CN103273386B - 一种电泳辅助微细超声加工机床及加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种电泳辅助微细超声加工的机床及利用该机床实施电泳辅助微细超声加工的方法，所述机床包括主轴系统、进电系统、主轴微细超声纵振系统，多功能杯状工作液槽。本发明提出一种新的复合加工工艺，将电泳的吸附作用附加到微细超声加工中，使超声加工工作液中的微细磨粒在电场力的驱动下泳动到加工区域附近，确保了加工区域磨粒的存在，能有效的提高磨料的利用率，从而提高微细超声加工的效率。

Description

一种电泳辅助微细超声加工机床及加工方法

技术领域

本发明涉及一种特种加工技术领域的机床，尤其涉及一种集微细电火花加工、微细超声加工、电泳辅助微细超声加工于一体的多功能微细加工机床。

背景技术

随着科学技术的发展，硬脆性材料微结构、微小零部件及微细产品在电子、光学、机械、生物技术、汽车、通信等工业领域的需求日益增加。目前适合于硬脆材料微细加工的方法主要有微细超声加工、微细激光加工。由于微细超声加工既没有热作用、无宏观机械作用力，又可加工高深宽比微三维立体结构，零件表面质量及加工精度均较好，决定了微细超声加工工艺在硬脆材料微结构加工方面具有得天独厚的优势。

超声加工是利用工具端面作超声振动，通过超声振动的工具在有磨料的液体中或干磨料中产生磨料的冲击、抛磨、液压冲击以及由此产生的气蚀作用来去除材料的一种加工方法。加工时，在工具头与工件之间加入磨料，并在工具头振动方向加上一个不大的压力，超声波发生器产生超声电震荡通过换能器转变为超声频的机械振动，通过变幅杆将超声放大，再传给工具，并驱动工具端面作超声振动，迫使悬浮液中的悬浮磨料在工具头的超声振动下以很大的速度不断撞击被加工工件表面，或工件沿一定方向施加超声频振动进行振动加工，或利用超声振动使工件相互结合的把加工区域的材料粉碎成很细的微粒，从材料上被打击下来。

微细超声加工是在超声加工的基础上减小工具尺寸和振动振幅实现的，由于微细超声加工所需的振幅很小，一般换能器前匹配块输出的微振幅就能满足微细超声加工的要求，所以微细超声加工振动系统中不需要变幅杆对微振幅进行放大。微细超声加工中一般采用工件加振的方式，磨料工作液通过滴液的方式施加到加工区域。由于微细超声加工的尺寸比较小，工具电极装夹是个问题，很难保证工具电极垂直度、同轴度等，这样会带来很大的加工误差；由于高频超声振动会使加工区域内的磨粒振出加工区，使加工区出现无磨粒现象，影响微细超声加工效率。

发明内容

针对上述问题，本发明目的在于提供一种实施电泳辅助微细超声加工的机床；同时，本发明还提供了采用所述机床进行加工的方法，并且能有效的解决了电极的装夹和微细超声的加工效率。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种电泳辅助微细超声加工的机床，包括主轴系统、进电系统、主轴微细超声纵振系统，电泳电源，多功能杯状工作液槽；所述的主轴系统包括主轴、主轴支撑组件和主轴密封组件，主轴的一端穿过滑环内圈与伺服电机连接，另一端与主轴微细超声纵振系统的节面连接；所述的进电系统包括三路引线，其中的两路用于连接到主轴微细超声纵振系统，另一路用于连接到微细工具；所述的主轴微细超声纵振系统包括超声换能器、压电陶瓷片、微细工具夹头与微细工具；所述的电泳电源的正极与微细工具连接，电泳电源的负极与电泳辅助电极连接；所述的多功能杯状工作液槽包括微细超声工作台、在线制作微细工具的铜块电极夹具、实施电泳辅助微细超声加工的电泳辅助电极夹具，所述的微细超声工作台安装在工作液槽底部，所述的铜块电极夹具与电泳辅助电极夹具安装在工作液槽上。

作为本发明所述电泳辅助微细超声加工的机床的优选实施方式，所述的主轴系统还包括主轴支撑组件和主轴密封组件；所述的主轴支撑组件包括后端盖、后套圈、弹性挡圈、前段差套筒、前套圈、前端盖、第一角接触球轴承对、第二角接触球轴承对、前隔套、后隔套；所述主轴密封组件包括后密封环、前密封环；所述主轴通过第一角接触球轴承对与第二角接触球轴承对套设于主轴座内；所述第一角接触球轴承对之间用前套圈和前隔套隔开；所述第一角接触球轴承对左边轴承内圈分别用前段差套筒轴向定位，所述第一角接触球轴承对左边轴承外圈用主轴座轴向定位；第一角接触球轴承对右边轴承内圈用前密封环轴向定位于主轴座上，第一角接触球轴承对右边轴承外圈用前端盖轴向定位于主轴座上，且所述前端盖用螺栓固定于主轴座端部。所述第二角接触球轴承对之间用后套圈和后隔套隔开；所述第二角接触球轴承对左边轴承内圈用后密封环轴向定位于主轴座上，所述第二角接触球轴承对左边轴承外圈用后端盖轴向定位于主轴座上，且所述后端盖用螺栓固定于主轴座内；所述第二角接触球轴承对右边轴承内圈用主轴轴肩轴向定位于主轴座上，所述第二角接触球轴承对右边轴承外圈用弹性挡圈轴向定位于主轴座上，所述主轴座上设有安装槽，所述弹性挡圈设于该槽内。

作为本发明所述电泳辅助微细超声加工的机床的优选实施方式，所述进电系统包括滑环座、滑环外圈、滑环内圈、主轴；所述主轴为中空，其内设有主轴进线孔、主轴穿线孔与用于安装主轴微细超声纵振系统的主轴锥形空腔；所述主轴进线孔与主轴穿线孔连通；所述滑环内圈通过轴肩定位并用螺栓固定在主轴上；所述滑环外圈用螺栓固定于滑环座上；所述滑环座用螺栓固定于主轴座端部。

作为本发明所述电泳辅助微细超声加工的机床的优选实施方式，所述的进电系统包括三路引线，其中两路引线路径为穿过滑环座连接至滑环外圈，由滑环外圈传到滑环内圈，滑环内圈的引出线穿入主轴进线孔，然后穿过主轴穿线孔连接到主轴微细超声纵振系统的压电陶瓷片上；另一路引线路径为穿过滑环座连接至滑环外圈，由滑环外圈传到滑环内圈，滑环内圈的引出线穿入主轴进线孔，然后穿过主轴穿线孔，从主轴微细超声纵振系统的节面穿线孔引出至微细工具。

作为本发明所述电泳辅助微细超声加工的机床的优选实施方式，所述的主轴微细超声纵振系统包括超声换能器、压电陶瓷片、微细工具夹头与微细工具；所述的微细工具夹头上有螺纹，通过安装于微细工具夹头螺栓孔内并紧固保证振动的有效传输；所述主轴微细超声纵振系统的节面锥度与主轴配合并用螺栓固定于主轴上。

作为本发明所述电泳辅助微细超声加工的机床的优选实施方式，多功能杯状工作液槽包括微细超声工作台、在线制作微细工具的铜块电极夹具、实施电泳辅助微细超声加工的电泳辅助电极夹具；所述的微细超声工作台包括微细超声工作台前匹配块、压电陶瓷片、微细超声工作台后匹配块，加工工件安装于微细超声工作台前匹配块的端面上，微细超声工作台通过节面固定在多功能杯状工作液槽底部；所述的铜块电极夹具与电泳辅助电极夹具安装在工作液槽上。

另外，本发明还提供了一种使用电泳辅助微细超声加工的机床的实施电泳辅助微细超声加工方法，所述方法包括以下步骤：

(1)加工工件固定在安装在微细超声工作台上；

(2)电泳电源的正极与微细工具连接，电泳电源的负极与电泳辅助电极连接；

(3)微细工具通过微细工具夹头安装在主轴微细超声纵振系统上，主轴做旋转运动并在超声电源的驱动下沿轴向高频振动；

(4)电泳辅助电极通过电泳辅助电极夹具安装浸泡于超声加工工作液中，电泳的吸附作用使超声加工工作液中的微细磨粒在电场力的驱动下泳动到加工区域附近，确保了加工区域磨粒的存在；

(5)加工工件和微细工具在机床的伺服进给驱动下，实施电泳辅助微细超声加工。

作为本发明所述使用电泳辅助微细超声加工的机床的实施电泳辅助微细超声加工方法的优选实施方式，所述的微细工具通过在线加工完成；铜块电极安装于铜块电极夹具上，铜块电极夹具固定在多功能杯状工作液槽上，加工时铜块电极浸没于电火花加工工作液中，通过铜块电极反拷加工微细工具。

作为本发明所述使用电泳辅助微细超声加工的机床的实施电泳辅助微细超声加工方法的优选实施方式，当微细工具在线加工时，微细超声工作台振动打开，加快电火花加工工作液在铜块电极和微细工具之间的流动。

本发明由于采用微细工具的在线制作与电泳辅助微细超声加工在同一工作液槽内，只是通过更换夹具与加工工作液实现不同的加工工艺，能够充分保证加工精度且机床结构紧凑。这样，电极通过在线制作完成，避免电极因二次装夹而产生的重复定位误差，最大限度降低工具电极位置精度对微加工的不利影响。电极的制作是通过传统的反铐块法进行加工的，在加工中通过超声工作台的振动，能有效的加快工作液在工具和工件之间流动，提高加工工件的表面质量。将电泳辅助和微细超声加工复合在一起，电泳的吸附作用附加在微细超声加工中，使超声加工工作液中的微细磨粒在电场力的驱动下泳动到加工区域附近，确保了加工区域磨粒的存在，能有效的提高磨料的利用率，从而提高微细超声加工的效率。

附图说明

图1为本发明所述电泳辅助微细超声加工机床使用时微细工具在线制作示意图。

图2为本发明所述电泳辅助微细超声加工机床使用时电泳辅助微细超声加工示意图。

图3为本发明所述电泳辅助微细超声加工机床的主轴系统剖视图。

图4为本发明所述电泳辅助微细超声加工机床的主轴结构剖视图。

图5为本发明所述电泳辅助微细超声加工机床的主轴微细超声纵振系统剖视图。

图中，1为微细工具、2为电泳辅助电极、3为超声加工工作液、4为微细超声工作台前匹配块、5为压电陶瓷片、6为多功能杯状工作液槽、7为微细超声工作台后匹配块、8为电泳辅助电极夹具、9为微细电火花加工工作液、10为铜块电极、11为铜块电极夹具、12为滑环座、13为滑环外圈、14为滑环内圈、15为后密封环、16为后端盖、17为后套圈、18为弹性挡圈、19为前段差套筒、20为前套圈、21为前端盖、22为前密封环、23为主轴、24为主轴微细超声纵振系统、25为第一角接触球轴承对、26为前隔套、27为第二角接触球轴承对、28为后隔套、29为节面穿线孔、30为微细工具夹头螺栓孔、31为微细工具夹头、32为主轴进线孔、33为主轴穿线孔、34为主轴锥形空腔、35为电泳电源；

具体实施方式

为更好的说明本发明的目的、技术方案和优点，下面将结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。

如图1-5所示，一种电泳辅助微细超声加工的机床，包括主轴系统、进电系统、主轴微细超声纵振系统24，电泳电源35，多功能杯状工作液槽6；所述的主轴系统包括主轴23、主轴支撑组件和主轴密封组件，主轴23的一端穿过滑环内圈14与伺服电机连接，另一端与主轴微细超声纵振系统24的节面连接；所述的进电系统包括三路引线，其中的两路用于连接到主轴微细超声纵振系统24，另一路用于连接到微细工具1；所述的主轴微细超声纵振系统24包括超声换能器，微细工具夹头31与微细工具1；所述的电泳电源35的正极与微细工具1连接，电泳电源35的负极与电泳辅助电极2连接；所述的多功能杯状工作液槽6包括微细超声工作台、在线制作的微细工具1的铜块电极夹具11、实施电泳辅助微细超声加工的电泳辅助电极夹具8，所述的微细超声工作台安装在工作液槽6底部，所述的铜块电极夹具11与电泳辅助电极夹具8安装在工作液槽上。

如图3-5所示，所述的主轴系统包括主轴23、主轴支撑组件和主轴密封组件，主轴23的一端穿过滑环内圈14与伺服电机连接，另一端与主轴微细超声纵振系统24的节面连接；所述的主轴支撑组件包括后端盖16、后套圈17、弹性挡圈18、前段差套筒19、前套圈20、前端盖21、第一角接触球轴承对25、第二角接触球轴承对27、前隔套26、后隔套28；所述主轴密封组件包括后密封环15、前密封环22；所述主轴23通过第一角接触球轴承对25与第二角接触球轴承对27套设于主轴座内；所述第一角接触球轴承对25之间用前套圈20和前隔套26隔开；所述第一角接触球轴承对25左边轴承内圈和外圈分别用前段差套筒19与主轴座轴向定位；第一角接触球轴承对25右边轴承内圈与外圈分别用前密封环22和前端盖21轴向定位于主轴座上，且所述前端盖21用螺栓固定于主轴座端部。所述第二角接触球轴承对27之间用后套圈17和后隔套28隔开；所述第二角接触球轴承对27左边轴承内圈与外圈分别用后密封环15和后端盖16轴向定位于主轴座上，且所述后端盖16用螺栓固定于主轴座内；所述第二角接触球轴承对27右边轴承内圈和外圈分别用主轴轴肩和弹性挡圈18轴向定位于主轴座上，所述主轴座上设有安装槽，所述弹性挡圈18设于该槽内。

