JP2010235442A5 - - Google Patents

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  1. 下記一般式（１）で表されるペロブスカイト型酸化物から構成される圧電材料であって、前記ペロブスカイト型酸化物は多結晶体であり、前記ペロブスカイト型酸化物に含まれているグレインの平均粒径が０．５μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする、圧電材料。
    Figure 2010235442
     （式中、ｘは０．１７≦ｘ≦０．８を表す。）
  2. 前記圧電材料は擬立方晶の表示で｛１１０｝面に優先配向を有することを特徴とする、請求項１に記載の圧電材料。
  3. 前記圧電材料は、さらにＭｎＯ２を０．０７質量％以上２質量％以下含有することを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の圧電材料。
  4. 圧電材料と、前記圧電材料に接して設けられた一対の電極とを有する圧電素子であって、該圧電材料が請求項１乃至３のいずれか一項に記載の圧電材料であることを特徴とする、圧電素子。
  5. 請求項４に記載の圧電素子を用いた液体吐出ヘッド。
  6. 請求項４に記載の圧電素子を用いた超音波モータ。
  7. 下記一般式（１）で表されるペロブスカイト型酸化物から構成される圧電材料の製造方法であって、前記圧電材料を構成する原料の金属化合物の粉末を焼結する焼結工程を有し、前記原料は平均粒径が５ｎｍ以上５０ｎｍ以下である前記金属化合物の粉末であることを特徴とする、圧電材料の製造方法。
    Figure 2010235442
     （式中、ｘは０．１７≦ｘ≦０．８を表す。）
  8. 下記一般式（１）で表されるペロブスカイト型酸化物から構成される圧電材料の製造方法であって、前記圧電材料を構成する原料の金属化合物の粉末を焼結する焼結工程を有し、前記原料は、Ｂｉ、Ｔｉ、Ｍｇを含む平均粒径が５ｎｍ以上５０ｎｍ以下である前記金属化合物の粉末と、平均粒径が１０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下のチタン酸バリウムの粉末とを含むことを特徴とする、圧電材料の製造方法。
    Figure 2010235442
     （式中、ｘは０．１７≦ｘ≦０．８を表す。）
  9. 前記焼結工程において、焼結温度が９５０℃以上１２２０℃以下であることを特徴とする、請求項７または８のいずれか一項に記載の圧電材料の製造方法。
  10. 前記焼結工程前に、原料粉を仮焼きして仮焼粉を得る仮焼工程を有し、前記仮焼粉と前記圧電材料を構成する金属を含有する形状異方性粒子とを混合し、配向した成形体を形成する配向工程を有し、前記形状異方性粒子の平均粒径が１μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする、請求項７または８に記載の圧電材料の製造方法。
  11. 前記形状異方性粒子は擬立方晶の表示で｛１１０｝面に発達面を有し、前記発達面の最大長さＷｇと厚みｔｇのアスペクト比（Ｗｇ／ｔｇ）の平均が２以上であることを特徴とする、請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の圧電材料の製造方法。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8299688B2 (en) * 2009-03-12 2012-10-30 Canon Kabushiki Kaisha Piezoelectric material, method of manufacturing the same, and piezoelectric device
US8400047B2 (en) * 2009-03-12 2013-03-19 Canon Kabushiki Kaisha Piezoelectric material, piezoelectric device, and method of producing the piezoelectric device
JP5430367B2 (ja) * 2009-11-26 2014-02-26 キヤノン株式会社 塵埃除去装置および塵埃除去方法
JP5864168B2 (ja) * 2010-12-28 2016-02-17 キヤノン株式会社 圧電材料、圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置
WO2012118582A1 (en) * 2011-02-28 2012-09-07 Nthdegree Technologies Worldwide Inc. Metallic nanofiber ink, substantially transparent conductor, and fabrication method
JP6063672B2 (ja) * 2011-09-06 2017-01-18 キヤノン株式会社 圧電セラミックス、圧電セラミックスの製造方法、圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器、振動装置、塵埃除去装置、撮像装置、圧電音響部品、および電子機器
US9812633B2 (en) 2012-05-21 2017-11-07 Konica Minolta, Inc. Piezoelectric composition and method for producing same, piezoelectric element/non-lead piezoelectric element and method for producing same, ultrasonic probe and diagnostic imaging device
JP2015199037A (ja) * 2014-04-08 2015-11-12 株式会社東芝 攪拌装置及び自動分析装置
KR101659143B1 (ko) * 2014-04-16 2016-09-22 삼성전기주식회사 유전체 자기 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터
KR101548864B1 (ko) * 2014-04-18 2015-08-31 삼성전기주식회사 유전체 자기 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터
JP6457415B2 (ja) * 2016-03-10 2019-01-23 太陽誘電株式会社 圧電素子及びその製造方法
DE102020114219A1 (de) * 2020-05-27 2021-12-02 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG Ultraschallaktor

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61240622A (ja) * 1985-04-17 1986-10-25 キヤノン株式会社 半導体磁器用組成物及び該組成物を用いた半導体磁器並びにコンデンサ−
US7559494B1 (en) * 1996-09-03 2009-07-14 Ppg Industries Ohio, Inc. Method of forming non-stoichiometric nanoscale powder comprising temperature-processing of a stoichiometric metal compound
JP3873935B2 (ja) 2003-06-18 2007-01-31 セイコーエプソン株式会社 強誘電体メモリ素子
US7132057B2 (en) * 2003-10-15 2006-11-07 Piezotech, Llc Compositions for high power piezoelectric ceramics
JP4710574B2 (ja) * 2005-12-02 2011-06-29 Ｔｄｋ株式会社 誘電体磁器組成物および電子部品
JP4785187B2 (ja) 2006-02-20 2011-10-05 富士通セミコンダクター株式会社 半導体装置および半導体装置の製造方法
JP5294441B2 (ja) * 2006-03-30 2013-09-18 双信電機株式会社 電子部品
JP5035504B2 (ja) 2006-04-12 2012-09-26 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッドおよびインクジェットプリンタ
US7525239B2 (en) * 2006-09-15 2009-04-28 Canon Kabushiki Kaisha Piezoelectric element, and liquid jet head and ultrasonic motor using the piezoelectric element
JP5538670B2 (ja) 2006-09-15 2014-07-02 キヤノン株式会社 圧電体素子、これを用いた液体吐出ヘッド及び超音波モーター
JP2008174413A (ja) * 2007-01-17 2008-07-31 Tdk Corp 誘電体磁器組成物および電子部品
US8871111B2 (en) * 2008-03-18 2014-10-28 Ngk Insulators, Ltd. Piezoelectric/electrostrictive ceramic composition
JP5355148B2 (ja) * 2008-03-19 2013-11-27 キヤノン株式会社 圧電材料
JP5414433B2 (ja) * 2008-09-30 2014-02-12 キヤノン株式会社 強誘電セラミック材料
US8299688B2 (en) * 2009-03-12 2012-10-30 Canon Kabushiki Kaisha Piezoelectric material, method of manufacturing the same, and piezoelectric device
US8400047B2 (en) 2009-03-12 2013-03-19 Canon Kabushiki Kaisha Piezoelectric material, piezoelectric device, and method of producing the piezoelectric device

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