JP7182980B2

JP7182980B2 - 振動型アクチュエータ及び装置

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Inventors: 悠貴小田
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Description

本発明は、リニア駆動装置や回転駆動装置に用いられる振動型アクチュエータと、振動型アクチュエータを備える装置に関する。

振動体に所定の振動を発生させることによって、振動体と接触する接触体に対して振動体が摩擦駆動力（推力）を与えることで、振動体と接触体とが相対移動する振動型アクチュエータが知られている。このような振動型アクチュエータでは、振動体が固定されている場合には、摩擦駆動力によって接触体が振動体に対して移動し、接触体が固定されている場合には、摩擦駆動力の反力によって振動体が接触体に対して移動する。

振動型アクチュエータでは、所望の出力を得る方法として、複数の振動体を共通の接触体に接触させ、各振動体の摩擦駆動力を合わせて接触体に摩擦駆動力を与える方法がある。例えば、特許文献１に記載された振動型アクチュエータは、ハウジングと、ハウジングの側面を挿通するように水平に配置されたシャフトと、シャフトを鉛直方向から挟み込む２つの振動体を有する。また、この振動型アクチュエータでは、シャフトを挟む２つの振動体を更に２つの付勢係合部材で鉛直方向で挟み込むと共に、２つの付勢係合部材の長手方向の両端に引き螺旋ばねを係合させることにより、２つの付勢係合部材を鉛直方向で引き付けている。こうして、２つの振動体は２つの付勢係合部材から受ける付勢力によってシャフトと圧接しており、振動体に振動が励起されるとシャフトが軸方向（長手方向）に移動する。

しかしながら、特許文献１に記載された振動型アクチュエータでは、付勢係合部材の長手方向とシャフトの軸方向は平行であり、２つの付勢係合部材の長手方向の両端に引き螺旋ばねが取り付けられる。そのため、シャフトの移動量が短い振動型アクチュエータであっても、シャフトの移動方向である軸方向でのサイズが大きくなってしまうという問題がある。

この問題を解決する一例として、図１６の断面図に示す構造を有する振動型アクチュエータ８０が提案されている。なお、説明の便宜上、図１６に示すように互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を定める。振動型アクチュエータ８０は、第１の支持体８６、第２の支持体８１、接触体８２、振動体８３、コイルバネ８４、支持軸８５、回動軸８７、ローラー８８、緩衝部材８９及び加圧伝達部材９０を備える。第１の支持体８６は、Ｘ方向に延在する支持軸８５に移動可能に嵌合している。接触体８２は、振動体８３から摩擦駆動力を受ける部材であり、Ｘ方向に延在している。支持軸８５と接触体８２それぞれのＸ方向の両端部は、不図示の固定手段に固定されている。振動体８３は、接触体８２と接触するように加圧伝達部材９０と緩衝部材８９を介して第１の支持体８６に支持されている。

第２の支持体８１は、Ｘ軸と平行に配置された回動軸８７を中心として回動可能な状態で、第１の支持体８６に取り付けられている。ローラー８８は、Ｙ軸と平行な軸まわりに回転可能に第２の支持体８１に配置されており、接触体８２と接触している。第２の支持体８１のＹ軸正方向側（図１６の右側）と第１の支持体８６のＹ軸正方向側（図１６の右側）とをＺ方向においてコイルバネ８４で引き寄せる。これにより、第１の支持体８６から加圧伝達部材９０及び緩衝部材８９を介して、振動体８３を所定の加圧力で接触体８２に接触させることができる。ここで、緩衝部材８９には例えばフェルトが用いられており、緩衝部材８９は、振動体８３へ均等に加圧力を加える役割を担っている。

振動体８３に振動を励起して、振動体８３と接触体８２との間にＸ方向に作用する摩擦駆動力を発生させると、支持軸８５及び接触体８２は動かず、その他の部材が一体となってＸ方向に移動する。振動型アクチュエータ８０によれば、コイルバネ８４がＹ方向端に配置されるため、支持軸８５及び接触体８２を除く構造部のＸ方向長さを低減することができる。

特開２００５-３１２２６４号公報

しかしながら、振動型アクチュエータ８０では、緩衝部材８９が加圧力を受けて圧縮されることで、緩衝部材８９の厚みが変化し得る。また、振動型アクチュエータ８０は、振動体８３が支持軸８５を中心として回動可能な構造となっている。そのため、緩衝部材８９の厚みがＹ方向で異なるように圧縮されてしまうと、接触体８２に対して振動体８３が傾いてしまい（所謂、ロール方向の回転）、所望の駆動性能が得られなくなってしまうおそれがある。そして、振動型アクチュエータを駆動した際に所望の特性を得るためには、初期状態で接触体と振動体との接触状態が適切に設定されていることも必要となる。これらの課題に対処するため、接触体に対する振動体の位置調整が可能な構成が求められている。

本発明は、接触体に対する振動体の位置調整が可能な振動型アクチュエータを提供することを目的とする。

本発明に係る振動型アクチュエータは、相対移動が可能な振動体ユニットと接触体を備える振動型アクチュエータであって、前記振動体ユニットは、前記接触体と接触する第１の振動体と、所定の加圧力で前記第１の振動体と前記接触体とを接触させる付勢手段と、前記第１の振動体を保持する第１の保持部材と、基台と、前記第１の振動体を前記接触体に対して加圧する加圧方向において前記第１の保持部材を支持する第１の支持部材と、前記第１の支持部材に回転可能に連結されると共に、前記相対移動の方向と平行な軸の軸まわりに回転可能に前記基台に連結される第１の接続部材と、前記相対移動の方向と平行に配置される支持軸と、前記接触体を固定する固定手段と、を備え、前記第１の支持部材と前記基台とは、少なくとも２つ以上の前記第１の接続部材で接続されることにより、前記第１の支持部材、前記基台および前記第１の接続部材とで平行リンクが構成されており、
前記基台は、前記支持軸まわりの回転が規制された状態で前記支持軸に移動可能に嵌合し、前記平行リンクを含む前記振動体ユニットが前記接触体に対して相対的に移動することを特徴とする。

本発明によれば、接触体に対する振動体の位置調整が可能な振動型アクチュエータを提供することができる。

第１実施形態に係る振動型アクチュエータの概略構成を示す斜視図である。第１実施形態での振動型アクチュエータの概略構成を示す断面図である。第１実施形態での振動体ユニットの部分的な分解斜視図である。振動体ユニットが備える振動体の駆動モードを説明する図である。第１実施形態での振動型アクチュエータでの接触構造体に対する振動体の姿勢保持機構を説明する図である。第１実施形態での別の振動型アクチュエータの概略構成を示す斜視図である。第２実施形態に係る振動型アクチュエータの概略構成を示す斜視図である。第２実施形態での振動型アクチュエータの概略構成を示す断面図である。第３実施形態での振動型アクチュエータの概略構成を示す斜視図である。第３実施形態での振動型アクチュエータの概略構成を示す断面図である。第４実施形態に係る振動型アクチュエータの概略構成を示す断面図である。第５実施形態に係る振動型アクチュエータの概略構成を示す図である。第５実施形態での振動体ユニットの変形例を説明する断面図である。振動型アクチュエータを備える撮像装置の概略構成を示す上面図である。振動型アクチュエータを備えるマニピュレータの概略構成を示す図である。公知の振動型アクチュエータの構造を示す側面図である。

