JP4058691B2 - 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態による圧電体素子が使用される液体吐出装置であるプリンタの構造を説明する斜視図である。このプリンタには、本体2に、トレイ3、排出口4および操作ボタン9が設けられている。さらに本体2の内部には、液体吐出ヘッドであるインクジェット式記録ヘッド1、給紙機構6、制御回路8が備えられている。
図2は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの主要部の構造を示す分解斜視図である。
<3−1.第1実施形態>
図3は、第1実施形態のインクジェット式記録ヘッドにおける圧電体素子の配置の詳細を示す平面図である。ここでは、多数の圧電体素子40が、互い違いに2列に配置されている。例えば360dpi(dot per inch)の場合、1インチに360個の圧電体素子40が第1の列に配置され、第2の列には360個の圧電体素子40が、上記第1の列と1/720インチずれた位置に配置される。
図5は、参考例のインクジェット式記録ヘッドにおける圧電体素子の配置の詳細を示す平面図である。第1実施形態と同様の機能を有する部分には同一の符号を付している。参考例では、第1実施形態と異なり、第2の金属層である内側金属層42cは、各圧電体素子40に対応するセグメントに分割されている。各々の内側金属層42cの真上に細帯電極45が形成されているため、 図5の平面図では内側金属層42cは見えないようになっている。
上記インクジェット式記録ヘッド1の構成において、印刷動作を説明する。制御回路8から駆動信号が出力されると、給紙機構6が動作し用紙5がヘッド1によって印刷可能な位置まで搬送される。制御回路8から吐出信号が供給されず圧電体素子の下部電極42dと上部電極44との間に駆動電圧が印加されていない場合、圧電体膜43には変形を生じない。吐出信号が供給されていない圧電体素子が設けられている圧力室21には、圧力変化が生じず、そのノズル11からインク滴は吐出されない。
次に、本発明の圧電体素子の製造方法を説明する。図7及び 図8は、上記圧電体素子及びインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面模式図である。 図7及び 図8では、上記 図3及び 図4で説明した第1実施形態のインクジェット式記録ヘッドの構成に沿って説明するが、これと同様の手順で、 図5及び図6で説明した参考例のインクジェット式記録ヘッドも製造することができる。
この工程は、圧力室基板20となるシリコン基板を酸素或いは水蒸気を含む酸化性雰囲気中で高温処理し、酸化珪素(SiO2)からなる酸化膜31を形成する工程である。この工程には通常用いる熱酸化法の他、CVD法を使用することもできる。
圧力室基板20の一面上に形成された酸化膜31の上に、ZrO2膜32を形成する工程である。このZrO2膜32は、スパッタ法または真空蒸着法等によりZrの層を形成したものを酸素雰囲気中で高温処理して得られる。
ZrO2膜32上に、Irを含む下部電極となる導電膜42を形成する。例えば、まずIrを含む層を形成し、次いでPtを含む層を形成し、更にIrを含む層を形成する。
導電膜形成後、これを内側金属層42a及び外側金属層42bと、下部電極42dとに分離するため、まず導電膜42を所望の形状にマスクし、その周辺をエッチングすることでパターニングを行う。具体的には、まずスピンナー法、スプレー法等により均一な厚みのレジスト材料を導電膜42上に塗布し(図示せず)、次いで、マスクを圧電体素子の形状に形成してから露光・現像して、レジストパターンを導電膜上に形成する(図示せず)。これに通常用いるイオンミリング又はドライエッチング法等により導電膜の一部をエッチング除去しZrO2膜32を露出させ、内側金属層42a、外側金属層42b、下部電極42dを形成する。
この工程は、スパッタ法等により、下部電極42d上にTi核(層)(図示せず)を形成する工程である。Ti核(層)を形成するのは、Ti結晶を核としてPZTを成長させることにより、結晶成長が下部電極側から起こり、緻密で柱状の結晶が得られるからである。
この工程は、ゾルゲル法により、圧電体前駆体膜43’を形成する工程である。
圧電体前駆体膜43’の形成後、焼成して圧電体薄膜を結晶化させる工程である。この焼成により、圧電体薄膜43’は、アモルファス状態から菱面体結晶構造をとるようになり、電気機械変換作用を示す薄膜へと変化し、圧電体薄膜43となる。
圧電体薄膜43上に、電子ビーム蒸着法またはスパッタ法により上部電極44を形成する。
圧電体薄膜43及び上部電極44を、圧電体素子の所定形状にパターニングする工程である。具体的には、上部電極44上にレジストをスピンコートした後、圧力室が形成されるべき位置に合わせて露光・現像してパターニングする。残ったレジストをマスクとして上部電極44、圧電体薄膜43をイオンミリング等でエッチングする。以上の工程で、圧電体素子40が形成される。
次に、上部電極44と導通する細帯電極45を形成する。細帯電極45の材質は剛性が低く、電気抵抗が低い金が好ましい。他に、アルミニウム、銅なども好適である。細帯電極45は約0.5μmの膜厚で成膜し、その後各上部電極と導通を取り、配線を引き出せるようにパターニングする。
次に、圧電体素子40が形成された圧力室基板20の他方の面に、異方性エッチングまたは平行平板型反応性イオンエッチング等の活性気体を用いた異方性エッチングを施し、圧力室21、リザーバ23、供給口24を形成する。エッチングされずに残された部分が側壁22になる。なお、リザーバ23は、外側金属層42bの対向する位置に、外側金属層42bより一回り小さな形状に形成され、レーザ等により貫通口が形成される。
最後に、エッチング後の圧力室基板20にノズル板10を接着剤で貼り合わせる。貼り合わせのときに各ノズル11が圧力室21各々の空間に配置されるよう位置合わせする。ノズル板10が貼り合わせられた圧力室基板20を図示しない筐体に取り付け、インクジェット式記録ヘッド1を完成させる。
図9は、上記製造方法の変形例を示す断面模式図であり、図7に対応する工程を示している。S1〜S3の工程は図7と同一であり、S6cより後の工程は図8と同一であるため、その説明を省略する。この例では、S3において導電膜42を形成した後、パターニングの前に圧電体薄膜の第1層43aを形成し(S6a)、その後圧電体薄膜の第1層43a及び導電膜42をまとめてパターニングする(S6b)。
S3において導電膜42を形成した後、導電膜42上に圧電体薄膜の第1層43aを形成する。形成方法は例えばTi核(層)を3〜7nm、好ましくは4〜6nmの厚さに形成後、上記図7のS5及びS6で説明したと同様に、ゾルの塗布、乾燥、脱脂の工程を2回繰り返し、これを焼成し、圧電体薄膜の第1層43aを約200nmに形成する。
次に、上記圧電体薄膜の第1層43a及び導電膜42を、図7のS4と同様の形状にパターニングする。導電膜42は下部電極42d、内側金属層42a、外側金属層42bに分離される。圧電体薄膜の第1層43a及び導電膜42が除去された部分はZrO2膜32が露出する。
次に、上記圧電体薄膜の第1層43a上及び上記露出したZrO2膜32上にTi核(層)を例えば1nm以上4nm以下に形成後、圧電体薄膜の第2層以降を、上記第1層と同様の方法で形成する。そして、所定の厚みになるまで塗布、乾燥、脱脂の工程及び焼成の工程を繰り返す。その結果、下部電極42d上には、上記露出したZrO2膜32上よりも層の数が多い圧電体薄膜43が形成される。例えば、下部電極42d上には6層、上記露出したZrO2膜32上には5層の圧電体薄膜43が形成される。
図3及び図4で説明した第1実施形態のインクジェット式記録ヘッドを、図9及び図8で説明した変形例の方法で製造したもの(但し圧電体薄膜は膜厚1.1μmのPZT、下部電極42dと内側金属層42a及び外側金属層42bとの間隔は50μm)と、従来の方法により製造したもの(但し圧電体薄膜は膜厚1.1μmのPZT、下部電極42dと内側金属層42a及び外側金属層42bとの間隔は500μm)につき、耐電圧性および耐久性を調べた。
本発明は、上記実施形態によらず種々に変形して適応することが可能である。例えば、本発明で製造した圧電体素子は、上記インクジェット式記録ヘッドの圧電体素子のみならず、不揮発性半導体記憶装置、薄膜コンデンサ、パイロ電気検出器、センサ、表面弾性波光学導波管、光学記憶装置、空間光変調器、ダイオードレーザ用周波数二倍器等のような強誘電体装置、誘電体装置、パイロ電気装置、圧電装置、および電気光学装置の製造に適応することができる。
Claims (7)
- 振動板と、
前記振動板上に所定パターンに形成された下部電極と、前記下部電極上に形成された圧電体膜と、前記圧電体膜上に形成された上部電極と、を備えた圧電体素子と、
当該圧電体素子の機械的変位によって内容積が変化する圧力室と、当該圧力室に連通して液滴を吐出する吐出口とを備える、液体吐出ヘッドであって、
複数の前記圧電体素子が列設されており、
前記下部電極の近傍に、前記振動板上に形成された金属層であって、前記下部電極および前記上部電極と電気的に切断された金属層が、前記圧電体素子の列設方向に延設された、液体吐出ヘッド。 - 請求項1において、
前記金属層は、前記下部電極と同一の材料で形成されている、液体吐出ヘッド。 - 請求項1又は請求項2において、
前記下部電極と、これと電気的に切断された前記金属層との間隔は、200μm以下である、液体吐出ヘッド。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一項において、
前記圧電体膜は、前記金属層の少なくとも一部を覆うように形成され、前記上部電極から延びる配線用の電極が、前記金属層のうち前記圧電体膜に覆われた部分の上に形成され、当該圧電体膜によって前記金属層と絶縁されている、液体吐出ヘッド。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一項において、
前記圧電体膜の近傍に、前記振動板上に形成された金属層であって前記下部電極と電気的に切断され、前記上部電極から延びる配線用の電極と導通する第2の金属層を更に備えた、液体吐出ヘッド。 - 請求項1乃至請求項5の何れか一項において、
前記圧電体膜は、前記所定パターンに形成された下部電極上及び下部電極が存在しない前記振動板上に形成され、
前記圧電体膜のうち前記下部電極上に形成された部分は、前記振動板上に形成された部分より前記圧電体膜の層の数が多い、液体吐出ヘッド。 - 請求項1に記載の液体吐出ヘッドと、当該液体吐出ヘッドを駆動する駆動装置と、を備えた液体吐出装置。
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