JP2014066876A - ミラー駆動装置及びその駆動方法 - Google Patents
ミラー駆動装置及びその駆動方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014066876A JP2014066876A JP2012212238A JP2012212238A JP2014066876A JP 2014066876 A JP2014066876 A JP 2014066876A JP 2012212238 A JP2012212238 A JP 2012212238A JP 2012212238 A JP2012212238 A JP 2012212238A JP 2014066876 A JP2014066876 A JP 2014066876A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- piezoelectric actuator
- piezoelectric
- stress
- driving device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 111
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 30
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 28
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 26
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 9
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 6
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 33
- 239000010408 film Substances 0.000 description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 14
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 13
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000012014 optical coherence tomography Methods 0.000 description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 2
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- KPSZQYZCNSCYGG-UHFFFAOYSA-N [B].[B] Chemical compound [B].[B] KPSZQYZCNSCYGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPQJHZKJHIBJAP-UHFFFAOYSA-N [K].[Bi] Chemical compound [K].[Bi] YPQJHZKJHIBJAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOIHABYNKOEWFG-UHFFFAOYSA-N [Sr].[Ba] Chemical compound [Sr].[Ba] WOIHABYNKOEWFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FSAJRXGMUISOIW-UHFFFAOYSA-N bismuth sodium Chemical compound [Na].[Bi] FSAJRXGMUISOIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000002059 diagnostic imaging Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N lead zinc Chemical compound [Zn].[Pb] JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QNZFKUWECYSYPS-UHFFFAOYSA-N lead zirconium Chemical compound [Zr].[Pb] QNZFKUWECYSYPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
- G01L1/162—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/18—Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
- H10N30/2044—Cantilevers, i.e. having one fixed end having multiple segments mechanically connected in series, e.g. zig-zag type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead-based oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead-based oxides
- H10N30/8554—Lead-zirconium titanate [PZT] based
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
【解決手段】ミラー部12を挟んで両側に一対の圧電アクチュエータ部14,16が配置され、ミラー部12の端部12A,12Bに連結部18,20を介して圧電アクチュエータ部14,16が接続される。連結部18,20は、回転軸22に垂直な方向を長手方向とする板状部材19を1本以上含んだ構造を有し、圧電アクチュエータ部14,16の駆動によって板状部材19が厚み方向に撓み変形する板状ヒンジ部として機能する。連結部18、20には、共振振動によるミラー部の回転駆動中に連結部に発生する応力を検出するセンサ部24-i(i=1,2,3,4)が設けられている。
【選択図】図1
Description