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係る振動型アクチュエータ１００の概略構成を示す斜視図である。説明の便宜上、図１に示すように互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を規定する。後述するように、Ｘ方向は振動体ユニット３０の移動方向である。Ｚ方向は振動体２ａ，２ｂに対する接触体１の摩擦摺動面と直交する方向である。Ｙ方向はＸ方向及びＺ方向と直交する方向である。

「接触体」とは、振動体と接触し、振動体に発生した振動によって振動体に対して相対移動する部材のことをいう。接触体と振動体の接触は、接触体と振動体の間に他の部材が介在しない直接接触に限られない。接触体と振動体の接触は、振動体に発生した振動によって、接触体が振動体に対して相対移動するならば、接触体と振動体の間に他の部材が介在する間接接触であってもよい。「他の部材」は、接触体及び振動体とは独立した部材（例えば焼結体よりなる高摩擦材）に限られない。「他の部材」は、接触体又は振動体に、メッキや窒化処理などによって形成された表面処理部分であってもよい。

振動型アクチュエータ１００は、振動体ユニット３０、接触体１、２本の支持軸９、ボトムプレート１３、トッププレート１４及び側壁部材１５，１６を備える。側壁部材１５，１６は、ボトムプレート１３上のＸ方向端に立設、固定されている。２本の支持軸９及び接触体１それぞれの両端部は、２本の支持軸９及び接触体１の長手方向がＸ軸と平行となるように、側壁部材１５，１６に固定されている。なお、図１では、２本の支持軸９のうちの１本は、トッププレート１４に隠れているために不図示となっている。

トッププレート１４は、ボトムプレート１３とで側壁部材１５，１６を挟み込むように、側壁部材１５，１６に固定されている。振動体ユニット３０は、Ｘ方向に移動可能に２本の支持軸９に支持されている。振動型アクチュエータ１００は、振動体ユニット３０が接触体１に対して支持軸９に沿ってＸ方向に相対移動する構造となっている。

図２は、Ｘ軸と直交する面での振動型アクチュエータ１００の断面図であり、振動体ユニット３０のＸ方向略中央部での断面を示している。振動体ユニット３０は、振動体２ａ，２ｂ、緩衝部材１７ａ，１７ｂ、保持部材１８ａ，１８ｂ、加圧伝達部材６ａ，６ｂ、第１の支持部材７及び第２の支持部材８を有する。また、振動体ユニット３０は、ユニットベース１０（基台）、接続部材１１ａ，１１ｃ，１１ｂ，１１ｄ及び２つの引っ張りコイルバネ１２を有する。

振動体ユニット３０では、振動体２ａ，２ｂが接触体１をＺ方向において挟み込み、接触体１においてＺ軸と直交する面が振動体２ａ，２ｂに対する摩擦摺動面となっている。振動体２ａ，２ｂはそれぞれ、平板状の弾性体３ａ，３ｂと、弾性体３ａ，３ｂに接着された平板状の圧電素子４ａ，４ｂを有する。そして、弾性体３ａ，３ｂにおいて圧電素子４ａ，４ｂが接着されている面の反対側の面には、Ｘ方向に所定の間隔で２つの突起５（図３参照）が形成されている。詳細は後述するが、振動体２ａは保持部材１８ａに保持され、振動体２ｂは保持部材１８ｂに保持されている。

図２では接続部材１１ａは不図示となっているが、第１の支持部材７は接続部材１１ａ，１１ｃを介してユニットベース１０に連結されており、第２の支持部材８は接続部材１１ｂ，１１ｄを介してユニットベース１０に連結されている。ユニットベース１０は、支持軸９に対してＸ方向に移動可能に嵌合している。接続部材１１ａ～１１ｄの構成及び機能の詳細については後述する。

２つの引っ張りコイルバネ１２の付勢力により、第１の支持部材７と第２の支持部材８との間には、加圧伝達部材６ａ，６ｂ及び緩衝部材１７ａ，１７ｂを介して振動体２ａ，２ｂを接触体１に対してＺ方向に押圧する加圧力が生じる。つまり、引っ張りコイルバネ１２よる付勢力がＺ軸正方向を加圧方向として第１の支持部材７から加圧伝達部材６ａと緩衝部材１７ａを介して振動体２ａに付与される。同様に、引っ張りコイルバネ１２よる付勢力がＺ軸負方向を加圧方向として第２の支持部材８から加圧伝達部材６ｂと緩衝部材１７ｂを介して振動体２ｂに付与される。この加圧力により、常時、振動体２ａ，２ｂは、接触体１に対してＺ方向において与圧された状態で保たれる。なお、振動体ユニット３０では付勢手段として引っ張りコイルばね１２を用いているが、同様の機能を有するものであれば他の付勢手段、例えば、ゴム等を用いて与圧するようにしてもよい。

図３は、振動体ユニット３０の部分的な分解斜視図であり、第１の支持部材７が振動体２ａを支持する構成を示している。なお、第２の支持部材８が振動体２ｂを支持する構成は、第１の支持部材７が振動体２ａを支持する構成と実質的に同じであるため、図示と説明を省略する。

弾性体３ａは、Ｘ方向を長手方向とし、その中央部に矩形部を有しており、矩形部の一方の面に突起５が設けられ、他方の面には圧電素子４ａが接着されている。以下の説明では、振動体２ａにおいて弾性体３ａの矩形部、突起５及び圧電素子４ａを含む部分を振動体２ａの振動部Ｖと称呼し、不図示であるが振動体２ｂについても同様とする。

ここで、振動体２ａ，２ｂの駆動原理について図４を参照して説明する。図４（ａ）～（ｃ）では、振動体２ａ，２ｂを振動体２と、弾性体３ａ，３ｂを弾性体３と、圧電素子４ａ，４ｂを圧電素子４と記し、図４についての説明はこれに従うこととする。

図４には振動体２の振動部Ｖのみを示している。図４（ａ）は、振動体２を簡略化して示す斜視図である。図４（ｂ）は、振動体２に励起される２つの屈曲振動モードのうちの第１振動モード（以下「Ａモード」という）を説明する図である。Ａモードは、振動体２の長手方向（Ｘ方向）における二次の屈曲振動であり、振動体２の短手方向（Ｙ方向）と略平行な３本の節線を有している。突起５は、Ａモードの振動で節となる位置の近傍に配置されており、振動体２にＡモードの振動が励起されることによりＸ方向で往復運動を行う。

図４（ｃ）は、振動体２に励起される２つの屈曲振動モードのうちの第２振動モード（以下「Ｂモード」という）を説明する図である。Ｂモードは、振動体２の短手方向（Ｙ方向）における一次の屈曲振動であり、長手方向（Ｘ方向）と略平行な２本の節線を有している。突起５は、Ｂモードの振動で腹となる位置の近傍に配置されており、振動体２にＢモードの振動が励起されることにより突起５の軸方向（Ｚ方向）で往復運動を行う。

ここで、振動体２は、Ａモードでの節線とＢモードでの節線がＸＹ平面内において略直交するように構成されている。よって、ＡモードとＢモードの振動を所定の位相差で励起することにより、突起５の先端にＺＸ面内で楕円運動を発生させて、接触体１（図４に不図示、図２等参照）にＸ方向の摩擦駆動力（推力）を与えることができる。なお、圧電素子４には不図示のフレキシブル基板が接着、接続されており、フレキシブル基板を通じて圧電素子４に交流電流を供給することにより、振動体２にＡモードとＢモードの振動を同時に励起することができる。振動体ユニット３０は、振動体２のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各方向が振動型アクチュエータ１００のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各方向と一致するように、振動型アクチュエータ１００に組み込まれている。

図３を参照した説明に戻る。振動体２ａの振動部ＶからＸ軸正方向とＸ軸負方向の各方向に伸びるように弾性体３ａには２つの腕部が形成されており、一方の腕部に嵌合穴部３ａａが形成され、他方の腕部に嵌合穴部３ａｂが形成されている。振動体２ａは、嵌合穴部３ａａ，３ａｂを保持部材１８ａの両端に設けられた突起部１８ａａ，１８ａｂと嵌合、接着することにより、保持部材１８ａに対して位置決めされ、保持される。ここでは、嵌合穴部３ａａ，３ａｂと突起部１８ａａ，１８ａｂとの嵌合及び接着による固定方法を用いているが、接着のみ或いは溶接等の別の固定方法を用いてもよい。

保持部材１８ａには穴部１８ａｃ，１８ａｄが形成されており、第１の支持部材７に設けられた突起部７ａ，７ｂが穴部１８ａｃ，１８ａｄに対してＺ方向に摺動可能に挿入される。これにより、保持部材１８ａは、第１の支持部材７に対して、Ｚ方向で摺動可能であるが、Ｘ方向及びＹ方向での動きは規制される。

緩衝部材１７ａは、加圧伝達部材６ａから振動体２ａへ伝える加圧力を分散させるための部材であり、接着等により加圧伝達部材６ａに取り付けられている。緩衝部材１７ａには、フェルト等を用いることができる。加圧伝達部材６ａにおいて緩衝部材１７ａが取り付けられている面の反対側の面には、突起部６ａａ，６ａｂが設けられている。突起部６ａａ，６ａｂは第１の支持部材７に設けられた穴部７ｃ，７ｄに挿入され、これにより、加圧伝達部材６ａは第１の支持部材７に対してＸ方向及びＹ方向で位置決めされる（Ｘ，Ｙ方向での動きが規制される）。また、加圧伝達部材６ａにおいて突起部６ａａ，６ａｂが設けられている面が第１の支持部材７に設けられた凸部７ｅの円弧状曲面と接触することにより、加圧伝達部材６ａのＺ方向の位置が定まる。

このような構成により、振動体２ａ、緩衝部材１７ａ、加圧伝達部材６ａ及び保持部材１８ａは、Ｘ方向及びＹ方向で動きが相互に規制された状態で、第１の支持部材７に支持されている。これと同様に、振動体２ｂ、緩衝部材１７ｂ、加圧伝達部材６ｂ及び保持部材１８ｂは、Ｘ方向及びＹ方向で動きが相互に規制された状態で第２の支持部材８に支持されている。

振動体ユニット３０では、第１の支持部材７において、保持部材１８ａを介して振動体２ａを支持する面７ｋと接触体１の摩擦摺動面とが平行に保たれた状態が保たれると、振動体２ａは接触体１に対して理想的な姿勢で安定する。第１の支持部材７において振動体２ａを支持する面７ｋは、Ｚ方向で接触体１と対向し、突起部７ａ，７ｂ及び穴部７ｃ，７ｄが形成されている面を指す。同様に、第２の支持部材８において、保持部材１８ｂを介して振動体２ｂを支持する面と接触体１の摩擦摺動面とが平行に保たれた状態が保たれると、振動体２ｂは接触体１に対して理想的な姿勢で安定する。第２の支持部材８において振動体２ｂを支持する面の定義は、第１の支持部材７において振動体２ａを支持する面７ｋの定義に準ずる。理想的な姿勢とは、振動部Ｖでの弾性体３ａ，３ｂの表面が接触体１の摩擦摺動面と平行になる姿勢ということができ、また、突起５を接触体１へ押圧する押圧力の成分がＸ方向とＹ方向で実質的にゼロとみなすことができる姿勢と言うこともできる。振動体２ａ，２ｂが接触体１に対して理想的な姿勢で保持されることにより、振動型アクチュエータ１００の性能を十分に引き出した駆動が可能となる。

次に、振動体２ａ，２ｂを接触体１に対して理想的な姿勢に保持する姿勢調整機構である平行リンク機構について説明する。図５（ａ）は、振動体ユニット３０の側面図（Ｙ軸正方向側から見た図）である。図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す矢視Ａ－Ａの断面図である。なお、図５では、振動体２ａ，２ｂの姿勢調整に関係する部材を抜き出して示しており、それ以外の部材を不図示としている。

ユニットベース１０に設けられた穴部１０ａ，１０ｂのそれぞれに、支持軸９（図１及び図２参照）が摺動可能に挿入されており、これによりユニットベース１０は支持軸９の長手方向であるＸ方向に移動可能となっている。また、２本の支持軸９を穴部１０ａ，１０ｂに通すことにより、ユニットベース１０のＸ軸まわりの回転は規制されている。なお、穴部１０ａは丸穴部として形成されているが、穴部１０ｂは長丸穴部として形成されている。これにより、２本の支持軸９がＸＺ面において相対的に傾いても、穴部１０ｂに挿入された支持軸９が穴部１０ａに挿入された支持軸９に対して負荷となることを防ぐことができる。

なお、振動型アクチュエータ１００では２本の支持軸９を用いることでユニットベース１０のＸ軸まわりの回転を規制しているが、支持軸の断面形状を多角柱状にすることにより、１本の支持軸で同様の効果を得ることも可能である。また、支持軸に代えて、直線軌道上を滑らかに移動可能なリニアガイド等の機構を用いてもよい。

第１の支持部材７は、接続部材１１ａ，１１ｃを介してユニットベース１０に支持されている。このとき、第１の支持部材７と接続部材１１ａとは第１の接続ピン２０でＸ軸まわりに相対的に回転可能に接続され、接続部材１１ａとユニットベース１０とは第２の接続ピン２１でＸ軸まわりに相対的に回転可能に接続されている。同様に、第１の支持部材７と接続部材１１ｃとは第４の接続ピン２３でＸ軸まわりに相対的に回転可能に接続され、接続部材１１ｃとユニットベース１０とは第５の接続ピン２４でＸ軸まわりに相対的に回転可能に接続されている。このように、接続部材１１ａ，１１ｃは、第１の支持部材７及びユニットベース１０に対する角度が可変な状態で、第１の支持部材７とユニットベース１０とを接続している。

