JPH07255187A - 超音波アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 マイクロマニピュレータ等に応用される超音
波アクチュエータにおいて、微視的な観点からみてもガ
タがなく剛体的で、小型化を容易に図ることができる超
音波アクチュエータを提供する。 【構成】 楕円振動を発生させる超音波振動子１と、こ
の超音波振動子１に圧接し上記楕円振動の作用によって
移動する被駆動体２と、基盤４，８に設けられていて上
記圧接の方向に沿って延びる基準面を有する長孔４ａ，
８ａと、上記超音波振動子１に配設された軸１４と、上
記超音波振動子１と被駆動体２の圧接方向及び上記被駆
動体２の変位方向に対し所定の角度をもって延びた押圧
面を有する長孔５ａ，９ａが穿設された押圧板５，９
と、この押圧板５，９に押圧力をそれぞれ付与するねじ
りばね７ａ，７ｂとを備えており、上記ねじりばね７
ａ，７ｂの押圧力は、上記押圧板５，９によって、上記
超音波振動子１と被駆動体２間の圧接力と上記超音波振
動子１を上記基準面を有する長孔４ａ，８ａに位置決め
するための付勢力とに分割される超音波アクチュエー
タ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波アクチュエー
タ、より詳しくは、楕円振動を発生させる超音波振動子
を備えた超音波アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】本出願人は、先に特願平４−３２１０９
６号において、並進運動を発生できる超音波アクチュエ
ータを提案した。

【０００３】上記特願平４−３２１０９６号に記載され
ている超音波アクチュエータに用いられる超音波振動子
の構成と原理の概略を、図３を参照して説明する。

【０００４】同図３に示すように、超音波振動子１は、
２つの積層圧電体１１を３つの保持用弾性体１２ａの間
にその積層方向と一致するよう挟み込み、これをさらに
直方体形状の弾性体１２の一端面にビス１２ｂで固定す
るとともに、該弾性体１２の他端面の振動の腹となる部
分に摺動部材１３を固定して構成されている。

【０００５】このような超音波振動子１の積層圧電体１
１に正弦波電圧を印加すると、弾性体１２に２種類の振
動が同時に励起され、該２種類の振動の変位が合成され
て、摺動部材１３は楕円形の軌跡に沿って振動する。そ
こで該摺動部材１３に図示しない被駆動体を押圧する
と、該楕円形の軌跡の振動から駆動力を受けて、被駆動
体が並進運動する。

【０００６】上記弾性体１２に励起される上記２種類の
振動を、図４，図５を参照して説明する。

【０００７】図４は単純な伸縮運動である共振縦振動を
示している。図５は、該伸縮の方向に伝播する横波の弾
性波であって、２次の定在波になっている共振屈曲振動
を示している。そして、上記伸縮振動の１次共振周波数
と、上記横波の２次の定在波の周波数が一致するよう
に、弾性体１２の長さと高さを設定してある。

【０００８】従って、図３の積層圧電体１１に該周波数
の振動を与えるだけで、上記２種類の振動の変位が合成
されて、上記横波の定在波の腹の位置で、質点が楕円形
の軌跡に沿って振動する。そこで、該位置に上記摺動部
材１３を設け、これに被駆動体を押圧すると、該被駆動
体が上記楕円振動の作用を受けて並進運動するようにな
っている。

【０００９】このような超音波振動子１を用いた超音波
アクチュエータは、直進運動を行うとともに、同直進方
向に強い推力を直接得られて減速機構が不要になるの
で、動作静粛にしてバックラッシュがなく、しかもバー
スト波を入力すればナノメートルオーダーの微細なステ
ップ駆動も可能であるという数々の優れた特徴を有して
いる。

【００１０】本出願人は、さらに特願平５−７９８１４
号において、該超音波アクチュエータを用いたマイクロ
マニピュレータのシステムを提案した。

【００１１】該特願平５−７９８１４号に記載の提案に
よれば、細胞に遺伝子を注入したり神経細胞の電位を測
定する等の細胞操作を行うためのマイクロマニピュレー
タにおいて、駆動源として超音波アクチュエータを用い
ており、これにパーソナルコンピュータ等のホストを組
み合わせてシステムを構成している。これによって、先
端部で細胞操作等を行う極細針形状のキャピラリの動作
条件を定量的に管理することができて、難しい細胞操作
を、熟練を要することなく誰でも簡単に、再現性良く行
うことができるものである。