ションバーを極端に脆弱にせざるを得ないという問題がある。一例として、OCTなどの光による測定を行いながらスキャンを実施する用途では、400Hz(ヘルツ)以下の低周波数駆動が行われる。これをトーションバー方式で実現しようとすると、例えば、厚み5μm(マイクロメートル)、幅10μm、長さ600μmの寸法でSiを加工してトーションバーを形成する必要がある。これは非常に脆弱な構造であるため、製造プロセス中やデバイス駆動中など衝撃などが加わると容易に破壊されてしまうという問題がある。また、トーションバーの長さ寸法が増加することで素子の大型化も招いてしまう。
。
一般式ABO3・・・(P)
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
B:Bサイトの元素であり、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Sb,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,及びNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素。
O:酸素元素。
Aサイト元素とBサイト元素と酸素元素のモル比は1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。)
なお、応力検出部に用いる圧電体についても、圧電アクチュエータ部と同じ圧電材料を用いることができる。
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
Mが、V,Nb,Ta,及びSbからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素である。0<x<b、0<y<b、0≦b−x−y。
a:b:c=1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。)
Nb等の元素をドープしたPZTは圧電定数が高いため、小型で大きな変位が得られるデバイスの作製に好適である。なお、応力検出部に用いる圧電体についても、圧電アクチュエータ部と同じ圧電材料を用いることができる。
以下であるものとすることが好ましい。
図1は第1実施形態に係るMEMSスキャナデバイスの斜視図である。図2は第1実施形態に係るMEMスキャナデバイスをミラー部の反射面側から見た平面図(上面図)とデバイス駆動及び角度検出のための回路要素を示したブロック構成図とを組み合わせた説明図である。
配置される。各圧電アクチュエータ部14、16は、圧電ユニモルフカンチレバー(片持ち梁)構造のアクチュエータであり(図3参照)、逆圧電効果による圧電体の変形によって屈曲変位を行う。すなわち、圧電アクチュエータ部14、16はx方向の一方の端部(基端部14B、16B)が固定フレーム30に固定支持され、反対側の端部14A、16Aはフレーム等に固定されずに、カンチレバー構造によって変位できる非拘束端となっている。
性トルクが発生してミラー部12の回転運動共振を誘発する。
いる。
第1実施形態では、一対の圧電アクチュエータ部14、16に対して、駆動回路62から同時に同じ駆動電圧を印加することよって、ミラー部12の両側の圧電アクチュエータ部14、16を同方向に変位させる。このため、一対の圧電アクチュエータ部14、16に駆動用の電力を供給する電力供給源として、共通の(同じ)駆動回路62を用いることができる。圧電アクチュエータ部14、16に供給する駆動波形として、共振を励起する周波数の正弦波形信号やパルス波形信号を用いることができる。
第1実施形態に係るMEMSスキャナデバイス10は次のように動作する。
ミラー部12に回転トルクを与え、ミラー部12を回転軸22周りに回転運動させる。
図4及び図5は共振駆動中の連結部(板状ヒンジ部)に係る応力(ρxx成分)を説明するための説明図である。図4は回転共振モードによる駆動時の様子を示す斜視図、図5は図4に示した第1連結部18をy軸の正方向から見た模式図である。なお、図4では固定フレーム30の記載を省略した。また、デバイス構造の対称性から第2連結部20の動きも第1連結部18の動きと同様である。
図1及び図2に示した例では、薄板部材19-i(i=1,2,3,4)の長手方向の長さの略全体にわたって検出電極25-i(i=1,2,3,4)を形成しているが、検出電極25-i(i=1,2,3,4)の大きさは、図示の例に限定されない。薄板部材19の応力を検知するという目的の機能を達成できる範囲で薄板部材19の一部にセンサ部が設けられていればよく、適宜の大きさの検出電極を設計することができる。ただし、検出電極から配線51〜54を介して信号を取り出す必要があるため、配線部など後段の寄生容量成分/抵抗成分の影響を相対的に小さくする観点から、センサ部の検出電極の面積は比較的大きい方が望ましい。
本実施形態に好適な圧電体としては、下記式で表される1種又は2種以上のペロブスカイト型酸化物(P)を含むものが挙げられる。
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
B:Bサイトの元素であり、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Sb,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,及びNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素。
O:酸素元素。
Aサイト元素とBサイト元素と酸素元素のモル比は1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。)
上記一般式で表されるペロブスカイト型酸化物としては、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、ジルコニウム酸鉛、チタン酸鉛ランタン、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛、ニッケルニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛、亜鉛ニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛等の鉛含有化合物、及びこれらの混晶系;チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウムバリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム、ニオブ酸ナトリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、ビスマスフェライト等の非鉛含有化合物、及びこれらの混晶系が挙げられる。
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
