JP3807513B2 - 超音波リニアモータ - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/004—Rectangular vibrators
-
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気−機械エネルギー変換素子を駆動源とする超音波モータ、例えば定在波型の超音波モータにより被駆動部材を直線運動させる超音波リニアモータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、精密機械や光学機器などの分野では、電磁型モータに比べて小型でありながら高トルクが得られ、さらに、ストロークが長く高分解能である等の利点を有する超音波モータが多々使用される傾向にある。
【0003】
このような超音波モータは、回転型とリニア型とに大別され、このうちリニア型のものとしては、特開平6−284752号や特開平6−105571号に開示されたものが知られている。
【0004】
このうち特開平6−284752号公報に開示される超音波モータは、電気−機械エネルギー変換素子が固着され、長手方向に伸縮する共振周波数と該伸縮の方向を伝播方向とする横波の弾性波が定在すべき周波数とが一致するように長手方向と幅の寸法が設定され、且つ前記電気−機械エネルギー変換素子の振動変位により前記伸縮振動と定在波とが同時に発生される振動子と、この振動子表面の定在波の腹に対応する位置より突出するように設けられ、前記両振動により回転軌跡を描いて駆動される摺動突起と、前記振動子の定在波の節に対応する位置より振動子の両側面に突出するように設けられた支持軸とを具備し、前記支持軸を押圧することにより前記振動子を被駆動部材に押圧して被駆動部材を移動させるようにしたものである。
【0005】
具体的な構成例としては、図7(A)(B)に示すように、振動子2は、略直方体形状の弾性体3と、この弾性体3の上端部に長手方向に沿って2ケ所設けられた矩形の切欠3aにそれぞれ積層型圧電素子4を挟み込んで固定し、また、弾性体3の振動の腹となる下端面位置には、2つの摺動部材5をそれぞれ固着している。このような振動子2は、2次の定在波の節となる位置であって、前記2つの積層型圧電素子4の間となる弾性体3の両側面から支持軸6をそれぞれ突設している。また、振動子2を着力点たる支持軸6を介して該支持軸6を係合する凹部を有する係止部材7によって支持するとともに、摺動部材5を介して被駆動部材9へ向かって付勢し、さらに係止部材7を、片持ち梁の板バネ11の一端部にねじ12で締結し、この板ばね11の他端部を台座13を介してねじ12で基礎14に固定するようにしている。
【0006】
また、同特開平6−284752号公報には、上述の他に、振動子2に押圧力を与える手段として板バネの取り付け方や形状を工夫した例なども開示されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような超音波リニアモータでは、その特性である高分解能であるとともに、さらにロングストロークが得られるという利点を有しており、これら利点を生かすために被駆動部材を精密に移動させるリニアガイドを設けるようにしている。
【0008】
しかしながら、前述した従来例にあっては、板ばね7が固定されている基礎14と被駆動部材9との関連構成が明確に開示されておらず、超音波リニアモータを小型、高性能に構成したものとして十分なものと言えなかった。
【0009】
また、超音波リニアモータでは、振動子2への押圧力が変化するとその駆動推力が変化することが知られており、振動子2への押圧力はモータの特性に大きな影響を与える。
【0010】
ところが、前述した従来例にあっては、使用する板ばね7によって押圧力が決まってしまうため、板ばね7を含めて他の構成要素の製作時の誤差によって押圧力が変わってしまうことになり、モータの特性に影響を与えるという欠点があった。特に、小型に構成する超音波リニアモータでは、板ばね7のスパンをあまり長くはできないため、必然的にばね定数の大きなばねとなり、上述した製作誤差の影響を受け易いものになっている。また、振動子2の両側の支持軸6をそれぞれ別個の板ばね7で押圧しているので、ばね力量の差により振動子2が被駆動部材に対し垂直に押圧されず移動が不安定になる問題点も有していた。
【0011】
一方、特開平6−105571号公報には、コイルばねにより振動子を被駆動部材に押圧し、調整ねじによりコイルばねの押圧力を調整可能にしたものが開示されている。
【0012】
このような特開平6−105571号公報に開示される超音波リニアモータにあっては、コイルばね手段を支持する枠体は小型化された振動子と比較して大きなものである。また振動子を保持する保持部材は、コイルばねによって付勢されながら振動子が被駆動部材の移動方向に移動しないように保持しているが、かかる保持のための構成については明確でなく、具体的な保持機構が使用されるとなれば、その構成は大きなものとなって、超音波モータ全体の寸法を大きくし、さらに価格的にも高価になるという問題点があった。
【0013】
このようにして従来の超音波リニアモータにおいては、小型化された超音波振動子と比べて、この振動子を支持および付勢するための手段が小型化されておらず、また製造上、振動子に対する安定した押圧力を得るのが難しかった。