【００１２】こうしたマイクロマニピュレータにおいて
は、サブミクロンオーダーの微細な変位を様々な速度で
発生する必要があり、しかもこれを高精度に位置決めし
なければならない。このような性能は、従来の電磁型モ
ータ等を用いた駆動機構には望むべくもないが、上記の
超音波アクチュエータはナノメートルオーダーの変位を
再現性良く発生できるために、このような要求に余裕を
以て応えるものであった。

【００１３】図１０は上記超音波振動子１を用いた超音
波アクチュエータを示す斜視図、図１１は該超音波アク
チュエータを倒立して示す分解斜視図であり、これらを
参照して、上記特願平５−７９８１４号に記載の例につ
いて説明する。

【００１４】上述のような超音波振動子１は、その定在
波の振動の節となる位置から被支持部たる軸１４を突設
していて、この軸１４により支持体５２に回動自在に支
持されている。より詳しくは、上記支持体５２は、両端
部からガイド柱５４を後述する枠体５１に向けて突設す
るとともに、両側面に一対の挟持板５３を固定してい
る。この挟持板５３には、孔５３ａが穿設されていて、
この孔５３ａに上記軸１４を貫通することにより、超音
波振動子１が回動自在に支持されている。従って、超音
波振動子１の２つの摺動部材１３には、押圧力が均等に
付加されるようになっている。

【００１５】枠体５１は、超音波振動子１を上記支持体
５２を介して支持するとともに、後述する被駆動体６１
を摺動可能に支持する部材である。すなわち、枠体５１
は、その一対の孔５５にボールブッシュ５６を介して上
記支持体５２のガイド柱５４を支持するようになってい
て、これにより支持体５２は、超音波振動子１を付勢す
る方向にのみ並進運動自在である。

【００１６】上記枠体５１の一部５７は、支持体５２を
挟んで被駆動体６１の反対となる側まで延出していて、
この枠体５１の一部５７と支持体５２との間に台座５８
を介してコイルスプリング５９を挿着して、超音波振動
子１を付勢するための押圧力を与えるようになってい
る。また、上記台座５８は、コイルスプリング５９が超
音波振動子１に与える押圧力の多寡を調整可能とする部
材である。

【００１７】被駆動体６１は、その凸状部６２を一対の
クロスローラガイド６３に挟み込むようにして上記枠体
５１の一部に摺動可能に支持されていて、単一の方向に
のみ並進運動自在となっている。この被駆動体６１の上
面には、超音波振動子１の摺動部材１３に当接するため
の摺動板６４が固設されている。

【００１８】超音波振動子１は、コイルスプリング５９
の押圧力によって該摺動板６４に付勢され、摺動部材１
３の楕円振動の作用により該摺動板６４を変位させる。
この摺動板６４が固設される被駆動体６１には、図示し
ないキャピラリが固設されていて、これによりキャピラ
リを微小駆動できるものである。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
超音波アクチュエータは、超音波振動子１の支持と付勢
を行うために、多くの機械的可動部を有する支持・押圧
機構を有していた。このような従来の支持・押圧機構が
包含する問題点を、図を参照して説明する。

【００２０】まず、第１の問題点を説明する。図１２
は、超音波振動子１を支持し押圧する機構を、図１１の
矢印Ｘの方向から見た図である。

【００２１】超音波振動子１を軸１４を介して両側から
支持・付勢する支持体５２は、上述のように左右一体の
構造になっていた。そのために、もし該支持体５２の左
右の寸法に僅かでも誤差があると、図１２（Ａ）に示す
ように、超音波振動子１が摺動板６４に片当たりして、
本来の駆動力を発揮することができなかった。また、仮
に支持体５２の寸法に誤差が全くないとしても、図１２
（Ｂ）に示すように、超音波振動子１の下端面に固設さ
れた摺動部材１３の平行度が悪ければ、やはり片当たり
してしまうことになる。こうして、微少なスケールにお
いては高い工作精度を出すのが困難であるために、結
局、実際上は必ず片当たりをしてしまうという問題点が
あった。