第１の接続ピン２０の中心軸から第２の接続ピン２１の中心軸までの距離と、第４の接続ピン２３の中心軸から第５の接続ピン２４の中心軸までの距離とは、等しくなるように設計されている。また、第１の接続ピン２０の中心軸から第４の接続ピン２３の中心軸までの距離と、第２の接続ピン２１の中心軸から第５の接続ピン２４の中心軸までの距離とが、等しくなるように設計されている。こうして、ユニットベース１０、第１の支持部材７及び接続部材１１ａ，１１ｃにより、平行リンクが構成されている。

ここで、前述したように、ユニットベース１０のＸ軸まわりの回転は規制されている。そのため、例えば、接続部材１１ａが第２の接続ピン２１を中心に所定の角度で回転した場合には、平行リンクの働きにより、接続部材１１ｃも接続部材１１ａと平行な状態を保って回転する。よって、第１の支持部材７は、第１の支持部材７において振動体２ａを支持する面７ｋと接触体１における摩擦摺動面とが平行な状態を保って変位することができる。なお、本説明で使用する「平行な状態」とは、実質的に平行であるとみなすことができる状態を指し、厳密に平行であることを要しない。また、「平行な状態に保たれる」とは、実質的に平行な状態が続いているとみなすことができることを指す。

なお、図５（ｂ）は断面図であるため、接続部材１１ａ，１１ｃの２本で第１の支持部材７を支持しているように見えるが、実際には図５（ａ）に示すように、第１の支持部材７は２本の接続部材１１ａと２本の接続部材１１ｃによって支持されている。よって、第１の支持部材７のＹ軸まわりの回転（所謂、ピッチ方向の回転）は規制されている。

第２の支持部材８は、接続部材１１ｂ，１１ｄを介してユニットベース１０に支持されている。このとき、第２の支持部材８と接続部材１１ｂとは第３の接続ピン２２でＸ軸まわりに相対的に回転可能に接続され、また、接続部材１１ｂとユニットベース１０とは第２の接続ピン２１でＸ軸まわりに相対的に回転可能に接続されている。同様に、第２の支持部材８と接続部材１１ｄとは第６の接続ピン２５でＸ軸まわりに相対的に回転可能に接続され、接続部材１１ｄとユニットベース１０とは第５の接続ピン２４でＸ軸まわりに相対的に回転可能となるように接続されている。このように、接続部材１１ｂ，１１ｄは、第２の支持部材８及びユニットベース１０に対する角度が可変な状態で、第２の支持部材８とユニットベース１０とを接続している。

こうして第１の支持部材７の場合と同様に、ユニットベース１０、第２の支持部材８及び接続部材１１ｂ，１１ｄにより平行リンクが構成されている。よって、第２の支持部材８も、第２の支持部材８において振動体２ｂを支持する面と接触体１の摩擦摺動面とが平行な状態を保って変位することが可能となっている。

なお、振動体ユニット３０では、接続部材１１ａ，１１ｂとユニットベース１０との接続に共通の第２の接続ピン２１を用いているが、接続部材１１ａ，１１ｂは別々の接続ピンでユニットベース１０に接続されていてもよい。同様に、接続部材１１ｃ，１１ｄも、別々の接続ピンでユニットベース１０に接続されていてもよい。

ここまで、第１の支持部材７において振動体２ａを支持する面７ｋと接触体１の摩擦摺動面とが平行になっていることを前提に説明してきた。つまり、振動部Ｖでの弾性体３ａの表面と接触体１の摩擦摺動面とが平行になっていることを前提に説明してきた。しかし、図２又は図５でのＹＺ平面で見たときに、第１の支持部材７において振動体２ａを支持する面７ｋは、接触体１の摩擦摺動面に対して微少に傾いていても問題はない。つまり、振動部Ｖでの弾性体３ａの表面は、接触体１の摩擦摺動面に対して微少に傾いていても問題はない。例えば、弾性体３ａにおいて突起５が形成されている表面と接触体１の摩擦摺動面とのなす角度が２°以下であれば、振動体ユニット３０と接触体１との相対速度の低下は小さく、１°以下であれば実質的に速度低下が生じないことが実験的に確認されている。よって、振動部Ｖでの弾性体３ａの表面と接触体１の摩擦摺動面とがなす角度は、２°以下であることが望ましく、１°以下であることがより望ましい。このことは、第２の支持部材８において振動体２ｂを支持する面と振動体２ｂの振動部での弾性体３ｂの表面と接触体１の摩擦摺動面との関係についても同様である。

上記説明の通り、振動型アクチュエータ１００では、平行リンク機構により、第１の支持部材７において振動体２ａを支持する面７ｋは、接触体１の摩擦摺動面に対して平行な状態を保った状態で変位することができる。同様に、平行リンク機構により、第２の支持部材８において振動体２ｂを支持する面も、接触体１の摩擦摺動面に対して平行な状態を保った状態で変位することができる。よって、接触体１の摩擦摺動面に対して振動体２ａ，２ｂを理想的な姿勢に保つことが可能となることで、振動型アクチュエータ１００の性能を十分に引き出した駆動が可能となる。

また、図１６を参照して説明した振動型アクチュエータ８０の構造では、長期使用により押圧力によって緩衝部材８９が圧縮されて厚さが薄くなったときに、引っ張りコイルばね８４の付勢力により、Ｙ軸正方向側とＹ軸負方向側とで異なる厚さになるおそれがある。その場合、振動体８３が接触体８２に対して与える摩擦駆動力がＹ方向成分を含み、振動体８３と接触体８２との相対移動に寄与するＺ方向成分が小さくなることで、摩擦駆動力の利用効率の低下等が生じる。これに対して振動体ユニット３０では、第１の支持部材７において振動体２ａを支持する面７ｋと第２の支持部材８において振動体２ｂを支持する面とが平行な状態に保持されるため、緩衝部材１７ａ，１７ｂの不均一な圧縮が起こり難い。つまり、振動体ユニット３０は、接触体１の摩擦摺動面と、振動体２ａ，２ｂの振動部Ｖにおける弾性体３ａ，３ｂの表面との平行状態が経時的に保たれ、摩擦駆動力の利用効率の低下等が起こり難い構造となっている。

ここまで、接触体１が固定され、振動体ユニット３０が移動する構成について説明したが、振動体ユニット３０が固定され、接触体１が移動する構成とすることも可能である。また、一直線状の接触体１に対して振動体ユニット３０を組み合わせた構成について説明したが、接触体１の形状は一直線状に限定されない。

図６は、円環状の接触体１Ａと振動体ユニット３０とを組み合わせた振動型アクチュエータ１００Ａの概略構成を示す斜視図である。円環状の接触体１Ａは、不図示のガイドに対して周方向に回転可能に配置されている。接触体１Ａにおいて径方向と平行な２つの面がそれぞれ振動体ユニット３０に対する摩擦摺動面となるように、振動体ユニット３０は装置フレーム１９に固定されている。振動型アクチュエータ１００では、図４を参照して説明した通りに振動体２ａ，２ｂを駆動し、摩擦駆動力を接触体１Ａの周方向（円周の接線方向）に作用させることで、接触体１Ａを周方向に回転させることができる。なお、接触体１Ａが固定され、接触体１Ａの円周に沿って振動体ユニット３０が移動する構造とすることも可能である。