Mが、V、Nb、Ta、及びSbからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素である。0<x<b、0<y<b、0≦b−x−y。
a:b:c=1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。)
ペロブスカイト型酸化物(PX)は、真性PZT、あるいはPZTのBサイトの一部がMで置換されたものである。被置換イオンの価数よりも高い価数を有する各種ドナーイオンを添加したPZTでは、真性PZTよりも圧電性能等の特性が向上することが知られている。Mは、4価のZr,Tiよりも価数の大きい1種又は2種以上のドナーイオンであることが好ましい。かかるドナーイオンとしては、V5+,Nb5+,Ta5+,Sb5+,Mo6+,及びW6+等が挙げられる。
圧電体の成膜方法としては気相成長法が好ましい。例えば、スパッタリング法の他、イオンプレーティング法、MOCVD法(有機金属気相成長法)、PLD法(パルスレーザー堆積法)など、各種の方法を適用し得る。また、気相成長法以外の方法(例えば、ゾルゲル法など)を用いることも考えられる。
実施例1として以下の手順によりMEMSスキャナデバイス10を作製した。
上記の手順で作製された実施例1に係るMEMSスキャナデバイス10について、圧電アクチュエータ部(14,16)に電位振幅Vp-p=1.2V(ボルト)の正弦波(サイン波)による駆動電圧を印加し、ミラーの回転軸回りの回転共振運動を誘起させてミラー部の機械振れ角をレーザーのスキャン角度で測定したところ、共振周波数fx=154Hz、機械振れ角=±22°であった。
らは電位振幅490mVの電圧出力が得られ、かつこれらの信号の位相差は180°であった(図7参照)。
Vsense2:5.61 mV/deg
差分:11 mV/deg
このように逆位相の検出信号(Vsense1、Vsense2)から両者の差分を検出し、この差分信号を用いて角度の検出を行うことにより、検出信号のドリフトや同相のノイズが除去され、S/N比が向上する。図2に示した検出回路64には差分回路が組み込まれている。
既に説明したとおり、図1に示したMEMSスキャナデバイス10は、ミラー部12を挟んで左右対称の構造を有しており、共振駆動時には第1薄板部材19-1と第4薄板部材19-2は同等の動きとなり、第2薄板部材19-2と第3薄板部材19-3は同等の動きとなる。そして、第1薄板部材19-1上のセンサ部24-1と第4薄板部材19-4上のセンサ部24-4からは同様の検出信号(図6のVsense1)が得られる。また、第2薄板部材19-2上のセンサ部24-2と第3薄板部材19-3上のセンサ部24-3からは同様の検出信号(図6のVsense2)が得られる。
実施例2では、PZT成膜時のターゲット材料として、Pb1.3((Zr0.52 Ti0.48)O3の組成のものを用いたこと以外は実施例1と同様の作製方法により、実施例1と同様の構造のMEMSスキャナデバイスを作製した。得られたデバイスについて、実施例1と同様の動作確認実験を行った。図8に、印加電圧と光学スキャン角度の関係を示した。図8では、実施例1(Nb12%PZT)の結果も併せて記載した。
(1)圧電アクチュエータ部14、16とミラー部12の間を、ミアンダ状に折り畳まれた板状ヒンジ構造の連結部18、20を介して接続した構造となっており、圧電アクチュエータ部14、16によってミラー部12の端部12A,12Bを上下に振動させることで慣性トルクが発生し、回転運動共振が励起される。
第1実施形態、実施例1,2では板状ヒンジ部として機能する連結部18、20に圧電体薄膜を積層し、圧電効果によって応力を電圧に変換する構造を用いたが、板状ヒンジ部の応力を検出する手段はこの例に限らない。例えば、連結部に発生する応力を検出する手段としてピエゾ抵抗効果を利用する形態も可能である。その一例として、シリコン(Si)の連結部18、20の表面にボロン(ホウ素)ドープを行い、ピエゾ抵抗効果を示すp型Si層を形成し、このp型Si層の電気抵抗が印加応力によって変化することを利用して応力検出を行う構成を採用してもよい。
図12は、第3実施形態に係るMEMSスキャナデバイス210の要部平面図、図13はその回転共振モードにおける動作状態を示す斜視図である。
圧電アクチュエータ部14、16の間に蛇行した形状の連結部(ミアンダ状に折りたたんだ板状ヒンジ部)18、20を設けることにより、ミラー部12の傾き角の変位がさらに拡大する。そして、回転駆動中に連結部に発生する応力を検出して、ミラー部12の角度を把握することができる。
上述の実施形態では、圧電アクチュエータ部やセンサ部に用いる圧電材料としてPZTを選択したが、もちろんこの材料に限定する必要はない。例えば、BaTiO3、KaNaNbO3、BiFeO3などの非鉛圧電体を用いることも可能であるし、AlN、ZnO2などの非ペロブスカイト圧電体を用いることも可能である。
上述した実施形態における圧電アクチュエータ部(14、16)の構成に代えて、複数の圧電カンチレバーを組み合わせた圧電アクチュエータ部を採用することもできる。例えば、ミアンダ状の折り返し構造を持つ圧電カンチレバーを採用することができる。本発明の実施に際して、カンチレバー部の折り返し構造の採否や、折り返し回数(折り畳み数)については、特に限定されない。カンチレバーの折り畳み数を増やすほど、変位量を増大させることが可能である。
本発明は、レーザー光等の光を反射して光の進行方向を変える光学装置として様々な用途に利用できる。例えば、光偏向器、光走査装置、レーザープリンタ、バーコード読取機、表示装置、各種の光学センサ(測距センサ、形状測定センサ)、光通信装置、レーザープロジェクタ、OCT画像診断装置などに広く適用することができる。
Claims (17)
- 光を反射する反射面を有するミラー部と、
前記ミラー部を挟んで両側に配置される一対の圧電アクチュエータ部と、
前記ミラー部の回転軸から前記反射面に沿って前記回転軸に垂直な方向に離れた前記ミラー部の端部に前記圧電アクチュエータ部の一端を接続させる連結部と、
前記圧電アクチュエータ部の他端を支持する固定部と、
を備え、
前記連結部は、前記反射面に沿って前記回転軸に垂直な方向を長手方向とする板状部材を1本以上含んだ構造を有し、前記圧電アクチュエータ部の駆動によって前記板状部材が厚み方向に撓み変形する板状ヒンジ部であり、
前記連結部には、前記圧電アクチュエータ部の駆動によって誘起されるミラー部の回転運動を伴う共振振動によるミラー部の回転駆動中に前記連結部に発生する応力を検出する応力検出部が設けられているミラー駆動装置。 - 前記連結部は、2本以上の前記板状部材がミアンダ状に折り返すように並べられた構造を有しており、隣り合って並ぶ板状部材同士が前記共振振動のときに互いに逆方向に撓み変形する請求項1に記載のミラー駆動装置。