【００２２】次に、第２の問題点を説明する。図１３
は、支持体５２の挟持板５３の孔５３ａと超音波振動子
１の軸１４との遊嵌関係を誇張して示した側面図であ
る。

【００２３】同図１３に示すように、軸１４は支持体５
２の挟持板５３の孔５３ａに遊嵌しなければならないの
で、緩い嵌め合いになっている。従って、巨視的にはガ
タ無く嵌まり合っているように思われても、微視的に見
れば一定量のガタを必ず有している。そのため、同図１
３（Ａ），図１３（Ｂ）に誇張して示すように、被駆動
体６１を駆動する度に軸１４が挟持板５３の孔５３ａの
中で遊んで、超音波振動子１が左右に振られていた。こ
れはサブミクロンオーダーの位置決めをしようとするマ
イクロマニピュレータにおいては無視できない重大な不
具合であり、該支持体５２のガタのために満足な位置出
し精度が得られないという問題点を有していた。

【００２４】次に、第３の問題点を説明する。図１４
は、超音波振動子１を支持し押圧する手段全体の撓み
を、誇張して示した側面図である。

【００２５】従来の支持・押圧手段は多くの部材と機械
的結合部分で構成されていた。そのために、巨視的には
剛体的に振る舞っているようでも、微視的に見れば軟弱
で、同図１４に誇張して示すように支持・押圧手段の全
体が挫屈するように変位するという性質を有していた。
これは上記第２の問題点と同様に、サブミクロンオーダ
ーの位置決めをしようとするマイクロマニピュレータに
とっては、重大な問題であるばかりでなく、マニピュレ
ータに寄生振動が乗る原因になっていた。

【００２６】最後に、第４の問題点を説明する。図１１
に示す構成から明らかなように、従来の構成は多くの部
材と可動部分からなり、小型化するのが困難であった。
特に同図１１中符号Ｙで示す方向の寸法が大きく、多軸
化するために複数のユニットを組み合わせようとする
と、倒立顕微鏡の試料台に載らない程巨大になるという
問題点があった。

【００２７】以上説明したように、従来の超音波アクチ
ュエータの支持・押圧手段は、多数の部材からなるとと
もに、これらの部材が多数の箇所で機械的結合をしてお
り、部材どうしの結合にガタが存在するため寄生振動の
原因となり、また、装置を小型化するのが困難であると
いう問題点があった。

【００２８】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、微視的な観点からみてもガタがなく、小型化を容
易に図ることができる超音波アクチュエータを提供する
ことを目的としている。

【００２９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明による超音波アクチュエータは、楕円振動
を発生させる超音波振動子と、この超音波振動子が圧接
され上記楕円振動の作用によって幾何学的変位を生じる
被駆動体と、超音波アクチュエータの基部に設けられて
上記圧接の方向に沿って延びる基準面と、上記超音波振
動子に配設された被支持部と、上記超音波振動子の圧接
方向及び上記被駆動体の変位方向に対し所定の角度をも
って延びた押圧面を有する押圧部材と、この押圧部材に
押圧力を付与する弾性部材とを具備しており、上記弾性
部材の押圧力は、上記押圧部材によって、上記超音波振
動子と被駆動体間の圧接力と上記超音波振動子を上記基
準面に位置決めするための付勢力とに分割されるもので
ある。

【００３０】

【作用】上記弾性部材が押圧部材に押圧力を付与し、該
押圧力を上記超音波振動子と被駆動体間の圧接力と上記
超音波振動子を上記基準面に位置決めするための付勢力
とに分割され、超音波振動子が楕円振動を発生させ、こ
の超音波振動子を圧接される被駆動体が上記楕円振動の
作用によって幾何学的変位を生じる。

【００３１】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１から図５は本発明の第１実施例を示したもの
であり、図１は超音波アクチュエータの構成を説明する
ための分解斜視図、図２は超音波アクチュエータの支持
・押圧手段を図１中Ｃ矢の方向から見て、その作用を説
明するための正面図である。

【００３２】この第１実施例の超音波アクチュエータ
は、図１に示すように、被駆動体２に設けた窪み２ａに
超音波振動子１を抱き込むようにして収容し、これら
を、押圧部材たる押圧板５，９を介して、超音波アクチ
ュエータの基部たる２つの基盤４，８の間に位置決めし
て主要部を構成されている。

【００３３】上記被駆動体２は、略矩形の板状部材でな
り、上述のように超音波振動子１を収容する矩形の窪み
２ａを有するとともに、この窪み２ａの内部側面には摺
動板１７が設けられていて、さらに、該窪み２ａの中央
部には、矩形孔２ｂが穿設されている。また、該被駆動
体２は、矩形形状の長辺となる上下端部に一対のクロス
ローラガイド３を備えている。このクロスローラガイド
３は、該被駆動体２と上記基盤４を並進運動自在に接続
しており、これにより、被駆動体２は基盤４に対して、
図中矢印Ａに示す方向にのみ並進運動自在に支持されて
いる。

【００３４】上記基盤４，８は、上記クロスローラガイ
ド３に接触する長手方向の凸部４ｆおよび凸部８ｆをそ
れぞれ有する矩形の板状部材でなる。これら基盤４，８
は、ほぼ中央部に、上記被駆動体２の運動方向に垂直な
方向の長孔４ａ，８ａが穿設され、さらに、この長孔４
ａ，８ａの近傍には、ねじ止め用の孔４ｂ，８ｂと、弾
性部材たるねじりばね７ａ，７ｂの一端が微動自在に貫
通する孔４ｃ，８ｃと、該ねじりばね７ａ，７ｂを保持
する孔４ｄ，８ｄと、このねじりばね７ａ，７ｂの他端
を係合する孔４ｅ，８ｅが穿設されている。そして、こ
のような基盤４，８は、図示しないボルトにより互いに
強固に締結されていて、これにより、超音波振動子１と
被駆動体２を包み込むように支持する枠構造体を構成し
ている。

【００３５】上記押圧板５，９は、矩形の板状部材に複
数の孔を穿設してなる。より詳しくは、押圧板９は、図
２に示すように、中央部に、上記長孔４ａ，８ａに対し
傾斜して設けられた長孔９ａと、右下角部にねじ１０に
より基盤８に取り付けるための孔９ｂと、左下角部にね
じりばね７ｂの一端を係合するための孔９ｃとを穿設し
ている。押圧板５も同様に、中央部に、上記長孔４ａ，
８ａに対し傾斜して設けられた長孔５ａと、ねじ６によ
り基盤４に取り付けるための孔５ｂと、ねじりばね７ａ
の一端を係合するための孔５ｃとを穿設している。この
ような構成により、該押圧板５，９は、ねじ６，１０に
より基盤４，８に対してそれぞれ回動自在となるように
系合されるとともに、ねじりばね７ａ，７ｂによって、
図１の矢印Ｂおよび矢印Ｂ’に示す方向に、それぞれ付
勢されている。

【００３６】上記超音波振動子１は、図３に示すよう
に、２つの積層圧電体１１を３つの保持用弾性体１２ａ
の間にその積層方向と一致するよう挟み込み、これをさ
らに直方体形状の弾性体１２の一端面にビス１２ｂで固
定するとともに、該弾性体１２の他端面の振動の腹とな
る部分に摺動部材１３を固定して構成されている。そし
て、この超音波振動子１の弾性体１２の両側面のほぼ中
央部からは、被支持部たる軸１４が突設されている。

【００３７】この超音波振動子１の軸１４は、押圧板５
の長孔５ａを貫通して基盤４の基準面となる長孔４ａに
系合している。反対側も同様に軸１４が、押圧板９の長
孔９ａを貫通して基盤８の基準面となる長孔８ａに系合
している。

【００３８】次に、このような第１実施例の作用を説明
する。図２に示すように、押圧板９がねじりばね７ｂの
作用を受けて図中矢印Ｂ’に示す方向に付勢されると、
長孔９ａと係合している軸１４は、矢印Ｅ1に示すよう
な力を受ける。

【００３９】このとき、軸１４は、基盤８に穿設された
縦方向の長孔８ａによって動きを規制されるため、上記
矢印Ｅ1に示す付勢力は、軸１４を基盤８の基準面とな
る長孔８ａに押圧する矢印Ｅ2に示す分力と、軸１４を
長孔８ａに沿って図中下方に付勢する矢印Ｅ3に示す分
力とに分かれる。これらの分力の内で、矢印Ｅ2に示す
分力が軸１４を位置決めし、矢印Ｅ3に示す分力が軸１
４を介して超音波振動子１を摺動板１７に押圧する。