＜第２実施形態＞
図７は、第２実施形態に係る振動型アクチュエータ２００の概略構成を示す斜視図である。なお、振動型アクチュエータ２００の構成要素のうち、振動型アクチュエータ１００の構成要素と実質的に機能が同じものの一部については、同じ符号を付して重複する説明を省略する。

振動型アクチュエータ２００は、振動体ユニット３２、接触体１、２本の支持軸９、ボトムプレート１３、トッププレート１４及び側壁部材１５，１６を備える。振動体ユニット３２は、支持軸９の長手方向であるＸ方向に移動可能に、２本の支持軸９に支持されており、振動型アクチュエータ２００は振動体ユニット３２が接触体１に対してＸ方向に相対移動する構成となっている。

図８は、Ｘ軸と直交する面での振動型アクチュエータ２００の断面図であり、振動体ユニット３２のＸ方向略中央部での断面を示している。振動体ユニット３２は、振動体２、緩衝部材１７、保持部材１８、加圧伝達部材６、第１の支持部材７、ユニットベース３９（基台）、接続部材３５，３６及び引っ張りコイルバネ１２を有する。振動体２の構成は、第１実施形態で説明した振動体２ａの構成と同じであり、突起が形成された弾性体３と、弾性体３に接着された圧電素子４を備える。

ユニットベース３９に設けられた２カ所の穴部（ユニットベース１０の穴部１０ａ，１０ｂに相当する）のそれぞれに支持軸９が摺動可能に挿入されており、これによりユニットベース３９は支持軸９の長手方向であるＸ方向に移動可能となっている。また、２本の支持軸９により、ユニットベース３９のＸ軸まわりの回転が規制されている。第１実施形態での振動体ユニット３０は２つの振動体２ａ，２ｂを備えているが、第２実施形態での振動体ユニット３２は１つの振動体２を備える。そのため、振動体ユニット３２において第１実施形態での振動体ユニット３０が有する第２の支持部材８に対応する部位（以下「第２支持部材対応部位」という）は、ユニットベース３９と一体的に形成されている。そして、ユニットベース３９が接触体１に対して滑らかに移動することができるように、ユニットベース３９の第２支持部材対応部位には、ローラー３７と、ローラー３７をＹ軸まわりに回転可能に支持する回転軸３８が設けられている。ローラー３７としては、例えば、ベアリングを用いることができる。但し、ユニットベース３９のＸ軸まわりの回転が規制されているため、接触体１とユニットベース３９の第２支持部材対応部位とのＺ方向の距離が大きい場合には、ローラー３７は配置しなくともよい。

第１の支持部材７、ユニットベース３９及び接続部材３５，３６は、第１実施形態と同様に平行リンクを形成している。前述の通り、振動体２の構造は第１実施形態での振動体２ａの構造と同じである。また、第１の支持部材７に対する振動体２の支持構造は、第１実施形態での第１の支持部材７に対する振動体２ａの支持構造と同じである。よって、第１の支持部材７において振動体２を支持する面７ｋと接触体１の摩擦摺動面とを平行に保った状態で、第１の支持部材７は接続部材３５，３６を介してユニットベース３９に支持される。

１つの振動体２で接触体１を摩擦駆動する振動型アクチュエータ２００でも、平行リンクを用いることにより、振動体２の振動部Ｖ（図３参照）での弾性体３の表面と接触体１の摩擦摺動面とが平行な状態で振動体２の姿勢を安定させることができる。これにより、所望の駆動力を安定して得ることができる。また、振動型アクチュエータ２００では、振動型アクチュエータ１００と比較すると、用いている振動体が１つであるため小型化が可能となる。

なお、振動型アクチュエータ２００についても、第１実施形態で説明したように、引っ張りコイルバネ１２に代えてゴム等を用いてもよい。また、ユニットベース３９のＸ軸まわりの回転を規制するために、２本の支持軸９に代えて角柱状の１本の支持軸を用いてもよく或いは支持軸に代えてリニアガイドを用いてもよい。更に、振動型アクチュエータ２００についても、第１実施形態での説明に準じて、振動体ユニット３２が固定されて接触体１が移動可能となっている構成への変更や接触体の形状等の変更が可能である。

＜第３実施形態＞
図９は、第３実施形態に係る振動型アクチュエータ３００の概略構成を示す斜視図である。振動型アクチュエータ３００の構成要素のうち、振動型アクチュエータ１００の構成要素と実質的に機能が同じものについては、同じ符号を付して重複する説明を省略する。

振動型アクチュエータ３００は、振動体ユニット４０、接触体１、１本の支持軸９、ボトムプレート１３、トッププレート１４及び側壁部材１５，１６を備える。振動体ユニット４０は、支持軸９の長手方向であるＸ方向に移動可能に支持軸９に支持されており、振動型アクチュエータ２００は振動体ユニット４０が接触体１に対してＸ方向に相対移動する構成となっている。

図１０は、Ｘ軸と直交する面での振動型アクチュエータ３００の断面図であり、振動体ユニット４０のＸ方向略中央部での断面を示している。振動体ユニット４０は、振動体２ａ，２ｂ、緩衝部材１７ａ，１７ｂ、加圧伝達部材６ａ，６ｂ、保持部材１８ａ，１８ｂ、第１の支持部材４８、第２の支持部材４９及び引っ張りコイルバネ１２を有する。

第１の支持部材４８に設けられた穴部４８ａに支持軸９が摺動可能に挿入されることにより、第１の支持部材４８は支持軸９に沿って移動可能となっている。第２の支持部材４９にはＸ方向と平行に接続ピン４５が設けられており、接続ピン４５は第１の支持部材４８に設けられた接続ピン受け部（不図示）に回転可能に嵌合している。よって、第２の支持部材４９は、第１の支持部材４８に対して接続ピン４５まわり（Ｘ軸まわり）に回動可能となっている。第１の支持部材４８と第２の支持部材４９のＹ軸正方向端部（Ｙ方向において接続ピン４５より連結されている側の反対側となる端部）は互いに、引っ張りコイルバネ１２により引き寄せられている。

保持部材１８ａ，１８ｂに対する振動体２ａ，２ｂ、緩衝部材１７ａ，１７ｂ及び加圧伝達部材６ａ，６ｂの配置は、第１実施形態での説明（図３参照）に準ずる。そのため、引っ張りコイルバネ１２によって第１の支持部材４８及び第２の支持部材４９に加わる加圧力は、振動体２ａ，２ｂのみに伝わる。こうして、第１実施形態での振動体ユニット３０と同様に、振動体２ａ，２ｂは接触体１に対してＺ方向に押圧力を与えた姿勢で保持され、振動体ユニット４０は支持軸９の長手方向に沿って接触体１に対して相対的に且つ一体的に移動可能となっている。

次に、振動型アクチュエータ３００において、接触体１に対する振動体２ａの位置を調整する機構について説明する。第１の支持部材４８が振動体２ａを支持する構造は、第１実施形態において第１の支持部材７が振動体２ａを支持する構造と同様である。つまり、振動体２ａ（弾性体３ａ）は保持部材１８ａに嵌合、接着により固定されており、保持部材１８ａはピン嵌合によって第１の支持部材４８に対してＺ方向にのみ摺動可能となっている。よって、振動体２ａの振動部Ｖにおける弾性体３ａの表面は、第１の支持部材４８において振動体２ａを支持する面（第１実施形態での第１の支持部材７の面７ｋに対応する面（図３参照））と平行な状態に保たれている。なお、第１の支持部材４８において振動体２ａを支持する面が接触体１の摩擦摺動面と平行であれば、振動体２ａの振動部Ｖにおける弾性体３ａの表面も接触体１の摩擦摺動面と平行になる。

加圧伝達部材６ａの第１の支持部材４８側の面が第１の支持部材４８に設けられた凸部４８ｅ（第１実施形態での第１の支持部材７の凸部７ｅに相当）と接触することにより、加圧伝達部材６ａのＺ方向の位置が定まっている。この場合、第１の支持部材４８から振動体２ａを構成する弾性体３ａまでの高さ、例えば、弾性体３ａにおいて圧電素子４ａが接着されている面までの高さｈ（図１０）は、加圧伝達部材６ａ及び緩衝部材１７ａのＺ方向での位置によって定まる。よって、第１の支持部材４８に対する振動体２ａのＺ方向での位置を調整するには、加圧伝達部材６ａのＺ方向での位置を調整すればよい。

そこで、加圧伝達部材６ａの位置を調整可能とするために、振動体ユニット４０では、第１の支持部材４８に設けられた凸部４８ｅにネジ穴４８ｆを設け、ネジ穴４８ｆに挿入される突起６ａｆを加圧伝達部材６ａに設けている。突起６ａｆの外周面にはネジ溝は形成されておらず、よって、突起６ａｆは、ネジ穴４８ｆと螺合することなくネジ穴４８ｆに対してＺ方向で移動可能となっている。一方、Ｚ軸負方向側からネジ穴４８ｆにイモネジ４２ａを螺合させ、その締結量を調整する（Ｚ方向での突起６ａｆとの当接位置（高さ）を調整する）。これにより、加圧伝達部材６ａの第１の支持部材４８に対するＺ方向の位置を調整することができる。なお、イモネジは、止めネジ、ホロービス、セットスクリューとも称呼される。突起６ａｆの先端とイモネジ４２ａの先端との接触面にがたつきが生じると異音が発生するおそれがあることを考慮し、イモネジ４２ａの先端は突起６ａｆ側に凸となる球面（曲面）状に形成されている。

イモネジ４２ａにより加圧伝達部材６ａのＺ方向位置を調整することにより、振動体２ａもＺ方向で移動して位置調整される。つまり、振動体２ａの第１の支持部材４８に対する高さｈが調整されると同時に、接触体１と第１の支持部材４８との距離Ｌ（図１０参照）も調整される。

イモネジ４２ａによる加圧伝達部材６ａ及び振動体２ａのＺ方向位置の調整は、振動体ユニット４０の組み立て時に行われる。また、振動型アクチュエータ３００が長期間使用された場合には、緩衝部材１７ａは圧縮されて厚さが薄くなり、或いは、接触体１の厚さが摩耗により薄くなることが起こり得る。この場合、接触体１に対する振動体２ａの位置や姿勢が初期状態から変わってしまう。そのような場合にも、ネジ穴４８ｆに対するイモネジ４２ａの締結量を調整することにより、第１の支持部材４８に対する振動体２ａのＺ方向での位置を調整することができる。

なお、第２の支持部材４９側も、第１の支持部材４８側と同様に構成されており、イモネジ４２ｂの第２の支持部材４９に対する締結量を調整して加圧伝達部材６ｂのＺ方向位置を調整することにより、振動体２ｂのＺ方向位置を調整することが可能となっている。つまり、イモネジ４２ｂの第２の支持部材４９に対する締結量を調整することよって、振動体２ｂの第２の支持部材４９に対する高さを調整すると同時に、接触体１に対する振動体２ｂのＺ方向位置を調整することが可能となっている。

上記説明の通り、振動型アクチュエータ３００では、接触体１に対する振動体２ａ，２ｂの位置を簡素な構成で調整することができる。なお、振動型アクチュエータ３００においても、第１実施形態で説明したように、引っ張りコイルバネ１２に代えてゴム等を用いてもよい。また、イモネジ４２ａ，４２ｂに代えて、一般的なネジ部材、例えば、ネジ頭付きのネジ等を用いてもよい。

＜第４実施形態＞
第４実施形態では、第３実施形態に係る振動型アクチュエータ３００の変形例について説明する。図１１は、第４実施形態に係る振動型アクチュエータ３００Ａの概略構成を示す断面図であり、振動体２のＹ方向中央でのＸＺ断面を示している。なお、図１１では、振動体２ａ，２ｂのＺ方向位置の調整するための構成と直接の関係のない部材については図示を省略している。

振動型アクチュエータ３００では、イモネジ４２ａ，４２ｂを用いて振動体２ａ，２ｂのＺ方向位置を調整した。これに対して、振動型アクチュエータ３００Ａでは、イモネジ４２ａの代わりに、所定の厚さのシム板４７ａ（板材）が第１の支持部材４８と加圧伝達部材６ａの間に配置されている。同様に、イモネジ４２ｂの代わりに、シム板４７ｂが第２の支持部材４９と加圧伝達部材６ｂの間に配置されている。これにより、振動体２ａ，２ｂのＺ方向位置を決めることができる。また、振動型アクチュエータ３００では、イモネジが緩んでしまった場合に、振動体２ａ，２ｂのＺ方向位置が変わり、また、振動体２ａ，２ｂの姿勢が変化してしまうおそれがある。これに対して振動型アクチュエータ３００Ａでは、シム板４７ａ，４７ｂを用いることにより、このような問題の発生を回避することができる。

なお、図１１に示すように、加圧伝達部材６ａには、Ｚ方向から見たときに弾性体３ａに形成された突起５と少なくとも一部で重なる領域で緩衝部材１７ａに当接するように、Ｘ方向中央部よりも突起側に凸となる段差部６ａｃがＸ方向端に設けられている。これにより、加圧伝達部材６ａに作用する加圧力を効率的に弾性体３ａの突起に伝えることができることで、効率のよい駆動が可能となる。なお、加圧伝達部材６ｂにも、これと同様に、段差部６ｂｃがＸ方向端に設けられている。このような形状を有する加圧伝達部材６ａ，６ｂは、第１乃至第３実施形態での各振動体ユニットに適用することができる。

＜第５実施形態＞
第５実施形態では、第３実施形態に係る振動型アクチュエータ３００の別の変形例について説明する。図１２（ａ）は、第５実施形態に係る振動型アクチュエータ３００Ｂの概略構成を示す斜視図である。図１２（ｂ）は、Ｘ軸と直交する面での振動型アクチュエータ３００Ｂの断面図であり、振動体ユニット５０のＸ方向略中央部での断面を示している。振動型アクチュエータ３００Ｂは、２つの振動体２ａ，２ｂを備える第３実施形態に係る振動型アクチュエータ３００を、１つの振動体２を備える構成に変えたものに相当する。そのため、振動型アクチュエータ３００Ｂの構成要素のうち、振動型アクチュエータ３００の構成要素と同じものや、既に説明した振動型アクチュエータとの対比から構造上同等なことが明らかなものについては、説明を省略する。

振動型アクチュエータ３００Ｂは、支持軸９及び接触体１の長手方向であるＸ方向に移動可能な振動体ユニット５０を有する。振動体ユニット５０は、支持軸９に移動可能に支持され、且つ、振動体２を支持する第１の支持部材５３と、第１の支持部材５３に接続ピン５２で連結された第２の支持部材５４とを有する。振動体ユニット５０は、振動型アクチュエータ３００を構成する振動体ユニット４０と同様に、第１の支持部材５３に螺合するイモネジ４２ｃで振動体２のＺ方向位置（高さ）を調整する構成となっている。なお、第２実施形態に係る振動型アクチュエータ２００と同様に、第２の支持部材５４が接触体１上を滑らかに動くことができるように、第２の支持部材５４には、ローラー３７が回転軸３８まわりに回転可能に取り付けられている。このような構成により、振動型アクチュエータ３００と同様の効果を得ることができる。

＜第６実施形態＞
第６実施形態では、第５実施形態に係る振動型アクチュエータ３００Ｂの振動体ユニット５０の変形例について説明する。図１３は、振動体ユニット５５のＸ軸と直交する面での断面図であり、Ｘ方向略中央部での断面を示している。振動体ユニット５５では、第１の支持部材５６と第２の支持部材５７とを共通の支持軸９で回転可能かつ摺動可能に支持する構成となっている。振動体ユニット５５での振動体２の支持構造等は、振動体ユニット５０での振動体２の支持構造と同等であるため、説明を省略する。

＜第７実施形態＞
次に、振動型アクチュエータ１００を適用した各種の装置について説明する。図１４は、振動型アクチュエータ１００を備える撮像装置６０の概略構成を示す上面図である。撮像装置６０は、撮像素子（不図示）を有する撮像装置本体６１と、撮像装置本体６１に対して着脱可能なレンズ鏡筒６２（撮影レンズ）を有する。レンズ鏡筒６２は、複数のレンズ群６３と、フォーカス調整用レンズ６４と、振動型アクチュエータ１００を含む。振動型アクチュエータ１００の振動体ユニット３０は、振動体ユニット３０の駆動（移動）方向が光軸方向となるように、フォーカス調整用レンズ６４を保持する不図示のレンズ保持枠に連結されている。振動型アクチュエータ１００を駆動することにより、振動体ユニット３０に連結されたフォーカス調整用レンズ６４を光軸方向に駆動して、被写体にピントを合わせることができる。

なお、振動型アクチュエータ１００は、レンズ鏡筒６２にズーム用レンズが配置されている場合に、ズーム用レンズを光軸方向に移動させる駆動源として用いることもできる。更に、レンズ鏡筒６２に像ブレ補正レンズが配置されている場合には、振動型アクチュエータ１００は、像ブレ補正レンズを光軸と直交する平面内で駆動する駆動源として用いることができる。

図１５は、振動型アクチュエータ１００を備えるマニピュレータ７０の概略構成を示す図である。マニピュレータ７０は、支持部７１、支持部７１に配置された振動型アクチュエータ１００、支持部７１に対して矢印Ｓ方向にスライド可能に配置されたハンド部７２を備える。ハンド部７２は、振動型アクチュエータ１００における振動体ユニット３０に連結されている。振動型アクチュエータ１００は、ハンド部７２を矢印Ｓ方向に駆動する（矢印Ｓ方向で伸縮させる）ための駆動源として用いられる。なお、上述した各実施形態に係る振動型アクチュエータは、撮像装置６０やマニピュレータ７０に限らず、位置決めが必要とされる部品を備える各種の装置に広く適用することができる。

以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。例えば、第１実施形態で説明した振動体ユニット３０の第１の支持部材７及び第２の支持部材８に、第３実施形態で説明したイモネジ４２ａ，４２ｂ或いは第４実施形態で説明したシム板４７ａ，４７ｂによるＺ方向での位置調節機能を設けてもよい。

１接触体
２ａ，２ｂ振動体
６ａ，６ｂ加圧伝達部材
７第１の支持部材
８第２の支持部材
９支持軸
１０ユニットベース（基台）
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ接続部材
１２コイルバネ
１８ａ，１８ｂ保持部材
３０振動体ユニット
４２ａ，４２ｂイモネジ
４７ａ，４７ｂシム板
６０撮像装置
７０マニピュレータ
１００振動型アクチュエータ

Claims

相対移動が可能な振動体ユニットと接触体を備える振動型アクチュエータであって、
前記振動体ユニットは、
前記接触体と接触する第１の振動体と、
所定の加圧力で前記第１の振動体と前記接触体とを接触させる付勢手段と、
前記第１の振動体を保持する第１の保持部材と、
基台と、
前記第１の振動体を前記接触体に対して加圧する加圧方向において前記第１の保持部材を支持する第１の支持部材と、
前記第１の支持部材に回転可能に連結されると共に、前記相対移動の方向と平行な軸の軸まわりに回転可能に前記基台に連結される第１の接続部材と、
前記相対移動の方向と平行に配置される支持軸と、
前記接触体を固定する固定手段と、を備え、
前記第１の支持部材と前記基台とは、少なくとも２つ以上の前記第１の接続部材で接続されることにより、前記第１の支持部材、前記基台および前記第１の接続部材とで平行リンクが構成されており、
前記基台は、前記支持軸まわりの回転が規制された状態で前記支持軸に移動可能に嵌合し、前記平行リンクを含む前記振動体ユニットが前記接触体に対して相対的に移動することを特徴とする振動型アクチュエータ。
相対移動が可能な振動体ユニットと接触体を備える振動型アクチュエータであって、
前記振動体ユニットは、
前記接触体と接触する第１の振動体と、
所定の加圧力で前記第１の振動体と前記接触体とを接触させる付勢手段と、
前記第１の振動体を保持する第１の保持部材と、
基台と、
前記第１の振動体を前記接触体に対して加圧する加圧方向において前記第１の保持部材を支持する第１の支持部材と、
前記第１の支持部材に回転可能に連結されると共に、前記相対移動の方向と平行な軸の軸まわりに回転可能に前記基台に連結される第１の接続部材と、
前記基台を固定する固定手段と、を備え、
前記第１の支持部材と前記基台とは、少なくとも２つ以上の前記第１の接続部材で接続されることにより、前記第１の支持部材、前記基台および前記第１の接続部材とで平行リンクが構成されており、
前記接触体は前記相対移動の方向に移動可能に配置されていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
前記第１の振動体は、
平板状の弾性体と、
前記弾性体の一方の表面に設けられ、前記接触体と接触する突起と、を有し、
前記接触体における前記第１の振動体との摩擦摺動面と前記弾性体の前記一方の表面とのなす角が２°以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータ。
前記第１の振動体と前記第１の支持部材との間に配置され、前記第１の振動体に前記加圧力を伝達する加圧伝達部材を備え、
前記加圧方向から見たときに、前記加圧伝達部材は少なくとも一部が前記第１の振動体の前記突起と重なる領域で前記第１の振動体を押圧することを特徴とする請求項３に記載の振動型アクチュエータ。
前記振動体ユニットは、
前記第１の振動体とで前記接触体を挟むように配置され、前記加圧力によって前記接触体に接触する第２の振動体と、
前記第２の振動体を保持する第２の保持部材と、
前記第２の保持部材を前記加圧方向において摺動可能に支持する第２の支持部材と、
前記第２の支持部材に回転可能に連結されると共に、前記相対移動の方向と平行な軸の軸まわりに回転可能に前記基台に連結される第２の接続部材と、を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
前記第２の支持部材と前記基台とは、少なくとも２つ以上の前記第２の接続部材で接続されることにより、前記第２の支持部材、前記基台および前記第２の接続部材とで平行リンクが構成されていることを特徴とする請求項５に記載の振動型アクチュエータ。
前記第２の振動体は、
平板状の弾性体と、
前記弾性体の一方の表面に設けられ、前記接触体と接触する突起と、を有し、
前記接触体における前記第２の振動体との摩擦摺動面と前記弾性体の前記一方の表面とのなす角が２°以下であることを特徴とする請求項５又は６に記載の振動型アクチュエータ。
前記第２の振動体と前記第２の支持部材との間に配置され、前記第２の振動体に前記加圧力を伝達する加圧伝達部材を備え、
前記加圧方向から見たときに、前記加圧伝達部材は少なくとも一部が前記第２の振動体の前記突起と重なる領域で前記第２の振動体を押圧することを特徴とする請求項７に記載の振動型アクチュエータ。
相対移動が可能な振動体ユニットと接触体を備える振動型アクチュエータであって、
前記振動体ユニットは、
前記接触体と接触する第１の振動体と、
所定の加圧力で前記第１の振動体と前記接触体とを接触させる付勢手段と、
前記第１の振動体を保持する第１の保持部材と、
前記第１の振動体を前記接触体に対して加圧する加圧方向において前記第１の保持部材を支持する第１の支持部材と、
前記加圧方向での前記第１の支持部材に対する前記第１の振動体の位置を調整する調整手段と、を備え、
前記調整手段は、
前記第１の振動体と前記第１の支持部材との間に配置されて前記第１の振動体に前記加圧力を伝達する第１の加圧伝達部材と、
前記第１の支持部材と前記第１の加圧伝達部材との間に配置された所定の厚さの第１の板材と、を有することを特徴とする振動型アクチュエータ。
前記調整手段は、
前記第１の支持部材に前記加圧方向と平行に形成された第１のネジ穴と、
前記第１のネジ穴に螺合する第１のネジ部材と、を有し、
前記加圧方向での前記第１の支持部材に対する前記第１の振動体の位置が、前記第１のネジ穴に対する前記第１のネジ部材の締結量によって調整可能となっていることを特徴とする請求項９に記載の振動型アクチュエータ。
前記第１の振動体は、
平板状の弾性体と、
前記弾性体の一方の表面に設けられ、前記接触体と接触する突起と、を有し、
前記接触体における前記第１の振動体との摩擦摺動面と前記弾性体の前記一方の表面とのなす角が２°以下であることを特徴とする請求項９又は１０に記載の振動型アクチュエータ。
前記第１の振動体と前記第１の支持部材との間に配置され、前記第１の振動体に前記加圧力を伝達する加圧伝達部材を備え、
前記加圧方向から見たときに、前記加圧伝達部材は少なくとも一部が前記第１の振動体の前記突起と重なる領域で前記第１の振動体を押圧することを特徴とする請求項１１に記載の振動型アクチュエータ。
相対移動が可能な振動体ユニットと接触体を備える振動型アクチュエータであって、
前記振動体ユニットは、
前記接触体と接触する第１の振動体と、
所定の加圧力で前記第１の振動体と前記接触体とを接触させる付勢手段と、
前記第１の振動体を保持する第１の保持部材と、
前記第１の振動体を前記接触体に対して加圧する加圧方向において前記第１の保持部材を支持する第１の支持部材と、
前記加圧方向での前記第１の支持部材に対する前記第１の振動体の位置を調整する調整手段と、を備え、
前記振動体ユニットは、
前記第１の振動体とで前記接触体を挟むように配置され、前記加圧力によって前記接触体に接触する第２の振動体と、
前記第２の振動体を保持する第２の保持部材と、
前記第１の支持部材に対して前記相対移動の方向と平行な軸の軸まわりに回転可能に支持され、前記第２の保持部材を前記加圧方向において摺動可能に支持する第２の支持部材と、を備え、
前記調整手段は、
前記第２の支持部材に前記加圧方向と平行に形成された第２のネジ穴と、
前記第２のネジ穴に螺合する第２のネジ部材と、を有し、
前記加圧方向での前記第２の支持部材に対する前記第２の振動体の位置が、前記第２のネジ穴に対する前記第２のネジ部材の締結量によって調整可能となっていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
前記振動体ユニットは、
前記第１の振動体とで前記接触体を挟むように配置され、前記加圧力によって前記接触体に接触する第２の振動体と、
前記第２の振動体を保持する第２の保持部材と、
前記第１の支持部材に対して前記相対移動の方向と平行な軸の軸まわりに回転可能に支持され、前記第２の保持部材を前記加圧方向において摺動可能に支持する第２の支持部材と、を備え、
前記調整手段は、
前記第２の振動体と前記第２の支持部材との間に配置されて前記第２の振動体に前記加圧力を伝達する第２の加圧伝達部材と、
前記第１の支持部材と前記第２の加圧伝達部材との間に配置された所定の厚さの第２の板材と、を有することを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
前記第２の振動体は、
平板状の弾性体と、
前記弾性体の一方の表面に設けられ、前記接触体と接触する突起と、を有し、
前記接触体における前記第２の振動体との摩擦摺動面と前記弾性体の前記一方の表面とのなす角が２°以下であることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の振動型アクチュエータ。
前記第２の振動体と前記第２の支持部材との間に配置され、前記第２の振動体に前記加圧力を伝達する加圧伝達部材を備え、
前記加圧方向から見たときに、前記加圧伝達部材は少なくとも一部が前記第２の振動体の前記突起と重なる領域で前記第２の振動体を押圧することを特徴とする請求項１５に記載の振動型アクチュエータ。
前記相対移動の方向と平行に配置される支持軸を備え、
前記第２の支持部材は、前記支持軸まわりに回転可能に前記第１の支持部材に支持され、前記第１の支持部材は前記支持軸まわりの回転が規制された状態で前記支持軸に移動可能に嵌合して、前記振動体ユニットが前記接触体に対して相対的に移動することを特徴とする請求項１３乃至１６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
前記相対移動の方向と平行に配置される支持軸と、
前記接触体を固定する固定手段と、を備え、
前記第１の支持部材は、前記支持軸まわりの回転が規制された状態で前記支持軸に移動可能に嵌合し、前記振動体ユニットが前記接触体に対して相対的に移動することを特徴とする請求項９乃至１６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
前記第１の支持部材を固定する固定手段を備え、
前記接触体は前記相対移動の方向に移動可能に配置されていることを特徴とする請求項９乃至１６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータにより駆動される部品と、を備えることを特徴とする装置。