JP6537348B2 - 圧電材料、圧電素子、圧電素子の製造方法、および電子機器 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 201
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 68
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 48
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 41
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 41
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 30
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 27
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 24
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 23
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 13
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 48
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 40
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 37
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 34
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 33
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 30
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 27
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 20
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 18
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 17
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 15
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 13
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 12
- AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L barium carbonate Chemical compound [Ba+2].[O-]C([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 10
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 8
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910021523 barium zirconate Inorganic materials 0.000 description 7
- DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N barium(2+);dioxido(oxo)zirconium Chemical compound [Ba+2].[O-][Zr]([O-])=O DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 6
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 5
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 4
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- -1 oxide Substances 0.000 description 3
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 3
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N barium nitrate Chemical compound [Ba+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009694 cold isostatic pressing Methods 0.000 description 2
- 239000012612 commercial material Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000002772 conduction electron Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007580 dry-mixing Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N Borate Chemical compound [O-]B([O-])[O-] BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 241000238366 Cephalopoda Species 0.000 description 1
- 230000005343 Curie-Weiss law Effects 0.000 description 1
- 229920001651 Cyanoacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWCLLHOVUTZFKS-UHFFFAOYSA-N Methyl cyanoacrylate Chemical compound COC(=O)C(=C)C#N MWCLLHOVUTZFKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- ITHZDDVSAWDQPZ-UHFFFAOYSA-L barium acetate Chemical compound [Ba+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O ITHZDDVSAWDQPZ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- XBJJRSFLZVLCSE-UHFFFAOYSA-N barium(2+);diborate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[Ba+2].[O-]B([O-])[O-].[O-]B([O-])[O-] XBJJRSFLZVLCSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L barium(2+);oxomethanediolate Chemical compound [Ba+2].[O-][14C]([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000012669 compression test Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005292 diamagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N edrophonium chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](C)(C)C1=CC=CC(O)=C1 BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000004993 emission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000462 isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229940071125 manganese acetate Drugs 0.000 description 1
- 229940093474 manganese carbonate Drugs 0.000 description 1
- 235000006748 manganese carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000011656 manganese carbonate Substances 0.000 description 1
- UOGMEBQRZBEZQT-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);diacetate Chemical compound [Mn+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O UOGMEBQRZBEZQT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000016 manganese(II) carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- XMWCXZJXESXBBY-UHFFFAOYSA-L manganese(ii) carbonate Chemical compound [Mn+2].[O-]C([O-])=O XMWCXZJXESXBBY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- GEYXPJBPASPPLI-UHFFFAOYSA-N manganese(iii) oxide Chemical compound O=[Mn]O[Mn]=O GEYXPJBPASPPLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000009768 microwave sintering Methods 0.000 description 1
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005298 paramagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000010532 solid phase synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001694 spray drying Methods 0.000 description 1
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000003826 uniaxial pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/02—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by distortion, beating, or vibration of the surface to be cleaned
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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Description
Baa(Ti1−xZrx)O3 (1)(式中、0.02≦x≦0.13、0.986≦a≦1.02)
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物と、
Mnと、
3価のBiを有する圧電材料であって、
前記金属酸化物1モルに対して、
前記Mnの含有量が0.0020モル以上0.0150モル以下、
前記Biの含有量が0.00042モル以上0.00850モル以下であることを特徴とする。
Baa(Ti1−xZrx)O3 (1)
(式中、0.02≦x≦0.13、0.986≦a≦1.02)
本発明において、ペロブスカイト型金属酸化物とは、岩波理化学辞典 第5版(岩波書店 1998年2月20日発行)に記載されているような、理想的には立方晶構造であるペロブスカイト構造を持つ金属酸化物を指す。ペロブスカイト構造を持つ金属酸化物は一般にABO3の化学式で表現される。ペロブスカイト型金属酸化物において、元素A、Bは各々イオンの形でAサイト、Bサイトと呼ばれる単位格子の特定の位置を占める。例えば、立方晶系の単位格子であれば、A元素は立方体の頂点、B元素は体心に位置する。O元素は酸素の陰イオンとして立方体の面心位置を占める。
本発明の圧電材料は、前記一般式(1)において、AサイトにおけるBaのモル量と、BサイトにおけるTiとZrのモル量との比を示すaは、0.9860≦a≦1.0200の範囲である。
前記第1副成分はMnよりなる。前記Mnの含有量は前記ペロブスカイト型金属酸化物1モルに対して0.0020モル以上0.0150モル以下である。
(式2) χ=C/(T−θ) (C:キュリー定数、θ:常磁性キュリー温度)
前記第2副成分はBiよりなる。前記金属酸化物1モルに対する前記Biの含有量は、0.00042モル以上0.00850モル以下である。
本発明に係る圧電材料は、前記圧電材料がSiまたはBの少なくとも一方を含む第3副成分を有していると好ましい。その第3副成分の含有量が前記一般式(1)で表されるペロブスカイト型金属酸化物100重量部に対して金属換算で0.001重量部以上4.000重量部以下であることが好ましい。より好ましくは0.003重量部以上2.000重量部以下である。
本発明に係る圧電材料は、前記圧電材料を構成する結晶粒の平均円相当径が500nm以上10μm以下であることが好ましい。平均円相当径とは、複数の結晶粒の円相当径の平均値を示す。結晶粒の平均円相当径をこの範囲にすることで、本発明の圧電材料は、良好な圧電特性と機械的強度を有することが可能となる。平均円相当径が500nm未満であると、圧電特性が充分でなくなる恐れがある。一方で、10μmより大きくなると機械的強度が低下する恐れがある。より好ましい範囲は500nm以上4.5μm以下である。
本発明の圧電材料は、相対密度が93%以上100%以下であることが好ましい。
本発明の圧電材料は、周波数1kHzにおける誘電正接が0.006以下であることが好ましい。誘電正接の測定には市販のインピーダンスアナライザを用い、周波数1kHz、電界強度が10V/cmの交流電界を印加することにより測定することができる。
本発明に係る圧電材料の形態は限定されず、セラミックス、粉末、単結晶、スラリーなどのいずれの形態でも構わないが、セラミックスであることが好ましい。本明細書中において「セラミックス」とは、基本成分が金属酸化物であり、熱処理によって焼き固められた結晶粒子の凝集体(バルク体とも言う)、いわゆる多結晶を表す。焼結後に加工されたものも含まれる。
本発明に係る圧電材料の製造方法は特に限定されないが、以下に代表的な製造方法を説明する。
圧電材料を製造する場合は、構成元素を含んだ酸化物、炭酸塩、硝酸塩、蓚酸塩、酢酸塩などの固体粉末から成形体を作り、その成形体を常圧下で焼結する一般的な手法を採用することができる。原料としては、Ba化合物、Ti化合物、Zr化合物、Mn化合物、Bi化合物、B化合物とSi化合物等の金属化合物から構成される。
前記成形体とは、前記固体粉末を成形した固形物である。成形方法としては、一軸加圧加工、冷間静水圧加工、温間静水圧加工、鋳込成形と押し出し成形を挙げることができる。成形体を作製する際には、造粒粉を用いることが好ましい。造粒粉を用いた成形体を焼結すると、焼結体の結晶粒の大きさの分布が均一になり易いという利点がある。また、焼結体の絶縁性を上げるという観点で、前記成形体にはSiまたはBの少なくとも一方を含む第3副成分を含むことが好ましい。
前記成形体の焼結方法は特に限定されない。
図1は本発明の圧電素子の構成の一実施形態を示す概略図である。本発明に係る圧電素子は、第一の電極1、圧電材料部2および第二の電極3を少なくとも有する圧電素子であって、前記圧電材料部2が本発明の圧電材料であることを特徴とする。
前記圧電素子は一定方向に分極軸が揃っているものであると、より好ましい。分極軸が一定方向に揃っていることで前記圧電素子の圧電定数は大きくなる。
前記圧電素子の圧電定数および機械的品質係数を計測するにはまず、市販のインピーダンスアナライザ(AgilentTechonologies社製 4194A)を用いて得られる共振周波数及び反共振周波数の測定結果を得る。そして測定結果を用いて電子情報技術産業協会規格(JEITA EM−4501)に基づいて、計算により求めることができる。以下、この方法を共振−反共振法と呼ぶ。
TtoおよびTCは試料の温度を変化させながらインピーダンスアナライザ(AgilentTechonologies社製 4194A)で静電容量を測定して求めることができる。同時に誘電正接の温度依存性もインピーダンスアナライザで測定し求めることができる。Ttoは、結晶系が正方晶(tetragonal)から斜方晶(orthorhombic)に変化する温度である。Ttoを計測するには、試料の温度を一旦室温から−100℃まで冷却した後に150℃まで加熱をし、試料を冷却しながら誘電率を測定し、誘電率を試料温度で微分した値が最大となる温度を計測する。その温度をTtoと定義した。
次に、本発明の積層圧電素子について説明する。
次に、本発明の液体吐出ヘッドについて説明する。
次に、本発明の液体吐出装置について説明する。本発明の液体吐出装置は、被転写体の載置部と前記液体吐出ヘッドを備えたものである。
次に、本発明の超音波モータについて説明する。本発明に係る超音波モータは、前記圧電素子または前記積層圧電素子を配した振動体と、前記振動体と接触する移動体とを少なくとも有することを特徴とする。
次に、本発明の光学機器について説明する。本発明の光学機器は、駆動部に前記超音波モータを備えたことを特徴とする。
粒子、粉体、液滴の搬送、除去等で利用される振動装置は、電子機器等で広く使用されている。
次に、本発明の撮像装置について説明する。本発明の撮像装置は、前記塵埃除去装置と撮像素子ユニットとを少なくとも有する撮像装置であって、前記塵埃除去装置の振動板を前記撮像素子ユニットの受光面側に設けたことを特徴とする。図12および図13は本発明の撮像装置の好適な実施形態の一例であるデジタル一眼レフカメラを示す図である。
次に、本発明の電子機器について説明する。本発明の電子機器は、前記圧電素子または前記積層圧電素子を備えた圧電音響部品を配したことを特徴とする。圧電音響部品にはスピーカ、ブザー、マイク、表面弾性波(SAW)素子が含まれる。
(実施例1の圧電材料)
Baa(Ti1−xZrx)O3の一般式(1)において、x=0.040、a=1.0005で表わされる組成Ba1.0005(Ti0.960Zr0.040)O3に相当する原料を以下で述べる要領で秤量した。
実施例1と同様の工程で、実施例2から実施例29の圧電材料を作製した。はじめにBa、Ti、Zrが表1に示すような比率になるように各原料粉末を秤量した。AサイトにおけるBaのモル量とBサイトにおけるTiおよびZrのモル量との比を示すaを調整するために炭酸バリウムおよび酸化チタンを用いた。次に、チタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、炭酸バリウムおよび酸化チタンの秤量和(合算値)をBaa(Ti1−xZrx)O3の化学式に換算した。換算した化学式にて表される化合物1モルに対して、第1副成分のMn元素、第2副成分のBi元素を表1に示すような比率となるように、二酸化マンガン、酸化ビスマスを秤量した。また、第3副成分のSiおよびBは、Baa(Ti1−xZrx)O3の化学式に換算した100重量部に対して、含有量が金属換算で表1に示すような比率となるように、二酸化ケイ素、酸化ホウ素を秤量した。
表1に示す主成分、第1副成分、第2副成分および第3副成分、AサイトとBサイトとのモル比aの各比率及び焼結時の最高温度Tmaxの条件に従って実施例1と同様の工程で比較用の金属酸化物材料を作製した。
次に、本発明の圧電素子を作製した。
実施例1から29の圧電材料を用いて圧電素子を作製した。
次に、比較例1から比較例12の比較用の金属酸化物材料を用いて比較用の素子を実施例1から実施例29と同様の方法で作製および分極処理を行った。
実施例1から29の圧電材料を用いて作製した圧電素子と、比較例1から比較例12の金属酸化物材料を用いて作製した比較用の素子について、分極処理した圧電素子の室温25℃における圧電定数d31、機械的品質係数Qmを評価した。また、誘電正接の温度依存性はインピーダンスアナライザで測定した。その結果を表3に示す。比較例5の表中の−は素子の抵抗率が低く充分な分極処理を施すことが出来なかったために、その評価項目に対して有意な結果を得られなかったことを示す。
次に実施例1から29の圧電素子と、比較例1から12の比較用の素子について、相転移温度Ttoとキュリー温度Tcを評価した。TtoおよびTCは試料の温度を変化させながらインピーダンスアナライザ(AgilentTechonologies社製 4194A)で静電容量を測定し算出した。試料の温度を一旦室温から−100℃まで冷却した後に150℃まで加熱をした時、Ttoは、結晶系が正方晶から斜方晶に変化する温度であり、試料を冷却しながら誘電率を測定し、誘電率を試料温度で微分した値が最大となる温度と定義した。TCは、強誘電相(正方晶相)と常誘電相(立方体晶相)の相転移温度近傍で誘電率が極大となる温度であり、試料を加熱しながら誘電率を測定し、誘電率の値が極大となる温度と定義した。その結果を表3に示す。
次に、本発明の積層圧電素子を作製した。
Baa(Ti1−xZrx)O3の一般式(1)において、x=0.040、a=0.9955で表わされる組成(Ba0.9955(Ti0.9960Zr0.040)O3)に相当する原料を以下で述べる要領で秤量した。
実施例30と同様の工程で積層圧電素子を作製した。ただし、組成は比較例11と同様で、焼成温度は1200℃で、内部電極はAg95%−Pd5%合金(Ag/Pd=19)である。内部電極を走査型電子顕微鏡で観察した。その結果、内部電極は溶解し、島状に点在していた。よって、内部電極が導通していないので分極ができなかった。そのため、圧電特性を評価できなかった。
比較例13と同様に積層圧電素子を作製した。ただし、内部電極はAg5%−Pd95%合金(Ag/Pd=0.05)である。内部電極を走査型電子顕微鏡で観察した。電極材であるAg−Pdと圧電体層との境界に剥離が観られた。分極時に十分な電界が印加できなかったため、分極することができなかった。そのため、圧電特性を評価できなかった。
実施例20の圧電材料からなる圧電素子を用いて、図3に示される液体吐出ヘッドを作製した。入力した電気信号に追随したインクの吐出が確認された。
実施例31の液体吐出ヘッドを用いて、図4に示される液体吐出装置を作製した。入力した電気信号に追随したインクの吐出が被転写体上に確認された。
実施例20の圧電材料からなる圧電素子を用いて、図6(a)に示される超音波モータを作製した。交番電圧の印加に応じたモータの回転が確認された。
実施例33の超音波モータを用いて、図7に示される光学機器を作製した。交番電圧の印加に応じたオートフォーカス動作が確認された。
実施例20の圧電材料からなる圧電素子を用いて、図9に示される塵埃除去装置を作製した。プラスチック製ビーズを散布し、交番電圧を印加したところ、良好な塵埃除去率が確認された。
実施例35の塵埃除去装置を用いて、図12に示される撮像装置を作製した。動作させたところ、撮像ユニットの表面の塵を良好に除去し、塵欠陥の無い画像が得られた。
実施例20の圧電材料からなる圧電素子を用いて、図14に示される電子機器を作製した。交番電圧の印加に応じたスピーカ動作が確認された。
実施例30の積層圧電素子を用いて、図3に示される液体吐出ヘッドを作製した。入力した電気信号に追随したインクの吐出が確認された。
実施例38の液体吐出ヘッドを用いて、図4に示される液体吐出装置を作製した。入力した電気信号に追随したインクの吐出が被転写体上に確認された。
実施例30の積層圧電素子を用いて、図6(b)に示される超音波モータを作製した。交番電圧の印加に応じたモータの回転が確認された。
実施例40の超音波モータを用いて、図7に示される光学機器を作製した。交番電圧の印加に応じたオートフォーカス動作が確認された。
実施例30の積層圧電素子を用いて、図9に示される塵埃除去装置を作製した。プラスチック製ビーズを散布し、交番電圧を印加したところ、良好な塵埃除去率が確認された。
実施例42の塵埃除去装置を用いて、図12に示される撮像装置を作製した。動作させたところ、撮像ユニットの表面の塵を良好に除去し、塵欠陥の無い画像が得られた。
実施例30の積層圧電素子を用いて、図14に示される電子機器を作製した。交番電圧の印加に応じたスピーカ動作が確認された。
102 個別液室 103 振動板 104 液室隔壁 105 吐出口
106 連通孔 107 共通液室 108 バッファ層 1011 第一の電極
1012 圧電材料 1013 第二の電極 201 振動子 202 ロータ
203 出力軸 204 振動子 205 ロータ 206 バネ
2011 弾性体リング 2012 圧電素子 2013 有機系接着剤
2041 金属弾性体 2042 積層圧電素子 310 塵埃除去装置
330 圧電素子 320 振動板 330 圧電素子 331 圧電材料
332 第1の電極 333 第2の電極 336 第1の電極面
337 第2の電極面 310 塵埃除去装置 320 振動板 330 圧電素子
51 第一の電極 53 第二の電極 54 圧電材料層 55 内部電極
56 積層体 501 第一の電極 503 第二の電極 504 圧電材料層
505a 内部電極 505b 内部電極 506a 外部電極 506b 外部電極
601 カメラ本体 602 マウント部 605 ミラーボックス
606 メインミラー 200 シャッタユニット 300 本体シャーシ
400 撮像ユニット 701 前群レンズ
702 後群レンズ(フォーカスレンズ) 711 着脱マウント 712 固定筒
713 直進案内筒 714 前群鏡筒 715 カム環 716 後群鏡筒
717 カムローラ 718 軸ビス 719 ローラ 720 回転伝達環
722 コロ 724 マニュアルフォーカス環 725 超音波モータ
726 波ワッシャ 727 ボールレース 728 フォーカスキー
729 接合部材 732 ワッシャ 733 低摩擦シート 881 液体吐出装置
882 外装 883 外装 884 外装 885 外装 887 外装
890 回復部 891 記録部 892 キャリッジ 896 装置本体
897 自動給送部 898 排出口 899 搬送部 901 光学装置
908 レリーズボタン 909 ストロボ発光部 912 スピーカ
914 マイク 916 補助光部 931 本体 932 ズームレバー
933 電源ボタン
Claims (21)
- 下記一般式(1)で表わされるペロブスカイト型金属酸化物と、
Mnと、
3価のBiを有する圧電材料であって、
前記金属酸化物1モルに対して、
前記Mnの含有量が0.0020モル以上0.0150モル以下、
前記Biの含有量が0.00042モル以上0.00850モル以下であることを特徴とする圧電材料。
Baa(Ti1−xZrx)O3(1)(式中、0.02≦x≦0.13、0.986≦a≦1.02) - 前記圧電材料がSiまたはBの少なくとも一方を含み、前記SiおよびBの含有量の総和が前記一般式(1)で表されるペロブスカイト型金属酸化物100重量部に対して金属換算で0.001重量部以上4.000重量部以下であることを特徴とする請求項1に記載の圧電材料。
- 正方晶と斜方晶との相転移温度Ttoが10℃以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電材料。
- 前記圧電材料を構成する結晶粒の平均円相当径が500nm以上10μm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電材料。
- 前記圧電材料の相対密度が93%以上100%以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電材料。
- 前記圧電材料の相対密度が93%以上99.5%以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の圧電材料。
- 前記圧電材料の周波数1kHzにおける誘電正接が0.006以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の圧電材料。
- 電極および圧電材料部を少なくとも有する圧電素子であって、前記圧電材料部に含まれる圧電材料が請求項1乃至7のいずれか1項に記載の圧電材料であることを特徴とする圧電素子。
- 前記圧電材料部と、前記電極とが交互に積層された請求項8に記載の圧電素子。
- 前記電極がAgとPdを含むことを特徴とする請求項9に記載の圧電素子。
- 前記電極がNiおよびCuの少なくともいずれか1種を含むことを特徴とする請求項9に記載の圧電素子。
- 請求項8乃至11のいずれか1項に記載の圧電素子を備えた振動部を備えた液室と、前記液室と連通する吐出口を少なくとも有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
- 被転写体の載置部と請求項12に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする液体吐出装置。
- 請求項8乃至11のいずれか1項に記載の圧電素子を備えた振動体と、前記振動体と接触する移動体とを少なくとも有することを特徴とする超音波モータ。
- 請求項14に記載の超音波モータを備えた駆動部を有することを特徴とする光学機器。
- 請求項8乃至11のいずれか1項に記載の圧電素子を備えた振動板を含む振動体を有することを特徴とする振動装置。
- 請求項16に記載の振動装置を備えた振動を有することを特徴とする塵埃除去装置。
- 請求項17に記載の塵埃除去装置と撮像素子ユニットとを少なくとも有する撮像装置であって、前記塵埃除去装置の振動板を前記撮像素子ユニットの受光面側に設けたことを特徴とする撮像装置。
- 請求項8乃至11のいずれか1項に記載の圧電素子を備えたことを特徴とする電子機器。
- 請求項8乃至11のいずれか1項に記載の圧電素子を備えたことを特徴とする圧電音響部品。
- 圧電素子の製造方法であって、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の圧電材料と電極を設け、前記圧電材料が正方晶となる温度で電圧を印加し、電圧を保持した状態で前記圧電材料が斜方晶となる温度まで冷却することを特徴とする圧電素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015102129A JP6537348B2 (ja) | 2014-05-30 | 2015-05-19 | 圧電材料、圧電素子、圧電素子の製造方法、および電子機器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014113121 | 2014-05-30 | ||
JP2014113121 | 2014-05-30 | ||
JP2015102129A JP6537348B2 (ja) | 2014-05-30 | 2015-05-19 | 圧電材料、圧電素子、圧電素子の製造方法、および電子機器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016006858A JP2016006858A (ja) | 2016-01-14 |
JP2016006858A5 JP2016006858A5 (ja) | 2018-06-28 |
JP6537348B2 true JP6537348B2 (ja) | 2019-07-03 |
Family
ID=54702791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015102129A Active JP6537348B2 (ja) | 2014-05-30 | 2015-05-19 | 圧電材料、圧電素子、圧電素子の製造方法、および電子機器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9981292B2 (ja) |
JP (1) | JP6537348B2 (ja) |
CN (1) | CN105272230B (ja) |
TW (1) | TWI601581B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10424722B2 (en) * | 2015-11-27 | 2019-09-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element, piezoelectric actuator, and electronic apparatus |
CN107490603B (zh) * | 2016-12-04 | 2020-12-11 | 内蒙合成化工研究所 | 一种快速在线监测固体推进剂正硫化点的方法及传感器 |
JP7012430B2 (ja) * | 2016-12-21 | 2022-01-28 | 東芝テック株式会社 | 薬液吐出装置と薬液滴下装置 |
US11730058B2 (en) * | 2018-09-20 | 2023-08-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Integrated heater (and related method) to recover degraded piezoelectric device performance |
JP2020102615A (ja) * | 2018-12-21 | 2020-07-02 | キヤノン株式会社 | 圧電素子の製造方法、電子機器の製造方法、圧電素子、および電子機器 |
WO2020218586A1 (ja) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | 富士フイルム株式会社 | マイクロミラーデバイス |
CN111269009A (zh) * | 2020-01-20 | 2020-06-12 | 北京大学 | 一种锆锰酸铋-钪酸铋-钛酸铅系压电陶瓷材料及其制备方法 |
US11700773B2 (en) * | 2020-06-20 | 2023-07-11 | The Boeing Company | Metamaterial-based substrate for piezoelectric energy harvesters |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4924737B1 (ja) * | 1968-11-18 | 1974-06-25 | ||
US3704255A (en) * | 1971-03-03 | 1972-11-28 | Du Pont | Polyesters |
JPS5640965B2 (ja) * | 1974-02-06 | 1981-09-25 | ||
JPH1160334A (ja) | 1997-08-11 | 1999-03-02 | Kyocera Corp | アクチュエータ用圧電磁器組成物 |
JP3796394B2 (ja) * | 2000-06-21 | 2006-07-12 | キヤノン株式会社 | 圧電素子の製造方法および液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
TWI228493B (en) | 2002-12-18 | 2005-03-01 | Showa Denko Kk | Barium titanate and electronic parts using the same |
JP4450636B2 (ja) * | 2004-02-12 | 2010-04-14 | 株式会社豊田中央研究所 | 圧電セラミックスの製造方法 |
JP2005244133A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Canon Inc | 誘電体素子、圧電素子、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置、並びにこれらの製造方法 |
US8305731B2 (en) * | 2007-11-06 | 2012-11-06 | Ferro Corporation | Lead and cadmium free, low temperature fired X7R dielectric ceramic composition and method of making |
JP5344456B2 (ja) | 2008-03-11 | 2013-11-20 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 非鉛系圧電材料 |
JP5217997B2 (ja) | 2008-10-20 | 2013-06-19 | Tdk株式会社 | 圧電磁器、振動子及び超音波モータ |
JP5557572B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2014-07-23 | キヤノン株式会社 | セラミクス、圧電素子および圧電素子の製造方法 |
JP5233922B2 (ja) * | 2009-09-03 | 2013-07-10 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ駆動装置、レンズ鏡筒、及び、光学装置 |
JP5839157B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2016-01-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー |
WO2011129072A1 (ja) | 2010-04-15 | 2011-10-20 | パナソニック株式会社 | 圧電体薄膜、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 |
KR101179295B1 (ko) | 2010-08-06 | 2012-09-03 | 삼성전기주식회사 | 내환원성 유전체 조성물 및 이를 포함하는 세라믹 전자 부품 |
JP6004640B2 (ja) | 2011-01-07 | 2016-10-12 | キヤノン株式会社 | 圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータ、塵埃除去装置、およびデバイス |
RU2607947C2 (ru) | 2011-07-05 | 2017-01-11 | Кэнон Кабусики Кайся | Пьезоэлектрический элемент, многослойный пьезоэлектрический элемент, головка для выброса жидкости, устройство для выброса жидкости, ультразвуковой двигатель, оптическое устройство и электронное устройство |
CN104271533A (zh) * | 2012-03-30 | 2015-01-07 | 佳能株式会社 | 压电陶瓷、用于制造压电陶瓷的方法、压电元件和电子装置 |
US9537081B2 (en) | 2012-11-02 | 2017-01-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric material, piezoelectric element, multilayered piezoelectric element, liquid discharge head, liquid discharge apparatus, ultrasonic motor, optical apparatus, vibratory apparatus, dust removing device, image pickup apparatus, and electronic equipment |
-
2015
- 2015-05-15 TW TW104115611A patent/TWI601581B/zh active
- 2015-05-19 JP JP2015102129A patent/JP6537348B2/ja active Active
- 2015-05-28 US US14/723,870 patent/US9981292B2/en active Active
- 2015-05-29 CN CN201510284910.1A patent/CN105272230B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI601581B (zh) | 2017-10-11 |
TW201607629A (zh) | 2016-03-01 |
JP2016006858A (ja) | 2016-01-14 |
US20150349238A1 (en) | 2015-12-03 |
CN105272230B (zh) | 2018-05-18 |
US9981292B2 (en) | 2018-05-29 |
CN105272230A (zh) | 2016-01-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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