【0014】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、安定した押圧力と円滑なリニア移動が得られる,小型、高性能で製造の容易な超音波リニアモータを提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、電気−機械エネルギー変換素子を有する超音波振動子により被駆動部材を押圧することで該被駆動部材を駆動するようにした超音波リニアモータにおいて、前記振動子を挟むように配置され前記振動子の定在波の節に対応する位置に前記被駆動部材に対する押圧力を作用させる一対の押圧部材と、これら押圧部材を回動可能に支持する支持部材と、前記一対の押圧部材に対して前記被駆動部材への押圧力となる偏倚力を同時に作用させる弾性部材と、前記支持部材を固定する固定部材と、前記固定部材と前記被駆動部材との間に多数介在され、前記固定部材に対して前記被駆動部材を移動自在にするボールまたはローラーと、を具備し、前記支持部材は、前記固定部材に対する固定位置を前記被駆動部材の移動ストローク両側最終端のボールまたはローラー位置よりも内側に位置することを特徴としている。
【0018】
本発明によれば、支持部材の固定部材に対する固定位置を被駆動部材の移動ストローク両側最終端のボールまたはローラー位置よりも内側に位置させることで、弾性部材の偏倚力による固定部材であるリニアガイドの外ガイド部での変形が防止でき、これによりリニアガイドは強度を増すために不必要に大きくすることなく、被駆動部材を移動全ストロークにわたって円滑に移動させることができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
(第1の実施の形態)
図1は本発明の第1の実施の形態を示す分解斜視図である。
【0020】
図において、51はリニアガイドの外ガイド部で、この外ガイド部51は、下面中央部に、その長手方向に沿って切欠部511を形成し、この切欠部512内壁の両側にV溝512を形成し、このV溝512に保持したボール又はクロスローラーを介して中ガイド52を切欠部511に沿って移動自在に設けている。この場合、中ガイド52の両側側面にもボール又はクロスローラーを保持するV溝521を形成している。
【0021】
このような構成では、中ガイド52の移動に伴いボール又はクロスローラーが外ガイド部51及び中ガイド52に設けられたV溝512、521中を転動して、これらボール又はクロスローラーの位置が中ガイド52の移動量の1/2だけ移動するようになる。なお、ここで、53a及び53cは移動ストローク左側最終端でのボール又はローラー列の両端位置、53b及び53dは移動ストローク右側最終端でのボール又はローラー列の両端位置を示している。実際には、53aと53cとの間、また53bと53dとの間には、図示しない複数のボール又はローラが並べて配置されていることになる。
【0022】
また、外ガイド51の上面には、切欠部511に沿って、該切欠部511に貫通する長穴部51aを形成するとともに、この長穴部51aの一方端部に該長穴部51aと直交する方向に溝部51bを有している。
【0023】
このような外ガイド51上面に超音波振動子54を載置している。この超音波振動子54は、上部に積層型圧電素子54aを設け、下面に定在波の腹に対応する位置から突出して摺動突起54bを設け、さらに、定在波の節に対応する位置に、両側面に突出するように支持軸54cを設けている。つまり、この場合、超音波振動子54は、上部に積層型圧電素子54aとして電気−機械エネルギー変換素子を設けるとともに、その長手方向に伸縮する共振周波数と該伸縮の方向を伝播方向とする横波の弾性波が定在すべき周波数とが一致するように長手方向と幅の寸法が設定され、かつ電気−機械エネルギー変換素子の振動変位により伸縮振動と定在波とを同時に発生するようにしており、その下面側に定在波の腹に対応する位置より突出するように両振動により回転軌跡を描いて駆動される摺動突起54bを設け、さらに定在波の節に対応する位置より圧電素子54aの両側面に突出するように支持軸54cを設けるようにしている。
【0024】
そして、このような超音波振動子54は、摺動突起54bが外ガイド部51に設けられた長穴部51aを介して中ガイド52に圧接するようになっている。
超音波振動子54の長手方向両側にそれぞれ押圧板55を設けている。この押圧板55は、中央部にV溝551を有し、このV溝551により、超音波振動子54の支持軸54cを押圧保持するようにしている。そして、これら押圧板55の一方端の間を押圧板支持軸56により回動可能に支持している。
【0025】
これら押圧板55の外側に沿わせて押圧板支持部材57R、57Lを配置している。これら押圧板支持部材57R、57Lは、その一方端の間を押圧板55とともに上述の押圧板支持軸56により支持していて、押圧板55をガタなく回動可能に保持するようにしている。また、これら押圧板支持部材57R,57Lは、外ガイド部51の上面に固定ねじ58で一体に固定している。
【0026】
なお、これらの固定ねじ58による固定位置は、リニアガイドのストローク最終端のボール又はローラー位置53bと53cの間になるようにしている。
超音波振動子54の両側に設けられた押圧板55の他方端部の上にバネ座59を設けている。このバネ座59は、押圧板55の他方端部を同時にコイルバネ60により付勢するためのものである。
