JP2014146883A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 圧電体を備え、超音波の発信および受信の少なくとも一方を行う超音波素子を有する超音波素子基板と、
   前記超音波素子基板の前記超音波素子が形成された面に音響整合層を介して固着され超音波を収束させるレンズ部を有する音響レンズと、
   前記超音波素子基板の前記超音波素子が形成された面とは反対の面に固着された支持部材と、を備え、
   前記支持部材は前記超音波素子基板の厚み方向の平面視において前記超音波素子基板より面積が広く、かつ曲げ剛性が大きく形成され、
   前記音響レンズは前記超音波素子基板より曲げ剛性が小さく形成されている
   ことを特徴とする超音波デバイス。
2. 請求項１に記載の超音波デバイスにおいて、
   前記超音波素子基板と前記音響レンズとの間に充填された音響整合層を備え、
   前記音響整合層は前記超音波素子基板と前記音響レンズとに固着している樹脂で形成されている
   ことを特徴とする超音波デバイス。
3. 請求項１または２に記載の超音波デバイスにおいて、
   前記音響レンズは前記超音波素子基板に接触している複数の第１凸部を有する
   ことを特徴とする超音波デバイス。
4. 請求項３に記載の超音波デバイスにおいて、
   前記第１凸部は前記平面視において前記音響レンズの外周部に設けられている
   ことを特徴とする超音波デバイス。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の超音波デバイスにおいて、
   前記超音波素子基板の前記他方の面にて接続するフレキシブル印刷配線基板を備え、
   前記フレキシブル印刷配線基板は前記超音波素子基板に電気的に接続し、前記フレキシブル印刷配線基板の一部は前記支持部材に固着されている
   ことを特徴とする超音波デバイス。
6. 請求項５に記載の超音波デバイスにおいて、
   前記支持部材の外縁部の一部に斜面部が設けられ、前記フレキシブル印刷配線基板は前記斜面部に固着されている
   ことを特徴とする超音波デバイス。
7. 請求項５に記載の超音波デバイスにおいて、
   前記音響レンズは前記フレキシブル印刷配線基板と接触し、前記超音波素子基板との間で前記フレキシブル印刷配線基板を押える複数の第２凸部を有する
   ことを特徴とする超音波デバイス。
8. 請求項７に記載の超音波デバイスにおいて、
   前記フレキシブル印刷配線基板の前記超音波素子基板との電気的接続位置は、前記超音波素子基板の厚み方向の平面視において前記音響レンズの前記第２凸部と前記超音波素子との間に配置されている
   ことを特徴とする超音波デバイス。
9. 請求項１乃至８のいずれか一項に記載の超音波デバイスにおいて、
   前記超音波素子基板は、
   開口部が形成されたベース基板と、
   前記開口部を覆って形成され膜厚方向に変位可能な振動膜と、
   前記振動膜に設けられた圧電体部と、を有し、
   前記圧電体部は、
   前記振動膜の上に設けられる第１電極と、
   前記第１電極の少なくとも一部を覆って設けられる圧電体層と、
   前記圧電体層の少なくとも一部を覆って設けられる第２電極と、を有する
   ことを特徴とする超音波デバイス。
10. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の超音波デバイスと、
    前記超音波デバイスを支持する筐体と、を備えることを特徴とする超音波プローブ。
11. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の超音波デバイスと、
    前記超音波デバイスに接続され、前記超音波デバイスの出力を処理する処理回路と、
    を備えることを特徴とする電子機器。
12. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の超音波デバイスと、
    前記超音波デバイスに接続され、前記超音波デバイスの出力を処理し画像を生成する処理回路と、
    前記画像を表示する表示部と、
    を備えることを特徴とする超音波画像装置。