如图4所示，本发明所述电泳辅助微细超声加工机床的主轴结构剖视图，所述进电系统包括滑环座12、滑环外圈13、滑环内圈14、主轴23；所述主轴23为中空，其内设有主轴进线孔32、主轴穿线孔33与用于安装主轴微细超声纵振系统24的主轴锥形空腔34；所述主轴进线孔32与主轴穿线孔33连通；

所述滑环内圈14通过轴肩定位并用螺栓固定在主轴23上；

所述滑环外圈13用螺栓固定于滑环座12上；所述滑环座12用螺栓固定于主轴座端部。

所述的进电系统包括三路引线，其中两路引线路径为穿过滑环座12连接至滑环外圈13，由滑环外圈13传到滑环内圈14，滑环内圈14的引出线穿入主轴进线孔32，然后穿过主轴穿线孔33连接到主轴微细超声纵振系统24的压电陶瓷片上；另一路引线路径为穿过滑环座12连接至滑环外圈13，由滑环外圈13传到滑环内圈14，滑环内圈14的引出线穿入主轴进线孔32，然后穿过主轴穿线孔33，从主轴微细超声纵振系统24的节面穿线孔29引出至微细工具1。

如图5所示，本发明所述电泳辅助微细超声加工机床的主轴微细超声振动系统剖视，所述的主轴微细超声纵振系统24包括超声换能器、压电陶瓷片(图中未显示)、微细工具夹头31与微细工具1；所述的微细工具夹头31上有螺纹，通过安装于微细工具夹头螺栓孔30内并紧固保证振动的有效传输；所述主轴微细超声纵振系统24的节面锥度与主轴23配合并用螺栓固定于主轴上。

如图1-2所示，多功能杯状工作液槽6包括微细超声工作台、在线制作微细工具1的铜块电极夹具11、实施电泳辅助微细超声加工的电泳辅助电极夹具8；所述的微细超声工作台包括微细超声工作台前匹配块4、压电陶瓷片5、微细超声工作台后匹配块7，加工工件安装于微细超声工作台前匹配块4的端面上，微细超声工作台通过节面固定在多功能杯状工作液槽6底部；所述的铜块电极夹具11与电泳辅助电极夹具8安装在工作液槽上。

下面具体描述通过电泳辅助微细超声加工的机床来实施电泳辅助微细超声加工方法：

实施电泳辅助微细超声加工的方法。微细工具1通过微细工具夹头31安装在主轴微细超声纵振系统上；微细工具夹头31上有螺纹，微细工具夹头31与微细工具夹头螺栓孔30螺纹连接；电泳辅助电极2安装在电泳辅助电极夹具8上，电泳辅助电极夹具8紧固于多功能杯状工作液槽6上；加工工件固定在安装在微细超声工作台上；电泳电源35的正极与微细工具1连接，电泳电源35的负极与电泳辅助电极2连接；微细工具1通过微细工具夹头31安装在主轴微细超声纵振系统24上，主轴做旋转运动并在超声电源的驱动下沿轴向高频振动；将超声工作液加入到杯状工作液槽6中，电泳辅助电极2通过电泳辅助电极夹具8安装悬浮于超声加工工作液中，电泳的吸附作用使超声加工工作液中的微细磨粒在电场力的驱动下泳动到加工区域附近，确保了加工区域磨粒的存在；加工工件和微细工具1在机床的伺服进给驱动下，主轴旋转，并打开微细超声电源驱动微细工具沿轴向高频振动，控制微三维运动平台沿轴向实施微进给运动，实施电泳辅助微细超声加工。当加工工件加工到一定的尺寸后，停止电泳辅助微细超声加工，控制伺服电机使主轴系统升到一定的位置，退出电泳辅助微细超声加工。

实施微细超声加工的方法。微细工具1通过微细工具夹头31安装在主轴微细超声纵振系统上；微细工具夹头31上有螺纹，微细工具夹头31与微细工具夹头螺栓孔30螺纹连接；微细工具1通过微细工具夹头31安装在主轴微细超声纵振系统24上，主轴做旋转运动并在超声电源的驱动下沿轴向高频振动；将超声工作液加入到杯状工作液槽6中，加工工件和微细工具1在机床的伺服进给驱动下，主轴旋转，并打开微细超声电源驱动微细工具沿轴向高频振动，控制微三维运动平台沿轴向实施微进给运动，实施微细超声加工。当加工工件加工到一定的尺寸后，停止微细工具的电火超声花加工，控制伺服电机使主轴系统升到一定的位置，退出微细超声加工。

实施微细电火花加工的方法。微细工具1通过微细工具夹头31安装在主轴微细超声纵振系统上；微细工具夹头31上有螺纹，微细工具夹头31与微细工具夹头螺栓孔30螺纹连接；加工工件固定在安装在微细超声工作台上；电火花加工电源的正极连接到加工工件上，，电火花加工电源的负极连接到微细工具1；将电火花加工工作液加入到杯状工作液槽6中，使加工工件浸没于电火花加工工作液中；通过控制微三维运动平台的运动，使微细工具沿轴向靠近加工工件，进一步通过微细电火花电源的放电加工，实施对加工工件的微细电火花加工。当加工工件加工到一定的尺寸后，停止微细工具的电火花加工，控制伺服电机使主轴系统升到一定的位置，退出微细电火花加工。

实施微细工具在线制作的方法。在电泳辅助超声加工前，可以先进行微细工具的在线制作，微细工具1通过微细工具夹头31安装在主轴微细超声纵振系统上；微细工具夹头31上有螺纹，微细工具夹头31与微细工具夹头螺栓孔30螺纹连接；铜块电极10安装在铜块电极夹具11上，铜块电极夹具11紧固于多功能杯状工作液槽6上；电火花加工电源的正极连接到微细工具1，电火花加工电源的负极连接到铜块电极10；将电火花加工工作液加入到杯状工作液槽6中，使铜块电极10浸没于电火花加工工作液中；微细超声工作台超声振动打开，微细超声工作台的超声振动加快了工作液的流动；安装在主轴上的工件做旋转运动，通过控制微三维运动平台的运动，使微细工具沿轴向或者径向靠近铜块电极，进一步通过微细电火花电源的放电加工，实施对微细工具1的微细电火花反拷加工。当微细工具1在线加工到一定的尺寸后，停止微细工具的电火花反拷加工，控制伺服电机使主轴系统升到一定的位置，以备后面的微细电火花加工、微细超声加工、电泳辅助超声加工等。在加工中通过超声工作台的振动，能有效的加快工作液在工具和工件之间流动，及时的将工具和工件之间的残粒冲刷掉，避免工具和工件之间短路的发生，提高加工工件的表面质量。

最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。

Claims (9)

1.一种电泳辅助微细超声加工的机床，其特征在于：包括主轴系统、进电系统、主轴微细超声纵振系统，电泳电源，多功能杯状工作液槽；

所述的主轴系统包括主轴、主轴支撑组件和主轴密封组件，主轴的一端穿过滑环内圈与伺服电机连接，另一端与主轴微细超声纵振系统的节面连接；

所述的进电系统包括三路引线，其中的两路连接到主轴微细超声纵振系统，另一路连接到微细工具；

所述的主轴微细超声纵振系统包括超声换能器、压电陶瓷片、微细工具夹头与微细工具；

所述的电泳电源的正极与微细工具连接，电泳电源的负极与电泳辅助电极连接；

所述的多功能杯状工作液槽包括微细超声工作台、在线制作微细工具的铜块电极夹具、实施电泳辅助微细超声加工的电泳辅助电极夹具，所述的微细超声工作台安装在工作液槽底部，所述的铜块电极夹具与电泳辅助电极夹具安装在工作液槽上。

2.如权利要求1所述的电泳辅助微细超声加工的机床，其特征在于：所述的主轴系统还包括主轴支撑组件和主轴密封组件；

所述的主轴支撑组件包括后端盖、后套圈、弹性挡圈、前段差套筒、前套圈、前端盖、第一角接触球轴承对、第二角接触球轴承对、前隔套、后隔套；

所述主轴密封组件包括后密封环、前密封环；

所述主轴通过第一角接触球轴承对与第二角接触球轴承对套设于主轴座内；所述第一角接触球轴承对之间用前套圈和前隔套隔开；所述第一角接触球轴承对左边轴承内圈用前段差套筒轴向定位，所述第一角接触球轴承对左边轴承外圈用主轴座轴向定位；第一角接触球轴承对右边轴承内圈用前密封环轴向定位于主轴座上，第一角接触球轴承对右边轴承外圈用前端盖轴向定位于主轴座上，且所述前端盖用螺栓固定于主轴座端部；所述第二角接触球轴承对之间用后套圈和后隔套隔开；所述第二角接触球轴承对左边轴承内圈用后密封环轴向定位于主轴座上，所述第二角接触球轴承对左边轴承外圈用后端盖轴向定位于主轴座上，且所述后端盖用螺栓固定于主轴座内；所述第二角接触球轴承对右边轴承内圈用主轴轴肩轴向定位于主轴座上，所述第二角接触球轴承对右边轴承外圈用弹性挡圈轴向定位于主轴座上，所述主轴座上设有安装槽，所述弹性挡圈设于该槽内。

3.如权利要求1所述的电泳辅助微细超声加工的机床，其特征在于：所述进电系统包括滑环座、滑环外圈、滑环内圈、主轴；

所述主轴为中空，其内设有主轴进线孔、主轴穿线孔与用于安装主轴微细超声纵振系统的主轴锥形空腔；

所述主轴进线孔与主轴穿线孔连通；

所述滑环内圈通过轴肩定位并用螺栓固定在主轴上；

所述滑环外圈用螺栓固定于滑环座上；所述滑环座用螺栓固定于主轴座端部。

4.如权利要求3所述的电泳辅助微细超声加工的机床，其特征在于，所述的进电系统包括三路引线，其中两路引线路径为穿过滑环座连接至滑环外圈，由滑环外圈传到滑环内圈，滑环内圈的引出线穿入主轴进线孔，然后穿过主轴穿线孔连接到主轴微细超声纵振系统的压电陶瓷片上；另一路引线路径为穿过滑环座连接至滑环外圈，由滑环外圈传到滑环内圈，滑环内圈的引出线穿入主轴进线孔，然后穿过主轴穿线孔，从主轴微细超声纵振系统的节面穿线孔引出至微细工具。

5.如权利要求1所述的电泳辅助微细超声加工机床，其特征在于：所述的微细工具夹头上有螺纹，微细工具通过安装于微细工具夹头螺栓孔内并紧固保证振动的传输；

所述主轴微细超声纵振系统的节面锥度与主轴配合并用螺栓固定于主轴上。

6.如权利要求1所述的电泳辅助微细超声加工的机床，其特征在于：多功能杯状工作液槽包括微细超声工作台、在线制作微细工具的铜块电极夹具、实施电泳辅助微细超声加工的电泳辅助电极夹具；

所述的微细超声工作台包括微细超声工作台前匹配块、压电陶瓷片、微细超声工作台后匹配块，加工工件安装于微细超声工作台前匹配块的端面上，微细超声工作台通过节面固定在多功能杯状工作液槽底部；所述的铜块电极夹具与电泳辅助电极夹具安装在工作液槽上。

7.一种使用如权利要求1所述的电泳辅助微细超声加工的机床的实施电泳辅助微细超声加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)加工工件固定安装在微细超声工作台上；

(2)电泳电源的正极与微细工具连接，电泳电源的负极与电泳辅助电极连接；

(3)微细工具通过微细工具夹头安装在主轴微细超声纵振系统上，主轴做旋转运动并在超声电源的驱动下沿轴向高频振动；

(4)电泳辅助电极通过电泳辅助电极夹具安装浸泡于超声加工工作液中，电泳的吸附作用，使超声加工工作液中的微细磨粒在电场力的驱动下泳动到加工区域附近，确保了加工区域磨粒的存在；

(5)加工工件和微细工具在机床的伺服进给驱动下，实施电泳辅助微细超声加工。

8.如权利要求7所述的一种实施电泳辅助微细超声加工的方法，所述的微细工具通过在线加工完成；铜块电极安装于铜块电极夹具上，铜块电极夹具固定在多功能杯状工作液槽上，加工时铜块电极浸没于电火花加工工作液中，通过铜块电极反拷加工微细工具。

9.如权利要求8所述的一种实施电泳辅助微细超声加工的方法，其特征在于，微细超声工作台振动打开，加快电火花加工工作液在铜块电极和微细工具之间的流动。