JP2007229327A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. 第１の電極が形成される基板と、該基板から離間した位置に設けられて第２の電極が形成されるメンブレンとから成る超音波振動子セルを複数備え、該第１及び第２の電極間に電圧が印加されることにより、該メンブレンが振動して超音波を発生させる、マイクロマシンプロセスを用いて製造される超音波振動子であって、
   前記各超音波振動子セルの振動が該超音波振動子セルに隣接する超音波振動子セルに伝達することを抑制する振動伝達抑制手段
   を備えることを特徴とする超音波振動子。
2. 前記振動伝達抑制手段は、前記メンブレンを支持するために、前記メンブレンを自由振動させたときに得られる基本振動の節に沿って前記メンブレンの表面に設けられた支持部である
   ことを特徴とする請求項１に記載の超音波振動子。
3. 前記振動伝達抑制手段は、隣接する前記超音波振動子セルのメンブレン間に設けられた溝部である
   ことを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子。
4. 前記振動伝達抑制手段は、さらに、
   前記各超音波振動子セルを、隣接した前記超音波振動子セルから音響的に隔離する音響隔離手段を
   有することを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子。
5. 前記音響隔離手段は、前記メンブレンが有する音響インピーダンスの２０％以下の音響インピーダンスを有する
   ことを特徴とする請求項４に記載の超音波振動子。
6. 前記音響隔離手段は、空気層単体である
   ことを特徴とする請求項５に記載の超音波振動子。
7. 前記音響隔離手段は、気体を含む固体材料である
   ことを特徴とする請求項５に記載の超音波振動子。
8. 前記固体材料は、ポーラスシリコンである
   ことを特徴とする請求項７に記載の超音波振動子。
9. 前記固体材料は、発泡樹脂材料である
   ことを特徴とする請求項７に記載の超音波振動子。
10. 前記振動伝達抑制手段によって隔離された各超音波振動子セルのメンブレンの外形形状が円形または多角形である
    ことを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子。
11. 前記支持部によって前記メンブレンを支持する形状が、前記外形形状と相似形である
    ことを特徴とする請求項１０に記載の超音波振動子。
12. 前記メンブレンのうち前記節の位置より外側部分に負荷手段を備えている
    ことを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子。
13. 前記超音波振動子において、前記超音波を送受信する側の表面がナノコーティング膜で被覆されている
    ことを特徴とする請求項１〜１２のうちいずれか１項に記載の超音波振動子。
14. 請求項１〜１３のうちいずれか１項に記載の超音波振動子を搭載した体腔内超音波診断装置。
15. 前記体腔内超音波診断装置は、超音波内視鏡である
    ことを特徴とする請求項１４に記載の体腔内超音波診断装置。
16. 前記超音波振動子が、内視鏡の鉗子孔に挿入する超音波プローブとして用いられる
    ことを特徴とする請求項１４に記載の体腔内超音波診断装置。
17. 前記超音波振動子が、血管内超音波プローブとして用いられる
    ことを特徴とする請求項１４に記載の体腔内超音波診断装置。
18. 前記超音波振動子が、超音波カプセル内視鏡として用いられる
    ことを特徴とする請求項１４に記載の体腔内超音波診断装置。
19. 第１の電極が形成される基板と、前記基板から離間した位置に設けられ第２の電極が形成されるメンブレンとから成るセルを複数備え、前記第１及び第２の電極間に電圧が印加されることにより、前記メンブレンが振動して超音波を発生させる、マイクロマシンプロセスを用いる超音波振動子の製造方法であって、
    前記メンブレンを自由振動させたときに得られる基本振動の節に沿って、前記メンブレンを支持する支持部を設ける
    ことを特徴とする超音波振動子の製造方法。