JP2012222785A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 間隙を挟んで設けられた２つの電極のうちの一方の電極を含む振動膜が振動可能に支持されたセル構造を少なくとも１つ有する電気機械変換装置であって、
   前記振動膜上に設けられた応力緩和層と、
   前記応力緩和層上に設けられた光反射層と、を有することを特徴とする電気機械変換装置。
2. 前記セル構造は、基板と、前記基板の一方の表面側の第一の電極と、第二の電極を有する振動膜と、前記第一の電極と前記振動膜との間に間隙が形成されるように前記振動膜を支持する振動膜支持部と、で形成されることを特徴とする請求項１に記載の電気機械変換装置。
3. 前記応力緩和層と前記光反射層との間に、該光反射層を支持する光反射層支持層が設けられ、該光反射層支持層は、前記応力緩和層より剛性が高いことを特徴とする請求項１または２に記載の電気機械変換装置。
4. 前記応力緩和層は、音響インピーダンスが１ＭＲａｙｌｓ以上２ＭＲａｙｌｓ以下であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気機械変換装置。
5. 前記応力緩和層は、ヤング率が０ＭＰａ以上１００ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電気機械変換装置。
6. 前記応力緩和層と前記光反射層との間に、該光反射層を支持する光反射層支持層が設けられ、前記光反射層支持層は、音響インピーダンスが１ＭＲａｙｌｓ以上５ＭＲａｙｌｓ以下であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電気機械変換装置。
7. 前記応力緩和層と前記光反射層との間に、該光反射層を支持する光反射層支持層が設けられ、前記光反射層支持層は、ヤング率が１００ＭＰａ以上２０ＧＰａ以下であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の電気機械変換装置。
8. 前記応力緩和層は、ポリジメチルシロキサンであることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の電気機械変換装置。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の電気機械変換装置と、光源と、データ処理装置と、を有し、
   前記電気機械変換装置は、前記光源から発振した光が被検体に照射されることにより発生する音響波を受信して電気信号に変換し、
   前記データ処理装置は、前記電気信号を用いて画像データを生成することを特徴とする光音響装置。