【００４０】また、押圧板５による作用も、上記押圧板
９による作用と同様である。

【００４１】なお、上記超音波振動子１の作用は、上記
従来例で説明したものと同様であり、積層圧電体１１に
正弦波電圧を印加すると、弾性体１２に図４，図５に示
すような２種類の振動が同時に励起され、これら２種類
の振動の変位が合成されて、摺動部材１３は楕円形の軌
跡に沿って振動する。そこで該摺動部材１３に被駆動体
２を上述のように押圧すると、該楕円形の軌跡の振動か
ら駆動力を受けて、該被駆動体２が図１の矢印Ａに示す
方向に並進運動する。

【００４２】以上の説明から明らかなように、軸１４は
特段の支持部材や軸受け手段等を介すことなく直接に基
盤４，８に当て付けて位置決めされるために、少なくと
も原理的にはガタが生じることはない。

【００４３】さらに、押圧板５，９は単純な形状で小型
であるために、付勢力がねじりばね７ａ，７ｂから軸１
４に伝達されるまでの経路が短く、部材が撓んで寄生振
動が生じるという余地はない。

【００４４】加えて、本実施例の支持・付勢部材は、超
音波振動子１をその両側面側から独立に支持し付勢する
ようにしたために、超音波振動子１の摺動部材１３と摺
動板１７とが傾いて接触するようなことはなく、自ずか
ら良好な接触状態を保つ。さらに、本実施例の支持・押
圧手段は、押圧板で構成されるために、被駆動体の進行
方向に直交する方向の厚さが薄いものとなる。

【００４５】こうして、このような第１実施例の超音波
アクチュエータによれば、超音波振動子の被支持部を基
準面に対して斜めに付勢するようにしたので、該超音波
振動子を原理的にガタなく位置決めすることができ、ま
た、支持・押圧手段が撓む余地がないので寄生振動が発
生せず、両側面から独立に付勢しているために摺動面が
片当たりすることはなく、全体としても薄型化が容易に
なる。従って、振動もなく高精度に位置決めすることが
できる小型の超音波アクチュエータとなる。

【００４６】なお、本発明は、上記第１実施例に示した
ような具体的な構成に限られるものではなく、超音波振
動子の被支持部を基準面に対して斜めに付勢することを
主旨とする、あらゆる機構を含有することはいうまでも
ない。そこで、他の幾つかの実施例を図を参照して以下
に説明する。

【００４７】図６，図７は本発明の第２実施例を示した
ものであり、図６は押圧板を示す斜視図、図７は超音波
アクチュエータに取り付けた状態の押圧板を示す正面図
である。この第２実施例において、上述の第１実施例と
同様の部分には同一の符号を附して説明は省略し、主と
して異なる点に付いてのみ説明する。

【００４８】この第２実施例の押圧板２５は、図６に示
すように、矩形状のばね用圧延鋼板等を略Ｌ字型に曲折
し、曲折した部分の一方に矩形状の切欠を設けることに
より、第１板状部２５ａと第２板状部２５ｂを構成して
いる。上記第１板状部２５ａには、上記Ｌ字型の折り目
方向の長孔２５ｃを穿設し、一方、上記第２板状部２５
ｂには、例えば対角線上に取付孔２５ｄを複数穿設して
いる。

【００４９】このような押圧板２５は、上記第１実施例
で説明したような基盤４，８に、図７に示すように撓ま
せて取り付けられる。すなわち、例えば押圧板２５を基
盤４に取り付けるときには、ねじ２６を上記取付孔２５
ｄを介して基盤４に螺合するとともに、超音波振動子１
の軸１４を長孔２５ｃに貫通した後、基盤４の長孔４ａ
に係合する。このとき、該押圧板２５は、超音波振動子
１を摺動板１７（図１参照）に押圧する方向に撓ませた
状態で取り付けられる。

【００５０】次に、このような第２実施例の作用は上述
の第１実施例とほぼ同様であるが、押圧板２５の第１板
状部２５ａと第２板状部２５ｂの中間の部分が板ばねの
作用をして、軸１４を基盤４へ向けて付勢し、超音波振
動子１の位置決めと被駆動体２への押圧を行う。

【００５１】このような第２実施例によれば、上述の第
１実施例と同様の効果を有するとともに、ばね手段を押
圧板と一体に形成したので、部品点数が少なく、超音波
アクチュエータを簡潔な構成で安価に製造することがで
きるという効果がある。

【００５２】図８，図９は本発明の第３実施例を示した
ものである。この第３実施例において、上述の第１，第
２実施例と同様の部分には同一の符号を附して説明は省
略し、主として異なる点に付いてのみ説明する。

【００５３】この第３実施例の押圧板３５は、図９に示
すように略楔型をしていて、下端側には基盤４の長孔４
ａの方向に対して所定の角度だけ傾斜して設けられた押
圧面たる斜面３５ａが形成されている。

【００５４】また、基盤４の外壁の長孔４ａの近傍に
は、該長孔４ａと同方向の溝３４を図８に示すように刻
設していて、この溝３４に上記押圧板３５を遊嵌してい
る。さらにこの押圧板３５は、図９に示すように、弾性
部材たるつるまきばね３６によって、上記溝３４に沿っ
た方向に付勢されている。

【００５５】同様の構成の押圧板３５は、基盤８側にも
取り付けられることはいうまでもない。

【００５６】次に、このような第３実施例の作用は、上
述の第１，第２実施例とほぼ同様であって、楔型の押圧
板３５が軸１４を基盤４へ付勢し、位置決めと被駆動体
への押圧を行っている。

【００５７】このような第３実施例によれば、上記第
１，第２実施例よりも構成はやや複雑になるものの、ば
ね定数の大きいつるまきばねを使用できるために、より
強い押圧力が得られるという効果がある。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、微
視的な観点からみてもガタがなく、小型化を容易に図る
ことができる超音波アクチュエータとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の超音波アクチュエータを
示す分解斜視図。

【図２】上記第１実施例の超音波アクチュエータの押圧
板を示す正面図。

【図３】上記第１実施例の超音波振動子を示す正面図。

【図４】上記第１実施例の超音波振動子に励起される共
振縦振動を示す図。

【図５】上記第１実施例の超音波振動子に励起される共
振屈曲振動を示す図。

【図６】本発明の第２実施例の押圧板を示す斜視図。

【図７】上記第２実施例の押圧板を超音波アクチュエー
タに取り付けた状態を示す正面図。

【図８】本発明の第３実施例の押圧板と超音波振動子の
軸との係合関係を示す断面図。

【図９】上記第３実施例の押圧板を超音波アクチュエー
タに取り付けた状態を示す正面図。

【図１０】従来の超音波アクチュエータを示す斜視図。

【図１１】上記図１０に示した超音波アクチュエータを
倒立して示す分解斜視図。

【図１２】上記図１０に示した超音波アクチュエータ
を、図１１の矢印Ｘの方向から見た断面図。

【図１３】上記図１０に示した超音波アクチュエータ
の、支持体の挟持板の孔と超音波振動子の軸との遊嵌関
係を誇張して示した側面図。

【図１４】上記図１０に示した超音波アクチュエータに
おいて、超音波振動子を支持し押圧する手段全体の撓み
を誇張して示した断面を含む側面図。

【符号の説明】

１…超音波振動子 ２…被駆動体 ４，８…基盤（超音波アクチュエータの基部） ４ａ，８ａ…長孔（基準面） ５，９…押圧板（押圧部材） ５ａ，９ａ…長孔（押圧面） ７ａ，７ｂ…ねじりばね（弾性部材） １４…軸（被支持部） ２５…押圧板（弾性部材を兼ねた押圧部材） ２５ｃ…長孔（押圧面） ３５…押圧板（押圧部材） ３５ａ…斜面（押圧面） ３６…つるまきばね（弾性部材）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 津幡 敏晴 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 大内 孝司 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 楕円振動を発生させる超音波振動子と、 この超音波振動子が圧接され、上記楕円振動の作用によ
   って幾何学的変位を生じる被駆動体と、 超音波アクチュエータの基部に設けられて上記圧接の方
   向に沿って延びる基準面と、 上記超音波振動子に配設された被支持部と、 上記超音波振動子の圧接方向及び上記被駆動体の変位方
   向に対し所定の角度をもって延びた押圧面を有する押圧
   部材と、 この押圧部材に押圧力を付与する弾性部材と、 を具備しており、上記弾性部材の押圧力は、上記押圧部
   材によって、上記超音波振動子と被駆動体間の圧接力と
   上記超音波振動子を上記基準面に位置決めするための付
   勢力とに分割されることを特徴とする超音波アクチュエ
   ータ。