- 前記ミアンダ状に折り返すように並べられた前記2本以上の板状部材について、前記ミラー部に近い側から前記圧電アクチュエータ部の方向に向かって並び順を示す連続番号を与えてそれぞれの板状部材を特定するときに、
前記応力検出部として、
奇数番目の板状部材に発生する応力を検出する第1応力検出部と、
偶数番目の板状部材に発生する応力を検出する第2応力検出部と、
を備える請求項2に記載のミラー駆動装置。 - 前記応力検出部は、前記板状部材上に下部電極、圧電体、上部電極の順に積層された積層構造を有し、前記圧電体の圧電効果によって応力を電気信号に変換する構造である請求項1から3のいずれか1項に記載のミラー駆動装置。
- 請求項3を引用するときの請求項4に記載のミラー駆動装置において、
前記第1応力検出部及び第2応力検出部の両方からそれぞれ電圧信号が得られ、
前記第1応力検出部から得られる第1検出信号と前記第2応力検出部から得られる第2検出信号の差分を検出する検出回路を備えるミラー駆動装置。 - 前記応力検出部は、前記板状部材の表面部がピエゾ抵抗効果を示す材料で構成され、前記ピエゾ抵抗効果を示す前記材料のピエゾ抵抗効果によって応力を抵抗値の変化に変換するものである請求項1から3のいずれか1項に記載のミラー駆動装置。
- 前記抵抗値の変化を電圧信号に変換する検出回路を備える請求項6に記載のミラー駆動装置。
- 請求項3を引用するときの請求項7に記載のミラー駆動装置において、
前記検出回路は、前記第1応力検出部で構成される第1抵抗と前記第2応力検出部で構成される第2抵抗とを接続した分圧回路によって電圧信号を得るミラー駆動装置。 - 前記圧電アクチュエータ部は、振動板、下部電極、圧電体、上部電極の順に積層された圧電ユニモルフカンチレバーで構成されることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載のミラー駆動装置。
- 請求項4を引用するときの請求項9に記載のミラー駆動装置において、
前記圧電アクチュエータ部及び前記応力検出部に用いられる圧電体は1〜10μm厚の薄膜であり、前記振動板となる基板上に直接成膜された薄膜であるミラー駆動装置。 - 前記圧電アクチュエータ部に用いられる圧電体は、下記式(P)で表される1種又は2種以上のペロブスカイト型酸化物である請求項1から10のいずれか1項に記載のミラー駆動装置。
一般式ABO3・・・(P)
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
B:Bサイトの元素であり、Ti,Zr,V,Nb,Ta,Sb,Cr,Mo,W,Mn,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,及びNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素。
O:酸素元素。
Aサイト元素とBサイト元素と酸素元素のモル比は1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。) - 前記圧電アクチュエータ部に用いられる圧電体は、下記式(PX)で表される1種又は2種以上のペロブスカイト型酸化物である請求項1から10のいずれか1項に記載のミラー駆動装置。
Aa(Zrx,Tiy,Mb−x−y)bOc・・・(PX)
(式中、A:Aサイトの元素であり、Pbを含む少なくとも1種の元素。
Mが、V,Nb,Ta,及びSbからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素である。0<x<b、0<y<b、0≦b−x−y。
a:b:c=1:1:3が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。) - 前記ペロブスカイト型酸化物(PX)は、Nbを含み、Nb/(Zr+Ti+Nb)モル比が0.06以上0.20以下である請求項12に記載のミラー駆動装置。
- 前記圧電アクチュエータ部に用いられる圧電体はスパッタリング法で成膜された薄膜である請求項1から13のいずれか1項に記載のミラー駆動装置。
- 前記一対の圧電アクチュエータ部に駆動電圧を供給する駆動回路であって、
前記ミラー部が前記回転軸を中心に回転運動を行う共振モードの共振周波数fxの付近で前記ミラー部を共振駆動させる駆動電圧を供給する駆動回路を備える請求項1から14のいずれか1項に記載のミラー駆動装置。 - 請求項1から15のいずれか1項に記載のミラー駆動装置におけるミラー駆動方法であって、
前記一対の圧電アクチュエータ部に駆動電圧を印加し、前記圧電アクチュエータ部を振動させることにより、前記ミラー部と前記連結部との接続部分を振動させ、この振動により前記ミラー部に前記回転軸周りの回転トルクを与え、前記ミラー部を共振駆動させることを特徴とするミラー駆動方法。 - 前記ミラー部の共振駆動中に前記応力検出部から得られる検出信号を用いて前記圧電アクチュエータ部に印加する前記駆動電圧もしくは駆動周波数を制御する請求項16に記載のミラー駆動方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012212238A JP5916577B2 (ja) | 2012-09-26 | 2012-09-26 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
EP13841383.6A EP2902836B1 (en) | 2012-09-26 | 2013-09-12 | Mirror driving device and driving method for same |
PCT/JP2013/074648 WO2014050586A1 (ja) | 2012-09-26 | 2013-09-12 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
US14/668,429 US10048489B2 (en) | 2012-09-26 | 2015-03-25 | Mirror driving device and driving method for same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012212238A JP5916577B2 (ja) | 2012-09-26 | 2012-09-26 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014066876A true JP2014066876A (ja) | 2014-04-17 |
JP2014066876A5 JP2014066876A5 (ja) | 2015-02-19 |
JP5916577B2 JP5916577B2 (ja) | 2016-05-11 |
Family
ID=50387993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012212238A Active JP5916577B2 (ja) | 2012-09-26 | 2012-09-26 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10048489B2 (ja) |
EP (1) | EP2902836B1 (ja) |
JP (1) | JP5916577B2 (ja) |
WO (1) | WO2014050586A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017146624A (ja) * | 2017-05-18 | 2017-08-24 | 株式会社リコー | 位置検出装置と映像機器 |
US11750779B2 (en) | 2019-08-20 | 2023-09-05 | Ricoh Company, Ltd. | Light deflector, optical scanning system, image projection device, image forming apparatus, and lidar device |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10739460B2 (en) | 2010-08-11 | 2020-08-11 | Apple Inc. | Time-of-flight detector with single-axis scan |
JP5654158B1 (ja) * | 2014-05-07 | 2015-01-14 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 可動反射素子および二次元走査装置 |
US9624100B2 (en) * | 2014-06-12 | 2017-04-18 | Apple Inc. | Micro pick up array pivot mount with integrated strain sensing elements |
DE102014217799B4 (de) * | 2014-09-05 | 2019-11-21 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Piezoelektrischer Positionssensor für piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrospiegel |
US9705432B2 (en) * | 2014-09-30 | 2017-07-11 | Apple Inc. | Micro pick up array pivot mount design for strain amplification |
JP6606865B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2019-11-20 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置及びその製造方法、光走査制御装置 |
JP6498047B2 (ja) | 2015-06-09 | 2019-04-10 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 可動反射装置およびこれを利用した反射面駆動システム |
CN104977104B (zh) * | 2015-07-13 | 2017-04-12 | 大连理工大学 | 一种压电式小量程大量程比的测力装置 |
US10298913B2 (en) * | 2016-08-18 | 2019-05-21 | Apple Inc. | Standalone depth camera |
IT201600132144A1 (it) * | 2016-12-29 | 2018-06-29 | St Microelectronics Srl | Dispositivo attuatore micro-elettro-meccanico con comando piezoelettrico, mobile nel piano |
EP3460981B1 (en) * | 2017-07-26 | 2022-03-30 | Tri-Force Management Corporation | Power generation element |
DE102017220813A1 (de) * | 2017-11-22 | 2019-05-23 | Robert Bosch Gmbh | Laserprojektionsvorrichtung |
JP6985602B2 (ja) * | 2018-01-29 | 2021-12-22 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置及び光走査装置の製造方法 |
IT201800002364A1 (it) | 2018-02-02 | 2019-08-02 | St Microelectronics Srl | Dispositivo micro-manipolatore micro-elettro-meccanico con comando piezoelettrico, mobile nel piano |
DE102018215528A1 (de) * | 2018-09-12 | 2020-03-12 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil |
US11221478B2 (en) * | 2019-04-15 | 2022-01-11 | Microsoft Technology Licensing, Llc | MEMS scanner |
US11175492B2 (en) | 2019-08-12 | 2021-11-16 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Substrate for scanning mirror system |
CN112752209B (zh) * | 2019-10-31 | 2022-03-25 | 华为技术有限公司 | 一种压电式mems传感器以及相关设备 |
CN111289155B (zh) * | 2020-02-26 | 2021-07-13 | 西安交通大学 | 基于电磁激励压阻检测的面内振动硅微谐振式压力传感器 |
