JP2007229327A5 - - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 2
- 239000002775 capsule Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000002103 nanocoating Substances 0.000 claims 1
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 1
Claims (19)
- 第１の電極が形成される基板と、該基板から離間した位置に設けられて第２の電極が形成されるメンブレンとから成る超音波振動子セルを複数備え、該第１及び第２の電極間に電圧が印加されることにより、該メンブレンが振動して超音波を発生させる、マイクロマシンプロセスを用いて製造される超音波振動子であって、
前記各超音波振動子セルの振動が該超音波振動子セルに隣接する超音波振動子セルに伝達することを抑制する振動伝達抑制手段
を備えることを特徴とする超音波振動子。 - 前記振動伝達抑制手段は、前記メンブレンを支持するために、前記メンブレンを自由振動させたときに得られる基本振動の節に沿って前記メンブレンの表面に設けられた支持部である
ことを特徴とする請求項１に記載の超音波振動子。 - 前記振動伝達抑制手段は、隣接する前記超音波振動子セルのメンブレン間に設けられた溝部である
ことを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子。 - 前記振動伝達抑制手段は、さらに、
前記各超音波振動子セルを、隣接した前記超音波振動子セルから音響的に隔離する音響隔離手段を
有することを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子。 - 前記音響隔離手段は、前記メンブレンが有する音響インピーダンスの２０％以下の音響インピーダンスを有する
ことを特徴とする請求項４に記載の超音波振動子。 - 前記音響隔離手段は、空気層単体である
ことを特徴とする請求項５に記載の超音波振動子。 - 前記音響隔離手段は、気体を含む固体材料である
ことを特徴とする請求項５に記載の超音波振動子。 - 前記固体材料は、ポーラスシリコンである
ことを特徴とする請求項７に記載の超音波振動子。 - 前記固体材料は、発泡樹脂材料である
ことを特徴とする請求項７に記載の超音波振動子。 - 前記振動伝達抑制手段によって隔離された各超音波振動子セルのメンブレンの外形形状が円形または多角形である
ことを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子。 - 前記支持部によって前記メンブレンを支持する形状が、前記外形形状と相似形である
ことを特徴とする請求項１０に記載の超音波振動子。 - 前記メンブレンのうち前記節の位置より外側部分に負荷手段を備えている
ことを特徴とする請求項２に記載の超音波振動子。 - 前記超音波振動子において、前記超音波を送受信する側の表面がナノコーティング膜で被覆されている
ことを特徴とする請求項１〜１２のうちいずれか１項に記載の超音波振動子。 - 請求項１〜１３のうちいずれか１項に記載の超音波振動子を搭載した体腔内超音波診断装置。
- 前記体腔内超音波診断装置は、超音波内視鏡である
ことを特徴とする請求項１４に記載の体腔内超音波診断装置。 - 前記超音波振動子が、内視鏡の鉗子孔に挿入する超音波プローブとして用いられる
ことを特徴とする請求項１４に記載の体腔内超音波診断装置。 - 前記超音波振動子が、血管内超音波プローブとして用いられる
ことを特徴とする請求項１４に記載の体腔内超音波診断装置。 - 前記超音波振動子が、超音波カプセル内視鏡として用いられる
ことを特徴とする請求項１４に記載の体腔内超音波診断装置。 - 第１の電極が形成される基板と、前記基板から離間した位置に設けられ第２の電極が形成されるメンブレンとから成るセルを複数備え、前記第１及び第２の電極間に電圧が印加されることにより、前記メンブレンが振動して超音波を発生させる、マイクロマシンプロセスを用いる超音波振動子の製造方法であって、
前記メンブレンを自由振動させたときに得られる基本振動の節に沿って、前記メンブレンを支持する支持部を設ける
ことを特徴とする超音波振動子の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006057121A JP4804961B2 (ja) | 2006-03-03 | 2006-03-03 | 超音波振動子及びそれを搭載した体腔内超音波診断装置 |
| EP07706311A EP1992290B1 (en) | 2006-03-03 | 2007-02-07 | Ultrasonic vibrator and body cavity ultrasonograph having the ultrasonic vibrator |
| PCT/JP2007/000063 WO2007099696A1 (ja) | 2006-03-03 | 2007-02-07 | 超音波振動子及びそれを搭載した体腔内超音波診断装置 |
| US12/203,765 US20090076393A1 (en) | 2006-03-03 | 2008-09-03 | Ultrasound transducer and endoscopic ultrasound diagnosis system including the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006057121A JP4804961B2 (ja) | 2006-03-03 | 2006-03-03 | 超音波振動子及びそれを搭載した体腔内超音波診断装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007229327A JP2007229327A (ja) | 2007-09-13 |
| JP2007229327A5 true JP2007229327A5 (ja) | 2009-04-02 |
| JP4804961B2 JP4804961B2 (ja) | 2011-11-02 |
Family
ID=38458817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006057121A Expired - Fee Related JP4804961B2 (ja) | 2006-03-03 | 2006-03-03 | 超音波振動子及びそれを搭載した体腔内超音波診断装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20090076393A1 (ja) |
| EP (1) | EP1992290B1 (ja) |
| JP (1) | JP4804961B2 (ja) |
| WO (1) | WO2007099696A1 (ja) |
Families Citing this family (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5188188B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2013-04-24 | キヤノン株式会社 | 容量型超音波トランスデューサの製造方法 |
| CN101926121A (zh) * | 2008-02-01 | 2010-12-22 | 拉姆伯斯公司 | 具有增强的时钟和数据恢复的接收器 |
| JP5376982B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2013-12-25 | キヤノン株式会社 | 機械電気変換素子と機械電気変換装置および機械電気変換装置の作製方法 |
| JP5770100B2 (ja) * | 2008-12-23 | 2015-08-26 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | スプリアス音響モード抑制を持つ集積回路及びその製造方法 |
| WO2010100861A1 (ja) | 2009-03-05 | 2010-09-10 | 株式会社日立メディコ | 超音波トランスデューサ、その製造方法、および、それを用いた超音波探触子 |
| DK2411163T3 (da) * | 2009-03-26 | 2013-06-10 | Norwegian Univ Sci & Tech Ntnu | Waferbundet cmut-array med ledende kontakthuller |
