JP2012139923A5 - 液体噴射ヘッド及びその製造方法、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー、並びに赤外線センサー - Google Patents

Claims (11)

1. ノズル開口に連通する圧力発生室と、
   圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
   第１圧電体膜形成用組成物を塗布して第１圧電体前駆体膜を形成する工程及び該第１圧電体前駆体膜を加熱することにより結晶化させて第１圧電体膜を形成する工程を備え、Ａサイトに、カリウム及びナトリウムを含み、Ｂサイトにニオブを含むペロブスカイト構造の複合酸化物を含む圧電材料からなる第１圧電体膜を有する第１圧電体層を前記電極上方に形成する工程と、
   気相成長法により中間層を前記第１圧電体層上に形成する工程と、
   第２圧電体膜形成用組成物を塗布して第２圧電体前駆体膜を形成する工程及び該第２圧電体前駆体膜を加熱することにより結晶化させて第２圧電体膜を形成する工程を備え、Ａサイトに、カリウム及びナトリウムを含み、Ｂサイトにニオブを含むペロブスカイト構造の複合酸化物を含む圧電材料からなる第２圧電体膜を有する第２圧電体層を前記中間層上に形成する工程と、
   を具備し、前記第１圧電体層、中間層、及び前記第２圧電体層からなる前記圧電体層を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
2. 前記中間層は、ペロブスカイト構造の複合酸化物からなることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
3. 前記中間層は、ニオブ酸カリウムナトリウム、鉄酸ビスマス、鉄酸マンガン酸ビスマス、チタン酸バリウム、チタン酸ビスマス、又はチタン酸ビスマスナトリウムからなることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
4. 前記気相成長法は、スパッタリング法であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
5. 前記中間層の厚さが２０〜１００ｎｍとなるように形成することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
6. 前記第１圧電体層及び前記第２圧電体層は、それぞれ厚さが５００ｎｍ以下となるように形成することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
7. ノズル開口に連通する圧力発生室と、
   圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、
   前記圧電体層は、
   ＣＳＤ法（Chemical Solution Deposition）により形成され、Ａサイトに、カリウム及びナトリウムを含み、Ｂサイトにニオブを含むペロブスカイト構造の複合酸化物を含む圧電材料からなる第１圧電体層及び第２圧電体層と、
   前記第１圧電体層と前記第２圧電体層との間に設けられ、気相成長法により形成された中間層と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
8. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法により製造された液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
9. 第１電極と、圧電体層と、第２電極と、を備える圧電素子の製造方法であって、
   第１圧電体膜形成用組成物を塗布して第１圧電体前駆体膜を形成する工程及び該第１圧電体前駆体膜を加熱することにより結晶化させて第１圧電体膜を形成する工程を備え、Ａサイトに、カリウム及びナトリウムを含み、Ｂサイトにニオブを含むペロブスカイト構造の複合酸化物を含む圧電材料からなる第１圧電体膜を有する第１圧電体層を前記第１電極上方に形成する工程と、
   気相成長法により中間層を前記第１圧電体層上に形成する工程と、
   第２圧電体膜形成用組成物を塗布して第２圧電体前駆体膜を形成する工程及び該第２圧電体前駆体膜を加熱することにより結晶化させて第２圧電体膜を形成する工程を備え、Ａサイトに、カリウム及びナトリウムを含み、Ｂサイトにニオブを含むペロブスカイト構造の複合酸化物を含む圧電材料からなる第２圧電体膜を有する第２圧電体層を前記中間層上に形成する工程と、
   を具備し、前記第１圧電体層、中間層、及び前記第２圧電体層からなる前記圧電体層を形成することを特徴とする圧電素子の製造方法。
10. 請求項９に記載の圧電素子の製造方法により製造された圧電素子を具備することを特徴とする超音波センサー。
11. 請求項９に記載の圧電素子の製造方法により製造された圧電素子を具備することを特徴とする赤外線センサー。