JP2014066876A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014066876A5 JP2014066876A5 JP2012212238A JP2012212238A JP2014066876A5 JP 2014066876 A5 JP2014066876 A5 JP 2014066876A5 JP 2012212238 A JP2012212238 A JP 2012212238A JP 2012212238 A JP2012212238 A JP 2012212238A JP 2014066876 A5 JP2014066876 A5 JP 2014066876A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pzt
- donor ions
- piezoelectric material
- piezoelectric
- perovskite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006011 modification reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- BFRGSJVXBIWTCF-UHFFFAOYSA-N niobium monoxide Inorganic materials [Nb]=O BFRGSJVXBIWTCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Description
一般式Ａ a （Ｚｒ x ，Ｔｉ y ，Ｍ b-x-y ） b Ｏ c ・・・（ＰＸ）
（式中、Ａ：Ａサイトの元素であり、Ｐｂを含む少なくとも１種の元素。
Ｍが、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、及びＳｂからなる群より選ばれた少なくとも１種の元素である。０＜ｘ＜ｂ、０＜ｙ＜ｂ、０≦ｂ−ｘ−ｙ。
ａ：ｂ：ｃ＝１：１：３が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。）
ペロブスカイト型酸化物（ＰＸ）は、真性ＰＺＴ、あるいはＰＺＴのＢサイトの一部がＭで置換されたものである。被置換イオンの価数よりも高い価数を有する各種ドナーイオンを添加したＰＺＴでは、真性ＰＺＴよりも圧電性能等の特性が向上することが知られている。Ｍは、４価のＺｒ，Ｔｉよりも価数の大きい１種又は２種以上のドナーイオンであることが好ましい。かかるドナーイオンとしては、Ｖ5+，Ｎｂ5+，Ｔａ5+，Ｓｂ 5+ ，Ｍｏ6+，及びＷ6+等が挙げられる。
（式中、Ａ：Ａサイトの元素であり、Ｐｂを含む少なくとも１種の元素。
Ｍが、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、及びＳｂからなる群より選ばれた少なくとも１種の元素である。０＜ｘ＜ｂ、０＜ｙ＜ｂ、０≦ｂ−ｘ−ｙ。
ａ：ｂ：ｃ＝１：１：３が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。）
ペロブスカイト型酸化物（ＰＸ）は、真性ＰＺＴ、あるいはＰＺＴのＢサイトの一部がＭで置換されたものである。被置換イオンの価数よりも高い価数を有する各種ドナーイオンを添加したＰＺＴでは、真性ＰＺＴよりも圧電性能等の特性が向上することが知られている。Ｍは、４価のＺｒ，Ｔｉよりも価数の大きい１種又は２種以上のドナーイオンであることが好ましい。かかるドナーイオンとしては、Ｖ5+，Ｎｂ5+，Ｔａ5+，Ｓｂ 5+ ，Ｍｏ6+，及びＷ6+等が挙げられる。
＜変形例１＞
上述の実施形態では、圧電アクチュエータ部やセンサ部に用いる圧電材料としてＰＺＴを選択したが、もちろんこの材料に限定する必要はない。例えば、ＢａＴｉＯ3、ＫＮａＮｂＯ3、ＢｉＦｅＯ3などの非鉛圧電体を用いることも可能であるし、ＡｌＮ、ＺｎＯ2などの非ペロブスカイト圧電体を用いることも可能である。
上述の実施形態では、圧電アクチュエータ部やセンサ部に用いる圧電材料としてＰＺＴを選択したが、もちろんこの材料に限定する必要はない。例えば、ＢａＴｉＯ3、ＫＮａＮｂＯ3、ＢｉＦｅＯ3などの非鉛圧電体を用いることも可能であるし、ＡｌＮ、ＺｎＯ2などの非ペロブスカイト圧電体を用いることも可能である。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012212238A JP5916577B2 (ja) | 2012-09-26 | 2012-09-26 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
| PCT/JP2013/074648 WO2014050586A1 (ja) | 2012-09-26 | 2013-09-12 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
| EP13841383.6A EP2902836B1 (en) | 2012-09-26 | 2013-09-12 | Mirror driving device and driving method for same |
| US14/668,429 US10048489B2 (en) | 2012-09-26 | 2015-03-25 | Mirror driving device and driving method for same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012212238A JP5916577B2 (ja) | 2012-09-26 | 2012-09-26 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014066876A JP2014066876A (ja) | 2014-04-17 |
| JP2014066876A5 true JP2014066876A5 (ja) | 2015-02-19 |
| JP5916577B2 JP5916577B2 (ja) | 2016-05-11 |
Family
ID=50387993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012212238A Active JP5916577B2 (ja) | 2012-09-26 | 2012-09-26 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10048489B2 (ja) |
| EP (1) | EP2902836B1 (ja) |
| JP (1) | JP5916577B2 (ja) |
| WO (1) | WO2014050586A1 (ja) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10739460B2 (en) | 2010-08-11 | 2020-08-11 | Apple Inc. | Time-of-flight detector with single-axis scan |
| JP5654158B1 (ja) * | 2014-05-07 | 2015-01-14 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 可動反射素子および二次元走査装置 |
| US9624100B2 (en) | 2014-06-12 | 2017-04-18 | Apple Inc. | Micro pick up array pivot mount with integrated strain sensing elements |
| DE102014217799B4 (de) * | 2014-09-05 | 2019-11-21 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Piezoelektrischer Positionssensor für piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrospiegel |
| US9705432B2 (en) * | 2014-09-30 | 2017-07-11 | Apple Inc. | Micro pick up array pivot mount design for strain amplification |
| JP6606865B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2019-11-20 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置及びその製造方法、光走査制御装置 |
| JP6498047B2 (ja) | 2015-06-09 | 2019-04-10 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 可動反射装置およびこれを利用した反射面駆動システム |
| CN104977104B (zh) * | 2015-07-13 | 2017-04-12 | 大连理工大学 | 一种压电式小量程大量程比的测力装置 |
| US10298913B2 (en) * | 2016-08-18 | 2019-05-21 | Apple Inc. | Standalone depth camera |
| IT201600132144A1 (it) * | 2016-12-29 | 2018-06-29 | St Microelectronics Srl | Dispositivo attuatore micro-elettro-meccanico con comando piezoelettrico, mobile nel piano |
| JP6354892B2 (ja) * | 2017-05-18 | 2018-07-11 | 株式会社リコー | 位置検出装置と映像機器 |
| WO2019021400A1 (ja) * | 2017-07-26 | 2019-01-31 | 株式会社 トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
| DE102017220813A1 (de) * | 2017-11-22 | 2019-05-23 | Robert Bosch Gmbh | Laserprojektionsvorrichtung |
| JP6985602B2 (ja) * | 2018-01-29 | 2021-12-22 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置及び光走査装置の製造方法 |
| IT201800002364A1 (it) | 2018-02-02 | 2019-08-02 | St Microelectronics Srl | Dispositivo micro-manipolatore micro-elettro-meccanico con comando piezoelettrico, mobile nel piano |
| DE102018215528A1 (de) * | 2018-09-12 | 2020-03-12 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil |
| US11221478B2 (en) * | 2019-04-15 | 2022-01-11 | Microsoft Technology Licensing, Llc | MEMS scanner |
| US11175492B2 (en) | 2019-08-12 | 2021-11-16 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Substrate for scanning mirror system |
| US11750779B2 (en) | 2019-08-20 | 2023-09-05 | Ricoh Company, Ltd. | Light deflector, optical scanning system, image projection device, image forming apparatus, and lidar device |
| CN112752209B (zh) * | 2019-10-31 | 2022-03-25 | 华为技术有限公司 | 一种压电式mems传感器以及相关设备 |
| CN111289155B (zh) * | 2020-02-26 | 2021-07-13 | 西安交通大学 | 基于电磁激励压阻检测的面内振动硅微谐振式压力传感器 |
| US20220026537A1 (en) * | 2020-07-22 | 2022-01-27 | Beijing Voyager Technology Co., Ltd. | Systems and methods for sensing rotation angles of a micro mirror in an optical sensing system |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008039810A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学反射素子 |
| JP4926596B2 (ja) | 2006-08-08 | 2012-05-09 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及びその製造方法 |
| DE102007058239B4 (de) * | 2007-12-04 | 2021-04-29 | Robert Bosch Gmbh | Mikrospiegelvorrichtung |
| JP2009258210A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
| WO2010003135A2 (en) * | 2008-07-03 | 2010-01-07 | Hotspur Technologies, Inc. | Apparatus and methods for treating obstructions within body lumens |
| US8477398B2 (en) * | 2009-05-11 | 2013-07-02 | Panasonic Corporation | Optical reflection element |
| JP2011095523A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
| JP5400636B2 (ja) | 2010-01-20 | 2014-01-29 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及びこれを用いた光学装置 |
| JP5293668B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-09-18 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
| JP5592192B2 (ja) * | 2010-08-11 | 2014-09-17 | 富士フイルム株式会社 | 圧電体膜とその製造方法、圧電素子および液体吐出装置 |
-
2012
- 2012-09-26 JP JP2012212238A patent/JP5916577B2/ja active Active
-
2013
- 2013-09-12 WO PCT/JP2013/074648 patent/WO2014050586A1/ja active Application Filing
- 2013-09-12 EP EP13841383.6A patent/EP2902836B1/en active Active
-
2015
- 2015-03-25 US US14/668,429 patent/US10048489B2/en active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2014066876A5 (ja) | ||
| EP2301994B1 (en) | Polymer composite piezoelectric material and piezoelectric device using the same | |
| JP4973931B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2009215111A (ja) | 非鉛系圧電材料 | |
| JP2013014470A5 (ja) | 圧電セラミックス及び積層圧電セラミックス部品 | |
| JP2009256186A5 (ja) | ||
| WO2013137421A3 (en) | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removing device | |
| EP1895607A3 (en) | Piezoelectric/electrostrictive body, manufacturing method of the same, and piezoelectronic/electrostrictive element | |
| KR20140021506A (ko) | 비쓰무트 아연 티타네이트-비쓰무트 칼륨 티타네이트-비쓰무트 나트륨 티타네이트계 납-부재 압전 재료 | |
| Yan et al. | Role of secondary phase in high power piezoelectric PMN‐PZT ceramics | |
| EP2099082A3 (en) | Piezoceramic material, piezoelectric element and non-resonance knock sensor | |
| JP4044943B2 (ja) | 圧電セラミック材 | |
| Yu et al. | Targeted doping builds a high energy density composite piezoceramics for energy harvesting | |
| JP2006327863A (ja) | 圧電セラミックス材 | |
| Tan et al. | Effects of Mo2/3Bi1/3 doping on the phase structure, microstructure, and piezoelectric properties of KNNS–BNZ ceramics | |
| JP5597368B2 (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
| JP2009155119A (ja) | 圧電磁器および圧電素子 | |
| JPWO2008090758A1 (ja) | 共振アクチュエータ | |
| JP2000294852A (ja) | 圧電磁器組成物、それを利用した圧電ブザーおよび圧電アクチュエータ | |
| JP5894222B2 (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
| JPWO2006093002A1 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2008254961A (ja) | 圧電組成物 | |
| Ishihama et al. | Achieving High Piezoelectric Performance across a Wide Composition Range in Tetragonal (Bi, Na) TiO3–BaTiO3 Films for Micro-electromechanical Systems | |
| JP2007217233A (ja) | 圧電セラミックス | |
| JP5933335B2 (ja) | 圧電材料、および圧電材料の製造方法 |