| JP5436013B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2014-03-05 | キヤノン株式会社 | 機械電気変化素子 |
| CN102405653B (zh) * | 2009-04-21 | 2015-06-03 | 株式会社日立医疗器械 | 超声波探头 |
| JP5560928B2 (ja) * | 2010-06-10 | 2014-07-30 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波探触子および超音波診断装置 |
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| CN102028504B (zh) * | 2010-12-30 | 2012-04-18 | 广州宝胆医疗器械科技有限公司 | 具有ccd功能的彩色多普勒超声胶囊小肠镜系统 |
| CN102008319B (zh) * | 2010-12-30 | 2012-05-16 | 广州宝胆医疗器械科技有限公司 | 双向彩色多普勒超声胶囊小肠镜系统 |
| KR101182556B1 (ko) | 2011-03-09 | 2012-09-12 | 중앙대학교 산학협력단 | 멤브레인 모듈 |
| JP5802448B2 (ja) * | 2011-06-21 | 2015-10-28 | オリンパス株式会社 | 超音波ユニット、超音波内視鏡および超音波ユニットの製造方法 |
| JP5855373B2 (ja) | 2011-07-11 | 2016-02-09 | オリンパス株式会社 | 超音波エレメントおよび超音波内視鏡 |
| KR20130016976A (ko) * | 2011-08-09 | 2013-02-19 | (주)이노포유 | 압전 구동체를 이용한 음향변환장치 |
| KR101761819B1 (ko) | 2011-08-24 | 2017-07-26 | 삼성전자주식회사 | 초음파 변환기 및 그 제조 방법 |
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| CN104907241B (zh) * | 2015-06-17 | 2017-10-10 | 河南大学 | 满足多频率需求的宽频带超声换能器复合机构 |
| JP5980388B2 (ja) * | 2015-07-23 | 2016-08-31 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置 |
| CN106315506A (zh) * | 2016-08-11 | 2017-01-11 | 河南大学 | 制造复合微机械电容式超声换能器的微加工工艺 |
| US11039814B2 (en) | 2016-12-04 | 2021-06-22 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transducers |
| US10648852B2 (en) | 2018-04-11 | 2020-05-12 | Exo Imaging Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers |
| US10656007B2 (en) | 2018-04-11 | 2020-05-19 | Exo Imaging Inc. | Asymmetrical ultrasound transducer array |
| WO2019226547A1 (en) | 2018-05-21 | 2019-11-28 | Exo Imaging, Inc. | Ultrasonic transducers with q spoiling |
| WO2019234854A1 (ja) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | サンコール株式会社 | 超音波トランスデューサー及びその製造方法 |
| EP3853597A4 (en) | 2018-09-21 | 2022-06-01 | Butterfly Network, Inc. | ACOUSTIC DAMPING FOR ULTRASONIC IMAGING DEVICES |
| WO2020170286A1 (ja) * | 2019-02-18 | 2020-08-27 | サンコール株式会社 | 超音波トランスデューサー及びその製造方法 |
| JP6598417B1 (ja) * | 2019-03-29 | 2019-10-30 | サンコール株式会社 | 超音波トランスデューサー及びその製造方法 |
| JP2023511802A (ja) * | 2019-09-12 | 2023-03-23 | エコー イメージング，インク． | 端部溝、仮想ピボット、および非拘束状態の境界を介する、ｍｕｔ結合効率および帯域幅の増加 |
| CN115644917A (zh) | 2020-03-05 | 2023-01-31 | 艾科索成像公司 | 具有可编程解剖和流成像的超声成像装置 |
| US11819881B2 (en) | 2021-03-31 | 2023-11-21 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics |
| US11951512B2 (en) | 2021-03-31 | 2024-04-09 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics |
| WO2023163651A2 (en) * | 2022-02-24 | 2023-08-31 | Agency For Science, Technology And Research | Acoustic transducer and method of forming the same |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6865140B2 (en) * | 2003-03-06 | 2005-03-08 | General Electric Company | Mosaic arrays using micromachined ultrasound transducers |
| US20040190377A1 (en) * | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Lewandowski Robert Stephen | Method and means for isolating elements of a sensor array |
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| JP2004350704A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-16 | Olympus Corp | カプセル超音波内視鏡装置 |
| JP2004350703A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-16 | Olympus Corp | 超音波診断プローブ装置 |
| JP2004350705A (ja) | 2003-05-26 | 2004-12-16 | Olympus Corp | カプセル超音波内視鏡装置 |
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-
2006
- 2006-03-03 JP JP2006057121A patent/JP4804961B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-02-07 EP EP07706311A patent/EP1992290B1/en not_active Not-in-force
- 2007-02-07 WO PCT/JP2007/000063 patent/WO2007099696A1/ja active Application Filing
-
2008
- 2008-09-03 US US12/203,765 patent/US20090076393A1/en not_active Abandoned
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