【0027】
この場合、コイルバネ60の中空部にバネ軸61を挿通し、このバネ軸61をナット62にねじ込み、コイルバネ60を押圧することで、バネ座59を介して押圧板55に押圧板支持軸56を中心とした時計方向の偏倚力を作用するようにしている。ナット62は、外ガイド部51上面の長溝51bに嵌め込まれる。ナット62両側の肉薄部分の上面に押圧板支持部材57の他方端部の下面が当接し、ナット62が抜けないようにしている。ナット62は、長溝51bの中で縦方向に若干量移動できるようになっており、ナット62の上面が押圧板支持部材57下面に当接するとき、ナット62下面と長溝51bの底面は離間する。
【0028】
しかして、このような構成によると、超音波振動子54の両側に配置された押圧板55は、押圧板支持軸56を中心に回動可能にしているものの、位置移動は不可能になっているので、押圧板55のV溝部551によって支持軸54cを押圧保持される超音波振動子54は、その長手方向には移動できない。
【0029】
これにより、超音波振動子54が駆動され超音波振動が発生し摺動突起54bの圧接される中ガイド52に伝えられると、中ガイド52のみが外ガイド部51の中空部512に沿って相対的に移動されるようになる。
【0030】
この場合、押圧板55は、押圧板支持軸56による押圧板支持点から超音波振動子54を押圧保持する押圧点までの距離と、押圧板支持点からバネ座59を介してコイルバネ60によって付勢される付勢点までの距離との比をほぼ1:2の梃子状に構成しているので、超音波振動子54の支持軸54cを直接押圧するようにした場合に比べて、バネ力量を約1/2に設定できる。
【0031】
また、ナット62は、外ガイド部51上面の長溝51bに嵌め込まれて回転しないようになっているので、コイルバネ60の付勢力を調節するためにバネ軸61を回してもナット62が回転することなく、超音波モータの組立後でもバネ軸61を回すだけで、容易にバネの付勢力を調節できる。
【0032】
また、ナット62は、押圧板支持部材57R,57Lの他方端部下面に当接されていて、バネ軸61を支持しているので、コイルバネ60の偏倚力によって押圧板支持部材57R,57L、ひいてはリニアガイドの外ガイド部51を変形させようとする力は、固定ねじ58で固定した部分に集約することができる。一方、押圧板支持部材57R,57Lを外ガイド部51上面に固定する位置は、リニアガイドの移動ストローク両側最終端のボールまたはローラー位置53b,53cの内側(間)に構成されているので、外ガイド部51に変形を生じにくくでき、中ガイド52は、移動全ストロークにわたってムラのない円滑な移動ができる。
【0033】
さらに、押圧板支持部材57R,57Lは、その両端部を図示のように薄く構成しているので、そのスペースを利用して超音波振動子部を覆うためのカバーや装置に組込むための固定部材が取付けでき、リニアガイドも小型に構成することができる。
【0034】
従って、このようにすれば、超音波振動子54の両側に設けた押圧板を1個のコイルバネ60の偏倚力で押圧していることで超音波振動子54の両側の押圧力のアンバランスが生じにくく往復移動時でも可逆性の高い安定した移動が得られ、さらに1個のコイルバネ60で構成したので、その分省スペースとなり小型で安価な超音波リニアモータを提供できる。
【0035】
また、押圧板55は梃子状に構成したので、これを付勢するバネ力量が小さくでき、省スペースでもバネ定数の小さなバネが構成できるので、構成要素の製作誤差による押圧力のバラツキを小さくすることができて、製作の容易を実現できる。
【0036】
さらに超音波振動子54をリニアガイドの外ガイド部51の長穴部51a上に設けるとともに、中ガイド52に圧接するように構成し、超音波振動子54の両側に押圧板55と押圧板支持部材57R、57Lを設けたので、高さ方向にも低く構成でき、小型の超音波リニアモータが得られる。
【0037】
さらにまた、押圧板支持部材57R、57Lをリニアガイドの外ガイド部51に固定する固定部をリニアガイドの移動ストローク最終端のボールまたはローラー位置53b,53cよりも内側に構成したので、この小底部の下側に常にボールまたはローラーが存在することになる。したがって、移動全ストロークにわたって押圧力によるリニアガイド部51の変形が生じにくくでき、安定した移動が得られる。そして、リニアガイド部51の変形を防止できることで、ガイド部51が不必要に大型、高価になるのを防止することもできる。
【0038】
さらに、コイルバネ60によるバネ力量は、バネ軸61をねじ込むことで容易に調節できるようになっているので、超音波振動子54の最も効率の良い押圧力に簡単に調節でき,またバネ軸61は、本実施例による超音波モータの端部に構成されるので、この超音波リニアモータを,例えば装置に組込むための結合部材を取付けたり、この超音波リニアモータを組合せて3軸のマイクロマニピュレータを構成する場合でも、組立後に外部からバネ力量を調節可能に構成することは容易であり、組立性に優れ性能の高いマイクロマニピュレータが提供できる。
【0039】
なお、押圧板55は、図2に示すように押圧板支持軸56で支持される部分をV溝552としてもよい。このようにすることで、押圧板支持軸56による支持部での嵌合ガタがなくなり、超音波振動子の位置精度がさらに向上する。
(第2の実施の形態)
図3は、本発明の第2の実施の形態を示したもので、(A)は平面図、(B)は側面図(一部断面図)、(C)は平面図におけるX−Y断面図である。
【0040】
この第2の実施の形態では、前述した第1の実施の形態の超音波振動子及びその押圧保持構成を、リニアガイドの外ガイド部に対して並列に2個ならべて構成し、超音波リニアモータとしての駆動力を増したものである。従って、構成要素は第1の実施の形態とほぼ同一であるので、同一部分には同符号を付して説明を省略し、主として第1の実施の形態と異なる部分のみを説明する。
【0041】
この場合、リニアガイドの外ガイド部51は、2箇所の長穴51aを並設していて、これら長穴51aに対して2個の超音波振動子54を配置するとともに、これら超音波振動子54を中ガイド52に圧接している。
【0042】
また、2個の超音波振動子54の間には、押圧板支持部材57Mを配置していて、この押圧板支持部材57Mおよび両側の支持部材57L、57Rにより2個の押圧板支持軸56とバネ座59を同時に支持するようにしている。
【0043】
しかして、このような構成とすると、中ガイド52は2個の超音波振動子54により駆動されるので大きな駆動力が得られることになる。
従って、このようにすれば、2個の超音波振動子54の間に設けた押圧板支持部材57Mが共用できるので、省スペースで構成でき、2個の超音波振動子54を使用しても、それほど大型とならないで、大きな駆動力の超音波リニアモータを実現できることになる。
【0044】
なお、押圧板55は、押圧板支持軸56で支持される部分を第1の実施の形態で述べたV溝状にしてもよい。
(第3の実施の形態)
図4は、本発明の第3の実施の形態を示したもので、(A)は平面図、(B)は側面図(一部断面図)、(C)は平面図におけるX−Y断面図である。
【0045】
この第3の実施の形態では、前述した第1の実施の形態のコイルバネに代えて板バネで押圧板を付勢するように構成したもので、他の部分は第1の実施の形態とほぼ同じであるので、同一部分には同符号を付して説明を省略し、主として第1の実施の形態と異なる部分のみを説明する。
【0046】
この場合、押圧板55の外側に沿わせて配置される押圧板支持部材57R、57L上にU字状の板バネ60のそれぞれの先端をネジなどにより固定し、また、この板バネ60の曲り部にナット60aを一体に設け、このナット60aに調節ねじ61をねじ込むことによりバネ座59を介して超音波振動子54の両側に設けられた押圧板55を同時に付勢するように構成している。
【0047】
しかして、このように構成すると、調節ねじ61の回転により、板バネ60の付勢力を簡単に調節することができる。また板バネ60は押圧板支持部材57R,57Lに固定しているので、第1の実施の形態と同様にリニアガイドの外ガイド部51の変形が生じにくくなる。
【0048】
従って、このようにしても第1の実施の形態で述べたと同様な効果を期待できる。
なお、押圧板55は、押圧板支持軸56で支持される部分を第1の実施の形態で述べたV溝状にしてもよい。
(第4の実施の形態)
図5は、本発明の第4の実施の形態を示したもので、(A)は平面図、(B)は平面図におけるX−Y断面図である。
【0049】
この第4の実施の形態では、前述した第2の実施の形態と同様に、超音波リニアモータとしての駆動力を増すために超音波振動子及びその押圧保持構成をリニアガイドに対して並列に2個ならべて構成し、付勢手段として第3の実施の形態で述べた板バネを用いて押圧板を付勢するように構成したものである。従って、構成要素は第1の実施の形態とほぼ同一であるので、同一部分には同符号を付して説明を省略し、主として第1の実施の形態と異なる部分のみを説明する。
【0050】
この場合、リニアガイドの外ガイド部51は、2箇所の長穴51aを並設していて、これら長穴51aに対して2個の超音波振動子54を配置するとともに、これら超音波振動子54を中ガイド52に圧接している。
【0051】
また、2個の超音波振動子54の間には、押圧板支持部材57Mを配置していて、この押圧板支持部材57Mの一方端に対して押圧板支持部材57Rを、および押圧板支持部材57Mの他方端に対して押圧板支持部材57Lをそれぞれ押圧板支持軸56により回動可能に支持している。また、押圧板支持部材57R、57L上にS字状の板バネ60を配置し、この板バネ60のそれぞれの先端をネジなどにより押圧板支持部材57R、57L上に固定し、また、この板バネ60の2つの曲り部にそれぞれナット60aを一体に設け、これらナット60aに調節ねじ61をねじ込むことによりバネ座59を介して各押圧板55を付勢するように構成している。
【0052】
しかして、このように構成すると、中ガイド52は、2個の超音波振動子54により駆動されるので,大きな駆動力が得られることになる。
従って、このようにしても第2の実施の形態で述べたと同様な効果を期待できる。
【0053】
なお、押圧板55は、押圧板支持軸56で支持される部分を第1の実施の形態で述べたV溝状にしてもよい。
(第5の実施の形態)
図6は、本発明の第5の実施の形態を示したもので、(A)は平面図、(B)は側面図(一部断面図)、(C)は平面図におけるX−Y断面図である。
【0054】
この第5の実施の形態では、前述した第1の実施の形態の押圧板支持部材をリニアガイドの外ガイド部と一体に構成し、押圧板支持軸を2体にわけ、両側にそれぞれに設けたものである。またバネ軸はリニアガイドの外ガイド部に直接ねじ込むように構成したものである。他の部分は第1の実施の形態とほぼ同じであるので、同一部分には同符号を付して説明を省略し、主として第1の実施の形態と異なる部分のみを説明する。
【0055】
この場合、リニアガイドの外ガイド部51は、長穴51aを形成していて、この長穴51aに対して超音波振動子54を配置するとともに、これら超音波振動子54を中ガイド52に圧接している。
【0056】
また、外ガイド部51上面には長穴51aを挟んで一対の押圧板支持突起部51cを突設し、これら押圧板支持突起部51cに押圧板支持軸56を設けて、これら押圧板支持軸56により超音波振動子54の支持軸54cを直接押圧する押圧板55の一方端部を回動可能に支持するようにしている。そして、押圧板55の他方端部の上にバネ座59を設け、このバネ座59をバネ軸61に支持されたコイルバネ60により付勢するようにしている。
【0057】
この場合、バネ軸61の位置及び押圧板支持軸56の固定位置は、リニアガイドのストローク最終端のボールまたはローラーの位置53bと53cの間になるようにしている。
【0058】
しかして、このような構成によると、押圧板支持軸56位置は、第1の実施の形態の場合よりも超音波振動子54を押圧保持する支持軸54cに近付けるようにでき、コイルバネ60による付勢力は、押圧板支持軸56から超音波振動子54の支持軸54cまでの距離と押圧板支持軸56からコイルバネ60の付勢点までの距離との比に逆比例して小さくできるので、より弱いバネ力により適正な押圧力を確保することができる。
【0059】
また、押圧板支持軸56の固定位置及びバネ軸61のねじ込み位置は、リニアガイド最終端のボール又はローラー位置53b,53cの内側(間)に構成されているので、前述したと同様にリニアガイドの外ガイド部51での変形が生じにくくでき、移動全ストロークに渡ってムラのない円滑な移動が実現できる。
【0060】
従って、このようにすれば、第1の実施の形態と同様な効果に、さらに構成部品が少なくできるので、小形化と価格的にも安価なものが得られる。
なお、押圧板55は、押圧板支持軸56で支持される部分を第1の実施の形態で述べたV溝状にしてもよい。また、コイルバネ60に代えて、第3の実施の形態で述べた板バネを用いることもできる。さらに、第2及び第4の実施の形態で述べたように超音波振動子54を2個並設するような構成にもできる。
【0061】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、超音波振動子を挟むように配置される一対の押圧部材は共通の弾性部材により偏倚力を作用するようにしたので、その分省スペースとなり、小型で安価なものが得られ、しかも各押圧部材に作用される偏倚力に差が生じにくくできるので、各押圧部材による押圧力のアンバランスが生じにくくでき、ムラの少ない精密な移動が期待でき、往復移動時でも可逆性の高い安定した移動が得られる。
【0062】
また、弾性部材による偏倚力を調節できるようになるので、最も効率の良い押圧力に簡単に得られ、組立性に優れた性能の良い超音波リニアモータを提供できる。
【0063】
さらに、支持部材の固定部材に対する固定位置を被駆動部材の移動ストローク両側最終端のボールまたはローラー位置よりも内側に位置させることで、弾性部材の偏倚力による固定部材であるリニアガイドの外ガイド部での変形が防止でき、これによりリニアガイドは強度を増すために不必要に大型化し、高価になることを防止でき、しかも、被駆動部材を移動全ストロークにわたって円滑に移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す分解斜視図。
【図2】第1の実施の形態に用いられる押圧板の他例を示す図。
【図3】本発明の第2の実施の形態を示したもので、(A)は平面図、(B)は側面図(一部断面図)、(C)は平面図におけるX−Y断面図。
【図4】本発明の第3の実施の形態を示したもので、(A)は平面図、(B)は側面図、(C)は平面図におけるX−Y断面図。
【図5】本発明の第4の実施の形態を示したもので、(A)は平面図、(B)は平面図におけるX−Y断面図。
【図6】本発明の第5の実施の形態を示したもので、(A)は平面図、(B)は側面図、(C)は平面図におけるX−Y断面図。
【図7】従来の超音波リニアモータの一例を示す概略的構成図。
【符号の説明】
51…外ガイド部、
511…切欠部、
512…V溝、
51a…長穴部、
51b…溝部、
51c…押圧板支持突起部、
52…中ガイド、
521…V溝、
53a〜53d…ボール又はクロスローラー、
54…超音波振動子、
54a…積層型圧電素子、
54b…摺動突起、
54c…支持軸、
55…押圧板、
551…V溝、
56…押圧板支持軸、
57R、57L…押圧板支持部材、
58…固定ねじ、
59…バネ座、
60…コイルバネ、
60a…ナット、板バネ、
61…バネ軸、
62…ナット。
Claims (1)
- 電気−機械エネルギー変換素子を有する超音波振動子により被駆動部材を押圧することで該被駆動部材を駆動するようにした超音波リニアモータにおいて、
前記振動子を挟むように配置され前記振動子の定在波の節に対応する位置に前記被駆動部材に対する押圧力を作用させる一対の押圧部材と、
これら押圧部材を回動可能に支持する支持部材と、
前記一対の押圧部材に対して前記被駆動部材への押圧力となる偏倚力を同時に作用させる弾性部材と、
前記支持部材を固定する固定部材と、
前記固定部材と前記被駆動部材との間に多数介在され、前記固定部材に対して前記被駆動部材を移動自在にするボールまたはローラーと、
を具備し、
前記支持部材は、前記固定部材に対する固定位置を前記被駆動部材の移動ストローク両側最終端のボールまたはローラー位置よりも内側に位置することを特徴とする超音波リニアモータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01901996A JP3807513B2 (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 超音波リニアモータ |
US08/792,987 US5982075A (en) | 1996-02-05 | 1997-02-03 | Ultrasonic linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01901996A JP3807513B2 (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 超音波リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09215350A JPH09215350A (ja) | 1997-08-15 |
JP3807513B2 true JP3807513B2 (ja) | 2006-08-09 |
Family
ID=11987776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01901996A Expired - Fee Related JP3807513B2 (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 超音波リニアモータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5982075A (ja) |
JP (1) | JP3807513B2 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4511120B2 (ja) * | 2002-04-03 | 2010-07-28 | オリンパス株式会社 | 超音波リニアモータ |
US7170214B2 (en) * | 2003-09-08 | 2007-01-30 | New Scale Technologies, Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
US6940209B2 (en) | 2003-09-08 | 2005-09-06 | New Scale Technologies | Ultrasonic lead screw motor |
US7309943B2 (en) * | 2003-09-08 | 2007-12-18 | New Scale Technologies, Inc. | Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor |
JP2006014512A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Olympus Corp | 超音波モータ |
JP4576154B2 (ja) * | 2004-05-13 | 2010-11-04 | オリンパス株式会社 | 超音波モータ |
JP2005333749A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Olympus Corp | 超音波振動子及びそれを用いた超音波モータ |
DE102004059429B4 (de) * | 2004-09-03 | 2006-07-27 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Linearer Ultraschall-Piezomotor |
US6938905B1 (en) | 2004-11-05 | 2005-09-06 | Haiming Tsai | Hand truck |
JP5284605B2 (ja) * | 2007-06-28 | 2013-09-11 | オリンパスイメージング株式会社 | 駆動装置及びぶれ補正装置 |
JP2009142014A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Olympus Corp | 超音波モータ |
WO2011059369A1 (en) * | 2009-11-11 | 2011-05-19 | Piezomotor Uppsala Ab | Provision of a normal force to electromechanical motor |
JP5791237B2 (ja) * | 2010-06-14 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置 |
JP2012120266A (ja) * | 2010-11-29 | 2012-06-21 | Taiheiyo Cement Corp | 超音波モータ、その制御装置および制御方法 |
JP2012120300A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Taiheiyo Cement Corp | 超音波モータの駆動回路および駆動方法 |
JP5955347B2 (ja) * | 2013-04-01 | 2016-07-20 | キヤノン株式会社 | リニア超音波モータ及びそれを用いた光学装置 |
JP5969976B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2016-08-17 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
JP6410568B2 (ja) * | 2014-10-31 | 2018-10-24 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ及びそれを用いた光学機器 |
JP6771939B2 (ja) * | 2016-04-25 | 2020-10-21 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ及び電子機器 |
JP6852033B2 (ja) * | 2018-10-03 | 2021-03-31 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ及び装置 |
JP7182980B2 (ja) * | 2018-10-03 | 2022-12-05 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ及び装置 |
JP2023019639A (ja) * | 2021-07-29 | 2023-02-09 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置及び撮像装置 |
JP2023019753A (ja) * | 2021-07-29 | 2023-02-09 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ及び撮像装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5105117A (en) * | 1989-10-31 | 1992-04-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor |
US5416375A (en) * | 1992-06-15 | 1995-05-16 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
JP3192022B2 (ja) * | 1993-03-31 | 2001-07-23 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波モータ |
US5726520A (en) * | 1993-08-02 | 1998-03-10 | Bonneville Scientific Incorporated | Direct drive field actuator motors |
-
1996
- 1996-02-05 JP JP01901996A patent/JP3807513B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-02-03 US US08/792,987 patent/US5982075A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5982075A (en) | 1999-11-09 |
JPH09215350A (ja) | 1997-08-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040915 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041005 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060323 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060510 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100526 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100526 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110526 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120526 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |