CN106872875A

CN106872875A - 电子部件输送装置以及电子部件检查装置

Info

Publication number: CN106872875A
Application number: CN201611099537.3A
Authority: CN
Inventors: 前田直久; 实方崇仁; 高田冬生; 中村敏
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2015-11-30
Filing date: 2016-11-29
Publication date: 2017-06-20
Also published as: TW201810131A; TWI613600B; TW201719510A

Abstract

本发明提供一种能够推定对各部的部件进行更换的时期的电子部件输送装置以及电子部件检查装置。检查装置(1)具备对作为电子部件的IC设备(90)进行规定的作用的作用部、以及推定作用部的更换时期的更换时期推定部(100)。更换时期推定部(100)至少基于作用部的作用次数或者上述作用部的作用时间的任意一个来进行更换时期的推定。另外，检查装置(1)具有报告动作部的更换时期接近了的报告部(40)。

Description

电子部件输送装置以及电子部件检查装置

技术领域

本发明涉及电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

背景技术

以往，已知有对针对半导体元件等(例如IC设备等)电子部件(设备)的电气特性进行检查(测试)的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置中组装有用于输送IC设备的电子部件输送装置。

例如，在专利文献1所记载的电子部件检查装置中，将多个IC设备载置于检查前托盘，并按每个托盘为单位地放入装置内，从而将检查前托盘通过输送部输送到进行检查的检查部。而且，若检查结束，则将IC设备载置于检查后托盘，通过输送部按每个检查后托盘为单位地进行输送，并排出到装置外。

另外，在专利文献2所记载的电子部件检查装置中，构成为在进行针对电子部件的上述检查时，利用CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)照相机对附于该电子部件的基准标记进行拍摄，并基于其拍摄结果，来进行电子部件的定位。

另外，在专利文献3所记载的电子部件检查装置中，公开了对组装的电子部件输送装置设置除静电器。通过由该除静电器产生的离子，能够中和并除去(除电)IC设备所带有的静电。

另外，在对以往的电子部件输送装置设置有多个除静电器的情况下，若除静电器发生故障，则有离子平衡崩溃的可能。因此，对电子部件输送装置设置检测离子平衡的传感器，在电子部件输送装置的动作中，通过传感器来检测离子平衡，并基于其检测结果，来判断除静电器是否正常。

专利文献1：日本特开平08-233901号公报

专利文献2：日本特开2008-116221号公报

专利文献3：日本特表2000-533887号公报

然而，在专利文献1所记载的电子部件检查装置中，不能够得到与输送部等作用于IC设备的部分的消耗程度相关的信息，操作人员(作业者)不能够获知什么时候应该进行更换。

另外，在专利文献2所记载的电子部件检查装置中，例如存在由于老化、故障等而导致CCD照相机的动作不准确的情况、另外还有CCD照相机的照相机镜头模糊不清的情况。在该情况下，存在操作人员(作业者)未察觉CCD照相机的照相机镜头成为模糊不清的状态而继续使用该电子部件检查装置的情况。

另外，在像专利文献3所示的以往的结构中，由于通过一个传感器来检测由多个除静电器产生的离子的离子平衡，所以在某一个除静电器发生故障的情况下，作业者不知道是哪一个除静电器发生了故障。另外，存在某一个除静电器自身也不知道自己发生了故障的可能。

发明内容

本发明是为获知决上述课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例来实现。

应用例1

本应用例的电子部件输送装置的特征在于，具备：作用部，其对电子部件进行规定的作用；以及更换时期推定部，其推定上述作用部的更换时期，上述更换时期推定部至少基于上述作用部的作用次数或者上述作用部的作用时间的任意一个来进行上述更换时期的推定。

由此，该电子部件输送装置的作业者能够获知作用部的更换时期。因此，例如，能够将在该电子部件输送装置的作业中作用部破损而非意图性地动作停止这一情况防患于未然。

应用例2

在本应用例的电子部件输送装置中，优选上述作用部具有气动设备。

由此，能够推定气动设备的更换时期。

应用例3

在本应用例的电子部件输送装置中，优选上述作用部具有电力设备。

由此，能够推定电力设备的更换时期。

应用例4

在本应用例的电子部件输送装置中，优选上述作用部具有滑动设备。

由此，能够推定滑动设备的更换时期。

应用例5

在本应用例的电子部件输送装置中，优选上述作用部包含于输送上述电子部件的输送部。

由此，能够推定输送部的更换时期。

应用例6

在本应用例的电子部件输送装置中，优选上述更换时期推定部基于上述作用次数、上述作用时间以及上述作用部的作用速度来推定上述更换时期。

由此，更换时期推定部能够推定作用部的更换时期。

应用例7

在本应用例的电子部件输送装置中，优选具有报告上述更换时期推定部的推定结果的报告部。

由此，例如能够将推定结果报告给作业者。

应用例8

在本应用例的电子部件输送装置中，优选具有发送部，该发送部基于上述更换时期推定部的推定结果，将上述更换时期发送给外部设备。

由此，例如通过将推定结果发送至主机等，能够在主机中管理并把握各部的更换时期。

应用例9

在本应用例的电子部件输送装置中，优选上述发送部通过SECS/GEM进行通信。

由此，能够将更换时期的信息发送至外部设备。

应用例10

在本应用例的电子部件输送装置中，优选基于上述更换时期推定部的推定结果，来进行规定的动作。

由此，例如，能够根据推定结果，停止作用部的动作或报告推定结果。

应用例11

在本应用例的电子部件输送装置中，优选基于上述更换时期推定部的推定结果，来报告上述更换时期接近。

由此，例如能够使操作员获知更换时期接近。

应用例12

在本应用例的电子部件输送装置中，优选基于上述更换时期推定部的推定结果，来使上述作用部的动作停止。

由此，能够防止虽然过了动作部的更换时期但仍使检查装置动作。

应用例13

在本应用例的电子部件输送装置中，优选具有对上述电子部件进行相同的作用的多个作用部，在基于上述更换时期推定部的推定结果，一方的上述作用部的更换时期接近了的情况下，切换为由另一方的上述作用部对上述电子部件进行作用。

由此，能够防止在该电子部件输送装置的动作中，为了更换作用部而暂时停止动作。因此，能够抑制生产率的降低。

应用例14

本应用例的电子部件检查装置的特征在于，具备：作用部，其对电子部件进行规定的作用；更换时期推定部，其推定上述作用部的更换时期；以及检查部，其进行上述电子部件的检查，上述更换时期推定部至少基于上述作用部的作用次数或者上述作用部的作用时间的任意一个来进行上述更换时期的推定。

由此，该电子部件检查装置的作业者能够获知更换时期。因此，例如，能够将在该电子部件检查装置的作业中作用部破损，而非意图性的停止动作这一情况防患于未然。

应用例15

本应用例的电子部件输送装置的特征在于，具备：信息获取部，其能够获取附于电子部件的信息；以及判断部，其判断上述信息获取部的动作是否正常。

由此，能够根据判断部的判断的结果，选择是保持原样继续使用信息获取部，还是进行信息获取部的清洁、更换。而且，只要能够保持原样继续使用无需进行清洁、更换的信息获取部，该信息获取部就能够稳定且准确地获取附于电子部件的信息。

应用例16

在上述应用例15所记载的电子部件输送装置中，优选上述判断部使上述信息获取部获取对载置上述电子部件的载置部设置的基准标记，并基于获取到的上述基准标记来判断上述信息获取部的动作是否正常。

由此，能够设定用于判断信息获取部的动作是否正常的判断基准。

应用例17

在上述应用例16所记载的电子部件输送装置中，优选上述基准标记是条形码，上述信息获取部是读取上述条形码的条形码阅读器。

由此，作为信息获取部，能够适当地使用条形码阅读器。

应用例18

在上述应用例16或者17所记载的电子部件输送装置中，优选上述基准标记附于模仿上述电子部件的虚拟电子部件。

应用例19

在上述应用例16～18中任一项所记载的电子部件输送装置中，优选上述载置部能够移动。

由此，能够将电子部件从规定位置输送至其它规定位置。

应用例20

在上述应用例16～19中任一项所记载的电子部件输送装置中，优选上述判断部使上述信息获取部多次获取上述基准标记，在获取到的上述基准标记与预先存储的基准标记匹配规定次数以上的情况下，判断为上述信息获取部的动作正常。

由此，能够准确地进行信息获取部的动作是否正常的判断。

应用例21

在上述应用例15～20中任一项所记载的电子部件输送装置中，优选在上述判断部判断为上述信息获取部的动作正常的情况下，开始上述电子部件的输送。

由此，能够迅速地移至电子部件的输送。

应用例22

在上述应用例15～21中任一项所记载的电子部件输送装置中，优选具备报告部，该报告部在上述判断部判断为上述信息获取部的动作不正常的情况下，报告上述信息获取部的动作不正常这一情况。

由此，在判断为上述信息获取部的动作不正常的情况下，能够尽可能地防止继续使用该信息获取部这一情况。

应用例23

在上述应用例15～21中任一项所记载的电子部件输送装置中，优选具备报告部，该报告部在上述判断部判断为上述信息获取部的动作不正常的情况下，报告需要对上述信息获取部进行清洁的情况。

由此，若对信息获取部进行清洁，则能够将该信息获取部的动作返回到正常。

应用例24

在上述应用例23所记载的电子部件输送装置中，优选上述判断部在上述清洁后还判断上述信息获取部的动作是否正常。

由此，能够使用清洁后的信息获取部。

应用例25

在上述应用例15～24中任一项所记载的电子部件输送装置中，优选具有检查上述电子部件的检查区域，上述信息获取部配置于上述电子部件进入上述检查区域的入口。

由此，例如在进行针对电子部件的电检查的情况下，能够尽可能地防止该检查结果与通过信息获取部获得的电子部件的信息是相同的一个电子部件的信息，即检查出的电子部件的检查结果与获取到的电子部件的信息的关联(建立关系)崩溃。

应用例26

在上述应用例15～25中任一项所记载的电子部件输送装置中，优选设置有多个上述信息获取部。

由此，能够根据电子部件输送装置内的电子部件的配置位置，区分使用信息获取部，因此，能够稳定且准确地获取附于电子部件的信息。

应用例27

在上述应用例26所记载的电子部件输送装置中，优选上述各信息获取部能够获取上述信息的可获取信息区域相互不同。

由此，能够使各信息获取部的铅垂方向的设置高度不同，并能够将可获取信息区域较小的信息获取部配置于低位置，将可获取信息区域较大的信息获取部配置于高位置。而且，能够在俯视时(从铅垂方向上方观察时)，从该状态进一步将各信息获取部彼此配置为相互重叠。由此，能够将各信息获取部彼此的距离缩小重叠的量。

应用例28

在上述应用例27所记载的电子部件输送装置中，优选上述各信息获取部的铅垂方向的设置高度不同。

由此，能够将可获取信息区域较小的信息获取部配置于低位置，将可获取信息区域较大的信息获取部配置于高位置。而且，能够在俯视时(从铅垂方向上方观察时)，从该状态进一步将各信息获取部彼此配置为相互重叠。由此，能够将各信息获取部彼此的距离缩小重叠的量。

应用例29

在上述应用例28所记载的电子部件输送装置中，优选上述各信息获取部的上述可获取信息区域不同，上述可获取信息区域较小的一方的信息获取部与上述可获取信息区域较大的一方的信息获取部相比配置于较低的位置。

由此，能够在俯视时(从铅垂方向上方观察时)，将各信息获取部彼此配置为相互重叠，因此，能够将各信息获取部彼此的距离缩小重叠的量。

应用例30

在上述应用例26～29中任一项所记载的电子部件输送装置中，优选在从铅垂方向观察时，上述各信息获取部的一部分重叠。

由此，能够将各信息获取部彼此的距离缩小重叠的部分。

应用例31

本应用例的电子部件输送装置的特征在于，具备：信息获取部，其能够获取附于电子部件的信息；以及判断部，其基于上述信息来判断是进行第一动作，还是进行与上述第一动作不同的第二动作。

由此，能够根据判断部中的判断的结果，来进行保持原样继续使用信息获取部(第一动作)，还是进行信息获取部的清洁、更换(第二动作)的选择。而且，只要能够保持原样继续使用无需进行清洁、更换的信息获取部，该信息获取部就能够稳定且准确地获取附于电子部件的信息。

应用例32

在上述应用例31所记载的电子部件输送装置中，优选上述判断部判断是否在上述第二动作的同时、或者在上述第二动作之后，进行与上述第一动作以及上述第二动作均不同的第三动作。

由此，能够根据判断部的判断的结果，适当地选择相互不同的3个动作。

应用例33

本应用例的电子部件检查装置的特征在于，具备：信息获取部，其能够获取附于电子部件的信息；判断部，其判断上述信息获取部的动作是否正常；以及检查部，其检查上述电子部件。

由此，能够根据判断部的判断的结果，进行保持原样继续使用信息获取部，还是进行信息获取部的清洁、更换的选择。而且，只要能够地保持原样继续使用无需进行清洁、更换的信息获取部，该信息获取部就能够稳定且准确地获取附于电子部件的信息。

应用例34

本应用例的电子部件输送装置的特征在于，具备：第一离子产生部，其产生离子；第二离子产生部，其产生离子；以及检测部，其检测离子平衡与除电时间中的至少一方，使上述第一离子产生部与上述第二离子产生部中的一方离子产生部动作。

由此，在使第一离子产生部与第二离子产生部中的一方离子产生部动作的状态下，通过检测部来检测离子平衡与除电时间中的至少一方，从而能够基于检测部的检测结果，准确地判断该一方离子产生部是否正常。

应用例35

在上述应用例34所记载的电子部件输送装置中，优选在使上述第一离子产生部与上述第二离子产生部中的一方离子产生部动作时，停止另一方离子产生部的动作。

由此，能够基于检测部的检测结果，准确地判断一方离子产生部是否正常。

应用例36

在上述应用例34或者35所记载的电子部件输送装置中，优选上述检测部在使上述第一离子产生部动作，并停止了上述第二离子产生部的动作的状态下，检测上述第一离子产生部的离子平衡与除电时间中的至少一方。

由此，能够基于检测部的检测结果，准确地判断第一离子产生部是否正常。

应用例37

在上述应用例36所记载的电子部件输送装置中，优选在上述检测部的检测结果未达到基准值的情况下，判断为上述第一离子产生部不正常。

由此，能够准确地判断第一离子产生部是否正常。

应用例38

在上述应用例36或者37所记载的电子部件输送装置中，优选具有报告部，该报告部在上述检测部的检测结果未达到基准值的情况下，报告上述第一离子产生部不正常。

由此，使用者能够很容易地把握第一离子产生部是否正常。

应用例39

在上述应用例34～38中任一项所述的电子部件输送装置中，优选上述检测部在停止上述第一离子产生部的动作，并使上述第二离子产生部动作的状态下，检测上述第二离子产生部的离子平衡和除电时间中的至少一方。

由此，能够基于检测部的检测结果，准确地判断第二离子产生部是否正常。

应用例40

在上述应用例39所记载的电子部件输送装置中，优选在上述检测部的检测结果未达到基准值的情况下，判断为上述第二离子产生部不正常。

由此，能够准确地判断第二离子产生部是否正常。

应用例41

在上述应用例39或者40所记载的电子部件输送装置中，优选具有报告部，该报告部在上述检测部的检测结果未达到基准值的情况下，报告上述第二离子产生部不正常。

由此，使用者能够容易地把握第二离子产生部是否正常。

应用例42

在上述应用例34～41中任一项所记载的电子部件输送装置中，优选上述检测部的上述检测分别在检查电子部件的检查区域、将上述电子部件供给到上述检查区域的供给区域、以及回收检查结束的上述电子部件的回收区域中进行。

由此，能够在供给区域、检查区域以及回收区域，分别基于检测部的检测结果，准确地判断一方离子产生部是否正常。

应用例43

在上述应用例42所记载的电子部件输送装置中，优选在上述供给区域、上述检查区域以及上述回收区域的每个区域，独立地通过上述检测部进行上述检测。

由此，能够在供给区域、检查区域以及回收区域同时进行检测部的检测，由此，能够缩短上述检测所需要的时间。

应用例44

在上述应用例34～43中任一项所记载的电子部件输送装置中，优选上述检测部配置于比上述第一离子产生部以及上述第二离子产生部靠近下方。

除静电器使干燥空气离子化，产生被离子化后的干燥空气，上述被离子化后的干燥空气通常比大气比重大。因此，通过将检测部配置于比第一离子产生部以及第二离子产生部靠近下方，能够通过传感器准确地检测离子平衡。

应用例45

本应用例的电子部件检查装置的特征在于，具备：第一离子产生部，其产生离子；第二离子产生部，其产生离子；检测部，其检测离子平衡与除电时间中的至少一方；以及检查部，其检查上述电子部件，使上述第一离子产生部与上述第二离子产生部中的一方离子产生部动作。

由此，在使第一离子产生部与第二离子产生部中的一方离子产生部动作的状态，通过检测部检测离子平衡与除电时间中的至少一方，从而能够基于检测部的检测结果，准确地判断该一方离子产生部是否正常。

附图说明

图1是表示本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的立体图。

图2是表示图1所示的电子部件检查装置的第一实施方式的简要俯视图。

图3是图1所示的电子部件检查装置的框图。

图4是用于对图1所示的电子部件检查装置的部件的更换时期进行说明的时序图。

图5是表示图1所示的监视器所显示的画面的图。

图6是表示存储于图1所示的存储部的发送历史记录的表。

图7是用于对图1所示的电子部件检查装置的控制程序进行说明的流程图。

图8是本发明的电子部件检查装置的第二实施方式所具备的设备输送头的俯视图。

图9是本发明的电子部件检查装置的第二实施方式所具备的设备输送头的俯视图。

图10是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的第三实施方式的简要立体图。

图11是表示图10所示的电子部件检查装置的动作状态的简要俯视图。

图12是图11所示的电子部件检查装置的供给区域与检查区域的边界部附近的放大俯视图。

图13是图12中的A-A线剖视图(表示动作状态的图)。

图14是图12中的A-A线剖视图(表示动作状态的图)。

图15是从图12中的箭头B方向观察到的图。

图16是表示内置于图10所示的电子部件检查装置的控制部的控制程序的流程图。

图17是本发明的电子部件检查装置(第四实施方式)的供给区域与检查区域的边界部附近的放大俯视图。

图18是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的第五实施方式的简要立体图。

图19是表示图18所示的电子部件检查装置的动作状态的简要俯视图。

图20是用于对图18所示的电子部件检查装置中的除静电器以及传感器的配置进行说明的简要俯视图。

图21是图18所示的电子部件检查装置的框图。

图22是示意性地表示图18所示的电子部件检查装置的检查区域的图，是用于对除静电器以及传感器的配置进行说明的侧视图。

具体实施方式

以下，基于参照了附图的优选的实施方式对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进行详细说明。

此外，以下，为了便于说明，将图示的相互正交的3个轴设为X轴、Y轴以及Z轴。另外，包含X轴和Y轴的XY平面为水平，Z轴为铅垂。另外，将与X轴平行的方向也称为“X方向”，将与Y轴平行的方向也称为“Y方向”，将与Z轴平行的方向也称为“Z方向”。另外，将各方向的箭头朝向的方向称为“正”，将其相反方向称为“负”。

另外，也有将Z方向正侧称为“上(或者上方)”，将Z方向负侧称为“下(或者下方)”的情况。另外，在检查装置中，将电子部件的输送方向的上游侧也仅称为“上游侧”，将下游侧也仅称为“下游侧”。另外，在本申请说明书中所说的“水平”并不限定于完全的水平，只要不阻碍电子部件的输送，也包含相对于水平稍微(例如不足5°左右)倾斜的状态。

另外，在以下的实施方式中，检查装置(电子部件检查装置)例如是用于输送BGA(Ball Grid Array：球栅阵列)封装、LGA(Land Grid Array：焊盘阵列)封装等的IC设备、LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)、CIS(CMOS Image Sensor：CMOS图像传感器)等电子部件，并在其输送过程中对电气特性进行检查/测试(以下仅称为“检查”)的装置。此外，以下，为了便于说明，以作为进行检查的上述电子部件使用IC设备的情况为代表进行说明，并将其设为“IC设备90”。

此外，检查装置将配置有托盘供给区域A1、托盘去除区域A5的一方(例如，图2中的Y方向负侧)作为正面侧，将其相反侧，即、配置检查区域A3、或者检查区域A30的一方(例如，图2中的Y方向正侧)作为背面侧来使用。

第一实施方式

以下，参照图1～图7对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第一实施方式进行说明。

此外，本说明书中的所谓的“作用部”是指在电子部件输送装置或者检查装置的各部，对IC设备90进行加热或者冷却、或输送IC设备90，即对IC设备90进行规定的作用从而带来一些影响的部位。

如图1以及图2所示，检查装置1具备输送IC设备90的电子部件输送装置10和检查部16。电子部件输送装置10至少具备进行规定的作用的作用部、报告部40、操作部50、以及控制部80。

如图2所示，检查装置1被分为托盘供给区域A1、设备供给区域(以下仅称为“供给区域”)A2、检查区域A3、设备回收区域(以下仅称为“回收区域”)A4、以及托盘去除区域A5。而且，IC设备90被电子部件输送装置10输送，从托盘供给区域A1到托盘去除区域A5依次经由上述各区域，并在中途的检查区域A3内的检查部16进行检查。

在检查装置1中，能够将托盘供给区域A1至托盘去除区域A5中的从输送IC设备90的供给区域A2到回收区域A4也称为“输送区域(输送区域)”。

托盘供给区域A1是供给排列有未检查状态的多个IC设备90的托盘(配置部件)200的供给材料部。在托盘供给区域A1，能够层叠多个托盘200。

供给区域A2是将配置在来自托盘供给区域A1的托盘200上的多个IC设备90分别供给到检查区域A3的区域。此外，以横跨托盘供给区域A1和供给区域A2的方式设置有将托盘200一个一个地输送的托盘输送机构11A、11B。

在供给区域A2设置有温度调整部(浸泡板)12、设备输送头13以及托盘输送机构(第一输送装置)15。

温度调整部12是载置多个IC设备90的载置部，能够对该多个IC设备90进行加热或者冷却。由此，能够将IC设备90调整到适合检查的温度。在图2所示的结构中，在Y方向上配置并固定有2个温度调整部12。而且，将通过托盘输送机构11A从托盘供给区域A1搬入的(输送出的)托盘200上的IC设备90输送并载置于任意一个温度调整部12。

设备输送头13被支承为能够在供给区域A2内移动。由此，设备输送头13能够负责从托盘供给区域A1搬入的托盘200与温度调整部12之间的IC设备90的输送、和温度调整部12与后述的设备供给部14之间的IC设备90的输送。

托盘输送机构15是使除去了全部的IC设备90的状态下的空的托盘200在供给区域A2内向X方向输送的机构。而且，在该输送后，将空的托盘200通过托盘输送机构11B从供给区域A2返回到托盘供给区域A1。

检查区域A3是对IC设备90进行检查的区域。在该检查区域A3设置有设备供给部(供给滑梭)14、检查部16、设备输送头17、以及设备回收部(回收滑梭)18。

设备供给部14是载置温度调整后的IC设备90的载置部，能够将该IC设备90输送到检查部16附近。该设备供给部14被支承为能够在供给区域A2与检查区域A3之间沿着X方向移动。另外，在图2所示的结构中，设备供给部14在Y方向上配置有2个，能够将温度调整部12上的IC设备90输送并载置于任意一个设备供给部14。

检查部16是对IC设备90的电气特性进行检查/测试的单元。在检查部16设置有在保持IC设备90的状态下与该IC设备90的端子电连接的多个探针。而且，IC设备90的端子与探针电连接(接触)，并经由探针进行IC设备90的检查。此外，在检查部16中，与温度调整部12同样，能够对IC设备90进行加热或者冷却，将该IC设备90调整到适合检查的温度。

在本实施方式中，在检查部16设置有由凹部构成的4个洼坑161～164。这4个洼坑161～164配置成2行2列的矩阵状。

设备输送头17被支承为能够在检查区域A3内移动。由此，设备输送头17能够将从供给区域A2搬入的设备供给部14上的IC设备90输送并载置到检查部16上。

此外，在检查装置1中，设备输送头17具有2根臂171、172。IC设备90通过臂171、172的任意一个配置在检查部16上。

设备回收部18是载置由检查部16的检查结束的IC设备90的载置部，能够将该IC设备90输送到回收区域A4。该设备回收部18被支承为能够在检查区域A3与回收区域A4之间沿着X方向移动。另外，在图2所示的结构中，设备回收部18与设备供给部14同样，在Y方向上配置有2个，能够将检查部16上的IC设备90输送并载置于任意一个设备回收部18。该输送由设备输送头17进行。

回收区域A4是对检查结束的多个IC设备90进行回收的区域。在该回收区域A4设置有回收用托盘19、设备输送头20、以及托盘输送机构(第二输送装置)21。另外，在回收区域A4还准备有空的托盘200。

回收用托盘19是载置IC设备90的载置部，并固定在回收区域A4内，在图2所示的结构中，沿着X方向配置有3个。另外，空的托盘200也是载置IC设备90的载置部，沿着X方向配置有3个。而且，能够将移动到回收区域A4的设备回收部18上的IC设备90输送并载置于上述回收用托盘19以及空的托盘200中的任意一个。由此，按每个检查结果对IC设备90进行回收、分类。

设备输送头20被支承为能够在回收区域A4内移动。由此，设备输送头20能够将IC设备90从设备回收部18输送至回收用托盘19、空的托盘200。

托盘输送机构21是使从托盘去除区域A5搬入的空的托盘200在回收区域A4内向X方向输送的机构。而且，在该输送后，将空的托盘200配置于回收IC设备90的位置。即，可以为上述3个空的托盘200中的任意一个。

在这样检查装置1中，在回收区域A4设置有托盘输送机构21，此外，在供给区域A2设置有托盘输送机构15。由此，例如能够实现比通过一个输送机构进行空的托盘200的朝向X方向的输送提高生产率(每单位时间的IC设备90的输送个数)。

此外，作为托盘输送机构15、21的结构并没有特别限定，例如，可举出具有吸附托盘200的吸附部件、和将该吸附部件支承为能够向X方向移动的滚珠丝杠等支承机构的结构。

托盘去除区域A5是对排列有检查完毕状态的多个IC设备90的托盘200进行回收并除去的去除部。在托盘去除区域A5中，能够层叠多个托盘200。

另外，以横跨回收区域A4和托盘去除区域A5的方式设置有将托盘200一个一个地输送的托盘输送机构22A、22B。托盘输送机构22A是将载置有检查完毕的IC设备90的托盘200从回收区域A4输送至托盘去除区域A5的机构。托盘输送机构22B是将用于回收IC设备90的空的托盘200从托盘去除区域A5输送至回收区域A4的机构。

另外，在供给区域A2设置有旋转工作台23A。该旋转工作台23A呈圆盘状，由能够绕Z轴旋转的载置台构成。在该旋转工作台23A载置有IC设备90的状态下，旋转工作台23A进行旋转，从而能够变更IC设备90的朝向。

另外，在回收区域A4设置有旋转工作台23B。该旋转工作台23B呈圆盘状，由能够绕Z轴旋转的载置台构成。在该旋转工作台23B载置有IC设备90的状态下，旋转工作台23B进行旋转，从而能够变更IC设备90的朝向。

在以上那样的检查装置1中，除了温度调整部12、检查部16以外，设备输送头13、设备供给部14、设备输送头17还构成为能够对IC设备90加热或者冷却。由此，在输送IC设备90期间，将温度维持在恒定。而且，以下，以对IC设备90进行冷却，例如在-60℃～-40℃的范围内的低温环境下进行检查的情况进行说明。

如图2所示，检查装置1的托盘供给区域A1与供给区域A2之间被第一隔壁61划分(分隔)，供给区域A2与检查区域A3之间被第二隔壁62划分，检查区域A3与回收区域A4之间被第三隔壁63划分，回收区域A4与托盘去除区域A5之间被第四隔壁64划分。另外，供给区域A2与回收区域A4之间也被第五隔壁65划分。上述隔壁具有保持各区域的气密性的功能。

并且，检查装置1的最外层被罩覆盖，该罩具有前罩70、侧罩71以及72、后罩73。

而且，供给区域A2成为由第一隔壁61、第二隔壁62、第五隔壁65、侧罩71以及后罩73划分成的第一室R1。向第一室R1连同托盘200一起搬入未检查状态的多个IC设备90。

检查区域A3成为由第二隔壁62、第三隔壁63以及后罩73划分成的第二室R2。另外，在第二室R2比后罩73靠近内侧配置有内侧隔壁66。

回收区域A4成为由第三隔壁63、第四隔壁64、第五隔壁65、侧罩72以及后罩73划分成的第三室R3。从第二室R2向第三室R3搬入检查结束的多个IC设备90。

如图2所示，在侧罩71设置有第一门(左侧第一门)711和第二门(左侧第二门)712。通过打开第一门711、第二门712，例如能够进行第一室R1内的维护、IC设备90中的卡纸的解除等(以下，将这些统称为“作业”)。此外，第一门711和第二门712相互向相反方向开闭。另外，在进行第一室R1内的作业时，该第一室R1内的设备输送头13等可动部停止。

同样地，在侧罩72设置有第一门(右侧第一门)721和第二门(右侧第二门)722。通过打开第一门721、第二门722，例如能够进行第三室R3内的作业。此外，第一门721和第二门722相互向相反方向开闭。另外，在进行第三室R3内的作业时，该第三室R3内的设备输送头20等可动部停止。

另外，在后罩73也设置有第一门(背面侧第一门)731、第二门(背面侧第二门)732、以及第三门(背面侧第三门)733。通过打开第一门731，例如能够进行第一室R1内的作业。通过打开第三门733，例如能够进行第三室R3内的作业。

并且，在内侧隔壁66设置有第四门75。而且，通过打开第二门732以及第四门75，例如能够进行第二室R2内的作业。此外，第一门731、第二门732以及第四门75向相同的方向开闭，第三门733向与这些门相反方向开闭。另外，在进行第二室R2内的作业时，该第二室R2内的设备输送头17等可动部停止。

而且，通过关闭各门，能够确保对应的各室的气密性、隔热性。

如图1所示，报告部40具有显示各部的驱动、检查结果等的监视器41、灯42、以及蜂鸣器43。

监视器41例如能够由发光的液晶显示面板、有机EL等显示面板等构成。监视器41配置于检查装置1的图中上方右侧(X方向正侧)。作业者能够经由该监视器41设定或确认检查装置1的各种处理、条件等。

灯42配置于检查装置1的图中上方左侧(X方向负侧)。该灯42被控制部80控制动作。蜂鸣器43被控制部80控制动作。

操作部50是鼠标501等输入设备，将与作业者的操作相应的操作信号输出至控制部80。因此，作业者能够使用鼠标501来对控制部80进行各种处理等的指示。如图1所示，鼠标501配置于检查装置1的图中右侧，接近监视器41(报告部40)的位置。另外，在本实施方式中，虽然使用鼠标501作为操作部50，但操作部50并不局限于此，例如也可以是键盘、跟踪球、触摸面板等输入设备等。

如图3所示，控制部80具有驱动控制部81、检查控制部82、存储部83、运算部84、判断部85、以及发送部86。此外，由存储部83、运算部84、以及判断部85构成更换时期推定部100。

驱动控制部81对托盘输送机构11A、11B、温度调整部12、设备输送头13、设备供给部14、托盘输送机构15、检查部16、设备输送头17、设备回收部18、设备输送头20、托盘输送机构21、以及托盘输送机构22A、22B的各部的驱动进行控制。

检查控制部82基于存储于存储部83的程序，进行配置于检查部16的IC设备90的电气特性的检查等。

存储部83例如由RAM等易失性存储器、ROM等非易失性存储器、EPROM、EEPROM、闪存等能够改写(能够消除、改写)的非易失性存储器等各种半导体存储器(IC存储器)等构成。

这里，检查装置1需要在相对较短的时间内进行多个IC设备90的检查，即、要求较高的生产率。为了实现较高的生产率，在检查装置1中，要求各部高速动作、急剧的加减速、频繁的ON/OFF操作等。另外，由于同时把持或输送多个IC设备90，所以各部成为复杂的结构。另外，在检查装置1中，在对温度/湿度等环境进行了管理的状态下，进行IC设备90的检查。并且，由于为了提高生产率，对各部的位置信息等进行管理，并使各部联合动作，所以对各部的响应性等要求较高的可靠性。

这样，在检查装置1中，以复杂的结构且进行复杂的操作。例如，与进行曝光、蚀刻等来制造IC设备90的制造装置相比，检查装置1的复杂的结构明显。

这里，作为构成检查装置1的“检查装置1的各部的部件”，将代表的部件示于以下的表1。在该表1中，竖排记载有部件名，横排记载有各部的名称。

[表1]

在托盘输送机构11A搭载有带、马达、轴承以及汽缸。在托盘输送机构11B搭载有带、马达、轴承以及汽缸。在温度调整部12搭载有加热器。在设备输送头13搭载有泵、滚珠丝杠、直线导轨、加热器、马达、轴承、汽缸、阀、以及喷射器。在设备供给部14搭载有带、直线导轨、加热器、马达、以及轴承。在托盘输送机构15搭载有泵、带、直线导轨、马达、以及轴承。在检查部16搭载有加热器。

在设备输送头17搭载有泵、滚珠丝杠、加热器、马达、汽缸、阀、衬套、喷射器、以及隔膜。在设备回收部18搭载有直线导轨、加热器、马达、以及轴承。在设备输送头20搭载有泵、滚珠丝杠、直线导轨、加热器、马达、轴承、汽缸、阀、以及喷射器。在托盘输送机构21搭载有泵、滚珠丝杠、直线导轨、马达、轴承、汽缸、阀、以及喷射器。在托盘输送机构22A搭载有带、马达、轴承、以及汽缸。在托盘输送机构22B搭载有带、马达、轴承、以及汽缸。

此外，在检查装置1中，各泵在设备输送头13、托盘输送机构15、设备输送头17、设备输送头20、托盘输送机构21中，使用共用的一个泵。另外，在检查装置1中，例如，直线导轨、泵等使用在检查装置1的各部中使用适合的种类(大小等)。

这样的检查装置1的各部的部件是消耗品，若更换时期临近，则需要迅速进行更换、维护。例如，检查装置1在动作中各部的部件消耗并破损的情况下，需要停止检查装置1整体的动作，导致生产率显著降低。另外，各部的部件分别从新品的状态到破损的期间不同，很难分别独立地对各个部件的状态进行管理。

在检查装置1中，由于通过更换时期推定部100来进行更换时期的推定，所以能够对包含作用部的各部的部件的更换时期进行管理，对于解决上述的问题来说，为有效的结构。

以下，对此进行说明。此外，以下，作为“检查装置1的各部的部件”，以设备输送头13的直线导轨为代表进行说明。

存储部83中存储有作为预先决定的值的第一值T₁以及第二值T₂。参照图4对第一值T₁以及第二值T₂进行说明。

图4是横轴用时间来表示的图表。在该图表中，左侧表示过去，右侧表示未来。另外，该图表的左端示有更换为新品的时间、或者安装新品的时间。另外，图表的右端示有从新品的状态开始消耗并破损的破损时期。到直线导轨破损为止的累积使用时间T₃(t₃-t₀)是按每个直线导轨的种类大体确定的。

此外，在本说明书中，所谓的从新品的状态到破损的时期包含若破损则更换的情况下的平均故障间隔MTTF(Mean Time To Failure)和若破损则进行修理等维护的情况下的平均故障间隔MTBF(Mean Time Between Failure)这双方。

第一值T₁是推荐直线导轨从新品的状态被使用到哪一程度则进行更换或者维护的判断基准。第一值T₁是比累积使用时间T₃(t₃-t₀)短的期间(t₁-t₀)。

第二值T₂是直线导轨从新品的状态若被使用到哪一程度则应当进行更换或者维护的判断基准。第二值T₂是比累积使用时间T₃(t₃-t₀)短且比第一值T₁长的期间(t₂-t₀)。

运算部84具有计算直线导轨的当前的使用状况(累积动作时间T_Z)的功能。即运算部84计算直线导轨的当前的使用状况在图4所示的图表中处于到累积使用时间T₃的哪个位置。以下，使用图4所示的图表以及以下的表2对该计算方法进行说明。

如图4的图表所示，例如，求出从新品的状态首次使用直线导轨的第N1次的动作时间T_N1。而且，求出接着使用的第N2次的动作时间T_N2。然后，对动作时间T_N1和动作时间T_N2进行累计。由此，在第N2次的动作结束时，能够得到直线导轨的使用状况在图4的图表中处于到累积使用时间T₃的哪个位置。另外，通过将第N3次以后也同样地动作的时间累积于T_N1+T_N2，能够得到直线导轨的动作结束时的使用状况。

这里，作为一个例子对动作时间T_N1的求出方法进行说明。以下的表2记载有“最大生产率(UPH)与实际运转生产率(UPH)的比率”、以及与该比率相应的“速度换算值”和“动作时间系数”。所谓的最大生产率是检查装置1进行IC设备90的输送以及检查时的生产率的最大值。所谓的实际运转生产率是实际运转时的生产率。所谓的速度换算值是根据最大生产率与实际运转生产率的比率，相对于设备输送头13的最高速度，视为设备输送头13以哪一程度的速度进行了实际动作的比例。所谓的动作时间系数是根据速度换算值而对动作时间乘以的系数。

[表2]

例如，表2所示，在最大生产率与实际运转生产率的比率为20％以下时，速度换算值为20％，动作时间系数为1/8。通过使该动作时间系数1/8与动作时间相乘，能够求出以最高速度(最大生产率的状态)使用的情况下的时间。

这样，通过测量第N1次的实际的动作时间，并对该测量出的动作时间乘以动作时间系数，能够得到动作时间T_N1。对于动作时间T_N2～动作时间T_Nx也以同样的方式进行计算，所以省略其说明。

而且，判断部85判断累积动作时间T_Z是否达到了第一值T₁以及第二值T₂。另外，在检查装置1中，累积动作时间T_Z达到了第一值T₁的情况下，以如下的方式报告给作业者。

如图1以及图5所示，在检查装置1中，监视器41显示窗口W。在窗口W中，在图5中从Z方向正侧开始依次排列显示有：显示累积动作时间T_Z达到第一值T₁的意思的区域、显示其详细内容的区域、以及检查装置1的各部的简要俯视图。

在图示的结构中，为设备输送头13的直线导轨的累积动作时间T_Z达到第一值T₁时的显示。在简要俯视图中，通过图中所示的圆圈的位置表示哪里的部件的更换时期临近了。

另外，在检查装置1中，在累积动作时间T_Z达到第一值T₁时，和累积动作时间T_Z达到第二值T₂时，灯42点亮。由此，即使在检查装置1的作业者处于远离检查装置1的位置的情况下，也能够获知累积动作时间T_Z达到第一值T₁或者第二值T₂这一情况。

另外，在检查装置1中，在与灯42的点亮相同的时机蜂鸣器43动作。由此，即使作业者没看检查装置1，也能够获知累积动作时间T_Z达到第一值T₁或者第二值T₂。

此外，并没有对灯42的颜色、闪烁方式进行特别限定，但优选累积动作时间T_Z达到第一值T₁时、与达到第二值T₂时不同。由此，作业者很容易区分累积动作时间T_Z达到第一值T₁，还是达到第二值T₂。

另外，优选蜂鸣器43的声音在累积动作时间T_Z达到第一值T₁时与达到了第二值T₂时不同。由此，作业者很容易区分累积动作时间T_Z是达到了第一值T₁，还是达到了第二值T₂。

另外，在累积动作时间T_Z达到第一值T₁时，将该意思通过发送部86例如发送给主机。由此，例如，能够通过主机等对各部的更换时期进行管理。

这样的发送部86例如能够由LAN(Local Area Network：局域网)、WAN(Wide AreaNetwork：广域网)、MAN(Metropolitan Area Network：城域网)、因特网等通信机构构成。

另外，并没有对与发送部86的通信相关的标准进行特别限定，但优选是SECS/GEM协议。由于应对一般的半导体的设备的通信依据SECS/GEM协议来进行，所以通过依据SECS/GEM来进行通信，在通用性方面优异。

此外，“SECS”是“SEMI Equipment Communications Standard：SEMI设备通信标准”的简称，“GEM”是“Generic Model For Communications and Control ofManufacturing Equipment：制造设备的通信和控制的通用模型”的简称。

此外，如图6所示，在检查装置1中，能够将发送记录存储于存储部83。由此，能够通过检查装置1对过去的发送历史记录进行管理。由此，例如，即使在作业者轮换为不同的作业者的情况下，也能够把握检查装置1的过去的状况。

以上，作为一个例子，对设备输送头13的直线导轨进行了说明，但在本发明中并不局限于此，对于其它的部件也能够以同样的方式对更换时期进行管理。

例如，以下所示的表3是表示设备输送头13的直线导轨以外的部件的实际的动作时间的求出方法的表，是在图2所示的位置把持IC设备90，并输送到设备供给部14，并返回到图2所示的位置的时间(1个周期的时间)的表。如该表3所示，在设备输送头13在常温下进行检查的常温模式的情况下，是1.60秒。另外，在高温下进行检查的高温模式的情况下，是3.00秒。另外，在常温模式下经由旋转工作台23A的情况下(常温有旋转)是2.60秒。另外，在高温模式下经由旋转工作台23A的情况下(高温有旋转)是4.00秒。

[表3]

常温	高温	常温有旋转	高温有旋转
				1.60(S)	3.00(S)	2.60(S)	4.00(S)

像这样，在检查装置1中，也能够根据设备输送头13输送了几个IC设备90的信息、和此时的温度模式的信息来计算设备输送头13的实际的动作时间。

另外，以下所示的表4是表示设备输送头20的实际的动作时间的求出方法的表。在该表4中，根据设备输送头20的输送目的地示出了1个周期所需要的时间。此外，所谓的设备输送头20的1个周期是指到把持载置于设备回收部18的IC设备，并输送至托盘200的时间。

[表4]

表4

	无旋转	有旋转
			Unloader1	0.70(S)	1.00(S)
Unloader2	0.75(S)	1.75(S)
			Unloader3	0.80(S)	1.10(S)
Fix Tray 1	0.50(S)	0.80(S)
			Fix Tray 2	0.55(S)	0.85(S)
Fix Tray 3	0.60(S)	0.90(S)

在表4中，“Unloader1”表示将IC设备90输送至托盘输送机构22A输送的回收区域A4内的3个托盘200中的图2中最靠X方向负侧的托盘200的情况下的1个周期的时间。在经由旋转工作台23B的情况下(有旋转)是1.00秒，在未经由旋转工作台23B的情况下(无旋转)是0.70秒。

“Unloader2”表示将IC设备90输送至托盘输送机构22A输送的回收区域A4内的3个托盘200中的图2中X方向中间的托盘200的情况下的1个周期的时间。在经由旋转工作台23B的情况下是1.75秒，在未经由旋转工作台23B的情况下是0.75秒。

“Unloader3”表示将IC设备90输送至托盘输送机构22A输送的回收区域A4内的3个托盘200中的图2中最靠X方向正侧的托盘200的情况下的1个周期的时间。在经由旋转工作台23B的情况下是1.10秒，在未经由旋转工作台23B的情况下是0.80秒。

另外，“Fix Tray1”是表示将IC设备90输送至图2中的3个回收用托盘19中的最靠X方向正侧的回收用托盘19的情况下的1个周期的时间。在经由旋转工作台23B的情况下是0.80秒，在未经由旋转工作台23B的情况下是0.50秒。

另外，“Fix Tray2”表示将IC设备90输送至图2中的3个回收用托盘19中的X方向中间的回收用托盘19的情况下的1个周期的时间。在经由旋转工作台23B的情况下是0.85秒，在未经由旋转工作台23B的情况下是0.55秒。

另外，“Fix Tray3”表示将IC设备90输送至图2中的3个回收用托盘19中的最靠X方向负侧的回收用托盘19的情况下的1个周期的时间。在经由旋转工作台23B的情况下是0.90秒，在未经由旋转工作台23B的情况下是0.60秒。

应予说明，设备供给部14、设备输送头17、以及设备回收部18等也有不取决于温度模式，1个周期所需要的时间为相同的时间的部件。

所谓的设备供给部14的1个周期是指图2的设备供给部14从用实线表示的位置移动到图2的检查区域A3内的用虚线表示的位置，且图2的设备供给部14再次返回到用实线表示的位置。

另外，所谓的设备输送头17的1个周期是指把持检查区域A3内的设备供给部14的IC设备90，并将IC设备90载置于检查部16，且再次返回到原来的位置。

设备回收部18的1个周期是指图2的设备回收部18从用实线表示的位置移动到图2的检查区域A3内的用虚线表示的位置，且图2的设备回收部18再次返回到用实线表示的位置。

如以上说明的那样，根据检查装置1，更换时期推定部100能够基于检查装置1的各部的部件(作用部)的作用次数(周期数)、作用时间(实际的动作时间)以及作用速度(实际的动作速度)中的至少作用次数或者作用时间的任意一个来推定更换时期。

另外，在该推定结果达到了第一值T₁以及第二值T₂的情况下，能够通过报告部40报告该意思。由此，例如，能够在检查装置1的动作中，将部件破损，检查装置1停止这样的情况防患于未然。由此，能够有效地防止伴随着这样的检查装置1的非意图性的停止的生产率的降低。其结果为，在检查装置1中，能够维持较高的生产率。

特别是，由于能够对相对消耗比其它部件大的泵、阀以及喷射器等气动设备；加热器以及马达等电力设备；带、滚珠丝杠、以及汽缸等滑动设备的更换时期进行管理，所以能够更加有效地发挥上述效果。

接下来，基于图7所示的流程图，对检查装置1的控制程序进行说明。此外，以下，以设备输送头13的直线导轨为一个例子来说明。

首先，在步骤S101中，通过上述的方法，计算设备输送头13的累积动作时间T_Z。

而且，在步骤S102中，判断累积动作时间T_Z是否比第一值T₁小。在步骤S102中，在判断为累积动作时间T_Z比第一值T₁小，即未达到第一值T₁的情况下(S102：是)，返回到步骤S101，计算累积动作时间T_Z。

或者，在步骤S102中，在判断为累积动作时间T_Z大到第一值T₁以上，即达到第一值T₁的情况下(S102：否)，进入步骤S103，判断累积动作时间T_Z是否比第二值T₂小。

在步骤S103中，在判断为累积动作时间T_Z比第二值T₂小，即未达到第二值T₂的情况下(S103：是)，进入步骤S104，报告累积动作时间T_Z达到了第一值T₁。由此，作业者能够获知直线导轨的更换时期临近了这一情况，并能够在所希望的时机进行直线导轨的维护、更换。

在步骤S103中，在判断累积动作时间T_Z大到第二值T₂以上，即达到了第二值T2的情况下(S103：否)，停止检查装置1的各部的动作(步骤S105)。

而且，在步骤S106中，报告累积动作时间T_Z达到了第二值T₂。由此，作业者能够获知更换时期进一步临近这一情况。

像这样，在检查装置1中，能够以2个阶段报告直线导轨的更换时期临近。由此，作业者能够阶段性地获知更换时期临近，并容易地测量更换的时机。

特别是，在检查装置1中，构成为在直线导轨达到更换时期以前，即直线导轨破损以前使检查装置1的各部的动作停止来提醒更换。由此，能够避免尽管直线导轨破损仍持续检查装置1的动作而使直线导轨以外的部件损伤的风险。

并且，在检查装置1中，将IC设备90的检查状况(到此为止输送了多少个IC设备90或者托盘200的累积数据)存储于存储部83。因此，能够在将上述程序安装于检查装置1的时刻，基于检查状况、和例如表3以及表4所示的累积动作时间的求出方法，来计算当前的累积动作时间T_Z。

第二实施方式

以下，参照图8以及图9对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第二实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心来进行说明，对于相同的事项省略其说明。

本实施方式除了控制部的控制程序不同以外与上述第一实施方式相同。

如图8以及图9所示，设备输送头13具有8个手部131。在从Z轴方向观察时，各手部131呈沿着X轴方向排列有4个手部131的列在Y轴方向上排列有2行的2行4列的矩阵状。此外，以下将这8个手部131中的、从+Y轴侧的列的-X轴侧的手部131开始依次设为手部131a、手部131b、手部131c以及手部131d，将从-Y轴侧的列的-X轴侧的手部131开始依次设为手部131e、手部131f、手部131g以及手部131h。

例如，如图8所示，对使用手部131a以及手部131d来进行检查的情况进行说明。在该情况下，手部131a以及手部131d比其它手部131的部件(以下，作为一个例子对阀进行说明)消耗多且累积动作时间大。

在使用手部131a以及手部131d进行检查的中途，在手部131a以及手部131d的阀的累积动作时间达到了第一值的情况下，在检查装置1中，如图9所示，能够切换为使用手部131e以及手部131h的模式。因此，能够使用手部131e以及手部131h继续检查。

根据这样的本实施方式，即使检查装置1的部件的更换时期临近，也能够切换为使对IC设备90进行相同的作用的部位动作的模式。由此，即使检查装置1的部件的更换时期临近，也能够抑制该部件过度地消耗。其结果为，能够减少部件的维护或者更换的次数，并能够进一步提高生产率。

此外，在使用手部131a以及手部131d来进行检查的中途，在手部131a以及手部131d的阀的累积动作时间达到了第一值的情况下，优选将切换的手部131切换为手部131b、131c、131e、131f、131g以及131h中的累积动作时间较少的手部131。由此，能够使各手部131的累积动作时间尽可能地成为相同。因此，能够进一步减少部件的维护或者更换的次数，并能够进一步提高生产率。

另外，在本实施方式中，作为一个例子对设备输送头13的手部131的切换进行了说明，但在检查装置1中，在能够对IC设备90进行相同的作用的作用部中，能够如上述那样进行切换。

第三实施方式

以下，参照图10～图16对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第三实施方式进行说明。此外，在本实施方式中，对于与上述实施方式相同的结构部件标注相同符号来进行说明。

在本实施方式中，如图12所示，在各IC设备90的表面的面，作为与该IC设备90相关的信息，附有条形码901。该条形码901中例如包含IC设备90的生产厂家、IC设备90的制造编号等各种信息。另外，作为条形码901，优选使用一维码(通过条纹图案的线的粗细来表示信息的标识符)、二维码(例如QR码(注册商标))。作为针对IC设备90的条形码901的赋予方法并没有特别限定，例如，可举出使用了喷墨的方法、使用激光标记的方法等。

如图10、图11所示，检查装置1a被分为托盘供给区域A1、设备供给区域(以下仅称为“供给区域”)A2、检查区域A3、设备回收区域(以下仅称为“回收区域”)A4、以及托盘去除区域A5。而且，IC设备90从托盘供给区域A1到托盘去除区域A5依次经由上述各区域，并在中途的检查区域A3进行检查。

像这样，检查装置1a具备在各区域输送IC设备90的电子部件输送装置(自动分拣机)、在检查区域A3内进行检查的检查部16a、以及控制部800。另外，除此以外，检查装置1a还具备监视器300、信号灯400、以及操作面板700。

托盘供给区域A1是供给排列有未检查状态的多个IC设备90的托盘(载置部件)200的供给材料部。在托盘供给区域A1中，能够层叠多个托盘200。

供给区域A2是将配置在来自托盘供给区域A1的托盘200上的多个IC设备90分别供给到检查区域A3的区域。此外，以横跨托盘供给区域A1和供给区域A2的方式设置有托盘200一个一个地沿水平方向输送的托盘输送机构11A、11B。

托盘输送机构11A是能够使托盘200连同载置于该托盘200的IC设备90一起向Y方向的正侧移动的移动部。由此，能够将IC设备90稳定地送入供给区域A2。另外，托盘输送机构11B是能够使空的托盘200向Y方向的负侧移动，即从供给区域A2移动到托盘供给区域A1的移动部。

在供给区域A2设置有温度调整部12、设备输送头13以及托盘输送机构15。

温度调整部12能够统一地对多个IC设备90进行冷却或者加热，有时称为“浸泡板”。能够通过该浸泡板，预先对通过检查部16a检查前的IC设备90进行冷却或者加热来调整到适合该检查的温度。

在图11所示的结构中，在Y方向上配置并固定有2个温度调整部12。而且，能够将通过托盘输送机构11A从托盘供给区域A1搬入的(输送出的)托盘200上的IC设备90输送到任意一个温度调整部12。

设备输送头13被支承为能够在供给区域A2内向X方向以及Y方向、还在Z方向上移动。由此，设备输送头13能够负责从托盘供给区域A1搬入的托盘200与温度调整部12之间的IC设备90的输送、以及温度调整部12与后述的设备供给部14a之间的IC设备90的输送。

托盘输送机构15是使除去了全部的IC设备90的状态的空的托盘200在供给区域A2内向X方向的正侧输送的机构。而且，在该输送后，空的托盘200通过托盘输送机构11B从供给区域A2返回到托盘供给区域A1。

检查区域A3是对IC设备90进行检查的区域。在该检查区域A3设置有检查部16a和设备输送头17a。另外，也设置有以横跨供给区域A2和检查区域A3的方式移动的设备供给部14a、和以横跨检查区域A3和回收区域A4的方式移动的设备回收部18a。并且，在供给区域A2与检查区域A3之间设置有第一信息获取单元10A、以及第二信息获取单元10B。

设备供给部14a是载置通过温度调整部12进行了温度调整的IC设备90，并将该IC设备90输送(移动)到检查部16a附近的载置部，有时称为“供给用滑梭板”。

如图12所示，设备供给部14a具有配置为在X方向上各4个，在Y方向上各2个的矩阵状的凹部(洼坑)141。在各凹部141各收纳一个由检查部16a检查前的IC设备90。

另外，设备供给部14a在比各凹部141靠近X方向的正侧还具有两个凹部(洼坑)142。这两个凹部142沿着Y方向配置，能够收纳后述的虚拟设备(虚拟电子部件)91。另外，凹部142针对虚拟设备91的定位精度比凹部141针对IC设备90的定位精度高。即，凹部142内的虚拟设备91的游隙与凹部141内的IC设备90的游隙相比能够抑制为极小。

以下，将凹部141以及凹部142被配置于Y方向负侧的列称为“第一列M1”，将被配置于Y方向正侧的列称为“第二列M2”。此外，凹部141以及凹部142的形成个数、配置方式当然并不限定于图12所示的结构。

另外，设备供给部14a被支承为能够在供给区域A2与检查区域A3之间沿着X方向在水平方向上移动。在图11所示的结构中，在Y方向上配置有2个设备供给部14a，能够将温度调整部12上的IC设备90输送到任意一个设备供给部14a。另外，设备供给部14a构成为能够对上述温度调整后的IC设备90维持该温度调整状态。由此，能够对IC设备90进行冷却或者加热，因此，能够维持该IC设备90的温度调整状态。

检查部16a是载置IC设备90来对该IC设备90的电气特性进行检查/测试的载置部。该检查部16a设置有与IC设备90的端子部电连接的多个探针。而且，IC设备90的端子部与探针电连接(接触)，经由探针进行IC设备90的检查。IC设备90的检查根据存储于与检查部16a连接的测试仪所具备的检查控制部的程序来进行。此外，在检查部16a中，与温度调整部12同样，能够对IC设备90进行冷却或者加热，将该IC设备90调整到适合检查的温度。

设备输送头17a被支承为能够在检查区域A3内向Y方向以及Z方向移动。由此，设备输送头17a能够将从供给区域A2搬入的设备供给部14a上的IC设备90输送并载置到检查部16a上。此外，设备输送头17a也能够对IC设备90进行冷却或者加热来将该IC设备90调整到适合检查的温度。

设备回收部18a是能够载置检查部16a的检查结束了的IC设备90，并将该IC设备90输送(移动)到回收区域A4的载置部，有时称为“回收用滑梭板”。另外，设备回收部18a被支承为能够在检查区域A3与回收区域A4之间沿着X方向在水平方向上移动。另外，在图11所示的结构中，设备回收部18a与设备供给部14a同样，在Y方向上配置有2个，能够将检查部16a上的IC设备90输送并载置于任意一个设备回收部18a。该输送由设备输送头17a来进行。

另外，在检查装置1a中，构成一个设备供给部14a与一个设备回收部18a经由连结部23在X方向上连结，在相同方向统一移动的滑梭单元。以下，将图12中的Y方向负侧，即正面侧的滑梭单元称为“第一滑梭单元24A”，将Y方向正侧，即背面侧的滑梭单元称为“第二滑梭单元24B”。

第一信息获取单元10A是获取第一滑梭单元24A中的设备供给部14a上的IC设备90的条形码901等的单元。第二信息获取单元10B是获取第二滑梭单元24B中的设备供给部14a上的IC设备90的条形码901等的单元。关于这些单元的详细内容后述。

回收区域A4是对检查结束的多个IC设备90进行回收的区域。在该回收区域A4设置有回收用托盘19、设备输送头20、以及托盘输送机构21。另外，在回收区域A4还准备有空的托盘200。

回收用托盘19是载置通过检查部16a检查后的IC设备90的载置部，以不移动的方式被固定在回收区域A4内。由此，即使在配置有相对较多的设备输送头20等各种可动部的回收区域A4，在回收用托盘19上，也稳定地载置检查完毕的IC设备90。此外，在图11所示的结构中，沿着X方向配置有3个回收用托盘19。

另外，沿着X方向还配置有3个空的托盘200。该空的托盘200也为载置通过检查部16a检查后的IC设备90的载置部。而且，能够将移动到回收区域A4的设备回收部18a上的IC设备90输送并载置于回收用托盘19以及空的托盘200中的任意一个。由此，按每个检查结果对IC设备90进行分类并回收。

设备输送头20被支承为能够在回收区域A4内在X方向以及Y方向、进一步在Z方向上移动。由此，设备输送头20能够将IC设备90从设备回收部18a输送至回收用托盘19、空的托盘200。

托盘输送机构21是使从托盘去除区域A5搬入的空的托盘200在回收区域A4内在X方向上输送的机构。而且，在该输送后，空的托盘200配置于回收IC设备90的位置，即可以为上述3个空的托盘200中的任意一个。

另外，以横跨回收区域A4与托盘去除区域A5的方式设置有将托盘200一个一个地向Y方向输送的托盘输送机构22A、22B。托盘输送机构22A是能够使托盘200向Y方向移动的移动部。由此，能够将检查完毕的IC设备90从回收区域A4输送至托盘去除区域A5。另外，托盘输送机构22B是使用于回收IC设备90的空的托盘200从托盘去除区域A5移动至回收区域A4的移动部。

控制部800例如具有驱动控制部。驱动控制部例如对托盘输送机构11A、11B、温度调整部12、设备输送头13、设备供给部14a、托盘输送机构15、检查部16a、设备输送头17a、设备回收部18a、设备输送头20、托盘输送机构21、托盘输送机构22A、22B、第一信息获取单元10A、以及第二信息获取单元10B的各部的驱动进行控制。

此外，上述测试仪的检查控制部例如基于存储于未图示的存储器内的程序来进行配置于检查部16a的IC设备90的电气特性的检查等。

操作人员(作业者)能够经由监视器300，对检查装置1a的动作条件等进行设定或确认。该监视器300具有例如由液晶画面构成的显示画面(显示部)301，并配置于检查装置1a的正面侧上部。如图10所示，在托盘去除区域A5的图中的X方向正侧设置有载置在对监视器300所显示的画面进行操作时所使用的鼠标的鼠标台600。

另外，相对于监视器300在图10中的X方向正侧下方配置有操作面板700。操作面板700与监视器300分立地对检查装置1a命令所希望的动作。

另外，信号灯400能够通过发光的颜色的组合，来报告检查装置1a的动作状态等。信号灯400配置于检查装置1a的上部。此外，检查装置1a内置有扬声器500，还能够通过该扬声器500来报告检查装置1a的动作状态等。

如图11所示，检查装置1a的托盘供给区域A1与供给区域A2之间被第一隔壁61划分(分隔)，供给区域A2与检查区域A3之间被第二隔壁62划分，检查区域A3与回收区域A4之间被第三隔壁63划分，回收区域A4与托盘去除区域A5之间被第四隔壁64划分。另外，供给区域A2与回收区域A4之间也被第五隔壁65划分。

如图11、图15所示，在第二隔壁62形成有开口部621、开口部622。第一滑梭单元24A的设备供给部14a能够通过开口部621(参照图13、图14)。由此，开口部621作为设备供给部14a从供给区域A2进入检查区域A3时的入口发挥作用，开口部621作为设备供给部14a从检查区域A3通往供给区域A2时的出口发挥作用。

另外，第二滑梭单元24B的设备供给部14a能够通过开口部622。由此，开口部622还作为设备供给部14a从供给区域A2进入检查区域A3时的入口发挥作用，开口部622还设备供给部14a从检查区域A3通往供给区域A2时的出口发挥作用。

另外，如图11所示，在第三隔壁63也形成有开口部631、开口部632。第一滑梭单元24A的设备回收部18a能够通过开口部631，第二滑梭单元24B的设备回收部18a能够通过开口部632。

检查装置1a的最外层被罩覆盖，该罩具有前罩70、侧罩71、侧罩72、后罩73、顶罩74。

如上所述，各IC设备90附有条形码901。而且，载置于第一滑梭单元24A的设备供给部14a的IC设备90的条形码901被第一信息获取单元10A获取。另一方面，载置于第二滑梭单元24B的设备供给部14a的IC设备90的条形码901被第二信息获取单元10B获取。另外，将获取的条形码901存储于控制部800的存储器。

如图12、图15所示，第一信息获取单元10A以及第二信息获取单元10B分别具有能够获取附于IC设备90的信息的第一条形码阅读器(信息获取部)3A和第二条形码阅读器3B(信息获取部)。在第一信息获取单元10A中，第一条形码阅读器3A与第二条形码阅读器3B配置于开口部621，在第二信息获取单元10B中，第一条形码阅读器3A和第二条形码阅读器3B配置于开口部622。由于第一信息获取单元10A与第二信息获取单元10B除了配置位置不同以外是相同的结构，所以以下以第一信息获取单元10A为代表进行说明。

第一条形码阅读器3A和第二条形码阅读器3B的外形形状均为扁平的箱状，以其厚度方向与水平方向(X方向)一致的方式，所谓的“纵置”的状态(立起的状态)配置。另外，第一条形码阅读器3A和第二条形码阅读器3B例如内置有激光二极管和光电二极管。来自激光二极管的出射光L1扫描并且透过透光部31朝向下方射出。之后，出射光L1被条形码901朝向上方反射。反射光L2透过透光部31，被光电二极管接收。通过对基于接收到的反射光L2的信号依次进行A/D转换、解码，能够读取条形码901。

如图12所示，第一条形码阅读器3A在载置有IC设备90的设备供给部14a通过正下方时，能够读取该设备供给部14a上的IC设备90中的第一列M1的IC设备90的条形码901。第二条形码阅读器3B在载置有IC设备90的设备供给部14a通过正下方时，能够读取该设备供给部14a上的IC设备90中的、第二列M2的IC设备90的条形码901。

此外，在第二信息获取单元10B中，第一条形码阅读器3A读取第二列M2的IC设备90的条形码901，第二条形码阅读器3B读取第一列M1的IC设备90的条形码901。

如上所述，第一条形码阅读器3A和第二条形码阅读器3B配置于第二隔壁62的开口部621。由此，能够尽可能在IC设备90被在检查区域A3内检查紧前，读取该IC设备90的条形码901。由此，通过读取得到的信息与检查结果是同一个IC设备90的，即能够尽可能地防止获取的IC设备90的信息与被检查的IC设备90的检查结果的关联(建立关系)崩溃。

在这里，假设考虑将第一条形码阅读器3A和第二条形码阅读器3B配置于第一隔壁61的情况。在该情况下，即便早早地读取了条形码901，若被读取了该条形码901的IC设备90在供给区域A2内的输送中途不小心落下，则虽然设备输送头13会要去把持该落下的IC设备90(重试)，但也会在与原来的位置(落下前的位置)不同的位置把持该IC设备90。而且，若保持这样，则在检查区域A3内，与原本应被检查的IC设备90不同的IC设备90被检查，该检查结果被识别为被读取了条形码901的IC设备90的结果。因此，在检查装置1a中，通过被在检查区域A3内检查紧前读取条形码901，能够防止这样的IC设备90的信息与IC设备90的检查结果是不正确的关联。

另外，第一条形码阅读器3A和第二条形码阅读器3B的能够获取IC设备90的信息的可获取信息区域(可检测距离)，即传感器量程(感应范围)相互不同。例如在本实施方式中，作为第一条形码阅读器3A，优选使用传感器量程是50mm以上、600mm以下的阅读器，作为第二条形码阅读器3B，优选使用传感器量程是110mm以上、1000mm以下的阅读器。

由此，如图15所示，能够使第一条形码阅读器3A与第二条形码阅读器3B的铅垂方向的设置高度不同，并能够将传感器量程较小的第一条形码阅读器3A配置于低位置，将传感器量程较大的第二条形码阅读器3B配置于高位置。而且，从该状态进一步如图12所示，在俯视时(从铅垂方向上方观察时)，能够将第一条形码阅读器3A与第二条形码阅读器3B配置为具有相互重叠的重叠部32。由此，第一信息获取单元10A能够将Y方向的距离缩小重叠部32的量，由此实现小型化。

然而，存在第一条形码阅读器3A、第二条形码阅读器3B例如由于老化、故障、还有透光部31模糊等原因而很难或者不能够准确地读取条形码901的情况。而且，若没注意到成为这样的状态而继续使用，则存在读取到的IC设备90的不准确的信息与IC设备90的检查结果成为建立了关联的状态的可能性。

因此，在检查装置1a中，构成为消除这样的状态。以下，对该结构进行说明。

在检查装置1a中，控制部800作为进行第一条形码阅读器3A以及第二条形码阅读器3B的动作是否正常的判断的判断部发挥作用。此外，控制部800具有CPU和存储器。存储器中存储有上述判断用的控制程序。而且，CPU能够调出该控制程序，并执行该控制程序。这里，所谓的“第一条形码阅读器3A以及第二条形码阅读器3B的动作正常”是指第一条形码阅读器3A以及第二条形码阅读器3B准确地读取条形码(条形码901)。

另外，作为上述判断的判断基准，使用附于虚拟设备91的表侧的面的基准条形码(基准标记)911。另外，虚拟设备91是模仿IC设备90的设备，与IC设备90一起载置在设备供给部14a上来使用(参照图12～图14)。此外，基准条形码911预先存储于控制部800。另外，作为针对虚拟设备91的基准条形码911的赋予方法并没有特别限定，例如，可举出使用了喷墨的方法、使用了激光标记的方法、粘贴从IC设备90切除的条形码901的方法等。

以下，基于图16的流程图对上述判断用的控制程序进行说明。另外，由于针对第一条形码阅读器3A的判断与针对第二条形码阅读器3B的判断相同，所以这里一针对第一条形码阅读器3A的判断为代表来进行说明。

首先，在开始控制程序时，在供给区域A2内，在设备供给部14a上载置有8个IC设备90，还载置有两个虚拟设备91(参照图12、图13)。而且，从该状态开始控制程序。

控制程序使设备供给部14a朝向检查区域A3一次移动(步骤S201)。所谓的“一次移动”是指使设备供给部14a移动到设备供给部14a上的虚拟设备91位于第一条形码阅读器3A的正下方(参照图14)。

使第一条形码阅读器3A动作，来对虚拟设备91的基准条形码911读取规定次数(步骤S202)。然后，对该读取到的基准条形码911与预先存储于控制部800的基准条形码911进行比较，判断双方的基准条形码911一致的次数(匹配次数)N是否超过了预先设定的次数(阈值)N₀(步骤S203)。

在步骤S203的判断的结果是次数N超过了次数N₀的情况下(步骤S203：是)，视为“第一条形码阅读器3A的动作正常”，使设备供给部14a朝向检查区域A3二次移动(步骤S204)，并且使第一条形码阅读器3A动作，并读取IC设备90的条形码901(步骤S205)。所谓的“二次移动(第一动作)”是指使设备供给部14a以第一条形码阅读器3A依次读取设备供给部14a上的IC设备90的条形码901的方式移动。另外，该移动可以是每当IC设备90位于第一条形码阅读器3A的正下方就重复移动和停止的移动(间距传送)，也可以是省略了停止的连续移动(连续传送)。

而且，判断是否对第一列M1的全部的IC设备90完成了由第一条形码阅读器3A进行的IC设备90的条形码901的读取(步骤S206)。若对全部的IC设备90完成(步骤S206：是)，则流程结束。若没有对全部的IC设备90完成(步骤S206：否)则返回到步骤S204重复进行步骤，直到完成。

在步骤S203的判断的结果是次数N未超过次数N₀的情况下，视为“第一条形码阅读器3A的动作不正常”，报告该意思和需要对第一条形码阅读器3A的透光部31进行清洁的意思(第二动作)(步骤S207)。作为该报告方法并没有特别限定，例如，可举出基于经由监视器300的画面显示的方法、基于经由扬声器500的声音的方法等。

然后，在操作人员想要根据上述报告进行清洁的情况下，例如能够对显示于监视器300的“清洁开始按钮”进行操作。控制程序在“清洁开始按钮”的ON操作被确认之前(S208：否)在S208中进行待机，若“清洁开始按钮”的ON操作被确认(步骤S208：是)，则将进行了1次移动的设备供给部14a返回到供给区域A2内的原来的位置(步骤S209)。由此，在第一条形码阅读器3A的下方确保操作人员的手能够插入的程度的空间，因此，操作人员能够进行针对透光部31的清洁。

在清洁结束后，操作人员例如能够对显示于监视器300的“清洁结束按钮”进行操作。控制程序在“清洁结束按钮”的ON操作被确认之前(步骤S210：否)，在S210中进行待机，若“清洁结束按钮”的ON操作被确认(步骤S210：是)，则返回到步骤S201，以下，以此开始依次执行下位的步骤。由此，在检查装置1a中，在清洁后也能够判断第一条形码阅读器3A的动作是否正常。

在步骤S203的判断中所使用的次数N₀是次数N与针对基准条形码911的第一条形码阅读器3A的总读取次数(步骤S202中的规定次数)的比例如为70％以上、100％以内的情况下的值。

此外，在检查装置1a中，也可以构成为阶段性地变更次数N₀。例如，能够设定为：作为第一阶段上述比为70％以上、100％以内的情况，作为第二阶段上述比为30％以上、70％以内的情况，作为第三阶段上述比为0％以上、30％以内的情况。能够在第一阶段，采取作为“第一条形码阅读器3A的动作正常”的第一动作，在第二阶段，采取作为“需要进行针对第一条形码阅读器3A的清洁”的第二动作，在第三阶段，采取作为“第一条形码阅读器3A由于老化、故障原因而不能够进行正常的动作，需要更换”的第三动作。

另外，在第一条形码阅读器3A由于老化、故障的原因而不能够进行正常的动作的情况下，检查装置1a成为重复步骤S201～步骤S203，之后重复步骤S207～步骤S210的状态。在该情况下，也可以代替上述第三阶段，若上述步骤的重复次数连续地超过了规定次数，则视为“第一条形码阅读器3A因老化、故障的原因而不能够进行正常的动作”，并报告该意思和需要更换第一条形码阅读器3A的意思。

另外，优选在步骤S207的报告中也持续IC设备90的输送。

另外，在步骤S207后，也可以不执行步骤S208就使装置停止(第三动作)。

在以上那样的检查装置1a中，能够通过控制程序，选择是保持原样继续使用第一条形码阅读器3A(第二条形码阅读器3B)，还是进行清洁、更换，进一步判断动作是否正常。而且，由于能够保持原样继续使用无需进行清洁、更换的正常的第一条形码阅读器3A，所以第一条形码阅读器3A能够长期稳定且准确地获取附于IC设备90的条形码901。由此，能够对从条形码901获取的IC设备90的信息和该IC设备90的检查结果准确地建立关联。

第四实施方式

以下，参照图17对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第四实施方式进行说明，但以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。

本实施方式的检查装置1a′除了条形码阅读器的配置方式不同以外与第三实施方式的检查装置1a相同。

如图17所示，在本实施方式的检查装置1a′中，第一条形码阅读器3A′和第二条形码阅读器3B′的外形形状均为扁平的箱状，以其厚度方向与铅垂方向(Z方向)一致的方式，所谓的“横置”的状态(平置的状态)配置。另外，在从X方向观察时，第一条形码阅读器3A′和第二条形码阅读器3B′配置为具有相互重叠的重叠部32′。由此，第一信息获取单元10A以及第二信息获取单元10B均能够将Y方向的距离缩小重叠部32′的量，因此，能够使检查装置小型化。

第五实施方式

以下，参照图18～图22对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第五实施方式进行说明。此外，在本实施方式中，对于与上述实施方式相同的结构部件标注相同符号来进行说明。

另外，在图19中，为了避免附图变得繁琐，省略除静电器以及传感器的图示。另外，在图20中，为了容易理解地表示除静电器以及传感器，用实线对它们进行表示，并用双点划线表示其它构造物。

如图18、图19所示，检查装置1b被分为托盘供给区域A1、设备供给区域(以下仅称为“供给区域”)A2、检查区域A30、设备回收区域(以下仅称为“回收区域”)A4、以及托盘去除区域A5。而且，IC设备90从托盘供给区域A1到托盘去除区域A5依次经由上述各区域，并在中途的检查区域A30进行检查。

像这样，检查装置1b在各区域具备输送IC设备90的电子部件输送装置(自动分拣机)、以及在检查区域A30内进行检查的检查部16b。另外，电子部件输送装置具备控制部800b、作为报告部的监视器(显示部)300、信号灯400、扬声器500、以及操作面板700(参照图18、图21)。

供给区域A2是将配置在来自托盘供给区域A1的托盘200上的多个IC设备90分别供给到检查区域A30的区域。此外，以横跨托盘供给区域A1和供给区域A2的方式，设置有将托盘200一个一个地在水平方向上输送的托盘输送机构11A、11B。

托盘输送机构11A是能够使托盘200连同载置于该托盘200的IC设备90一起向Y方向的正侧移动的移动部。由此，能够将IC设备90稳定地送入供给区域A2。另外，托盘输送机构11B是能够使空的托盘200向Y方向的负侧移动，即、从供给区域A2移动到托盘供给区域A1的移动部。

在供给区域A2设置有温度调整部(浸泡板(英语记作：soak plate，汉语记作(一个例子)：均温板))12、设备输送头13b、以及托盘输送机构15。

温度调整部12是能够对多个IC设备90统一进行冷却或者加热的部件，有时称为“浸泡板”。能够通过该浸泡板，预先对通过检查部16b进行检查前的IC设备90进行冷却或者加热，来调整到适合该检查的温度。在图19所示的结构中，在Y方向上配置并固定有2个温度调整部12。而且，能够将通过托盘输送机构11A从托盘供给区域A1搬入的(输送出的)托盘200上的IC设备90输送到任意一个温度调整部12。

设备输送头13b被支承为能够在供给区域A2内在X方向以及Y方向上，进一步在Z方向上移动。由此，设备输送头13b能够负责从托盘供给区域A1搬入的托盘200与温度调整部12之间的IC设备90的输送、和温度调整部12与后述的设备供给部14b之间的IC设备90的输送。

设备输送头13b作为把持IC设备90的把持部，具有多个手部单元130(在图19中作为代表仅记载有一个符号“130”)。手部单元130具备吸附喷嘴，通过该吸附喷嘴吸附IC设备90，从而进行把持。

检查区域A30是对IC设备90进行检查的区域。在该检查区域A30设置有检查部16b和设备输送头17b。另外，还设置有以横跨供给区域A2和检查区域A30的方式移动的设备供给部14b、以及以横跨检查区域A30和回收区域A4的方式移动的设备回收部18b。

设备供给部14b是能够载置通过温度调整部12温度调整后的IC设备90，并将该IC设备90输送(移动)到检查部16b附近的载置部，有时称为“供给用滑梭板”。

设备供给部14b具有在X方向以及Y方向上分别配置多个，即配置为矩阵状的凹部(洼坑)140(在图19中作为代表仅记载有一个符号“140”)。在各凹部140各收纳一个通过检查部16b检查前的IC设备90。

另外，设备供给部14b被支承为能够在供给区域A2与检查区域A30之间沿着X方向在水平方向上移动。在图19所示的结构中，在Y方向上配置有2个设备供给部14b，能够将温度调整部12上的IC设备90输送到任意一个设备供给部14b。另外，设备供给部14b构成为能够对上述温度调整后的IC设备90维持该温度调整状态。由此，能够对IC设备90进行冷却或者加热，因此，能够维持该IC设备90的温度调整状态。

检查部16b是载置(保持)IC设备90，并对该IC设备90的电气特性进行检查/测试(进行电气检查的)单元，即、在检查IC设备90的情况下载置该IC设备90的部件。

在检查部16b的上表面设置有收纳(载置)(保持)IC设备90的凹部即多个保持部160(在图19中作为代表仅记载有一个符号“160”)。IC设备90被收纳于保持部160，由此，载置于检查部16b。

另外，在与检查部16b的各保持部160对应的位置分别设置有在保持部160保持有IC设备90的状态下与该IC设备90的端子电连接的探针。而且，IC设备90的端子与探针电连接(接触)，并经由探针来进行IC设备90的检查。IC设备90的检查通过与检查部16b连接的未图示的测试仪所具备的检查控制部，基于存储于该检查控制部的存储部的程序来进行。此外，在检查部16b中，与温度调整部12同样地，能够对IC设备90进行加热或者冷却，来将该IC设备90调整到适合检查的温度。

设备输送头17b被支承为能够在检查区域A30内在Y方向以及Z方向上移动。另外，设备输送头17b能够将从供给区域A2搬入的设备供给部14b上的IC设备90输送并载置到检查部16b上，另外，能够将检查部16b上的IC设备90输送并载置到设备回收部18b上。另外，在检查IC设备90的情况下，设备输送头17b将IC设备90朝向检查部16b按压，由此，使IC设备90与检查部16b抵接。由此，如上所述，将IC设备90的端子与检查部16b的探针电连接。此外，设备输送头17b也能够对IC设备90进行冷却或者加热，来将该IC设备90调整到适合检查的温度。

设备输送头17b作为把持IC设备90的把持部，具有多个手部单元175(在图19中作为代表仅记载有一个符号“175”)。手部单元175具备吸附喷嘴，通过该吸附喷嘴吸附IC设备90，从而进行把持。

设备回收部18b是能够载置检查部16b的检查结束了的IC设备90，并将该IC设备90输送(移动)到回收区域A4的载置部，有时也称为“回收用滑梭板”。

设备回收部18b具有在X方向以及Y方向分别配置有多个，即配置为矩阵状的凹部(洼坑)181(在图19中作为代表仅记载有一个符号“181”)。

另外，设备回收部18b被支承为能够在检查区域A30与回收区域A4之间沿着X方向在水平方向上移动。另外，在图19所示的结构中，设备回收部18b与设备供给部14b同样，在Y方向上配置有2个，能够将检查部16b上的IC设备90输送并载置于任意一个设备回收部18b。该输送由设备输送头17b进行。

另外，在检查装置1b中，一个设备供给部14b与一个设备回收部18b经由未图示的连结部在X方向上连结，构成在相同方向统一移动的滑梭单元。此外，设备供给部14b和设备回收部18b也可以构成为能够独立移动。

回收区域A4是对检查结束了的多个IC设备90进行回收的区域。在该回收区域A4设置有回收用托盘19、设备输送头20b、以及托盘输送机构21。另外，在回收区域A4也准备有空的托盘200。

回收用托盘19是载置通过检查部16b检查后的IC设备90的载置部，以不移动的方式固定在回收区域A4内。由此，即使在配置有相对较多的设备输送头20b等各种可动部的回收区域A4，在回收用托盘19上，也能够稳定地载置检查完毕的IC设备90。此外，在图19所示的结构中，沿着X方向配置有3个回收用托盘19。

另外，沿着X方向也配置有3个空的托盘200。该空的托盘200也为载置通过检查部16b检查后的IC设备90的载置部。而且，能够将移动到回收区域A4的设备回收部18b上的IC设备90输送并载置于回收用托盘19以及空的托盘200中的任意一个。由此，按每个检查结果对IC设备90进行分类并回收。

设备输送头20b被支承为能够在回收区域A4内在X方向以及Y方向上，进一步在Z方向上移动。由此，设备输送头20b能够将IC设备90从设备回收部18b输送至回收用托盘19、空的托盘200。

设备输送头20b作为保持IC设备90的把持部，具有多个手部单元201(在图19中作为代表仅记载有一个符号“201”)。手部单元201具备吸附喷嘴，通过该吸附喷嘴吸附IC设备90，从而进行把持。

托盘输送机构21是使从托盘去除区域A5搬入的空的托盘200在回收区域A4内在X方向上输送的机构。而且，在该输送后，空的托盘200配置于回收IC设备90的位置，即可以是上述3个空的托盘200中的任意一个。

托盘去除区域A5是回收并除去排列有检查完毕状态的多个IC设备90的托盘200的去除部。在托盘去除区域A5中，能够层叠多个托盘200。

另外，以横跨回收区域A4和托盘去除区域A5的方式，设置有将托盘200一个一个地在Y方向上输送的托盘输送机构22A、22B。托盘输送机构22A是能够使托盘200在Y方向上移动的移动部。由此，能够将检查完毕的IC设备90从回收区域A4输送至托盘去除区域A5。另外，托盘输送机构22B是能够使用于回收IC设备90的空的托盘200从托盘去除区域A5移动到回收区域A4的移动部。

控制部800b例如对托盘输送机构11A、11B、温度调整部12、设备输送头13b、设备供给部14b、托盘输送机构15、检查部16b、设备输送头17b、设备回收部18b、设备输送头20b、托盘输送机构21、托盘输送机构22A、22B、监视器300、信号灯400、扬声器500、后述的除静电器31b～39b、40b～46b等各部的驱动进行控制。

使用者(作业者)能够经由监视器300，设定或确认检查装置1b的动作条件等。该监视器300例如具有由液晶画面构成的显示画面(显示部)301，并配置于检查装置1b的正面侧上部。如图18所示，在托盘去除区域A5的图中的X方向正侧设置有载置在对显示于监视器300的画面进行操作时所使用的鼠标的鼠标台600。

另外，相对于监视器300在图18中的X方向正侧下方配置有操作面板700。操作面板700与监视器300分立地、对检查装置1b命令所希望的动作。

另外，信号灯400能够通过发光的颜色的组合，报告检查装置1b的动作状态等。信号灯400配置于检查装置1b的上部。此外，检查装置1b内置有扬声器500，也能够通过该扬声器500报告检查装置1b的动作状态等。

如图19所示，检查装置1b的托盘供给区域A1与供给区域A2之间被第一隔壁61划分(分隔)，供给区域A2与检查区域A30之间被第二隔壁62划分，检查区域A30与回收区域A4之间被第三隔壁63划分，回收区域A4与托盘去除区域A5之间被第四隔壁64划分。另外，供给区域A2与回收区域A4之间也被第五隔壁65划分。

在第二隔壁62形成有开口部621、开口部622。一方的设备供给部14b能够通过开口部621。由此，开口部621作为设备供给部14b从供给区域A2进入检查区域A30时的入口发挥作用，开口部621作为设备供给部14b从检查区域A30通往供给区域A2时的出口发挥作用。另外，另一方的设备供给部14b能够通过开口部622。由此，开口部622也作为设备供给部14b从供给区域A2进入检查区域A30时的入口发挥作用，开口部622作为设备供给部14b从检查区域A30通往供给区域A2时的出口发挥作用。

另外，在第三隔壁63也形成有开口部631、开口部632。一方的设备回收部18b能够通过开口部631，另一方的设备回收部18b能够通过开口部632。

检查装置1b的最外层被罩覆盖，该罩具有前罩70、侧罩71、侧罩72、后罩73、顶罩74。

另外，如图20所示，在检查装置1b设置有产生离子，并通过该离子中和并除去(除电)静电的多个(在图示的结构中是16个)除静电器(离子产生部)31b～39b、40b～46b、以及检测离子平衡和除电时间中的至少一方的多个(在图示的结构中是四个)传感器(检测部)51～54。

除静电器31b～46b分别是使干燥空气离子化，来产生被该离子化的干燥空气(以下称为“离子化空气”)的装置。作为除静电器31b～46b，分别并没有特别限定，例如，能够使用利用了电晕放电的装置、利用了电离放射线的装置等。

IC设备90的表面例如具有在IC设备90的输送中带上静电的可能性。因此，需要除去该静电。在检查装置1b中，能够使除静电器31b～46b动作产生离子化空气，并通过该离子化空气对IC设备90等除电。

另外，对于各个除静电器31b～46b的离子平衡而言，传感器51～54中的检测值越接近0V越优选。

另外，对于各个除静电器31b～46b的除电时间而言，越短越优选。所谓的除电时间是从规定的第一电压除电到规定的第二电压(比第一电压绝对值小的电压)所需要的时间。此外，除电时间与离子量对应(与离子量等价)，除电时间越短离子量越多。

此外，传感器51～54分别能够检测离子平衡和除电时间中的至少一方即可，在本实施方式中，作为一个例子，作为检测离子平衡的传感器来进行说明。

在供给区域A2设置有多个(在图示的结构中是6个)除静电器31b～36b。另外，在供给区域A2设置有单一的传感器51。在该供给区域A2，除静电器31b～36b中的任意的两个除静电器的一方是第一离子产生部，另一方是第二离子产生部。

对于除静电器31b～36b以及传感器51的配置分别并没有特别限定，但优选除静电器31b～36b分别以能够无遗漏地对供给区域A2的整体进行除电的方式配置。

另外，在本实施方式中，除静电器31b～36b分别配置于检查装置1b的顶部。另外，传感器51配置于检查装置1b的基座。即传感器51配置于比除静电器31b～36b靠近铅垂方向下方。由除静电器31b～36b产生的离子化空气通常比大气比重大。因此，通过将传感器51配置于比除静电器31b～36b靠近铅垂方向下方，能够通过传感器51可靠地检测离子平衡。

另外，在回收区域A4设置有多个(在图示的结构中是6个)除静电器37b～39b、40b～42b。另外，在回收区域A4设置有单一的传感器52。在该回收区域A4，除静电器37b～42b中的任意的两个除静电器的一方是第一离子产生部，另一方是第二离子产生部。

对于除静电器37b～42b以及传感器52的配置分别并没有特别限定，但优选除静电器37b～42b分别以能够不遗漏地对回收区域A4的整体除电的方式配置。

另外，在本实施方式中，除静电器37b～42b分别配置于检查装置1b的顶部。另外，传感器52配置于检查装置1b的基座。即、传感器52配置于比除静电器37b～42b靠近铅垂方向下方。由此，能够通过传感器52可靠地检测离子平衡。

检查区域A30被划分为图20中的X方向负侧的第一区域A31、和图20中的X方向正侧的第二区域A32这2个区域。此外，在图19以及图20中，用双点划线表示第一区域A31与第二区域A32的概念性的分界线。

在第一区域A31设置有多个(在图示的结构中是2个)除静电器43b以及44b。另外，在第一区域A31设置有单一的传感器53。在该第一区域A31中，除静电器43b以及44b中的一方是第一离子产生部，另一方是第二离子产生部。

并没有对除静电器43b、44b以及传感器53的配置分别进行特别限定，但优选除静电器43b以及44b分别以能够无遗漏地对第一区域A31的整体除电的方式配置。

另外，在本实施方式中，除静电器43b以及44b分别配置于检查装置1b的壁82b(参照图22)。另外，传感器53配置于检查装置1b的基座81b(参照图22)。即传感器53配置于比除静电器43b以及44b靠近铅垂方向下方。由此，能够通过传感器53可靠地检测离子平衡。

另外，在第二区域A32设置有多个(在图示的结构中是2个)除静电器45b以及46b。另外，在第二区域A32设置有单一的传感器54。在该第二区域A32中，除静电器45b以及46b中的一方是第一离子产生部，另一方是第二离子产生部。

并没有对除静电器45b、46b以及传感器54的配置分别进行特别限定，但优选除静电器45b以及46b分别以能够无遗漏地对第二区域A32的整体除电的方式配置。

另外，在本实施方式中，除静电器45b以及46b分别配置于检查装置1b的壁83b(参照图22)。另外，传感器54配置于检查装置1b的基座81b(参照图22)。即、传感器54配置于比除静电器45b以及46b靠铅垂方向下方。由此，能够通过传感器54可靠地检测离子平衡。

如上所述，在供给区域A2、回收区域A4、第一区域A31以及第二区域A32的各区域分别设置有多个除静电器和单一的传感器。通过在各区域分别设置多个除静电器，能够提高除电能力，能够分别在各区域无遗漏地除电。

此外，除静电器的个数以及传感器的个数当然分别并不限定于上述个数。

另外，检查装置1b具有分别对除静电器31b～46b检查是否正常的功能(动作模式)。以下，将不正常也称为“异常”。此外，作为除静电器的异常的具体例，例如可举出故障、恶化等不良情况的产生、清扫不充分等。

以下，对除静电器31b～46b的检查进行说明，但以下作为代表对供给区域A2中的除静电器31b～36b的检查进行说明。

在供给区域A2中，通过控制部800b的控制，使除静电器31b～36b一个一个地动作，通过传感器51一个一个地检测离子平衡，并进行检查。

即，在使规定的一个除静电器动作时，停止其它5个除静电器的动作。具体而言，在检查除静电器31b的情况下，在使该除静电器31b动作，并停止了其它除静电器32b～36b的动作的状态下，通过传感器51检测离子平衡，并进行检查。对于除静电器32b～36b也同样。此外，并没有对除静电器31b～36b的检查的顺序进行特别限定，可以根据各条件适当地设定。

由此，在除静电器31b～36b中的至少一个发生异常的情况下，能够检测产生了上述异常，另外，能够确定产生了异常的除静电器。

另外，能够通过单一的传感器51进行上述检测，由此，能够减少传感器的个数。

另外，在除静电器31b的检查中，控制部800b基于传感器51的检测结果，来判断除静电器31b是否正常。

即，控制部800b在传感器51的检测结果未达到基准值的情况下，判断为除静电器31b异常(不正常)，在达到了基准值的情况下，判断为除静电器31b正常。

此外，由于传感器51检测离子平衡，所以在表示检测出的离子平衡的电压值(检测结果)比基准值大的情况下，判断为除静电器31b异常。

对于该基准值并没有特别限定，可以根据各条件适当地设定，但优选设定为5V以上、200V以下的范围内的值，更为优选设定为10V以上、100V以下的范围内的值，进一步优选设定为20V以上、50V以下的范围内的值。

若上述基准值比上述上限值大，则存在根据其它条件的不同，在除静电器31b异常的情况下也判断为正常的可能性。另外，若上述基准值比上述下限值小，则存在根据其它条件的不同，在除静电器31b正常的情况下也判断为异常的可能性。

另外，在传感器51检测除电时间的情况下，在测定出的除电时间(检测结果)比基准值长的情况下，判断为除静电器31b异常。

该检查的结果显示于监视器300。即，监视器300在除静电器31b异常的情况下，显示表示除静电器31b异常的信息，另外，在除静电器31b正常的情况下，显示表示除静电器31b正常的信息。

此外，虽然对于除静电器32b～36b的检查省略说明，但与上述除静电器31b的检查的情况相同。

另外，在回收区域A4也与上述供给区域A2的情况相同，通过控制部800b的控制使除静电器37b～42b一个一个地动作，并通过传感器52一个一个地检测离子平衡，并进行检查。

另外，在第一区域A31也与上述供给区域A2的情况同样，通过控制部800b的控制，使除静电器43b以及除静电器44b一个一个地动作，并通过传感器53一个一个地检测离子平衡，并进行检查。

另外，在第二区域A32也与上述供给区域A2的情况同样，通过控制部800b的控制，使除静电器45b以及除静电器46b一个一个地动作，并通过传感器54一个一个地检测离子平衡，并进行检查。

此外，在上述供给区域A2、回收区域A4、第一区域A31以及第二区域A32，分别按每个区域独立地通过对应的传感器检测离子平衡，并进行检查。因此，供给区域A2的检查、回收区域A4的检查、第一区域A31的检查、以及第二区域A32的检查也能够错开时间来进行，另外，也能够同时进行任意两个区域、任意三个区域或者四个区域的检查。在同时进行的情况下，能够缩短整体的检查所需要的时间。

另外，在检查装置1b中，在上述检查的结果是除静电器31b～46b中的至少一个发生异常的情况下，在监视器300上显示发生了上述异常的情况、以及确定发生了异常的除静电器的信息。另外，使信号灯400点亮或者闪烁或者改变发光颜色，另外，从扬声器500发出报警(警报)。另外，在除静电器31b～46b的全部正常的情况下，在监视器300上显示该意思。

使用者观看监视器300的上述显示，能够在除静电器31b～46b中的至少一个发生异常的情况下，容易地把握发生了上述异常的情况、以及发生了异常的除静电器。另外，在除静电器31b～46b的全部正常的情况下，能够容易地把握该意思。

另外，将上述检查结果的历史记录存储于存储部801。而且，上述历史记录例如能够利用于维护、检查、修理等。

另外，对于进行除静电器31b～46b的检查的时期并没有特别限定，例如，可举出接通检查装置1b的电源时(启动时)、关闭检查装置1b的电源之前、进行检查的IC设备90的批次与下一个批次之间、经过了规定的期间时等。另外，也能够通过使用者的操作，开始上述检查。

如以上说明的那样，根据检查装置1b，在除静电器31b～46b中的至少一个发生异常的情况下，能够基于检测部的检测结果，可靠地检测发生了上述异常的情况，另外，能够确定发生了异常的除静电器。由此，使用者能够迅速并且可靠地应对。

以上，对图示本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于此，构成电子部件输送装置以及电子部件检查装置的各部能够置换为可以发挥相同的功能的任意的结构。另外，也可以附加任意的结构物。

另外，本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置也可以是对上述各实施方式中的任意的2个以上的结构(特征)进行组合而成的。

在上述第一实施方式中，将具备作用部、报告部40、操作部50、以及控制部80的电子部件输送装置设置于检查装置1，但本发明并不限定于此，能够为具备作用部、报告部40、操作部50、以及控制部80的检查装置。

在上述第三、第四实施方式中，作为能够获取附于电子部件的信息的信息获取部使用了条形码阅读器，但并不局限于此，例如，也可以使用CCD(Charge Coupled Device)照相机等拍摄装置。在是拍摄装置的情况下，优选对该拍摄装置进行扫描并进行拍摄(行扫描)。

另外，判断第一条形码阅读器以及第二条形码阅读器的动作是否正常所使用的基准标记在上述实施方式中是条形码，但并不局限于此，也可以是图形、文字、记号等。在该情况下，作为信息获取部使用能够进行图像处理的CCD(Charge Coupled Device)照相机等拍摄装置。

另外，第一条形码阅读器的传感器量程与第二条形码阅读器的传感器量程在上述各实施方式中不同，但并不局限于此，也可以相同。

另外，第一信息获取单元以及第二信息获取单元中的条形码阅读器的设置个数在上述各实施方式中分别是两个，但并不局限于此，例如，根据需要也可以是一个或者三个以上。

另外，针对第一条形码阅读器、第二条形码阅读器的清洁在上述各实施方式中是操作人员的手作业，但并不局限于此，例如，也可以对检查装置设置自动清洁机构，由该自动清洁机构来进行。

另外，检查装置的判断用的控制程序也可以构成为与步骤S207(第三实施方式)中的报告一起将该报告信息发送至其它外部设备。

附图标记的说明

1…检查装置；10…电子部件输送装置；11A…托盘输送机构；11B…托盘输送机构；12…温度调整部；13…设备输送头；13A…设备输送头；131…手部；131a…手部；131b…手部；131c…手部；131d…手部；131e…手部；131f…手部；131g…手部；131h…手部；14…设备供给部；15…托盘输送机构；16…检查部；161…洼坑；162…洼坑；163…洼坑；164…洼坑；17…设备输送头；171…臂；172…臂；18…设备回收部；19…回收用托盘；20…设备输送头；21…托盘输送机构；22A…托盘输送机构；22B…托盘输送机构；23A…旋转工作台；23B…旋转工作台；40…报告部；41…监视器；42…灯；43…蜂鸣器；50…操作部；501…鼠标；61…第一隔壁；62…第二隔壁；63…第三隔壁；64…第四隔壁；65…第五隔壁；66…内侧隔壁；70…前罩；71…侧罩；711…第一门；712…第二门；72…侧罩；721…第一门；722…第二门；73…后罩；731…第一门；732…第二门；733…第三门；75…第四门；80…控制部；81…驱动控制部；82…检查控制部；83…存储部；84…运算部；85…判断部；86…发送部；90…IC设备；100…更换时期推定部；200…托盘；A1…托盘供给区域；A2…设备供给区域；A3…检查区域；A4…回收区域；A5…托盘去除区域；R1…第一室；R2…第二室；R3…第三室；S101…步骤；S102…步骤；S103…步骤；S104…步骤；S105…步骤；S106…步骤；T₁…第一值；T₂…第二值；T₃…累积动作时间；T_Z…累积动作时间；W…窗口。

Claims

1.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：

作用部，其对电子部件进行规定的作用；以及

更换时期推定部，其推定所述作用部的更换时期，

所述更换时期推定部至少基于所述作用部的作用次数或者所述作用部的作用时间中的任意一个来进行所述更换时期的推定。

2.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述作用部具有气动设备。

3.根据权利要求1或2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述作用部具有电力设备。

4.权利要求1～3中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述作用部具有滑动设备。

5.权利要求1～4中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述作用部包含于输送所述电子部件的输送部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述更换时期推定部基于所述作用次数、所述作用时间以及所述作用部的作用速度来推定所述更换时期。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

具有报告部，该报告部报告所述更换时期推定部的推定结果。

8.权利要求1～7中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

具有发送部，该发送部基于所述更换时期推定部的推定结果，将所述更换时期发送给外部设备。

9.根据权利要求8所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述发送部通过SECS/GEM进行通信。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

基于所述更换时期推定部的推定结果来进行规定的动作。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

基于所述更换时期推定部的推定结果来报告所述更换时期接近。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

基于所述更换时期推定部的推定结果来使所述作用部的动作停止。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

具有对所述电子部件进行相同的作用的多个作用部，

在基于所述更换时期推定部的推定结果，一方的所述作用部的更换时期接近的情况下，切换为由另一方的所述作用部对所述电子部件进行作用。

14.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：

作用部，其对电子部件进行规定的作用；

更换时期推定部，其推定所述作用部的更换时期；以及

检查部，其进行所述电子部件的检查，