JP5168717B2 - 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェットプリンタ - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態の圧電体素子が使用されるプリンタの構造を説明する斜視図である。このプリンタには、本体2に、トレイ3、排出口4および操作ボタン9が設けられている。さらに本体2の内部には、インクジェット式記録ヘッド1、供給機構6、制御回路8が備えられている。
図2は、本実施形態による圧電体素子を備えたインクジェット式記録ヘッドの構造の説明図である。インクジェット式記録ヘッド1は、図に示すように、ノズル板10、圧力室基板20および振動板30を備えて構成されている。
図3は、上記インクジェット式記録ヘッドの圧電体素子部分を拡大した平面図(a)及びそのi−i線断面図(b)である。図4は、図3(a)のii−ii線断面図である。
上記インクジェット式記録ヘッド1の構成において、印刷動作を説明する。制御回路8から駆動信号が出力されると、供給機構6が動作し用紙5がヘッド1によって印刷可能な位置まで搬送される。制御回路8から吐出信号が供給されず圧電体素子の下部電極33と上部電極44との間に電圧が印加されていない場合、圧電体膜43には変形を生じない。吐出信号が供給されていない圧電体素子が設けられているキャビティ21には、圧力変化が生じず、そのノズル穴11からインク滴は吐出されない。
次に、本発明の圧電体素子の製造方法を説明する。図5及び図6は、本実施形態の圧電体素子及びインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面模式図である。
シリコン基板20に絶縁膜31を形成する。シリコン基板20の厚みは、例えば200μm程度のものを使用する。絶縁膜の製造には酸素或いは水蒸気を含む酸化性雰囲気中で高温処理し、例えば厚さ1μm程度の二酸化珪素(SiO2)の膜を形成する。この工程には通常用いる熱酸化法の他、CVD法を使用することもできる。
次に、ZrO2膜32上に下部電極33を成膜する。下部電極33は、例えばIrを含む第三層を成膜する工程と、該第三層上に、Ptを含む第二層を成膜する工程と、該第二層上にIrを含む第一層を成膜する工程とからなる。
次に、下部電極33上に圧電体膜を成膜する。この第1工程では、圧電体膜43の所望の厚さ以下、好ましくは所望の厚さの半分以下の厚さに圧電体膜43aを成膜する。例えば全体の膜厚1.5μmの圧電体膜43を7層で構成する場合、この第1工程では少なくとも1層からなる0.2μmの圧電体膜43aを成膜する。
次に、圧電体膜43aを所望の形状にマスクし、その周辺をエッチングすることで圧電体膜43a及び下部電極33のパターニングを行い、下部電極33から配線用下電極33aを分離させる。具体的には、まずスピンナー法、スプレー法等により均一な厚みのレジスト材料を圧電体膜43a上に塗布し(図示せず)、次いで、マスクを所定の形状に形成してから露光・現像して、レジストパターンを圧電体膜上に形成する(図示せず)。これに通常用いるイオンミリング又はドライエッチング法等により圧電体膜43a及び下部電極33をエッチング除去しZrO2膜32を露出させる。
次に、圧電体膜43a上に更に圧電体膜を成膜する第2工程を実行する。この第2工程では、圧電体膜の所望の厚さに至るまで、上記第1工程と同様の方法により圧電体前駆体膜の焼成の工程を例えば6回繰り返し、合計1.5μmの圧電体膜43を成膜する。
圧電体膜43上に、電子ビーム蒸着法またはスパッタ法により上部電極44を成膜する。上部電極44としては白金(Pt)、イリジウム(Ir)その他の金属を用い、50nmの膜厚に成膜する。
圧電体膜43及び上部電極44を圧電体素子の所定形状にパターニングする。具体的には、上部電極44上にレジストをスピンコートした後、圧力室が形成されるべき位置に合わせて露光・現像してパターニングする。残ったレジストをマスクとして上部電極44、圧電体膜43をイオンミリング等でエッチングする。以上の工程により圧電体素子40が形成される。
次に、上部電極44と配線用下電極33aを導通する細帯電極45を形成する。細帯電極45の材質は剛性が低く、電気抵抗が低い金が好ましい。他に、アルミニウム、銅なども好適である。細帯電極45は約0.2μmの膜厚で成膜し、その後各上部電極と配線用下電極との導通部が残るようにパターニングする。
次に、圧電体素子40が形成された圧力室基板20の他方の面に、異方性エッチングまたは平行平板型反応性イオンエッチング等の活性気体を用いた異方性エッチングを施し、圧力室21を形成する。エッチングされずに残された部分が側壁22になる。
最後に、エッチング後の圧力室基板20にノズル板10を接着剤で貼り合わせる。貼り合わせのときに各ノズル11が圧力室21各々の空間に配置されるよう位置合わせする。ノズル板10が貼り合わせられた圧力室基板20を図示しない筐体に取り付け、インクジェット式記録ヘッド1を完成させる。
本発明は、上記実施形態によらず種々に変形して適用することが可能である。例えば、本発明で製造した圧電体素子は上記インクジェット式記録ヘッドの圧電体素子のみならず、不揮発性半導体記憶装置、薄膜コンデンサ、パイロ電気検出器、センサ、表面弾性波光学導波管、光学記憶装置、空間光変調器、ダイオードレーザ用周波数二倍器等のような強誘電体装置、誘電体装置、パイロ電気装置、圧電装置、および電気光学装置の製造に適用することができる。
Claims (3)
- 基板上に振動板膜、下部電極、圧電体膜、上部電極を順次積層してなる圧電体素子であって、
酸化がされ且つチタン酸ジルコン酸鉛の拡散がされた前記下部電極は所定形状にパターニングしてなり、
前記圧電体膜は、チタン酸ジルコン酸鉛を有し、パターニングにより残された下部電極上及び下部電極が除去された前記振動板膜上に、ゾル・ゲル法により形成され、
前記下部電極の厚さが均一であることを特徴とする、圧電体素子。 - 請求項1に記載の圧電体素子と、当該圧電体素子の機械的変位によって内容積が変化する圧力室と、当該圧力室に連通してインク滴を吐出する吐出口とを備えることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
- 請求項2に記載のインクジェット式記録ヘッドを印字機構に備えるインクジェットプリンタ。
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