电感数字转换模块(2)通过所述通信接口(26)与微控制器模块(3)相连。
2.根据权利要求1所述的利用电感式感应的压力传感器,其中所述阻抗和电感测量模块(22)的测量和高分辨率电感测量模块(24)的测量异步进行。
3.根据权利要求1所述的利用电感式感应的压力传感器,其中所述电感数字转换模块(2)还包括可变增益放大器。
4.根据权利要求1所述的利用电感式感应的压力传感器,其中所述通信接口(26)为串行外设接口(SPI)。
5.一种利用电感式感应的多路压力传感器,包括:
多个感应器(1),每一个感应器(1)均包括具有预设谐振频率的LC谐振器(11)以及可随外界压力产生形变并与该LC谐振器分离的金属应变片(12);
电感数字转换模块(2),与所述感应器(1)的输出端相连;
微控制器模块(3),与所述电感数字转换模块(2)的输出端相连;
参考时钟(4),提供参考时钟频率;以及
其中,所述电感数字转换模块(2)进一步包括:
多个感应器驱动模块(21),驱动并调节所述感应器(1)的LC谐振器(11)使其震荡幅度保持在恒定水平上;以及
通信接口(26),电感数字转换模块(2)通过所述通信接口(26)与微控制器模块(3)相连;
处理核心(27),含有:
阻抗和电感测量模块(22),与所述感应器驱动模块(21)相连,同时测量所述LC谐振器(11)的阻抗和谐振频率;
阈值比较器(23),与所述阻抗和电感测量模块(22)相连,将阻抗和电感测量模块(22)的测量结果与预设的阈值进行比较;
高分辨率电感测量模块(24),与所述感应器驱动模块(21)相连,测量所述LC谐振器(11)的谐振频率;
寄存和逻辑器(25),与所述阻抗和电感测量模块(22)以及高分辨率电感测量模块(24)相连,暂存指令、数据和位址并对电感测量模块(22)以及高分辨率电感测量模块(24)的测量结果进行数字化转换;
多路器(28),连接感应器驱动模块(21)和处理核心(27),为活动通道排序。
6.根据权利要求5所述的利用电感式感应的多路压力传感器,其中所述阻抗和电感测量模块(22)的测量和高分辨率电感测量模块(24)的测量异步进行。
7.根据权利要求5所述的利用电感式感应的多路压力传感器,其中所述电感数字转换模块(2)还包括可变增益放大器。
8.根据权利要求5所述的利用电感式感应的多路压力传感器,其中所述通信接口(26)为两线式串行总线(I2C)。
9.一种利用电感式感应的压力传感方法,包括以下步骤:
(1)提供具有预设谐振频率的感应器;
(2)通过感应器驱动模块向所述感应器提供AC电流以产生磁场;
(3)在外界压力改变时,通过感应器驱动模块调节感应器的振荡幅度使其保持在恒定水平上;
(4)监测注入感应器中的能量,计算所述感应器的等效并联电阻RP;
(5)通过与参考频率fREF的比较获得感应器的振荡频率fSENSOR;
(6)对测量出的等效并联电阻RP和振荡频率fSENSOR进行数字化转换;
(7)对等效并联电阻RP和振荡频率fSENSOR的测量结果和预设的阈值进行比较,输出开关信号。
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WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |