JP2016006858A5 - - Google Patents

Description

本発明に係る圧電材料は、下記一般式（１）：
Ｂａ_ａ（Ｔｉ_１−ｘＺｒ_ｘ）Ｏ_３ （１）（式中、０．０２≦ｘ≦０．１３、０．９８６≦ａ≦１．０２）
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物と、
Ｍｎと、
３価のＢｉを有する圧電材料であって、
前記金属酸化物１モルに対して、
前記Ｍｎの含有量が０．００２０モル以上０．０１５０モル以下、
前記Ｂｉの含有量が０．０００４２モル以上０．００８５０モル以下であることを特徴とする。

Claims (21)

1. 下記一般式（１）で表わされるペロブスカイト型金属酸化物と、
   Ｍｎと、
   ３価のＢｉを有する圧電材料であって、
   前記金属酸化物１モルに対して、
   前記Ｍｎの含有量が０．００２０モル以上０．０１５０モル以下、
   前記Ｂｉの含有量が０．０００４２モル以上０．００８５０モル以下であることを特徴とする圧電材料。
   Ｂａ_ａ（Ｔｉ_１−ｘＺｒ_ｘ）Ｏ_３ （１）（式中、０．０２≦ｘ≦０．１３、０．９８６≦ａ≦１．０２）
2. 前記圧電材料がＳｉまたはＢの少なくとも一方を含み、前記ＳｉおよびＢの含有量の総和が前記一般式（１）で表されるペロブスカイト型金属酸化物１００重量部に対して金属換算で０．００１重量部以上４．０００重量部以下であることを特徴とする請求項１に記載の圧電材料。
3. 正方晶と斜方晶との相転移温度Ｔｔｏが１０℃以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電材料。
4. 前記圧電材料を構成する結晶粒の平均円相当径が５００ｎｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電材料。
5. 前記圧電材料の相対密度が９３％以上１００％以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電材料。
6. 前記圧電材料の相対密度が９３％以上９９．５％以下であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の圧電材料。
7. 前記圧電材料の周波数１ｋＨｚにおける誘電正接が０．００６以下であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の圧電材料。
8. 電極および圧電材料部を少なくとも有する圧電素子であって、前記圧電材料部に含まれる圧電材料が請求項１乃至７のいずれか１項に記載の圧電材料であることを特徴とする圧電素子。
9. 前記圧電材料部と、前記電極とが交互に積層された請求項８に記載の圧電素子。
10. 前記電極がＡｇとＰｄを含み、前記Ａｇの含有重量Ｍ１と前記Ｐｄの含有重量Ｍ２との重量比Ｍ１／Ｍ２が０．２５≦Ｍ１／Ｍ２≦４．０であることを特徴とする請求項９に記載の圧電素子。
11. 前記電極がＮｉおよびＣｕの少なくともいずれか１種を含むことを特徴とする請求項９に記載の圧電素子。
12. 請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の圧電素子を備えた振動部を備えた液室と、前記液室と連通する吐出口を少なくとも有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
13. 被転写体の載置部と請求項１２に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする液体吐出装置。
14. 請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の圧電素子を備えた振動体と、前記振動体と接触する移動体とを少なくとも有することを特徴とする超音波モータ。
15. 請求項１４に記載の超音波モータを備えた駆動部を有することを特徴とする光学機器。
16. 請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の圧電素子を備えた振動板を含む振動体を有することを特徴とする振動装置。
17. 請求項１６に記載の振動装置を備えた振動を有することを特徴とする塵埃除去装置。
18. 請求項１７に記載の塵埃除去装置と撮像素子ユニットとを少なくとも有する撮像装置であって、前記塵埃除去装置の振動板を前記撮像素子ユニットの受光面側に設けたことを特徴とする撮像装置。
19. 請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の圧電素子を備えたことを特徴とする電子機器。
20. 請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の圧電素子を備えたことを特徴とする圧電音響部品。
21. 圧電素子の製造方法であって、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の圧電材料と電極を設け、前記圧電材料が正方晶となる温度で電圧を印加し、電圧を保持した状態で前記圧電材料が斜方晶となる温度まで冷却することを特徴とする圧電素子の製造方法。