US20220026537A1 (en) * | 2020-07-22 | 2022-01-27 | Beijing Voyager Technology Co., Ltd. | Systems and methods for sensing rotation angles of a micro mirror in an optical sensing system |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009258210A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
JP2011095523A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
WO2011121945A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008039810A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学反射素子 |
JP4926596B2 (ja) | 2006-08-08 | 2012-05-09 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及びその製造方法 |
DE102007058239B4 (de) * | 2007-12-04 | 2021-04-29 | Robert Bosch Gmbh | Mikrospiegelvorrichtung |
CA2729750C (en) * | 2008-07-03 | 2017-06-06 | Hotspur Technologies, Inc. | Apparatus and method comprising an expandable balloon or member for treating obstructions within body lumens |
US8477398B2 (en) * | 2009-05-11 | 2013-07-02 | Panasonic Corporation | Optical reflection element |
JP5400636B2 (ja) | 2010-01-20 | 2014-01-29 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及びこれを用いた光学装置 |
JP5592192B2 (ja) * | 2010-08-11 | 2014-09-17 | 富士フイルム株式会社 | 圧電体膜とその製造方法、圧電素子および液体吐出装置 |
-
2012
- 2012-09-26 JP JP2012212238A patent/JP5916577B2/ja active Active
-
2013
- 2013-09-12 WO PCT/JP2013/074648 patent/WO2014050586A1/ja active Application Filing
- 2013-09-12 EP EP13841383.6A patent/EP2902836B1/en active Active
-
2015
- 2015-03-25 US US14/668,429 patent/US10048489B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009258210A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
JP2011095523A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Panasonic Corp | 光学反射素子 |
WO2011121945A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017146624A (ja) * | 2017-05-18 | 2017-08-24 | 株式会社リコー | 位置検出装置と映像機器 |
US11750779B2 (en) | 2019-08-20 | 2023-09-05 | Ricoh Company, Ltd. | Light deflector, optical scanning system, image projection device, image forming apparatus, and lidar device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150198801A1 (en) | 2015-07-16 |
EP2902836B1 (en) | 2021-10-27 |
EP2902836A1 (en) | 2015-08-05 |
EP2902836A4 (en) | 2016-05-04 |
WO2014050586A1 (ja) | 2014-04-03 |
US10048489B2 (en) | 2018-08-14 |
JP5916577B2 (ja) | 2016-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5916577B2 (ja) | ミラー駆動装置及びその駆動方法 | |
JP5323155B2 (ja) | ミラー駆動装置及びその駆動方法並びに製造方法 | |
JP5916668B2 (ja) | ミラー駆動装置及びその駆動方法 | |
JP5916667B2 (ja) | ミラー駆動装置及びその駆動方法 | |
JP5264954B2 (ja) | ミラー駆動装置及び方法 | |
US9030721B2 (en) | Mirror driving device and method of controlling the device | |
JP6308701B2 (ja) | ミラー駆動装置及びその駆動方法 | |
JP6308700B2 (ja) | ミラー駆動装置及びその駆動方法 | |
CN112912784B (zh) | 微镜器件及微镜器件的驱动方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160401 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160405 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5916577 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |