JP3555682B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents
液体吐出ヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP3555682B2 JP3555682B2 JP2002200599A JP2002200599A JP3555682B2 JP 3555682 B2 JP3555682 B2 JP 3555682B2 JP 2002200599 A JP2002200599 A JP 2002200599A JP 2002200599 A JP2002200599 A JP 2002200599A JP 3555682 B2 JP3555682 B2 JP 3555682B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure chamber
- thin film
- piezoelectric thin
- film
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 41
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 239000010408 film Substances 0.000 description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 13
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- PQCCZSBUXOQGIU-UHFFFAOYSA-N [La].[Pb] Chemical compound [La].[Pb] PQCCZSBUXOQGIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013110 organic ligand Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1646—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/03—Specific materials used
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体吐出ヘッドに係り、特に、圧電体素子とこれにより容積が増減する圧力室とが形成された液体吐出ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
液体吐出ヘッドは、圧電体素子などの駆動素子を用いて、圧力室内のインクや他の液体を吐出するものである。この圧電体素子は、圧電体膜及びこれを挟む上下の電極を備えている。これらの電極に駆動電圧を印加することによって歪みを生じ、圧力室の容積を変化させ、キャビティ内の液体を吐出することができる。液体吐出ヘッドの小型化に伴い、圧電体膜を始めとした各部分の薄膜化、小型化が要請されるようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、圧電体膜を薄膜化した液体吐出ヘッドは、圧電体膜に印加する電圧を0にしてもなお振動板及び圧電体膜に撓みが残ることがある。かかる撓みは、振動板や圧電体膜に生じる内部応力の影響が、薄膜化に伴って相対的に大きくなることが原因の1つであると推測される。振動板及び圧電体膜にこのような撓みが生じていると、駆動電圧を印加しても十分な変位量を得ることができない。この問題は液体吐出ヘッドの薄膜化、小型化が進めば進むほど大きくなる可能性があり、今後の液体吐出ヘッドの発展のためにも解決が望まれる。
【0004】
本発明は、以上の問題を解決し駆動電圧の印加により十分な変位を得ることができる圧電体素子を用いた液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明は、圧力室が形成された基板と、基板上に形成された振動板と、振動板上に形成された圧電体薄膜素子と、を備えた液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板が前記圧力室側に凸となるようにたわんでおり、前記振動板のたわみ量が、前記圧力室の幅の0.4%以下であり、前記圧電体薄膜素子は、100面配向度が70%を越えるPZTからなる圧電体薄膜を備えることを特徴とする。
【0006】
上記液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板が、SiO2層及びZrO2層からなることが望ましい。
【0007】
上記液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電体薄膜素子は、少なくともPb(Zn1/3Nb2/3)O3を含む多成分系PZTからなる圧電体薄膜を備えることが望ましい。
【0008】
上記液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板のうち、前記圧力室形成部分を他の部分より薄く形成してもよい。
【0009】
上記液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電体薄膜素子は、膜厚0.5μm以上2.0μm以下の圧電体薄膜を備えることが望ましい。
【0010】
本発明の液体吐出装置は、上記の液体吐出ヘッドによりインクを吐出可能に構成されたことを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【0012】
<1.インクジェットプリンタの全体構成>
図1は、本実施形態の液体吐出ヘッドが使用される液体吐出装置の一例としてのプリンタの構造を説明する斜視図である。このプリンタには、本体2に、トレイ3、排出口4および操作ボタン9が設けられている。さらに本体2の内部には、インクジェット式記録ヘッド1、給紙機構6、制御回路8が備えられている。
【0013】
液体吐出ヘッドであるインクジェット式記録ヘッド1は基板上に形成された複数の圧電体素子を備え、制御回路8から供給される吐出信号に対応して、ノズルからインクを吐出可能に構成されている。
【0014】
本体2は、プリンタの筐体であって、用紙5をトレイ3から供給可能な位置に給紙機構6を配置し、用紙5に印字可能なようにインクジェット式記録ヘッド1を配置している。トレイ3は、印字前の用紙5を給紙機構6に供給可能に構成され、排出口4は、印刷が終了した用紙5を排出する出口である。
【0015】
給紙機構6は、モータ600、ローラ601・602、その他の図示しない機械構造を備えている。モータ600は、制御回路8から供給される駆動信号に対応して回転可能になっている。機械構造は、モータ600の回転力をローラ601・602に伝達可能に構成されている。ローラ601および602は、モータ600の回転力が伝達されると回転するようになっており、回転によりトレイ3に載置された用紙5を引き込み、ヘッド1によって印刷可能に供給するようになっている。
【0016】
制御回路8は、図示しないCPU、ROM、RAM、インターフェース回路などを備え、図示しないコネクタを介してコンピュータから供給される印字情報に対応させて、駆動信号を給紙機構6に供給したり、吐出信号をインクジェット式記録ヘッド1に供給したりできるようになっている。また、制御回路8は操作パネル9からの操作信号に対応させて動作モードの設定、リセット処理などが行えるようになっている。
【0017】
本実施形態のプリンタは、後述の十分な変位を得ることができる液体吐出ヘッドを備えているので、性能の高いプリンタとなっている。
【0018】
<2.インクジェット式記録ヘッドの構成>
図2は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの主要部の構造を示す分解斜視図である。
【0019】
図2に示すように、インクジェット式記録へッドは、ノズル板10、圧力室基板20、振動板30を備えて構成される。
【0020】
圧力室基板20は、圧力室(キャビティ)21、側壁22、リザーバ23および供給口24を備えている。圧力室21は、シリコン等の基板をエッチングすることにより、インクなどを吐出するために貯蔵する空間として形成されたものである。側壁22は、圧力室21を仕切るよう形成されている。リザーバ23は、インクを共通して各圧力室21に供給するための流路となっている。供給口24は、リザーバ23から各圧力室21へインクを導入可能に形成されている。
【0021】
ノズル板10は、圧力室基板20に設けられた圧力室21の各々に対応する位置にそのノズル11が配置されるよう、圧力室基板20の一方の面に貼り合わせられている。
【0022】
振動板30は、後述するように酸化膜31とZrO2膜32とを積層して形成されたものであり、圧力室基板20の他方の面に形成されている。振動板30には、図示しないインクタンク接続口が設けられており、インクタンクに貯蔵されているインクを圧力室基板20のリザーバ23に供給可能になっている。
【0023】
ノズル板10、振動板30及び圧力室基板20からなるヘッドユニットは、筐体25に収められて固定されインクジェット式記録ヘッド1を構成している。
【0024】
<3.圧電体素子の構成>
図3は、上記インクジェット式記録ヘッドの圧電体素子部分を拡大した平面図(a)、そのi−i線断面図(b)及びii−ii線断面図(c)である。
【0025】
図3に示すように、圧電体素子40は、酸化膜31上にZrO2膜32、下部電極42、圧電体薄膜43および上部電極44を順次積層して構成されている。
【0026】
酸化膜31は、例えば厚さ100μmの単結晶シリコンからなる圧力室基板20上に絶縁膜として形成する。好適には、酸化ケイ素(SiO2)からなる膜を1.0μmの厚さに形成して得る。
【0027】
ZrO2膜32は、弾性を備える層であって、酸化膜31と一体となって振動板30を構成している。このZrO2膜32は、振動板に弾性を与える機能を備えるため、好ましくは、200nm以上800nm以下の厚みを有する。例えば、500nmの厚みとする。
【0028】
ZrO2膜32と下部電極42の間には、双方の層を密着するような金属、好ましくは、チタンまたはクロムからなる密着層(図示しない)を設けてもよい。密着層は、圧電体素子の設置面への密着性を良くするために形成するものであり、当該密着性が確保できる場合には形成しなくてもよい。また、密着層を設ける場合、好ましくは、10nm以上の厚みとする。
【0029】
下部電極42は、ここでは少なくともIrを含む層、例えば最下層からIrを含む層/Ptを含む層/Irを含む層の層構造となっている。下部電極42の全体の厚みは、例えば200nmとする。
【0030】
下部電極42の層構造はこれに限らず、Irを含む層/Ptを含む層、またはPtを含む層/Irを含む層なる2層構造でもよい。また、Irを含む層のみで構成しても良い。
【0031】
圧電体薄膜43は圧電性セラミックスの結晶で構成された強誘電体であり、好ましくは、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の強誘電性圧電性材料や、これに酸化ニオブ、酸化ニッケルまたは酸化マグネシウム等の金属酸化物を添加したものからなる。圧電体薄膜43の組成は圧電体素子の特性、用途等を考慮して適宜選択する。具体的には、チタン酸鉛(PbTiO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)、ジルコニウム酸鉛(PbZrO3)、チタン酸鉛ランタン((Pb,La),TiO3)、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン((Pb,La)(Zr,Ti)O3)又は、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛(Pb(Zr,Ti)(Mg,Nb)O3)等が好適に用いられる。また、チタン酸鉛やジルコニウム酸鉛にニオブ(Nb)を適宜添加することにより、圧電特性に優れた膜を得ることができる。
【0032】
圧電体薄膜43は、X線回折広角法により測定した100面配向度が70%以上の膜であり、特に80%以上が好ましい。そして、110面配向度は10%以下、111面配向度が残部である。但し、100面配向度、110面配向度及び111面配向度の和は100%とする。
【0033】
圧電体薄膜43の厚みは、製造工程でクラックが発生しない程度に抑え、一方、十分な変位特性を呈する程度に厚くする必要があり、0.5μm以上2.0μm以下の厚さが好ましい。例えば1μmとする。
【0034】
上部電極44は、下部電極42と対になる電極であり、好適には、PtまたはIrにより構成される。上部電極44の厚みは、好適には50nm程度である。
【0035】
下部電極42は各圧電体素子に共通な電極となっている。これに対して配線用下電極42aは下部電極42と同じ高さの層に位置するが、下部電極42や他の配線用下電極42aとは分離され、細帯電極45を介して上部電極44に導通可能になっている。
【0036】
図4は、図3(c)の囲み線iii部分の拡大図である。図4は図3(c)よりも本実施形態の膜厚比に近いものであるが、特に振動板の撓みSを強調して図示している。図に示されるように、キャビティ幅Wは圧力室21の振動板寄りの面における短辺の長さである。撓みSは、圧電体素子40の電極に印加する電圧が0の場合における振動板30の変位量である。製造直後と一定回数の使用後とで印加電圧が0の場合における変位量が異なる場合には、使用後でも撓みSが小さいことが望ましい。
【0037】
<4.インクジェット式記録ヘッドの動作>
上記インクジェット式記録ヘッド1の構成において、印刷動作を説明する。制御回路8から駆動信号が出力されると、給紙機構6が動作し用紙5がヘッド1によって印刷可能な位置まで搬送される。制御回路8から吐出信号が供給されず圧電体素子の下部電極42と上部電極44との間に駆動電圧が印加されていない場合、圧電体膜43には変形を生じない。吐出信号が供給されていない圧電体素子が設けられている圧力室21には、圧力変化が生じず、そのノズル11からインク滴は吐出されない。
【0038】
一方、制御回路8から吐出信号が供給され圧電体素子の下部電極42と上部電極44との間に一定の駆動電圧が印加された場合、圧電体膜43に変形を生じる。吐出信号が供給された圧電体素子が設けられている圧力室21ではその振動板30が圧力室の室内側に大きくたわむ。このため圧力室21内の圧力が瞬間的に高まり、ノズル11からインク滴が吐出される。ヘッド中で印字データに対応した位置の圧電体素子に吐出信号を個別に供給することで、任意の文字や図形を印刷させることができる。
【0039】
<5.製造方法>
次に、本発明の圧電体素子の製造方法を説明する。図5及び図6は、本発明の圧電体素子及びインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面模式図である。
【0040】
酸化膜形成工程(S1)
この工程は、圧力室基板20となるシリコン基板を酸素或いは水蒸気を含む酸化性雰囲気中で高温処理し、酸化珪素(SiO2)からなる酸化膜31を形成する工程である。この工程には通常用いる熱酸化法の他、CVD法を使用することもできる。熱酸化法を用いる場合、酸化膜内に圧縮応力が生じやすいため、このことも振動板に撓みSが生じる一因であると推測される。
【0041】
ZrO2膜を形成する工程(S2)
酸化膜31が形成された圧力室基板20の一方の面に、ZrO2膜32を形成する工程である。このZrO2膜32は、スパッタ法または真空蒸着法等によりZrの層を形成したものを酸素雰囲気中で高温処理して得られる。
【0042】
下部電極を形成する工程(S3)
ZrO2膜32上に下部電極42を形成する。例えば、まずIrを含む層を形成し、次いでPtを含む層を形成し、更にIrを含む層を形成する。
【0043】
下部電極42を構成する各層は、それぞれIrまたはPtをZrO2膜32上に、スパッタ法等で付着させて形成する。なお、下部電極42の形成に先立ち、チタン又はクロムからなる密着層(図示せず)をスパッタ法又は真空蒸着法により形成しても良い。
【0044】
下部電極の形成工程では下部電極42内に引張応力が生じやすいため、このことも振動板30及び圧電体素子40に撓みSが生じる一因であると推測される。
【0045】
下部電極形成後のパターニング工程(S4)
下部電極形成後、これを配線用下電極42aと分離するため、まず下部電極層42を所望の形状にマスクし、その周辺をエッチングすることでパターニングを行う。具体的には、まずスピンナー法、スプレー法等により均一な厚みのレジスト材料を下部電極上に塗布し(図示せず)、次いで、マスクを圧電体素子の形状に形成してから露光・現像して、レジストパターンを下部電極上に形成する(図示せず)。これに通常用いるイオンミリング又はドライエッチング法等により下部電極をエッチング除去しZrO2膜32を露出させる。
【0046】
更に、前記パターニング工程において下部電極表面に付着した汚染物質や酸化部分等を除去するため、逆スパッタリングによるクリーニングを行う(図示せず)。
【0047】
Ti核(層)を形成する工程
この工程は、スパッタ法等により、下部電極42上にTi核(層)(図示せず)を形成する工程である。Ti核(層)を形成するのは、Ti結晶を核としてPZTを成長させることにより、結晶成長が下部電極側から起こり、緻密で柱状の結晶が得られる。Ti核(層)の厚さを調整することにより、圧電体薄膜であるPZTの100面配向度を制御することができる。Ti核(層)の平均厚みはたとえば3〜7nmとする。
【0048】
圧電体薄膜を形成する工程(S5)
圧電体薄膜43は、例えば以下に説明するゾル・ゲル法により製造される。
【0049】
まず、有機金属アルコキシド溶液からなるゾルをスピンコート等の塗布法によりTi核上に塗布する。次いで、一定温度で一定時間乾燥させ、溶媒を蒸発させる。乾燥後、さらに大気雰囲気下において所定の高温で一定時間脱脂し、金属に配位している有機の配位子を熱分解させ、金属酸化物とする。この塗布、乾燥、脱脂の各工程を所定回数、例えば2回繰り返して2層からなる圧電体前駆体膜を積層する。これらの乾燥と脱脂処理により、溶液中の金属アルコキシドと酢酸塩とは配位子の熱分解を経て金属、酸素、金属のネットワークを形成する。
【0050】
圧電体前駆体膜の形成後、焼成して結晶化させることにより圧電体薄膜を形成する。この焼成により、圧電体前駆体膜は、アモルファス状態から菱面体結晶構造をとるようになり、電気機械変換作用を示す圧電体薄膜へと変化し、X線回折広角法により測定した100面配向度が80%となる。
【0051】
以上のような前駆体膜の形成とその焼成とを複数回繰り返すことにより、圧電体薄膜を所望の膜厚とすることができる。例えば1回の焼成につき塗布する前駆体膜の膜厚を200nmとし、これを5回繰り返す。2回目以降の焼成により形成される層は、順次下層の圧電体膜の影響を受けて結晶成長し、圧電体薄膜全体にわたって、100面配向度が80%となる。
【0052】
圧電体薄膜の形成工程では圧電体薄膜43内に引張応力が生じやすいため、このことも振動板30及び圧電体素子40に撓みSが生じる一因であると推測される。なお、100面配向度を70%以上とすることにより、後述のように撓みSを軽減することができる。また、圧電体薄膜を多成分系PZTとすることにより、後述のように撓みSを軽減することができる。
【0053】
上部電極形成工程(S6)
圧電体薄膜43上に、電子ビーム蒸着法またはスパッタ法により上部電極44を形成する。
【0054】
圧電体薄膜及び上部電極除去工程(S7)
圧電体薄膜43及び上部電極44を、圧電体素子の所定形状にパターニングする工程である。具体的には、上部電極44上にレジストをスピンコートした後、圧力室が形成されるべき位置に合わせて露光・現像してパターニングする。残ったレジストをマスクとして上部電極44、圧電体薄膜43をイオンミリング等でエッチングする。以上の工程で、圧電体素子40が形成される。
【0055】
細帯電極形成工程(S8)
次に、上部電極44と配線用下電極42aを導通する細帯電極45を形成する。細帯電極45の材質は剛性が低く、電気抵抗が低い金が好ましい。他に、アルミニウム、銅なども好適である。細帯電極45は約0.2μmの膜厚で成膜し、その後各上部電極と配線用下電極との導通部が残るようにパターニングする。
【0056】
圧力室形成工程(S9)
次に、圧力室基板20の他方の面に、異方性エッチングまたは平行平板型反応性イオンエッチング等の活性気体を用いた異方性エッチングを施し、圧電体素子40の形成箇所と対応する部分に圧力室21を形成する。エッチングされずに残された部分が側壁22になる。
【0057】
圧力室基板20は、圧力室21の形成前においては、酸化膜31及び圧電体薄膜43の製膜工程で生じていた内部応力に抗してこれらを平らに保持していたが、圧力室基板20をエッチング除去したことにより、除去した部分の振動板30及び圧電体素子40に撓みS(初期撓み)が生じる。撓みSが生じる一因として酸化膜31内の内部応力が考えられることから、圧力室形成後に酸化膜31をエッチングして膜厚を一部薄くすることで内部応力を軽減することにより、撓みSを軽減することも考えられる。
【0058】
ノズル板貼り合わせ工程(S10)
最後に、エッチング後の圧力室基板20にノズル板10を接着剤で貼り合わせる。貼り合わせのときに各ノズル11が圧力室21各々の空間に配置されるよう位置合わせする。ノズル板10が貼り合わせられた圧力室基板20を図示しない筐体に取り付け、インクジェット式記録ヘッド1を完成させる。
【0059】
<6.実施例1>
上記実施形態のインクジェット式記録ヘッドを、圧電体薄膜であるPZTの100面配向度を種々変えて製造した。下部電極上に形成したTi核の厚みを調整することにより、PZTの100面配向度が8%、33%、79%のものがそれぞれ得られた。キャビティ幅Wはいずれも65μmとした。
【0060】
これらインクジェット式記録ヘッドについて、製造直後の振動板の撓みS(初期撓み)と、20Vの台形波を1億パルス印加した後で印加電圧を0にした時の振動板の撓みS(駆動後撓み)とを測定した。
【0061】
100面配向度が8%のものでは、初期撓みSは230nm、駆動後撓みSは280nmとなった。100面配向度が33%のものでは、初期撓みSは130nm、駆動後撓みSは280nmとなった。100面配向度が79%のものでは、初期撓みSは100nm、駆動後撓みSは220nmとなった。
【0062】
以上のように100面配向度が79%のものでは、電圧印加後でも撓みSがキャビティ幅Wの0.4%以内に収まり、良好な結果を示すことがわかった。
【0063】
<7.実施例2>
上記実施形態のインクジェット式記録ヘッドにおいて、圧電体薄膜を多成分系のPZTとして、撓みSの測定を行った。具体的には、0.47PbZrO3−0.43PbTiO3−0.05Pb(Ni1/3Nb2/3)O3−0.05Pb(Zr1/3Nb2/3)O3で示されるジルコニウムニオブ酸ニッケルニオブ酸ジルコン酸チタン酸鉛を圧電体薄膜43とするインクジェット式記録ヘッドを用いた。キャビティ幅Wは実施例1と同様に65μmとした。初期撓みSは176nm、駆動後撓みSは187nmとなり、いずれもキャビティ幅Wの0.4%以下となった。
【0064】
<8.その他の応用例>
本発明の液体吐出ヘッドは、インクジェット記録装置に用いられるインクを吐出するヘッド以外にも、液晶ディスプレイ等のためのカラーフィルタの製造に用いられる色材を含む液体を吐出するヘッド、有機ELディスプレイやFED(面発光ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料を含む液体を吐出するヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出するヘッド等、種々の液体を噴射するヘッドに適用することが可能である。
【0065】
【発明の効果】
本発明によれば、駆動電圧の印加により十分な変位を得ることができる圧電体素子を用いた液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドが使用されるプリンタの構造を説明する斜視図である。
【図2】本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの主要部の構造を示す分解斜視図である。
【図3】上記インクジェット式記録ヘッドの圧電体素子部分を拡大した平面図(a)、そのi−i線断面図(b)及びii−ii線断面図(c)である。
【図4】図3(c)の囲み線iii部分の拡大図である。
【図5】本発明の液体吐出ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面模式図である。
【図6】本発明の液体吐出ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面模式図である。
【符号の説明】
20…圧力室基板、30…振動板、31…酸化膜、32…ZrO2膜、40…圧電体薄膜素子、42…下部電極、43…圧電体薄膜、44…上部電極、S…撓み、W…キャビティ幅
Claims (6)
- 圧力室が形成された基板と、基板上に形成された振動板と、振動板上に形成された圧電体薄膜素子と、を備えた液体吐出ヘッドにおいて、
前記振動板が前記圧力室側に凸となるようにたわんでおり、前記振動板のたわみ量が、前記圧力室の幅の0.4%以下であり、前記圧電体薄膜素子は、100面配向度が70%を越えるPZTからなる圧電体薄膜を備えた液体吐出ヘッド。 - 請求項1において、
前記振動板が、SiO 2 層及びZrO 2 層からなる液体吐出ヘッド。 - 請求項1または請求項2において、
前記圧電体薄膜素子は、少なくともPb(Zr 1/3 Nb 2/3 )O 3 を含む多成分系PZTからなる圧電体薄膜を備えた液体吐出ヘッド。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一項において、
前記振動板のうち、前記圧力室形成部分を他の部分より薄く形成した液体吐出ヘッド。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一項において、
前記圧電体薄膜素子は、膜厚0.5μm以上、2.0μm以下の圧電体薄膜を備えた液体吐出ヘッド。 - 請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドによりインクを吐出可能に構成された液体吐出装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002200599A JP3555682B2 (ja) | 2002-07-09 | 2002-07-09 | 液体吐出ヘッド |
US10/491,827 US7708389B2 (en) | 2002-07-09 | 2003-07-08 | Liquid ejection head |
EP13000907.9A EP2602114A1 (en) | 2002-07-09 | 2003-07-08 | Liquid jetting head |
CNB038017504A CN100382969C (zh) | 2002-07-09 | 2003-07-08 | 液体喷出头及液体喷出装置 |
PCT/JP2003/008667 WO2004005032A1 (ja) | 2002-07-09 | 2003-07-08 | 液体吐出ヘッド |
EP20030741277 EP1464494A4 (en) | 2002-07-09 | 2003-07-08 | LIQUID EJECTION HEAD |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002200599A JP3555682B2 (ja) | 2002-07-09 | 2002-07-09 | 液体吐出ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004042329A JP2004042329A (ja) | 2004-02-12 |
JP3555682B2 true JP3555682B2 (ja) | 2004-08-18 |
Family
ID=30112524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002200599A Expired - Lifetime JP3555682B2 (ja) | 2002-07-09 | 2002-07-09 | 液体吐出ヘッド |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7708389B2 (ja) |
EP (2) | EP2602114A1 (ja) |
JP (1) | JP3555682B2 (ja) |
CN (1) | CN100382969C (ja) |
WO (1) | WO2004005032A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6831190B1 (en) | 1994-08-30 | 2004-12-14 | Teikoku Chemical Industries Co., Ltd. | Guanidinomethyl cyclohexane carboxylic acid ester derivatives |
US9889654B2 (en) | 2015-03-11 | 2018-02-13 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid ejection head, liquid ejection unit, and liquid ejection device |
US9902151B2 (en) | 2015-03-11 | 2018-02-27 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid ejection head, liquid ejection unit, and liquid ejection device |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4362045B2 (ja) * | 2003-06-24 | 2009-11-11 | 京セラ株式会社 | 圧電変換装置 |
JP4737375B2 (ja) * | 2004-03-11 | 2011-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法並びに液体噴射装置の製造方法 |
JP2005340428A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子及びその製造方法 |
DE102004036803A1 (de) * | 2004-07-29 | 2006-03-23 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Ätzen einer Schicht auf einem Substrat |
JP5297576B2 (ja) | 2005-03-28 | 2013-09-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子及びアクチュエータ装置並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
CN101374665B (zh) * | 2006-01-25 | 2010-12-08 | 精工爱普生株式会社 | 喷墨打印机的头驱动装置、头驱动方法及喷墨打印机 |
JP2007281031A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
US7768178B2 (en) * | 2007-07-27 | 2010-08-03 | Fujifilm Corporation | Piezoelectric device, piezoelectric actuator, and liquid discharge device having piezoelectric films |
JP5244749B2 (ja) * | 2009-09-14 | 2013-07-24 | 富士フイルム株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの駆動方法、及び、画像記録装置 |
US8404132B2 (en) * | 2011-03-31 | 2013-03-26 | Fujifilm Corporation | Forming a membrane having curved features |
JP5836754B2 (ja) * | 2011-10-04 | 2015-12-24 | 富士フイルム株式会社 | 圧電体素子及びその製造方法 |
US10032977B2 (en) * | 2014-08-05 | 2018-07-24 | Rohm Co., Ltd. | Device using a piezoelectric element and method for manufacturing the same |
JP6551773B2 (ja) * | 2015-02-16 | 2019-07-31 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置 |
JP7013914B2 (ja) * | 2017-03-17 | 2022-02-01 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、および液体を吐出する装置 |
US10239312B2 (en) * | 2017-03-17 | 2019-03-26 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
JP6384688B1 (ja) | 2017-03-24 | 2018-09-05 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子及び圧電素子応用デバイス |
JP2020001369A (ja) * | 2018-06-20 | 2020-01-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
JP7095477B2 (ja) | 2018-08-09 | 2022-07-05 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッド |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3162584B2 (ja) * | 1994-02-14 | 2001-05-08 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪膜型素子及びその製造方法 |
JPH08118663A (ja) * | 1994-10-26 | 1996-05-14 | Mita Ind Co Ltd | インクジェットプリンタ用印字ヘッド及びその製造方法 |
JPH08118662A (ja) * | 1994-10-26 | 1996-05-14 | Mita Ind Co Ltd | インクジェットプリンタ用印字ヘッド及びその製造方法 |
EP0736915A1 (en) * | 1995-04-03 | 1996-10-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric thin film, method for producing the same, and ink jet recording head using the thin film |
JP3503386B2 (ja) * | 1996-01-26 | 2004-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
JPH1158730A (ja) * | 1997-08-11 | 1999-03-02 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 |
US6276772B1 (en) * | 1998-05-02 | 2001-08-21 | Hitachi Koki Co., Ltd. | Ink jet printer using piezoelectric elements with improved ink droplet impinging accuracy |
EP0963846B1 (en) * | 1998-06-08 | 2005-08-31 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head and ink jet recording apparatus |
JP3517876B2 (ja) * | 1998-10-14 | 2004-04-12 | セイコーエプソン株式会社 | 強誘電体薄膜素子の製造方法、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタ |
US6494567B2 (en) * | 2000-03-24 | 2002-12-17 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric element and manufacturing method and manufacturing device thereof |
JP3567977B2 (ja) | 2000-03-24 | 2004-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、及び圧電体素子の製造方法 |
WO2001074592A1 (fr) * | 2000-03-31 | 2001-10-11 | Fujitsu Limited | Tete a jet d'encre a buses multiples et son procede de fabrication |
JP2002001952A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP4342744B2 (ja) * | 2001-04-23 | 2009-10-14 | 株式会社リコー | ヘッド駆動装置及びインクジェット記録装置 |
JP4305016B2 (ja) * | 2002-03-18 | 2009-07-29 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエータユニット、及び、それを用いた液体噴射ヘッド |
-
2002
- 2002-07-09 JP JP2002200599A patent/JP3555682B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-07-08 EP EP13000907.9A patent/EP2602114A1/en not_active Withdrawn
- 2003-07-08 CN CNB038017504A patent/CN100382969C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-07-08 US US10/491,827 patent/US7708389B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-07-08 WO PCT/JP2003/008667 patent/WO2004005032A1/ja active Application Filing
- 2003-07-08 EP EP20030741277 patent/EP1464494A4/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6831190B1 (en) | 1994-08-30 | 2004-12-14 | Teikoku Chemical Industries Co., Ltd. | Guanidinomethyl cyclohexane carboxylic acid ester derivatives |
US9889654B2 (en) | 2015-03-11 | 2018-02-13 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid ejection head, liquid ejection unit, and liquid ejection device |
US9902151B2 (en) | 2015-03-11 | 2018-02-27 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid ejection head, liquid ejection unit, and liquid ejection device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100382969C (zh) | 2008-04-23 |
US7708389B2 (en) | 2010-05-04 |
EP2602114A1 (en) | 2013-06-12 |
JP2004042329A (ja) | 2004-02-12 |
EP1464494A4 (en) | 2009-05-13 |
WO2004005032A1 (ja) | 2004-01-15 |
US20050157093A1 (en) | 2005-07-21 |
CN1606503A (zh) | 2005-04-13 |
EP1464494A1 (en) | 2004-10-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3555682B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP4530615B2 (ja) | 圧電体素子および液体吐出ヘッド | |
JP4182329B2 (ja) | 圧電体薄膜素子およびその製造方法、ならびにこれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 | |
US7254877B2 (en) | Method for the manufacture of a piezoelectric element | |
JP3379479B2 (ja) | 機能性薄膜、圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、圧電体素子の製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法、 | |
US20060262165A1 (en) | Piezoelectric Element, Liquid Jetting Head, and Method for Manufacturing Thereof | |
JP4058691B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 | |
JP5115910B2 (ja) | プリンタ | |
JP4088817B2 (ja) | 圧電体薄膜素子の製造方法、これを用いたインクジェットヘッド | |
JP2005168172A (ja) | 圧電アクチュエータ及びこれを用いた液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 | |
JP4310672B2 (ja) | 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、及びプリンタ | |
JP3542018B2 (ja) | 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びそれらの製造方法 | |
JP5168717B2 (ja) | 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、及びインクジェットプリンタ | |
JP4207167B2 (ja) | 圧電体素子の製造方法 | |
JP3841279B2 (ja) | 圧電体素子の製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法 | |
JP4362859B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッドおよびプリンタ | |
JP2005209898A (ja) | 圧電体素子、及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド | |
JP2001298219A (ja) | 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、及び圧電体素子の製造方法 | |
JP2005191289A (ja) | 圧電アクチュエータ及びこれを用いた液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2004047814A (ja) | 圧電体素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040331 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040422 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040505 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3555682 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080521 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090521 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100521 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110521 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120521 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140521 Year of fee payment: 10 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |